JP2009239000A - 基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wを1枚ずつ薬液およびリンス液で処理する薬液処理部38およびリンス処理部40を連接して処理ユニット14a〜14cを構成し、1つの装置ベース上に複数の処理ユニット、基板搬送部22および乾燥ユニット16を設ける。処理ユニット14a〜14cにおいて基板Wを薬液処理部38で薬液処理した後にリンス処理部40でリンス処理する一連の処理を処理単位とし、1枚の基板に対し一連の処理を複数回行うときは、1つの処理ユニットから別の処理ユニットへ基板を順次搬送して、処理ユニットの設置数に対応する回数以内で適宜必要とする回数だけ処理単位を繰り返してから、基板を乾燥ユニット16へ搬送して乾燥処理する
【選択図】図1−A
Description
したがって、請求項1に係る発明の基板処理システムを使用して枚葉方式で基板の処理を行うときは、スループットを向上させることができる。また、複数の処理ユニットに対する基板の搬入および搬出をセンターロボットで行う、といった装置構成にはならないので、装置のメンテナンス性が向上する。
図1−Aおよび図1−Bは、この発明の実施形態の1例を示し、図1−Aは、基板処理システムの全体構成を示す概略平面図であって要部を横断面で模式的に表した図であり、図1−Bは、その処理システムを正面から見た概略図であって要部を縦断面で模式的に表した図である。
基板移載部26の基板移載ロボット24により、カセット載置台10上に載置されたカセットCから処理前の基板Wが1枚ずつ取り出され、基板搬送部22の、基板移載部26と対向する位置に待機している基板搬送ロボット20へ基板Wが引き渡される。基板搬送ロボット20は、基板Wを受け取ると、複数の処理ユニット14a〜14cのうち薬液処理部38での処理が行われていないいずれかの処理ユニットの前まで移動し、薬液処理部38へ基板Wを搬入する。ハンド部が開放された基板搬送ロボット20は、複数の処理ユニット14a〜14cのうち薬液処理部38での薬液処理が終了したいずれかの処理ユニットの前まで移動し、薬液処理部38から薬液処理後の基板Wを搬出して、隣接するリンス処理部40へ基板Wを搬入する。あるいは、ハンド部が開放された状態の基板搬送ロボット20は、複数の処理ユニット14a〜14cのうちリンス処理部40でのリンス処理が終了したいずれかの処理ユニットの前まで移動し、リンス処理部38からリンス処理後の基板Wを搬出した後、乾燥ユニット16の前まで移動し、ホットプレート44へ基板Wを搬入する。以上のような基板搬送ロボット20の動作は、図示しない制御装置により統括的に管理・制御される。
図2−A〜図2−Cに示した処理システムでは、薬液処理およびリンス処理が終了した基板Wは、基板搬送部22の基板搬送ロボット20によって処理ユニット14a〜14cのリンス処理部40から搬出され、基板移し替え部56と対向する位置まで搬送される。そして、基板Wは、基板移し替えロボット54により、基板搬送ロボット20から取り出されて、基板移し替え部56と対向する位置に待機する基板返送部48の基板搬送ロボット46へ引き渡される。基板Wを受け取った基板搬送ロボット46は、複数の乾燥ユニット52a〜52bのうち基板が搬入されていない(空いている)適当な乾燥ユニットの前まで移動し、乾燥ユニット52a〜52bのホットプレート50へ基板Wを搬入する。乾燥ユニット52a〜52cへ搬入された基板Wは、ホットプレート50で加熱されて乾燥処理される。乾燥処理が終了した処理済みの基板Wは、基板返送部48の基板搬送ロボット46によって搬出され、基板移載部26と対向する位置まで搬送される。そして、処理済みの基板Wは、基板移載ロボット24により基板搬送ロボット46から取り出されて、カセット載置台10上に載置された空の(もしくは空きのある)カセットC内へ挿入され収容される。
12 インデクサ部(ローダ・アンローダ部)
14a〜14c 処理ユニット
16、52a〜52c 乾燥ユニット
18 基板処理部
20、46 基板搬送ロボット
22 基板搬送部
24、32、64、70 基板移載ロボット
26、66、68 基板移載部
28、58 ローラコンベア
30、48、60 基板返送部
34 処理済み基板移載部
38 薬液処理部
40 リンス処理部
42a〜42c 処理液供給ユニット
44、50 ホットプレート
54 基板移し替えロボット
56 基板移し替え部
62 ヒータ
W 基板
C カセット
Claims (8)
- 基板を1枚ずつ順次搬送しつつ薬液で処理した後にリンス液で処理し乾燥させる基板処理システムであって、
基板を1枚ずつ薬液で処理する1つの枚葉薬液処理部と、基板を1枚ずつリンス液で処理する1つの枚葉リンス処理部と、を連接して処理ユニットを構成し、その処理ユニットを複数、1つの装置ベース上に並列させて配設し、前記装置ベース上に、前記各処理ユニットにおいてそれぞれ前記枚葉薬液処理部から前記枚葉リンス処理部へ基板を搬送する基板搬送手段、および、基板を乾燥処理する乾燥ユニットを設け、
前記各処理ユニットにおいてそれぞれ前記枚葉薬液処理部で基板を薬液処理した後に前記枚葉リンス処理部で基板をリンス処理する一連の処理を処理単位として、1枚の基板に対し前記一連の処理を複数回行うときは、1つの処理ユニットから別の処理ユニットへ当該基板を順次搬送して、前記処理ユニットの設置数に対応する回数以内で適宜必要とする回数だけ前記処理単位を繰り返してから、当該基板を前記乾燥ユニットへ搬送して乾燥処理することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項1に記載の基板処理システムにおいて、
