JP2009257987A - 膜厚計測装置、膜厚計測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保持部材に保持された透明樹脂フィルムの表面に検査光を照射し、前記透明樹脂フィルムの反射光を受光することで、前記透明樹脂フィルムの膜厚を計測する膜厚計測装置において、前記保持部材は、前記透明樹脂フィルムを保持する面がJISB0601−1994に準じて測定された、算術平均粗さRaが1.0μm〜8.0μm、最大高さRyが9.0μm〜50.0μmを有することを特徴とする膜厚計測装置。
【選択図】図1
Description
微細なITO膜や防眩膜を構成している基体に使用する透明樹脂フィルムとしては特に限定はなく、例えばエチレンテトラフルオロエチル共重合体(ETFE)、高密度ポリエチレン(HDPE)、延伸ポリプロピレン(OPP)、ポリスチレン(PS)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、延伸ナイロン(ONy)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)、ポリイミド、ポリエーテルスチレン(PES)、ポリエチレンナフタレートフィルム(PEN)等、一般の包装用フィルムに使用されている熱可塑性樹脂フィルム材料を使用することが出来る。又、これら熱可塑性樹脂フィルムは、必要に応じて異種フィルムと共押出しで作った多層フィルム、延伸角度を変えて貼り合せて作った多層フィルム等も当然使用出来る。更に必要とする物性を得るために使用するフィルムの密度、分子量分布を組合せて作ることも当然可能である。
(透明樹脂フィルムの準備)
基体として無色透明の厚さ100μm、長さ200m、幅1100mmのPETベーステイジンテトロンフィルム(帝人・デュポン社製フィルム)を準備し、下記に示す塗布液をエクストルージョン塗布機で乾燥後の厚さが800nmになるように塗布し、1層を積層した透明樹脂フィルムを準備した。
下記材料を攪拌、混合し塗布液とした。
開始剤:イルガキュア184(チバ・ジャパン製) 36質量部
レべリング剤:FZ2207(日本ユニカー製)10%プロピレングリコールモノメチルエーテル溶液 7質量部
プロピレングリコールモノメチルエーテル 317質量部
酢酸エチル 317質量部
(膜厚計測装置の準備)
図1(a)に示す膜厚計測装置で、透明樹脂フィルムを保持するロールの面の表面粗さ及び光沢度、色を表1に示す様に変えた膜厚計測装置を準備しNo.1−1〜1−20とした。光源部と受光部とは透明樹脂フィルムの幅方向に20cm間隔で5台を配設した。尚、表面粗さは、算術平均粗さRa、最大高さRyをJISB0601−1994に準じて測定した値を使用した。光沢度は、(株)堀場製作所製グロスチェツカーIG−320を使用し、入射角度を60°で測定した値を示す。
灰*1:JIS標準色票N7の灰色 光沢度5%
灰*2:JIS標準色票N5の灰色 光沢度5%
黒色*:JIS標準色票N1.5の黒色 光沢度5%
光沢度は、(株)堀場製作所製グロスチェツカーIG−320を使用し、入射角度を60°で測定した値を示す。
データ処理部:デル(株)製 DIMENSION 3100C
準備した膜厚計測装置No.1−1〜1−17を使用し膜厚計測試験No.101〜117とし、次の条件で準備した透明樹脂フィルムの膜厚の計測及びスリ傷の有無の観察を行い、以下に示す評価ランクに従って評価した結果を表2に示す。尚、膜厚の計測は、100mを全長計測し、膜厚のバラツキ(%)として以下に示す式より計算で求めた値を示す。
光源の種類:浜松ホトニクス(株)製 最大感度波長650nm
検査光の照度:4500LX
検査光の照射面積:7mm2
光源から透明樹脂フィルムの検査光の照射位置までの距離:50mm
検査光の照射角度:25°
受光部の透明樹脂フィルムの検査光の照射位置からの距離:50mm
透明樹脂フィルムの搬送速度は10m/分とした。
検査位置での透明樹脂フィルムの撓み量は80μmであった。撓み量は(株)トプコン製デジタルセオドライトを使用して測定した値を示す。
試料の全長を、表面反射が少ない黒い板を置いた平面台の上に、試料が弛まない程度に間隔を狭くした2本のロール間に試料を渡し、明るさ5000LXで全長を10m/分で移動しながら目視で観察した。
○:スリ傷が見えない
△:スリ傷は白い線状にかすかに見える
×:スリ傷が白い線状に見える
実施例1と同じ透明樹脂フィルムを準備し、実施例1で準備した膜厚計測装置No.1−3を使用し、表3に示すように透明樹脂フィルムの計定位置を変動(図3参照)させ膜厚を計測する試験を行いNo.201〜205とし、膜厚の計測は、100mを全長計測し、膜厚のバラツキ(%)として実施例1と同じ方法で計測した結果を表3に示す。尚、計測位置の変動はロールの回転軸の取り付け位置を偏心させることで行った。光源部と受光部とは透明樹脂フィルムの幅方向に20cm間隔で5台を配設した。
(透明樹脂フィルムの準備)
(基体の準備)
表4に示す様に、厚さを変えた、長さ200m、幅1100mmのセルローストリアセテートフィルムを流延法で準備した。
準備したセルローストリアセテートフィルム上に、次に示す塗布液をエクストルージョン塗布装置により膜厚を変え4層同時塗布し透明樹脂フィルムを準備しNo.3−1〜3−10とした。透過率は実施例1と同じ方法で測定した値を示す。
〔塗布液1の調製〕
第1層形成用塗布液、第3層形成用塗布液として以下に示す組成の塗布液を調整し、塗布液1とした。
(酸化チタン分散液の調製)
下記組成の酸化チタン分散液を調製した。平均粒径は、マイクロトラック粒度分布測定装置(UPA150(日機装社製))により測定した平均粒径を記す。分散機及び分散条件は以下に示す。
分散剤(表1参照) 2質量部
ジアセトンアルコール 17質量部
n−ブタノール 66質量部
