JP2009237334A - 露光装置及び露光方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光装置は、所定幅を有するロールフィルム状の被露光体Tを露光ステージ50上に送り込んで、マスクの回路パターンを被露光体に露光する露光装置である。被露光体を押さえる押さえ板42と、被露光体に形成された第1アライメントマークと回路パターンマスクに形成された第2アライメントマークとを観察するための画像認識部54と、押さえ板と画像認識部とを被露光体の所定幅方向に同時に移動させる第1移動部43とを備える。
【選択図】図4
Description
この構成により、第1移動部が押さえ板と画像認識部とを同時に移動させることができるため、被露光体の全面を吸着させてからアライメントに要する時間を短縮することができる。また、別々の移動部を設ける必要がないので製造コストを低減することができる。
第1アライメントマークと第2アライメントマークとを覆うような長さの押さえ板を使用するため、しっかりと被露光体の端部を押さえ付けることができる。さらに、画像認識部は観察窓から第1及び第2アライメントマークを観察することができる。
特に被露光体の所定幅がほぼ一定であれば、押さえ板が短くてもしっかりと被露光体の端部を押さえ付けることができる。
そして、第1移動部は、押さえ板が被露光体に接するように被露光体と交差する方向に移動させる第2移動部を備える。
<露光装置の構成>
発明を実施するための形態を投影露光装置の場合を例にとって説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る投影露光装置100を示す概略図である。なお、本発明に係る投影露光装置100は、フィルム状テープ(以下テープという。)Tを搬送させ、そのテープTにフォトマスクMに描かれた回路パターンを露光させる。
また投影露光装置100は、テープTの所定箇所にアライメントマークを描画するアライメント描画装置30及び投影光学系20と露光ステージ50との間に配置されたアライメントカメラ40を有している。
図2は、本発明の実施形態に係るテープ搬送系60を示す概略斜視図である。
このテープ搬送系60は、テープTが巻回された供給リール80の中央のリール穴に装着して供給リール80を回転させる供給リール回転部61と、搬送されるテープTをガイドする供給側第1ガイドローラ62と、供給側第2ガイドローラ63とを備えている。
図3は、本発明の実施形態に係るアライメント描画装置30及びアライメントカメラ40を示す概略斜視図である。
アライメント描画装置30は、テープTの端面を観察する端面検出器31a,31bと、アライメントマーク用フォトマスク33a,33bと、紫外線光源35a,35b,35c,及び35dを有する。
図3に示すアライメントカメラ40は、撮像カメラ部41と押さえ板42とで構成され、アライメントカメラ可動部43及び押さえ板可動部44で移動可能な構造となっている。本実施形態ではアライメントカメラ40は4箇所に設置され、テープTの幅方向に対向して配置されている。アライメントカメラ40aとアライメントカメラ40bとは第1搬送ローラ64側に設置して、アライメントカメラ40cとアライメントカメラ40dとは第2搬送ローラ66側に設置している。アライメントカメラ可動部43及び押さえ板可動部44については後述する。
図4はアライメントカメラ40aとアライメントカメラ40bとを第1搬送ローラ64側から見た上面図である。なお図4はアライメントカメラ40の構成が分かるように撮像カメラ部41の内部構造も表示してある。以下はアライメントカメラ40aとアライメントカメラ40bとは同じ構成であるため代表してアライメントカメラ40aについて説明する。また、図示しないアライメントカメラ40c及びアライメントカメラ40dも同じ構造である。
Metal Oxide Semiconductor)などの撮像素子を用いる。
アライメントカメラ可動部43は、撮像カメラ部41と接合しており、内部にステッピングモータ43M及び駆動モータ45Mを備えている。ステッピングモータ43Mの代わりに位置決め制御が容易な駆動装置を使用しても良い。また駆動モータ45Mの代わりにエアシリンダなどの駆動装置を用いても良い。
次にアライメントカメラ40の動作について図6のフローチャートを用いて説明する。本実施形態ではアライメントカメラ40は前述のように、少なくとも2箇所設置されているが、全て同じタイミングで同じ動作をするため、代表してアライメントカメラ40aについて説明する。
図7は実施形態1のアライメントカメラ40の可動方式が異なる場合を示し、図4と同様に第1搬送ローラ64側から見た上面図である。その他の投影露光装置100の構成は実施形態1と同様であるため、アライメントカメラ40の可動方式のみについて説明する。なお、実施形態1と同様に、代表してアライメントカメラ40aについて説明する。
16 … フライアイレンズ、 18 … コンデンサレンズ
20 … 投影光学系
30 … アライメント描画装置
31 … 端面検出器、 33 … アライメントマーク用フォトマスク
35 … 紫外線光源、 40 … アライアメントカメラ
41 … 撮像カメラ部、
42 … 押さえ板、 42R … 屈曲部、 42W … 観察窓
43 … アライメントカメラ可動部
43L … レール、 43M … モータ
43ar、45ar … 矢印
44 … 押さえ板可動部
45 … 押さえ板支持部
45M … モータ
50 … 露光ステージ
51 … カメラレンズ
52 … 照明
53 … ハーフミラー
54 … 撮像部
55 … 吸着孔
56 … 排出口
60 … テープ搬送系
61 … 供給リール回転部
62 … 供給側第1ガイドローラ
