JP2009229249A

JP2009229249A - Driving unit, driving method of contact member, characteristic inspection device, workpiece supply device, and taping device

Info

Publication number: JP2009229249A
Application number: JP2008075130A
Authority: JP
Inventors: Tetsuo Sakai; 哲生酒井
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2008-03-24
Filing date: 2008-03-24
Publication date: 2009-10-08

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a driving unit that has a simple constitution, secures high-speed response of reciprocation operation of a contact member, moderates the impact when the contact member comes into contact with a workpiece, and generates small amount of noise, a driving method of the contact member using it, a workpiece supply device, and a taping device. <P>SOLUTION: This driving unit 10 includes a first actuator 11 for reciprocating the contact member 3 to be brought into contact with the outer peripheral surface of the workpiece 2 with respect to the workpiece 2 and moving the contact member 3 by a predetermined distance, and a second actuator 12 consisting of a piezoelectric actuator for moving the contact member 3 by a distance shorter than the first actuator 11. The first and second actuators 11 and 12 are interconnected in the driving direction in series. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、ワークの外表面に接触させるべき接触部材を進退移動させるための駆動ユニット、この駆動ユニットを用いた接触部材の駆動方法、特性検査装置、ワーク供給装置、およびテーピング装置に関する。 The present invention relates to a drive unit for moving a contact member to be brought into contact with the outer surface of a workpiece forward and backward, a method for driving a contact member using the drive unit, a characteristic inspection device, a workpiece supply device, and a taping device.

従来より、製造された電子部品などの良否判定を行う上で、電子部品にプローブを接触させて電気的特性を検査する方法およびそのための装置として、種々のものが提案されている。
例えば、積層コンデンサや積層インダクタなどのチップ型電子部品の特性を検査するような場合には、円板状のターンテーブルの周縁に沿ってチップ型電子部品を保持して搬送しながら、その外部電極にプローブを接触させることにより、各種の電気的特性の検査を行っている。 2. Description of the Related Art Conventionally, various methods have been proposed as a method and an apparatus for inspecting electrical characteristics by contacting a probe with an electronic component when determining the quality of a manufactured electronic component or the like.
For example, when inspecting the characteristics of a chip-type electronic component such as a multilayer capacitor or a multilayer inductor, while holding and transporting the chip-type electronic component along the periphery of a disk-shaped turntable, the external electrode Various electrical characteristics are inspected by bringing a probe into contact therewith.

ところで、近年は、生産性を向上させるため、このような特性検査の高速化が求められており、電子部品などのワークに対してプローブを進退駆動する際にも、その動作の高速応答性が要求されている。 By the way, in recent years, in order to improve productivity, speeding-up of such characteristic inspection has been demanded, and even when the probe is driven back and forth with respect to a workpiece such as an electronic component, the high-speed response of the operation is required. It is requested.

そこで、従来は、比較的大きな移動距離でプローブを進退させる第１の送り機構を設けるとともに、この第１の送り機構の上に、この第１の送り機構よりも小さな移動距離でかつ高速で進退する第２の送り機構を設け、この第２の送り機構に板ばねを介してプローブを取り付けた構成のものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
なお、この従来技術においては、第１の送り機構の駆動源としてモータが、第２の送り機構の駆動源としてソレノイドがそれぞれ使用されている。 Therefore, conventionally, a first feed mechanism for moving the probe back and forth at a relatively large moving distance is provided, and on the first feed mechanism, the probe is advanced and retracted at a high speed and at a moving distance smaller than that of the first feed mechanism. There has been proposed a configuration in which a second feed mechanism is provided and a probe is attached to the second feed mechanism via a leaf spring (see, for example, Patent Document 1).
In this prior art, a motor is used as a drive source for the first feed mechanism, and a solenoid is used as a drive source for the second feed mechanism.

また、他の従来技術としては、ベースにアームを揺動可能に設け、このアームにプローブを取り付ける一方、ベースとアームとの間にソレノイドおよび圧縮ばねをそれぞれ介在させ、ソレノイドでアームを駆動するとともに、ソレノイドの駆動力を圧縮ばねで緩和するようにしたものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。 As another conventional technique, an arm is swingably provided on a base, and a probe is attached to the arm, while a solenoid and a compression spring are interposed between the base and the arm, respectively, and the arm is driven by the solenoid. There has been proposed one in which the driving force of the solenoid is relaxed by a compression spring (see, for example, Patent Document 2).

特開平７−２１２１００号公報JP-A-7-212100 特開２００３−１９４８７６号公報JP 2003-194476 A

しかし、上記特許文献１に示されている装置においては、プローブを進退駆動するための第２の送り機構の駆動源としてソレノイドを用いているので、電子部品などのワークにプローブが接触する際の衝撃が大きく、そのため、ワークにダメージを与える恐れがある。 However, in the apparatus disclosed in Patent Document 1, a solenoid is used as a drive source of the second feed mechanism for driving the probe forward and backward, so that the probe is in contact with a workpiece such as an electronic component. The impact is large and may damage the workpiece.

すなわち、ソレノイドは、高速応答性に優れている反面、ソレノイドの吸引作用と、ソレノイドの進行方向端の規制作用の役目を果たすストッパ部材に対して、その相対間距離が短くなるほど磁力が大きくなって吸引力が増大することから、ソレノイドにより駆動されるプローブがワークに接触する際の衝撃が大きく、ワークにダメージを与える恐れがある。 In other words, the solenoid is excellent in high-speed response, but the magnetic force increases as the relative distance between the stopper member, which acts as a solenoid attracting action and a regulating action of the solenoid moving direction end, becomes shorter. Since the suction force increases, the impact of the probe driven by the solenoid when it contacts the workpiece is large, and the workpiece may be damaged.

また、上記特許文献２に示されている装置の場合、圧縮ばねのばね力を適切な大きさに設定することが難しい。すなわち、ばね力が小さいと特許文献１のものと同様、ソレノイドはストッパ部材との距離が短くなるほど磁力が大きくなるため、プローブがワークに接触する際の衝撃が大きくなる。逆にばね力が大きいと、プローブがワークに接触するまでに余分な時間がかかり過ぎて迅速な特性検査を行うことが難しくなる。 In the case of the device disclosed in Patent Document 2, it is difficult to set the spring force of the compression spring to an appropriate magnitude. That is, if the spring force is small, the magnetic force of the solenoid increases as the distance from the stopper member becomes shorter, as in the case of Patent Document 1. Therefore, the impact when the probe contacts the workpiece increases. On the other hand, if the spring force is large, it takes too much time for the probe to contact the workpiece, making it difficult to perform a quick characteristic inspection.

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、比較的簡単な構成で、接触部材の進退動作の高速応答性を確保することができるとともに、ワークにプローブ等の接触部材が接触する際の衝撃を確実に緩和することが可能な駆動ユニット、それを用いた接触部材の駆動方法、特性検査装置、ワーク供給装置、およびテーピング装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems. With a relatively simple configuration, the contact member can ensure high-speed response of advancing and retreating operation, and a contact member such as a probe is attached to the workpiece. It is an object of the present invention to provide a drive unit capable of reliably mitigating an impact at the time of contact, a contact member drive method using the drive unit, a characteristic inspection device, a workpiece supply device, and a taping device.

上記の目的を達成するために、本発明の駆動ユニットは、ワークの外表面に接触させるべき接触部材を前記ワークに対して進退移動させるための駆動ユニットであって、前記接触部材を所定距離だけ移動させる第１のアクチュエータと、前記接触部材を前記第１のアクチュエータよりも短い距離だけ移動させる、圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータと、を備え、前記第１および第２のアクチュエータが、駆動方向に直列に接続されていることを特徴としている。 In order to achieve the above object, a drive unit of the present invention is a drive unit for moving a contact member to be brought into contact with an outer surface of a workpiece forward and backward with respect to the workpiece, and the contact member is moved by a predetermined distance. A first actuator to be moved; and a second actuator made of a piezoelectric actuator for moving the contact member by a distance shorter than the first actuator, wherein the first and second actuators have a driving direction. It is characterized by being connected in series.

また、本発明の駆動ユニットは、ワークの外表面に接触させるべき接触部材を前記ワークに対して進退移動させるための駆動ユニットであって、前記接触部材を所定の変位速度で移動させる第１のアクチュエータと、前記接触部材を前記第１のアクチュエータよりも遅い変位速度で移動させる、圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータと、を備え、前記第１および第２のアクチュエータが、駆動方向に直列に接続されていることを特徴としている。 The drive unit of the present invention is a drive unit for moving a contact member to be brought into contact with the outer surface of the workpiece forward and backward with respect to the workpiece, and moves the contact member at a predetermined displacement speed. An actuator, and a second actuator made of a piezoelectric actuator that moves the contact member at a displacement rate slower than that of the first actuator, wherein the first and second actuators are connected in series in the driving direction. It is characterized by being.

また、本発明の駆動ユニットは、ワークの外表面に接触させるべき接触部材を前記ワークに対して進退移動させるための駆動ユニットであって、前記接触部材を所定の変位速度でかつ所定距離だけ移動させる第１アクチュエータと、前記接触部材を前記第１のアクチュエータよりも遅い変位速度でかつ短い距離だけ移動させる、圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータと、を備え、前記第１および第２のアクチュエータが、駆動方向に直列に接続されていることを特徴としている。 The drive unit of the present invention is a drive unit for moving a contact member to be brought into contact with the outer surface of the workpiece forward and backward with respect to the workpiece, and moves the contact member at a predetermined displacement speed and a predetermined distance. A first actuator to be moved, and a second actuator made of a piezoelectric actuator for moving the contact member at a displacement rate slower than the first actuator and a short distance, the first and second actuators being , And connected in series in the driving direction.

本発明の駆動ユニットは、第２のアクチュエータとして、圧電アクチュエータを用いているが、前記第１のアクチュエータにも、圧電アクチュエータを用いることが望ましい。 Although the drive unit of the present invention uses a piezoelectric actuator as the second actuator, it is desirable to use a piezoelectric actuator also for the first actuator.

また、前記第１および第２のアクチュエータの少なくとも一方は、複数のアクチュエータを駆動方向に直列接続して構成されていることが望ましい。 Preferably, at least one of the first and second actuators is configured by connecting a plurality of actuators in series in the driving direction.

また、前記接触部材は、前記第２のアクチュエータを介して保持されていることが望ましい。 The contact member is preferably held via the second actuator.

また、本発明の接触部材の駆動方法は、上述の本発明の駆動ユニットを用い、前記第２のアクチュエータの変位の終了タイミングを、前記第１のアクチュエータの変位の終了タイミングよりも遅くすることを特徴としている。 The contact member drive method of the present invention uses the drive unit of the present invention described above, and delays the end timing of displacement of the second actuator from the end timing of displacement of the first actuator. It is a feature.

また、第１および第２のアクチュエータとして、圧電アクチュエータを用い、前記第１のアクチュエータに印加する電圧よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧を小さくすることが望ましい。 Moreover, it is desirable to use piezoelectric actuators as the first and second actuators, and to make the voltage applied to the second actuator smaller than the voltage applied to the first actuator.

また、第１および第２のアクチュエータとして、圧電アクチュエータを用い、前記第１のアクチュエータに印加する電圧の増加速度よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧の増加速度を小さくすることが望ましい。 In addition, it is desirable that piezoelectric actuators are used as the first and second actuators, and the increase rate of the voltage applied to the second actuator is made smaller than the increase rate of the voltage applied to the first actuator.

また、第１および第２のアクチュエータとして、圧電アクチュエータを用い、前記第１のアクチュエータに印加する電圧よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧を小さくし、かつ、前記第１のアクチュエータに印加する電圧の増加速度よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧の増加速度を小さくすることが望ましい。 In addition, piezoelectric actuators are used as the first and second actuators, the voltage applied to the second actuator is made smaller than the voltage applied to the first actuator, and the voltage is applied to the first actuator. It is desirable to make the increase rate of the voltage applied to the second actuator smaller than the increase rate of the voltage to be applied.

また、前記第２のアクチュエータの変位が終了した後に、当該第２のアクチュエータに印加する電圧を微小変動させることが好ましい。 Further, it is preferable that the voltage applied to the second actuator is slightly changed after the displacement of the second actuator is completed.

また、本発明の特性検査装置は、上記本発明の駆動ユニットを用いたものであって、前記ワークは、外表面に外部電極が形成されたチップ型電子部品であり、前記接触部材は前記外部電極に接触する測定用端子であることを特徴としている。 The characteristic inspection apparatus according to the present invention uses the drive unit according to the present invention, wherein the workpiece is a chip-type electronic component having an external electrode formed on an outer surface, and the contact member is the external member. It is a measurement terminal that contacts the electrode.

また、本発明の特性検査装置においては、用いられている前記駆動ユニットを構成する第２のアクチュエータの変位が終了した後に、第２のアクチュエータに印加する電圧を微小変動させて、前記接触部材を微小駆動させるように構成されていることが望ましい。 In the characteristic inspection apparatus of the present invention, after the displacement of the second actuator constituting the drive unit used is completed, the voltage applied to the second actuator is slightly changed to change the contact member. It is desirable to be configured to be driven minutely.

また、本発明のワーク供給装置は、上記本発明の駆動ユニットを用いたものであって、前記接触部材は、整列状態で順次連続して供給される前記ワークのうち、先頭から２番目のワークに接触してその位置に一時的に保持するストッパとして構成されていることを特徴としている。 The workpiece supply device of the present invention uses the drive unit of the present invention, and the contact member is the second workpiece from the top of the workpieces that are successively supplied in an aligned state. It is characterized by being configured as a stopper that comes into contact with and is temporarily held at that position.

また、本発明のテーピング装置は、チップ型電子部品をワークとして所定の位置まで順次搬送する搬送機構を有し、この搬送機構で順次搬送されるワークの搬送経路の途中に、上記本発明の特性検査装置が設けられ、かつ、前記特性検査装置による検査後の搬送経路には、前記ワークをキャリアテープに順次収納するテープ収納部が設けられていることを特徴としている。 Further, the taping device of the present invention has a transport mechanism that sequentially transports the chip-type electronic component as a work to a predetermined position, and the characteristic of the present invention is placed in the middle of the transport path of the work sequentially transported by this transport mechanism. An inspection device is provided, and a tape storage unit for sequentially storing the workpieces on a carrier tape is provided in the transport path after the inspection by the characteristic inspection device.

また、本発明のテーピング装置は、チップ型電子部品をワークとする請求項１４に記載のワーク供給装置と、前記ワーク供給装置から供給されるワークを所定の位置まで順次搬送する搬送機構と、前記ワークを所定の位置でキャリアテープに順次収納するテープ収納部とを備えていることを特徴としている。 Moreover, the taping apparatus of this invention uses a chip | tip electronic component as a workpiece | work, The workpiece supply apparatus of Claim 14, The conveyance mechanism which conveys the workpiece | work supplied from the said workpiece supply apparatus sequentially to a predetermined position, And a tape storage section for sequentially storing the work on the carrier tape at a predetermined position.

本発明の駆動ユニットによれば、接触部材の駆動に必要な距離のうち、第１のアクチュエータによって大半の距離を移動させ、次に第２のアクチュエータによって残りの必要な短い距離を移動させることができるため、高速応答性を確保しつつ、接触部材がワークに接触する際の衝撃を確実に緩和することが可能になる。 According to the drive unit of the present invention, it is possible to move most of the distance necessary for driving the contact member by the first actuator, and then move the remaining necessary short distance by the second actuator. Therefore, it is possible to reliably reduce the impact when the contact member comes into contact with the workpiece while ensuring high-speed response.

また、本発明の他の駆動ユニットによれば、接触部材は、第１のアクチュエータによって高速で移動し、次に第２のアクチュエータによって比較的低速で移動するので、全体として、接触部材を高速で駆動することができるとともに、接触部材を低衝撃でワークに接触させることができる。その結果、高速応答性を確保しつつ、接触部材がワークに接触する際の衝撃を確実に緩和することが可能になる。 According to another drive unit of the present invention, the contact member moves at a high speed by the first actuator and then moves at a relatively low speed by the second actuator. While being able to drive, a contact member can be made to contact a workpiece | work with a low impact. As a result, it is possible to reliably reduce the impact when the contact member comes into contact with the workpiece while ensuring high-speed response.

また、本発明のさらに他の駆動ユニットによれば、接触部材は、第１のアクチュエータによって高速でかつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動し、次に第２のアクチュエータによって比較的低速でかつ残りの必要な短い距離を移動するので、接触部材を平均的に高速で駆動できるとともに、接触部材を低速度でワークに接触させることができる。このため、高速応答性を確保しつつ、接触部材がワークに接触する際の衝撃を確実に緩和することができる。 Further, according to still another drive unit of the present invention, the contact member moves at a high speed by the first actuator at most of the necessary moving distance, and then at a relatively low speed by the second actuator. In addition, since the remaining necessary short distance is moved, the contact member can be driven at an average high speed, and the contact member can be brought into contact with the workpiece at a low speed. For this reason, the impact when the contact member comes into contact with the workpiece can be reliably mitigated while ensuring high-speed response.

また、第１、第２のアクチュエータの両方を圧電アクチュエータで構成するようにした場合、簡単な構成で、始動時は急加速制御、ワークへの接触時には低速制御というように、複雑な制御動作パターンを設定することが可能になり、接触部材の制御動作の設計の自由度を向上させることができる。また、圧電により駆動端を制御できるため、ストッパ部材を設ける必要がなく、騒音の発生を抑制することができる。 In addition, when both the first and second actuators are configured by piezoelectric actuators, a complicated control operation pattern such as rapid acceleration control at start-up and low-speed control at the time of contact with the workpiece is simple. Can be set, and the degree of freedom in designing the control operation of the contact member can be improved. In addition, since the driving end can be controlled by piezoelectricity, it is not necessary to provide a stopper member, and generation of noise can be suppressed.

また、第１、第２の各アクチュエータの少なくとも一方を複数のアクチュエータを直列接続して構成するようにした場合、接触部材を駆動する際の速度制御が容易になる。 In addition, when at least one of the first and second actuators is configured by connecting a plurality of actuators in series, speed control when driving the contact member is facilitated.

また、接触部材を、第２のアクチュエータを介して保持するようにした場合、接触部材と第２のアクチュエータとの間には第１のアクチュエータなどの重量物が介在しないので、第２のアクチュエータで接触部材を駆動する際の慣性力を小さくすることが可能になり、接触部材がワークに接触する際の衝撃を小さくすることができる。 When the contact member is held via the second actuator, there is no heavy object such as the first actuator between the contact member and the second actuator. It is possible to reduce the inertial force when driving the contact member, and it is possible to reduce the impact when the contact member contacts the workpiece.

また、請求項７〜１０のように、第１、第２の各アクチュエータに印加する電圧の大きさや、電圧の増加速度などを制御することにより、接触部材がワークに接触する際の衝撃を小さくすることができる。特に、請求項１０記載の発明のように、第１のアクチュエータに対する印加電圧を大きく、かつ、印加電圧の増加速度を大きく設定すれば、接触部材を高速で、かつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動させることができ、また、第２のアクチュエータに対する印加電圧を小さく、かつ、印加電圧の増加速度を小さく設定すれば、接触部材を比較的低速で、かつ残りの必要な短い距離を移動させることができるので、ワークに対して接触部材をより低衝撃で接触させることができる。 In addition, as described in claims 7 to 10, by controlling the magnitude of the voltage applied to each of the first and second actuators, the increasing speed of the voltage, etc., the impact when the contact member comes into contact with the workpiece is reduced. can do. In particular, if the applied voltage to the first actuator is set large and the increasing speed of the applied voltage is set large as in the invention described in claim 10, the contact member can be moved at high speed and most of the required moving distance. If the applied voltage to the second actuator is small and the increase rate of the applied voltage is set small, the contact member can be moved relatively slowly and the remaining necessary short distance can be reduced. Since it can be moved, the contact member can be brought into contact with the workpiece with lower impact.

また、第２のアクチュエータの変位が終了した後に、当該第２のアクチュエータに印加する電圧を微小変動させるようにした場合、ワークに対して接触部材を一層確実に接触させることが可能になる。 Further, when the voltage applied to the second actuator is slightly changed after the displacement of the second actuator is finished, the contact member can be brought into contact with the workpiece more reliably.

また、ワークが、外表面に外部電極が形成されたチップ型電子部品であり、接触部材は外部電極に接触する測定用端子である構成の場合、駆動ユニットにより測定用端子である接触部材を駆動してチップ型電子部品の外部電極に接触させることが可能になるため、特性検査の高速化が可能になり、検査効率が高まるとともに、チップ型電子部品に与えるダメージを抑制することが可能になる。また、検査時の騒音発生も抑制することができる。 In addition, when the workpiece is a chip-type electronic component having an external electrode formed on the outer surface and the contact member is a measurement terminal that contacts the external electrode, the drive unit drives the contact member that is the measurement terminal. Since it is possible to contact the external electrode of the chip-type electronic component, it is possible to speed up the characteristic inspection, increase the inspection efficiency, and suppress damage to the chip-type electronic component. . Moreover, noise generation at the time of inspection can be suppressed.

本発明の特性検査装置において、駆動ユニットを構成する第２のアクチュエータの変位が終了した後に、第２のアクチュエータに印加する電圧を微小変動させて、測定用端子である接触部材を微小駆動させるようにした場合、ワークに対して測定用端子を一層確実に接触させることが可能になり、特性検査などの信頼性を向上させることができる。 In the characteristic inspection apparatus of the present invention, after the displacement of the second actuator constituting the drive unit is completed, the voltage applied to the second actuator is minutely changed to finely drive the contact member that is a measurement terminal. In this case, the measurement terminal can be more reliably brought into contact with the workpiece, and reliability such as characteristic inspection can be improved.

また、本発明の駆動ユニットをワーク供給装置に用い、接触部材を、ワーク供給装置の、整列状態で順次連続して供給されるワークのうち、先頭から２番目のワークに接触して、該２番目のワークをその位置に一時的に保持するストッパとして用いることにより、隣り合う各ワークを所定距離だけ離して送出する、いわゆるインデックス送りが可能になるとともに、その際にワークに与えるダメージを抑制することができる。 Further, the drive unit of the present invention is used in a workpiece supply device, and the contact member comes into contact with the second workpiece from the top among the workpieces that are successively supplied in the aligned state of the workpiece supply device. By using the second workpiece as a stopper to temporarily hold the workpiece in that position, so-called index feeding can be performed in which adjacent workpieces are sent apart by a predetermined distance, and damage to the workpiece at that time is suppressed. be able to.

また、本発明のテーピング装置は、チップ型電子部品をワークとして搬送する搬送機構を有し、搬送経路の途中に、本発明の特性検査装置を設け、かつ、特性検査装置による検査後の搬送経路にワークをキャリアテープに収納するテープ収納部を設けた構成としているので、搬送経路の途中に設けた請求項１２記載の特性検査装置によって特性検査を実施するとともに、検査後のワークをテープ収納部においてキャリアテープに収納することが可能になる。したがって、一連の流れの中で、ワークに余分な損傷を与えることなく効率よく製品検査を行った後、パッケージ化することが可能になり、生産性を向上させることができる。 Further, the taping device of the present invention has a transport mechanism for transporting the chip-type electronic component as a workpiece, the property inspection device of the present invention is provided in the middle of the transport route, and the transport route after inspection by the property inspection device Since the tape storage unit for storing the workpiece in the carrier tape is provided, the characteristic inspection is performed by the characteristic inspection device according to claim 12 provided in the middle of the transport path, and the workpiece after the inspection is stored in the tape storage unit. It becomes possible to store in a carrier tape. Therefore, it is possible to efficiently package the product after inspecting the product efficiently without causing extra damage to the workpiece in a series of flows, thereby improving productivity.

また、本発明のテーピング装置は、本発明の駆動ユニットを用いた請求項１４のワーク供給装置と、該ワーク供給装置から供給されるワーク（チップ型電子部品）を所定の位置まで順次搬送する搬送機構と、チップ型電子部品を所定の位置でキャリアテープに順次収納するテープ収納部とを備えているので、高速応答性を確保しつつ、接触部材がチップ型電子部品に接触する際の衝撃を緩和しつつ、効率よくチップ型電子部品をキャリアテープに収納することができるようになる。 Moreover, the taping device of the present invention includes the workpiece supply device according to claim 14 using the drive unit of the present invention and conveyance for sequentially conveying the workpiece (chip-type electronic component) supplied from the workpiece supply device to a predetermined position. Since it has a mechanism and a tape storage part that sequentially stores chip-type electronic components on a carrier tape at a predetermined position, it ensures impact at the time when the contact member contacts the chip-type electronic component while ensuring high-speed response. The chip-type electronic component can be efficiently stored on the carrier tape while relaxing.

以下、本発明の実施例を示して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。 Hereinafter, examples of the present invention will be shown and the features thereof will be described in more detail.

図１は本発明の実施例１にかかる特性検査装置の構成図である。
この実施例１の特性検査装置１は、チップ型電子部品（ワーク）２の外表面に形成された外部電極２ａに一対のプローブ（接触部材）３を接触させて各種電気的特性を検査するために用いられるものである。 FIG. 1 is a configuration diagram of a characteristic inspection apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
The characteristic inspection apparatus 1 of the first embodiment inspects various electrical characteristics by bringing a pair of probes (contact members) 3 into contact with external electrodes 2a formed on the outer surface of a chip-type electronic component (workpiece) 2. It is used for.

すなわち、この特性検査装置１は、例えば円盤状のターンテーブル５の外周部に吸着された状態で搬送されるワーク２が、所定の検査位置にまで搬送された時点で支持されることになるワーク支持台６を備えている。そして、ワーク支持台６の上には、ワークガイド用の上蓋７とワーク位置決め用のガイド部材８とが設けられる一方、ワーク支持台６の下方にはプローブ３をワーク２に対して進退移動させる駆動ユニット１０が設けられている。 That is, the characteristic inspection apparatus 1 is a workpiece to be supported when the workpiece 2 conveyed while being attracted to the outer periphery of the disk-shaped turntable 5 is conveyed to a predetermined inspection position. A support base 6 is provided. A work guide upper lid 7 and a work positioning guide member 8 are provided on the work support base 6, while the probe 3 is moved forward and backward relative to the work 2 below the work support base 6. A drive unit 10 is provided.

この駆動ユニット１０は、プローブ３を駆動する第１、第２のアクチュエータ１１，１２を有し、これら第１、第２のアクチュエータ１１，１２が駆動方向に直列に接続されて構成されている。 The drive unit 10 includes first and second actuators 11 and 12 that drive the probe 3, and the first and second actuators 11 and 12 are connected in series in the drive direction.

そして、第２のアクチュエータ１２の上端面には、衝撃緩和用のばね１６を介して一対のプローブ３が取り付けられ、各プローブ３は、上記のワーク支持台６のワーク位置決め箇所において上下に貫通して設けられた一対の貫通孔１７内にワーク２の外部電極２ａを望むように挿入されている。また、各プローブ３は、ワーク２の電気的特性を計測する計測器１８に電気的に接続されている。また、各アクチュエータ１１，１２には所定の電圧を印加するための駆動電源１４，１５が接続されている。 A pair of probes 3 is attached to the upper end surface of the second actuator 12 via an impact relaxation spring 16, and each probe 3 penetrates up and down at the work positioning position of the work support 6. The external electrode 2a of the workpiece 2 is inserted into the pair of through holes 17 provided as desired. Each probe 3 is electrically connected to a measuring instrument 18 that measures the electrical characteristics of the workpiece 2. The actuators 11 and 12 are connected to drive power supplies 14 and 15 for applying a predetermined voltage.

上記の第１、第２のアクチュエータ１１，１２は、この実施例１の場合、ともにピエゾ素子を有する圧電アクチュエータからなる。すなわち、この圧電アクチュエータは、例えば図２（ａ）、（ｂ）に示すように、ピエゾ素子２１が可撓性のフレーム２２内に保持されており、ピエゾ素子２１に対して所定の電圧が印加されることによりピエゾ素子２１が伸長し、これに伴ってフレーム２２が図中二点鎖線に示すように変形することにより、ピエゾ素子２１の変形量が増大される構成となっている。 In the case of the first embodiment, the first and second actuators 11 and 12 are both piezoelectric actuators having piezoelectric elements. That is, in this piezoelectric actuator, for example, as shown in FIGS. 2A and 2B, the piezo element 21 is held in a flexible frame 22, and a predetermined voltage is applied to the piezo element 21. As a result, the piezo element 21 is extended, and the frame 22 is deformed as indicated by a two-dot chain line in the drawing, whereby the deformation amount of the piezo element 21 is increased.

そして、後述するように、各駆動電源１４，１５から第１、第２のアクチュエータ１１，１２にそれぞれ印加される電圧を制御することにより、第１のアクチュエータ１１は、プローブ３を高速で、かつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動させ、また、第２のアクチュエータ１２は、プローブ３を比較的低速で、かつ残りの必要な短い距離だけを移動させることができるように構成されている。 Then, as will be described later, by controlling the voltages applied to the first and second actuators 11 and 12 from the drive power supplies 14 and 15, respectively, the first actuator 11 causes the probe 3 to move at high speed and The majority of the required travel distance is moved, and the second actuator 12 is configured to be able to move the probe 3 at a relatively low speed and only the remaining required short distance. Yes.

なお、図１において、また、この特性検査装置１は、各駆動電源１４，１５の電圧印加タイミングなどを制御するコントローラ２３、駆動ユニット１０で駆動されるプローブ３の移動の上下限を検出する上下一対のリミットスイッチ２４を備えている。 In FIG. 1, the characteristic inspection apparatus 1 also includes a controller 23 that controls voltage application timings of the drive power supplies 14 and 15, and an upper and lower that detects the upper and lower limits of the movement of the probe 3 driven by the drive unit 10. A pair of limit switches 24 are provided.

次に、上記構成を有する特性検査装置１を用いて、チップ型電子部品であるワーク２の電気的特性を検査する場合の動作について説明する。 Next, the operation in the case of inspecting the electrical characteristics of the workpiece 2 which is a chip-type electronic component using the characteristic inspection apparatus 1 having the above configuration will be described.

ターンテーブル５の外周部に吸着された状態で搬送されるワーク２が特性検査装置１の所定の検査位置に到着すると、コントローラ２３によるタイミング制御により、各駆動電源１４，１５から第１、第２のアクチュエータ１１，１２に対して、例えば図３（ａ），（ｂ）に示すような波形の電圧が印加される。すなわち、まず、第１のアクチュエータ１１に対しては、図３（ａ）に示すように、時刻ｔ１〜ｔ３に示す期間にわたって所定の電圧Ｖ１が印加される。また、第２のアクチュエータ１２に対しては、図３（ｂ）に示すように、時刻ｔ２〜ｔ３に示す期間にわたって所定の電圧Ｖ２（＜Ｖ１）が印加される。 When the workpiece 2 conveyed while being attracted to the outer periphery of the turntable 5 arrives at a predetermined inspection position of the characteristic inspection apparatus 1, the controller 23 controls the timing from the drive power sources 14, 15 to the first and second drive power sources 14, 15, respectively. For example, a voltage having a waveform as shown in FIGS. 3A and 3B is applied to the actuators 11 and 12. That is, first, as shown in FIG. 3A, a predetermined voltage V1 is applied to the first actuator 11 over a period of time t1 to t3. Further, as shown in FIG. 3B, a predetermined voltage V2 (<V1) is applied to the second actuator 12 over a period of time indicated by times t2 to t3.

ここで、第１、第２のアクチュエータ１１，１２に対する印加電圧の大きさと印加タイミングとを比較すると、第１のアクチュエータ１１の印加電圧Ｖ１は大きく、かつ印加タイミングもｔ１と早いので、図３（ｃ）に示すように、第１のアクチュエータ１１は最初の段階で高速に変位した後、時刻ｔｅ１で変位が終了する。一方、第２のアクチュエータ１２の印加電圧Ｖ２はＶ１より小さく、かつ印加タイミングもｔ２と遅いので、第２のアクチュエータ１２は、
第１のアクチュエータ１１の変位が終了した後、低速度で変位を開始し（時刻ｔ２）、時刻ｔｅ２で変位が終了する。 Here, comparing the magnitude of the applied voltage to the first and second actuators 11 and 12 with the application timing, the applied voltage V1 of the first actuator 11 is large and the application timing is as early as t1, so FIG. As shown in c), after the first actuator 11 is displaced at a high speed in the first stage, the displacement is completed at time te1. On the other hand, since the applied voltage V2 of the second actuator 12 is smaller than V1 and the application timing is as late as t2, the second actuator 12 is
After the displacement of the first actuator 11 ends, the displacement starts at a low speed (time t2), and the displacement ends at time te2.

このため、プローブ３は、第１のアクチュエータ１１によって高速で、かつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動し、次に第２のアクチュエータ１２によって比較的低速で、かつ残りの必要な短い距離だけを移動する。これにより、プローブ３を、大半の距離を高速で移動させることができるとともに、ワーク２に対しては低速で接触させることが可能になる。したがって、高速応答性を確保しつつ、プローブ３がワーク２に接触する際の衝撃を確実に緩和することができる。しかも、第１のアクチュエータに圧電アクチュエータを用いた場合は、ソレノイドの動きを規制するストッパ部材を設ける必要もないので、騒音発生を抑制することができる。 For this reason, the probe 3 is moved at high speed by the first actuator 11 and most of the required moving distance, and then at a relatively low speed by the second actuator 12 and the remaining necessary short distance. Move only the distance. As a result, the probe 3 can be moved most of the distance at a high speed and can be brought into contact with the workpiece 2 at a low speed. Therefore, the impact when the probe 3 contacts the workpiece 2 can be reliably mitigated while ensuring high-speed response. In addition, when a piezoelectric actuator is used as the first actuator, it is not necessary to provide a stopper member that restricts the movement of the solenoid, so that noise generation can be suppressed.

そして、プローブ３がワーク２の外部電極２ａに接触すると、計測器１８によってワーク２の電気的特性が計測される。また、各駆動電源１４，１５から第１、第２のアクチュエータ１１，１２への電圧印加が停止されると、両アクチュエータ１１，１２が収縮し、これによってプローブ３はワーク２から離間される。 When the probe 3 comes into contact with the external electrode 2 a of the work 2, the electrical characteristics of the work 2 are measured by the measuring instrument 18. Further, when the voltage application from the drive power supplies 14 and 15 to the first and second actuators 11 and 12 is stopped, the actuators 11 and 12 contract, thereby separating the probe 3 from the workpiece 2.

上記の説明では、各駆動電源１４，１５から第１、第２のアクチュエータ１１，１２に対して、図３（ａ），（ｂ）に示すような波形の電圧が印加されるようにしているが、これに限らず、例えば図４あるいは図５に示すような波形の電圧を印加するようにすることもできる。 In the above description, voltages having waveforms as shown in FIGS. 3A and 3B are applied from the drive power supplies 14 and 15 to the first and second actuators 11 and 12, respectively. However, the present invention is not limited to this, and for example, a voltage having a waveform as shown in FIG. 4 or 5 may be applied.

すなわち、まず、図４に示す例では、第１のアクチュエータ１１に対しては、同図（ａ）に示すように、時刻ｔ１〜ｔ２に示す期間にわたってｋ１の増加速度をもつ電圧が印加され、その後の時刻ｔ２〜ｔ３の期間では一定レベルの電圧が印加される。また、第２のアクチュエータ１２に対しては、同図（ｂ）に示すように、時刻ｔ２〜ｔ３に示す期間にわたってｋ２（＜ｋ１）の増加速度をもつ電圧が印加される。 That is, first, in the example shown in FIG. 4, a voltage having an increasing rate of k1 is applied to the first actuator 11 over the period shown from time t1 to t2, as shown in FIG. A certain level of voltage is applied in the subsequent period from time t2 to t3. In addition, as shown in FIG. 2B, a voltage having an increasing speed of k2 (<k1) is applied to the second actuator 12 over the period of time t2 to t3.

ここで、第１、第２のアクチュエータ１１，１２に対する印加電圧の増加速度と印加タイミングとを比較すると、第１のアクチュエータ１１の印加電圧の勾配ｋ１は大きく、かつ電圧印加タイミングもｔ１と早いので、図４（ｃ）に示すように、第１のアクチュエータ１１は最初の段階で高速に変位した後、時刻ｔ２で変位が終了する。一方、第２のアクチュエータ１２の印加電圧の増加勾配ｋ２はｋ１より小さく、かつ電圧印加タイミングもｔ２と遅いので、第２のアクチュエータ１２は、第１のアクチュエータ１１の変位終了後に低速度で変位を開始し（時刻ｔ２）、時刻ｔ３で変位が終了する。その結果、プローブ３は、第１のアクチュエータ１１によって高速で、かつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動し、次に第２のアクチュエータ１２によって比較的低速で、かつ残りの必要な短い距離だけを移動する。したがって、図３に示した場合と同様に、プローブ３は平均的に高速移動するとともに、ワーク２に対しては低速で接触するのでワーク２に接触する際の衝撃が緩和される。 Here, when the increase rate of the applied voltage to the first and second actuators 11 and 12 is compared with the application timing, the gradient k1 of the applied voltage of the first actuator 11 is large and the voltage application timing is as early as t1. As shown in FIG. 4C, after the first actuator 11 is displaced at a high speed in the first stage, the displacement is completed at time t2. On the other hand, the increase gradient k2 of the applied voltage of the second actuator 12 is smaller than k1 and the voltage application timing is as late as t2, so that the second actuator 12 is displaced at a low speed after the displacement of the first actuator 11 is completed. Start (time t2), and the displacement ends at time t3. As a result, the probe 3 is moved at high speed by the first actuator 11 and most of the required moving distance, and then at a relatively low speed by the second actuator 12 and the remaining required short. Move only the distance. Therefore, as in the case shown in FIG. 3, the probe 3 moves on the average at a high speed and contacts the work 2 at a low speed, so that the impact when contacting the work 2 is reduced.

また、図５に示す例では、図３に示した場合と同様な電圧印加波形において、第２のアクチュエータ１２の変位が終了してプローブ３がワーク２の外部電極２ａに接触した時点（図５の時刻ｔｅ２）の後、駆動電源１４によって第２のアクチュエータ１２に加える印加電圧を一定期間Ｔｂにわたって微小変動させ、その後に特性検査を実施するようにしている。 In the example shown in FIG. 5, when the displacement of the second actuator 12 is completed and the probe 3 comes into contact with the external electrode 2 a of the workpiece 2 in the same voltage application waveform as that shown in FIG. 3 (FIG. 5). After the time te2), the applied voltage applied to the second actuator 12 by the drive power supply 14 is slightly changed over a certain period Tb, and then the characteristic inspection is performed.

このように、プローブ３がワーク２に接触した後、第２のアクチュエータ１２に印加する電圧を一定期間Ｔｂにわたって微小変動させると、プローブ３も微小振動するので、ワーク２に対してプローブ３を一層確実に接触させることができ、その結果、ワーク２の特性検査精度を高めることができる。 As described above, when the voltage applied to the second actuator 12 is slightly changed over a certain period Tb after the probe 3 comes into contact with the workpiece 2, the probe 3 also vibrates slightly. The contact can be ensured, and as a result, the characteristic inspection accuracy of the workpiece 2 can be increased.

図６は本発明の実施例２にかかる特性検査装置の構成図であり、図１および図２に示した実施例１と対応もしくは相当する構成部分には同一の符号を付している。 FIG. 6 is a block diagram of a characteristic inspection apparatus according to Embodiment 2 of the present invention. Components corresponding to or corresponding to those of Embodiment 1 shown in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals.

上記の実施例１では、駆動ユニット１０を構成する第１、第２のアクチュエータ１１，１２は、ともにピエゾ素子を有する圧電アクチュエータから構成されているのに対して、この実施例２では、プローブ３が取り付けられた第２のアクチュエータ１２は、実施例１の場合と同様に圧電アクチュエータからなるが、第１のアクチュエータ１１は、実施例１の場合と異なり、モータ３２を駆動源として構成されている。 In the first embodiment, the first and second actuators 11 and 12 constituting the drive unit 10 are both composed of piezoelectric actuators having piezoelectric elements, whereas in the second embodiment, the probe 3 The second actuator 12 to which is attached is composed of a piezoelectric actuator as in the case of the first embodiment. However, unlike the case of the first embodiment, the first actuator 11 is configured using the motor 32 as a drive source. .

すなわち、第１のアクチュエータ１１は、ベース３１にモータ３２を取り付けるとともに、スライド支持台３３を一対のガイドレール３４に沿って上下に摺動可能に設け、スライド支持台３３にねじ棒３５を螺合させるとともに、このねじ棒３５の一方端部を、ベルト３６を介してモータ３２の駆動軸に連結することにより構成されており、モータ３２にはモータドライバ３７が接続されている。 That is, the first actuator 11 has a motor 32 attached to the base 31 and a slide support base 33 provided so as to be slidable vertically along the pair of guide rails 34, and a screw rod 35 is screwed onto the slide support base 33. In addition, one end of the screw rod 35 is connected to a drive shaft of a motor 32 via a belt 36, and a motor driver 37 is connected to the motor 32.

そして、第１のアクチュエータ１１の、スライド支持台３３上には圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータ１２が固定載置され、この第２のアクチュエータ１２の上端部に衝撃緩和用のばね１６を介して一対のプローブ３が取り付けられている。その他の構成は実施例１の場合と同様である。 A second actuator 12 made of a piezoelectric actuator is fixedly mounted on the slide support base 33 of the first actuator 11, and a shock-reducing spring 16 is interposed at the upper end of the second actuator 12. A pair of probes 3 is attached. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

上記構成において、コントローラ２３のタイミング制御によって、最初にモータドライバ３７により第１のアクチュエータ１１を構成するモータ３２を駆動する。これにより、スライド支持台３３は、ガイドレール３４に沿って第２のアクチュエータ１２とともに高速で移動する。そして、スライド支持台３３が所定距離だけ移動するとモータ３２を停止し、引き続いて、駆動電源１５により第２のアクチュエータ１２を駆動して第１のアクチュエータ１１よりも低速度で第２のアクチュエータ１２を変位させる。 In the above configuration, the motor 32 constituting the first actuator 11 is first driven by the motor driver 37 by the timing control of the controller 23. As a result, the slide support 33 moves along with the second actuator 12 along the guide rail 34 at a high speed. Then, when the slide support base 33 moves by a predetermined distance, the motor 32 is stopped, and subsequently, the second actuator 12 is driven at a lower speed than the first actuator 11 by driving the second actuator 12 by the drive power supply 15. