JP2009260343A - リソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流体供給システムは、第一側壁に複数の入口穴が、第二側壁に複数の出口穴があるチャンバを有し、第一側壁は第二側壁に対面し、入口穴はチャンバに入る流体を複数の出口穴の間にある第二側壁の領域に向かう方向に誘導する。
【選択図】図6
Description
ν=スキャン方向でのスキャン速度
a=スキャン方向でのステージの加速度
τ=加速後の整定時間
Yslit=露光スリットの幅(90%強度プロファイルによって割り出す)
DAK=ガスナイフの直径
Δy=気泡の広がり
y=フィールド内の液滴の位置
Claims (21)
- 流体を供給する流体ハンドリングシステムを備えた液浸リソグラフィ装置であって、前記流体ハンドリングシステムが、第一側壁に複数の入口穴が、第二側壁に複数の出口穴があるチャンバを備え、前記第一側壁が前記第二側壁に対面し、前記入口穴が、前記チャンバに入る流体を前記複数の出口穴の間の前記第二側壁の領域に向かう方向に誘導する、液浸リソグラフィ装置。
- 前記複数の入口穴及び/又は前記複数の出口穴が、2次元アレイ状である、請求項1に記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記複数の入口穴と前記複数の出口穴とが、同じパターンを有する、請求項1又は2に記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記入口穴の前記パターンが、前記出口穴の前記パターンと位相がずれている、請求項3に記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記出口穴が、前記入口穴と等しい開口寸法又はそれより大きい開口寸法を有する、前記請求項のいずれかに記載の液浸リソグラフィ装置。
- 使用時に、前記第一側壁における流体の圧力低下が、前記第二側壁における流体の圧力低下と等しい、又はそれより大きい、前記請求項のいずれかに記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記第一側壁と第二側壁とが、0.2mmから3mm、望ましくは2mmから3mm離間される、前記請求項のいずれかに記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記流体ハンドリングシステムが、前記液浸リソグラフィ装置の投影システムと前記液浸リソグラフィ装置の基板及び/又は基板テーブルとの間の空間に流体を供給する、前記請求項のいずれかに記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記第二側壁が、前記投影システムの光軸に実質的に平行な面にある、請求項8に記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記出口穴が、前記投影システムの光軸に対して垂直で、前記投影システムの最終要素の底部の上にある1つ又は複数の面にある、請求項8又は9に記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記流体ハンドリングシステムが、前記投影システムに向かって内側に延在する突起をさらに備え、前記突起が、前記第二側壁の頂部から突出するように配置される、請求項8から10のいずれかに記載の液浸リソグラフィ装置。
- 流体を供給する流体ハンドリングシステムを備えた液浸リソグラフィ装置であって、前記流体ハンドリングシステムが、
流体が通過する複数の貫通穴がある第一プレートと、
流体が通過する複数の貫通穴がある第二プレートとを備え、
前記第一プレートと第二プレートが実質的に平行であり、前記流体ハンドリングシステムによって供給される流体が、前記第二プレートの前記複数の穴を通過する前に、前記第一プレートの前記複数の貫通穴を通過する、液浸リソグラフィ装置。 - 側面図で、前記第一プレートの前記貫通穴が前記第二プレートの前記貫通穴と位置が合わされていない、請求項12に記載の液浸リソグラフィ装置。
- 流体を供給する流体ハンドリングシステムを備えた液浸リソグラフィ装置であって、前記流体ハンドリングシステムが、
入口から出口までの流れ通路と、
前記通路内に存在する流れに対する少なくとも2つのバリアとを備え、各バリアが流体の通過する複数の貫通穴を備え、前記2つのバリアが0.2mmから5mm離間される、
液浸リソグラフィ装置。 - 流体を供給する流体ハンドリングシステムを備えた液浸リソグラフィ装置であって、前記流体ハンドリングシステムが、第一側壁に複数の入口穴が、第二側壁に複数の出口穴があるチャンバを備え、前記複数の入口穴が前記複数の出口穴より小さい開口寸法を有する、液浸リソグラフィ装置。
- 入口を通して流体を供給する流体ハンドリングシステムを備えた液浸リソグラフィ装置であって、前記入口が、相互に対面して、それぞれが複数の貫通穴を有する少なくとも2つの離間されたプレート部材を備え、流体が前記入口を通って流れるために、一方のプレート部材の前記貫通穴が別のプレート部材の前記貫通穴と位置が合わされていない、液浸リソグラフィ装置。
- 入口を通して投影システムと基板及び/又は基板テーブルとの間の空間に流体を供給する流体ハンドリングシステムを備えた液浸リソグラフィ装置であって、前記入口が複数の開口を備え、前記入口が、滑らかな流体の流れを前記空間内に、前記入口に平行な面に対して実質的に直角に供給し、前記流体の流れの断面流量が実質的に均一である、液浸リソグラフィ装置。
- 入口を通して投影システムと基板及び/又は基板テーブルとの間の空間に流体を供給する流体ハンドリングシステムを備えた液浸リソグラフィ装置であって、前記入口が平面の表面に配置された複数の開口を備え、前記入口が、滑らかな流体の流れを前記空間内に、前記入口に平行な面に対して実質的に直角に供給し、前記流体の流れの断面流量が実質的に均一である、液浸リソグラフィ装置。
- 基板を支持する基板テーブルと、
前記基板テーブル及び/又は基板上に配置され、多孔質部材がある抽出器を含む流体ハンドリングシステムとを備え、前記多孔質部材が、前記多孔質部材の表面と前記流体ハンドリングシステムに面した前記基板及び/又は前記基板テーブルの表面との間の距離が、前記多孔質部材と上面との間に角度の段階的変化がない状態で半径方向に最も内側の位置から半径方向に最も外側の位置まで増加するように、少なくとも一部が湾曲した表面を有する、
液浸リソグラフィ装置。 - デバイス製造方法であって、
液浸液を、投影システムと、基板及び/又は基板テーブルと、流体ハンドリング構造と、前記流体ハンドリング構造と前記基板及び/又は基板テーブルとの間に延在する液浸液のメニスカスとの間に規定された空間に閉じ込めることであって、前記投影システムが、パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分にある結像フィールドに投影し、前記基板テーブルが、前記基板を支持する、当該閉じ込めること、および
前記投影システムと前記基板及び/又は基板テーブルとの相対運動の方向が変化すると、前記基板及び/又は前記基板テーブルの表面上に形成された液滴が、前記結像フィールドの端部に対して縦方向に前記結像フィールドの長さより大きい変位を有するように、前記相対運動を引き起こすこと、を含むデバイス製造方法。 - 基板を支持する基板テーブルと、
パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分にある結像フィールドに投影する投影システムと、基板及び/又は基板テーブルと、使用時に自身と前記基板テーブル及び/又は前記基板との間に延在する液浸液メニスカスとの間に規定された空間に液浸液を閉じ込める流体ハンドリング構造と、
前記投影システムと前記基板及び/又は基板テーブルとの相対運動の方向が変化すると、前記基板及び/又は前記基板テーブルの表面上に形成された液滴が、前記結像フィールドの端部に対して縦方向に前記結像フィールドの長さより大きい変位を有するように、前記相対運動を引き起こすアクチュエータと、を備える液浸リソグラフィ装置。
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