63 … 供給側第2ガイドローラ、 63M … 第2ガイドローラモータ
64 … 第1搬送ローラ、 64a … 吸着孔、 64M … 搬送ローラモータ
66 … 第2搬送ローラ、 66a … 吸着孔
67 … 巻取側第1ガイドローラ、 68 … 巻取側第2ガイドローラ
69 … 巻取リール回転部
70 … アライメントカメラ回転部
71 … 中心軸
72 … 撮像カメラ支持部、 72a … 外筒、 72b … 内筒、 72M … モータ
80 … 供給リール、 81 … フランジ部
90 … 巻取リール
100 … 投影露光装置
D1 … 供給側弛緩吸収部、 D2 … 巻取側弛緩吸収部
M … フォトマスク
AM … アライアメントマーク
BM … クロムマーク
MM … マスクマーク
T … ロールフィルム状のテープ
HR … 水平面
AM1 … アライメントマークAMの反射光
MMI … マスクマークMMの入射光
Claims (7)
- 所定幅を有するロールフィルム状の被露光体を露光ステージ上に送り込んで、マスクの回路パターンを被露光体に露光する露光装置において、
前記被露光体を押さえる押さえ板と、
前記被露光体に形成された第1アライメントマークと前記回路パターンマスクに形成された第2アライメントマークとを観察するための画像認識部と、
前記押さえ板と前記画像認識部とを前記被露光体の所定幅方向に同時に移動させる第1移動部と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記押さえ板は、前記第1アライメントマークよりも前記所定幅方向の内側まで前記被露光体を押さえ、且つ前記押さえ板は前記第1アライメントマークと前記第2アライメントマークとを観察する観察窓を有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記押さえ板は、前記第1アライメントマークよりも前記所定幅方向の外側のみを押さえることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記第1移動部は、前記押さえ板と前記画像認識部とを前記被露光体の幅方向に移動させることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1移動部は、前記押さえ板が前記被露光体に接するように前記被露光体と交差する方向に移動させる第2移動部を備えることを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 前記第1移動部は、前記押さえ板と前記画像認識部とを前記被露光体の搬送方向を軸として回転させることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記画像認識部は、少なくとも2以上設けられていることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の露光装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011099563A1 (ja) * | 2010-02-12 | 2011-08-18 | 株式会社ニコン | 基板処理装置 |
KR20140107438A (ko) * | 2012-01-17 | 2014-09-04 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 가요성 기판의 로딩 방법 및 리소그래피 장치 |
KR20150129367A (ko) * | 2014-05-12 | 2015-11-20 | 주식회사 옵티레이 | 노광 장치 |
JP2016038575A (ja) * | 2014-08-05 | 2016-03-22 | ナノスクライブ ゲーエムベーハーNanoscribe GmbH | 構造を製作する方法 |
CN113204176A (zh) * | 2021-04-27 | 2021-08-03 | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 | 用于检测和调试设备成像光路的工装、检测***和方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120064460A1 (en) * | 2010-09-07 | 2012-03-15 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, object processing device, exposure apparatus, flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method |
CN102692831B (zh) * | 2012-05-28 | 2014-03-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 对位标识及在曝光工艺中采用该对位标识制作工件的方法 |
CN107608177B (zh) * | 2017-10-22 | 2024-01-02 | 长春工业大学 | 一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置及方法 |
CN112777381B (zh) * | 2020-12-21 | 2022-09-30 | 江苏迪盛智能科技有限公司 | 尾料识别方法、装置、电子设备和存储介质 |