分散機 :超音波分散機(日本精機製作所:モデルUS300)
分散条件:200μA、30分
平均粒径:110nm
(塗布液1の調製)
上記酸化チタン分散液 47質量部
チタニウムジアセチルアセトナートジ−iso−プロピレート(有機金属化合物)
3質量部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(バインダー) 50質量部
イルガキュア184(光重合開始剤) 3質量部
γ−メタクリロキシプロピルメトキシシラン(シランカップリング剤) 10質量部
ポリ−n−ブチルメタクリレート(バインダー) 5質量部
プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME) 720質量部
イソプロピルアルコール 1470質量部
メチルエチルケトン(MEK) 250質量部
〔塗布液2の調製〕
第2層形成用塗布液、第4層形成用塗布液として以下に示す組成の塗布液を調整し、塗布液2とした。
テトラ(n)ブトキシキチタン 1.5質量部
γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学社製:KBM503)
3質量部
直鎖ジメチルシリコーン−EOブロックコポリマー(日本ユニカー製:FZ−2207) 0.2質量部
イソプロピルアルコール 555質量部
プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME) 278質量部
メチルエチルケトン(MEK) 93質量部
準備した透明樹脂フィルムNo.3−1〜3−10を、実施例1で準備した膜厚計測装置No.1−3を使用し、膜厚計測試験No.301〜310として実施例1と同じ条件で膜厚の測定及び実施例1と同じ方法でスリ傷の有無の観察を行い、実施例1と同じ評価ランクで評価した結果を表5に示す。光源部と受光部とは透明樹脂フィルムの幅方向に20cm間隔で5台を配設した。
(透明樹脂フィルムの準備)
実施例1と同じ透明樹脂フィルムを準備した。
図1(a)に示す膜厚計測装置で、透明樹脂フィルムを保持するロールの面の光沢度を表6に示す様に変えた膜厚計測装置を準備しNo.4−1〜4−7とした。尚、ロールの面の算術平均粗さRaは5.0μm、最大高さRyは20.0μmとした。算術平均粗さRa、最大高さRyは実施例1と同じ方法で測定した値を示す。又ロールの面の色は実施例1で使用した赤とした。表面粗さは、算術平均粗さRa、最大高さRyをJISB0601−1994に準じて測定した値を使用した。光沢度はロールの表面に日本ペイント(株)製の塗料にツヤ消し剤の添加量を変えて調整した塗料を塗り変化させた。光沢度は、(株)堀場製作所製グロスチェッカーIG−320を使用し、入射角度を60°で測定した値を示す。
準備した膜厚計測装置No.4−1〜4−7を使用し膜厚計測試験No.401〜407とし、実施例1と同じ条件で準備した透明樹脂フィルムの膜厚の計測、及び実施例1と同じ方法でスリ傷の有無の観察を行い、実施例1と同じ評価ランクに従って評価した結果を表7に示す。光源部と受光部とは透明樹脂フィルムの幅方向に20cm間隔で5台を配設した。
(透明樹脂フィルムの準備)
基体として無色透明(透過率95%)の厚さ120μm、長さ100m、幅1100mmのPETベース テイジンテトロンフィルム(帝人・デュポン社製フィルム)を準備し、その上に、下記の塗布液をエクストルージョン塗布機を用いて塗布し、波長350nmに極大吸収を有し、透過率が85%、設定した厚さが120μmの層を形成し、300mm×300mmの大きさに断裁しシートとした。
図1(b)に示す膜厚計測装置で、透明樹脂フィルムを保持する載置面の表面粗さ及び光沢度を表8に示す様に変えた膜厚計測装置を準備しNo.5−1〜5−20とした。た。光源部と受光部とは透明樹脂フィルムの幅方向に20cm間隔で5台を配設した。尚、表面粗さは、算術平均粗さRa、最大高さRy、光沢度は実施例1と同じ方法で測定した値を示す。載置台はステンレス製の箱型とし、表面に直径0.5mmの吸引孔を設け吸引で表面に透明樹脂フィルムを固定出来るようにした。表面の算術平均粗さRaは、日本ペイント(株)製の塗料にツヤ消し剤の添加量を変えて調整した塗料を塗り変化させた。最大高さRyは、日本ペイント(株)製の塗料にツヤ消し剤の添加量を変えて調整した塗料を塗り変化させた。
データ処理部:デル(株)製 DIMENSION 3100C
準備した膜厚計測装置No.5−1〜5−17を使用し、準備した透明樹脂フィルムを載置台の面へ吸引で固定し、膜厚計測試験No.501〜517として次の条件で準備した透明樹脂フィルムの膜厚の計測及び以下に示す方法でスリ傷の有無の観察を行い、実施例1と同じ評価ランクに従って評価した結果を表9に示す。尚、計測した膜厚は、シート3枚を計測し、計測した膜厚の平均値を示す。
検査光の照度:4000LX
検査光の照射面積:7mm2
光源から透明樹脂フィルムの検査光の照射位置までの距離:50mm
検査光の照射角度:25°
受光部の透明樹脂フィルムの検査光の照射位置からの距離:50mm
載置台のX方向への移動速度は10m/分とした。
スリ傷の観察
シート3枚を目視で観察した。
101a、101b 光源部
102a、102b 受光部
103 ロール
104 載置台
104a 載置面
2、2a、2b、3、4 透明樹脂フィルム
4a 基材
4b 透明層
P 測定位置
Claims (4)
- 保持部材に保持された透明樹脂フィルムの表面に検査光を照射し、前記透明樹脂フィルムの反射光を受光することで、前記透明樹脂フィルムの膜厚を計測する膜厚計測装置において、前記保持部材は、前記透明樹脂フィルムを保持する面がJISB0601−1994に準じて測定された、算術平均粗さRaが1.0μm〜8.0μm、最大高さRyが9.0μm〜50.0μmを有することを特徴とする膜厚計測装置。
