JP2009239013A - クリーニング基板及びクリーニング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プロセスモジュール11のチャンバ17内に、円板状のシリコン基材43と、該シリコン基材43上に設けられた不織布44とを有するクリーニング基板45を搬入し、チャンバ17内を排気する排気システムによりチャンバ17内を真空引きすると共に、チャンバ17の壁面や構成部品の表面に付着しているパーティクルを剥離させて、チャンバ17内のパーティクルをクリーニング基板45の不織布44に入射させ、その後、不織布44内にパーティクルを捕捉したクリーニング基板45をチャンバ17内から搬出する。
【選択図】図2
Description
10 基板処理システム
11 プロセスモジュール
17 チャンバ
18 サセプタ
44 不織布
45,52,64 クリーニング基板
48,51 多孔質セラミックス
59 防水膜
60,68 洗浄剤
61 袋
67 金属薄膜
69 樹脂膜
Claims (17)
- 基板処理装置の処理室内をクリーニングするクリーニング基板であって、
前記処理室内の異物を除去する除去機構を備えることを特徴とするクリーニング基板。 - 前記除去機構はパーティクルを捕捉するパーティクル捕捉材からなることを特徴とする請求項1記載のクリーニング基板。
- 前記除去機構は水分を吸収する水分吸収材からなることを特徴とする請求項1記載のクリーニング基板。
- 前記水分吸収材は防水膜によって覆われることを特徴とする請求項3記載のクリーニング基板。
- 前記除去機構は、前記処理室内の付着物を洗浄する洗浄剤を被包する袋と、該袋を担持し、前記クリーニング基板が前記処理室内に配置された載置台に載置される際に当該クリーニング基板と当該載置台との間隙に供給されるガスの圧力を前記袋に伝達させるための複数の貫通孔が形成された基材とを有することを特徴とする請求項1記載のクリーニング基板。
- 前記除去機構は、前記処理室内の付着物を洗浄する洗浄剤を被包する袋と、該袋を担持する基材と、前記袋に被装された金属薄膜とを有することを特徴とする請求項1記載のクリーニング基板。
- 前記除去機構は、表面に前記処理室内の付着物を洗浄する揮発性の洗浄剤が塗布された基材と、該基材の表面を覆う樹脂膜とを有することを特徴とする請求項1記載のクリーニング基板。
- 基板処理装置の処理室内のクリーニング方法であって、
パーティクルを捕捉するパーティクル捕捉材を有するクリーニング基板を前記処理室内に搬入する搬入ステップと、
前記処理室内を真空引きして当該処理室内のパーティクルを排出する排出ステップと、
前記クリーニング基板を前記処理室内から搬出する搬出ステップとを有することを特徴とするクリーニング方法。 - 前記排出ステップでは、前記処理室内においてパーティクルの飛散を促進することを特徴とする請求項8記載のクリーニング方法。
- 前記搬出されたクリーニング基板におけるパーティクル捕捉材に捕捉されたパーティクルを除去する除去ステップを有することを特徴とする請求項8又は9記載のクリーニング方法。
- 基板処理装置の処理室内のクリーニング方法であって、
水分を吸収する水分吸収材を有するクリーニング基板を高温状態で前記処理室内に搬入する搬入ステップと、
前記搬入されたクリーニング基板を冷却すると共に前記処理室を加熱する温度調節ステップと、
当該クリーニング基板を前記処理室内から搬出する搬出ステップとを有することを特徴とするクリーニング方法。 - 基板処理装置の処理室内のクリーニング方法であって、
防水膜に覆われた、水分を吸収する水分吸収材を有するクリーニング基板を前記処理室内に搬入する搬入ステップと、
前記搬入されたクリーニング基板の防水膜をエッチングするエッチングステップと、
当該クリーニング基板を冷却すると共に前記処理室を加熱する温度調節ステップと、
当該クリーニング基板を前記処理室内から搬出する搬出ステップとを有することを特徴とするクリーニング方法。 - 前記搬出されたクリーニング基板における水分吸収材に吸収された水分を除去する除去ステップを有することを特徴とする請求項11又は12記載のクリーニング方法。
- 基板を収容する処理室と、該処理室内に配置されて前記基板を載置する載置台とを備え、前記載置台の上面には複数のガス供給孔が開口している基板処理装置における前記処理室内のクリーニング方法であって、
前記処理室内の付着物を洗浄する洗浄剤を被包する袋と、該袋を担持し、複数の貫通孔が形成された基材とを有するクリーニング基板を前記処理室内に搬入して前記載置台に載置する載置ステップと、
当該クリーニング基板と前記載置台との間隙にガスを高圧供給する高圧供給ステップと、
当該クリーニング基板を前記処理室内から搬出する搬出ステップとを有することを特徴とするクリーニング方法。 - 前記洗浄剤を中和する中和剤を被包する袋と、該袋を担持し、複数の貫通孔が形成された基材とを有する他のクリーニング基板を前記処理室内に搬入して前記載置台に載置する他の載置ステップと、
当該クリーニング基板と前記載置台との間隙にガスを高圧供給する他の高圧供給ステップと、
当該クリーニング基板を前記処理室内から搬出する他の搬出ステップとを有することを特徴とする請求項14記載のクリーニング方法。 - 基板を収容する処理室と、該処理室内に配置されて前記基板を載置する載置台とを備え、前記載置台は内部に直流電源に接続された電極板を有する基板処理装置における前記処理室内のクリーニング方法であって、
前記処理室内の付着物を洗浄する洗浄剤を被包する袋と、該袋を担持する基材と、前記袋に被装された金属薄膜とを有するクリーニング基板を前記処理室内に搬入して前記載置台に載置する載置ステップと、
前記電極板に直流電圧を印加する印加ステップと、
当該クリーニング基板を前記処理室内から搬出する搬出ステップとを有することを特徴とするクリーニング方法。 - 基板処理装置の処理室内のクリーニング方法であって、
表面に前記処理室内の付着物を洗浄する揮発性の洗浄剤が塗布された基材と、該基材の表面を覆う樹脂膜とを有するクリーニング基板を前記処理室内に搬入する搬入ステップと、
前記処理室内にプラズマを発生させる発生ステップと、
当該クリーニング基板を前記処理室内から搬出する搬出ステップとを有することを特徴とするクリーニング方法。
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