前記枚葉薬液処理部は、基板を静止した状態で薬液に浸漬させる処理槽を有し、前記枚葉リンス処理部は、基板を静止した状態でリンス液に浸漬させる処理槽を有することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項1または請求項2に記載の基板処理システムにおいて、
前記複数の処理ユニットのうち最後尾に位置する処理ユニットに連接して共通の乾燥ユニットが配設されたことを特徴とする基板処理システム。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、
前記基板搬送手段は、並列された前記複数の処理ユニットで共通であることを特徴とする基板処理システム。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、
並列された前記複数の処理ユニットの下方に、処理済みの基板を返送する返送手段の搬送路が設けられたことを特徴とする基板処理システム。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、
前記各処理ユニットの上方に、前記枚葉薬液処理部および前記枚葉リンス処理部へ薬液およびリンス液を送給する処理液供給ユニットがそれぞれ積層して配設されたことを特徴とする基板処理システム。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、
並列された前記複数の処理ユニットからなる処理ユニット群が上下方向に積層して配設されたことを特徴とする基板処理システム。 - 請求項7に記載の基板処理システムにおいて、
上下方向に積層された前記処理ユニット群のうち最上に位置する処理ユニット群の、各処理ユニットの上方に、前記枚葉薬液処理部および前記枚葉リンス処理部へ薬液およびリンス液を送給する共通の処理液供給ユニットがそれぞれ積層して配設されたことを特徴とする基板処理システム。
Priority Applications (1)
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JP2008082850A JP2009239000A (ja) | 2008-03-27 | 2008-03-27 | 基板処理システム |
Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011045920A1 (ja) | 2009-10-16 | 2011-04-21 | 日本電気株式会社 | 色彩解析装置、色彩解析方法、及び色彩解析プログラム |
JP2012245477A (ja) * | 2011-05-30 | 2012-12-13 | Tanico Corp | ロボットを用いた容器洗浄システム |
CN111223794A (zh) * | 2018-11-27 | 2020-06-02 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理装置和基板处理方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10177979A (ja) * | 1996-12-18 | 1998-06-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2005303234A (ja) * | 2004-04-16 | 2005-10-27 | Seiko Epson Corp | 半導体製造装置 |
-
2008
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10177979A (ja) * | 1996-12-18 | 1998-06-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2005303234A (ja) * | 2004-04-16 | 2005-10-27 | Seiko Epson Corp | 半導体製造装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011045920A1 (ja) | 2009-10-16 | 2011-04-21 | 日本電気株式会社 | 色彩解析装置、色彩解析方法、及び色彩解析プログラム |
JP2012245477A (ja) * | 2011-05-30 | 2012-12-13 | Tanico Corp | ロボットを用いた容器洗浄システム |
CN111223794A (zh) * | 2018-11-27 | 2020-06-02 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理装置和基板处理方法 |
CN111223794B (zh) * | 2018-11-27 | 2022-04-01 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理装置和基板处理方法 |
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