CN112693947B (zh) * | 2020-12-21 | 2022-09-27 | 江苏迪盛智能科技有限公司 | 拉料偏差处理方法、装置、电子设备和存储介质 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002368378A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板クランプ装置 |
JP2003091069A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Ushio Inc | 蛇行修正機構を備えた帯状ワークの露光装置 |
JP2004028597A (ja) * | 2002-06-21 | 2004-01-29 | Ushio Inc | パターン検査装置 |
JP2005274670A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Ushio Inc | 帯状ワークの露光装置 |
JP2006017642A (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-19 | Ushio Inc | パターン検査装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4571354A (en) * | 1983-12-27 | 1986-02-18 | Rogers Corporation | Tape automated bonding of integrated circuits |
JP3049785B2 (ja) * | 1991-02-13 | 2000-06-05 | 松下電器産業株式会社 | バンプの整形方法 |
CN1932646B (zh) * | 2005-09-14 | 2011-11-30 | 东海商事株式会社 | 曝光装置 |
-
2008
- 2008-03-27 JP JP2008084251A patent/JP5117243B2/ja active Active
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002368378A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板クランプ装置 |
JP2003091069A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Ushio Inc | 蛇行修正機構を備えた帯状ワークの露光装置 |
JP2004028597A (ja) * | 2002-06-21 | 2004-01-29 | Ushio Inc | パターン検査装置 |
JP2005274670A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Ushio Inc | 帯状ワークの露光装置 |
JP2006017642A (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-19 | Ushio Inc | パターン検査装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011099563A1 (ja) * | 2010-02-12 | 2011-08-18 | 株式会社ニコン | 基板処理装置 |
TWI492326B (zh) * | 2010-02-12 | 2015-07-11 | 尼康股份有限公司 | Substrate processing device |
KR20140107438A (ko) * | 2012-01-17 | 2014-09-04 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 가요성 기판의 로딩 방법 및 리소그래피 장치 |
JP2015510261A (ja) * | 2012-01-17 | 2015-04-02 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 柔軟性基板を搬入する方法、デバイス製造方法、柔軟性基板を搬入するための装置、及びリソグラフィ装置 |
KR101643679B1 (ko) * | 2012-01-17 | 2016-07-28 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 가요성 기판의 로딩 방법 및 리소그래피 장치 |
KR20150129367A (ko) * | 2014-05-12 | 2015-11-20 | 주식회사 옵티레이 | 노광 장치 |
KR101600810B1 (ko) | 2014-05-12 | 2016-03-08 | 주식회사 옵티레이 | 노광 장치 |
JP2016038575A (ja) * | 2014-08-05 | 2016-03-22 | ナノスクライブ ゲーエムベーハーNanoscribe GmbH | 構造を製作する方法 |
US9798248B2 (en) | 2014-08-05 | 2017-10-24 | Nanoscribe Gmbh | Method for producing a structure |
CN113204176A (zh) * | 2021-04-27 | 2021-08-03 | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 | 用于检测和调试设备成像光路的工装、检测***和方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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