- 前記保持部材の面の光沢度が、入射角度60°の時に1.0%〜30.0%であることを特徴とする請求項1に記載の膜厚計測装置。
- 前記保持部材に保持された透明樹脂フィルムの検査光の照射位置での位置変動が−80μm〜+80μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の膜厚計測装置。
- 保持部材に保持された透明樹脂フィルムの表面に検査光を照射し、前記透明樹脂フィルムの反射光を受光することで、前記透明樹脂フィルムの膜厚を計測する膜厚計測装置を使用した膜厚計測方法において、前記膜厚計測装置が請求項1〜3の何れか1項に記載の膜厚計測装置であることを特徴とする膜厚計測方法。
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JP2011196945A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Nisshin Steel Co Ltd | 帯状金属材料の表面に被覆された皮膜の膜厚測定方法および校正板 |
JP2013112867A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Kojima Press Industry Co Ltd | 蒸着重合膜形成装置及び蒸着重合膜の形成方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5973709A (ja) * | 1982-10-20 | 1984-04-26 | Ulvac Corp | 光学膜形成装置における膜厚監視装置 |
JP2000177263A (ja) * | 1998-12-14 | 2000-06-27 | Toray Ind Inc | 感熱孔版用印刷原紙の製造方法および製造装置 |
JP2000356859A (ja) * | 1999-06-15 | 2000-12-26 | Sharp Corp | 電子写真感光体の膜厚測定方法 |
JP2003161606A (ja) * | 2001-11-28 | 2003-06-06 | Mitsubishi Chemicals Corp | 膜厚測定方法、膜厚測定装置、およびプログラム |
JP2005140726A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-02 | Omron Corp | 薄膜測定方法及び薄膜測定装置 |
JP2005221366A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Toppan Printing Co Ltd | 膜厚測定装置 |
JP2006208196A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 被膜検査装置および方法 |
JP2009216692A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-09-24 | Hitachi Chem Co Ltd | ダイボンディングフィルムの表面検査方法及び表面検査システム |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5973709A (ja) * | 1982-10-20 | 1984-04-26 | Ulvac Corp | 光学膜形成装置における膜厚監視装置 |
JP2000177263A (ja) * | 1998-12-14 | 2000-06-27 | Toray Ind Inc | 感熱孔版用印刷原紙の製造方法および製造装置 |
JP2000356859A (ja) * | 1999-06-15 | 2000-12-26 | Sharp Corp | 電子写真感光体の膜厚測定方法 |
JP2003161606A (ja) * | 2001-11-28 | 2003-06-06 | Mitsubishi Chemicals Corp | 膜厚測定方法、膜厚測定装置、およびプログラム |
JP2005140726A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-02 | Omron Corp | 薄膜測定方法及び薄膜測定装置 |
JP2005221366A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Toppan Printing Co Ltd | 膜厚測定装置 |
JP2006208196A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 被膜検査装置および方法 |
JP2009216692A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-09-24 | Hitachi Chem Co Ltd | ダイボンディングフィルムの表面検査方法及び表面検査システム |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011196945A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Nisshin Steel Co Ltd | 帯状金属材料の表面に被覆された皮膜の膜厚測定方法および校正板 |
JP2013112867A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Kojima Press Industry Co Ltd | 蒸着重合膜形成装置及び蒸着重合膜の形成方法 |
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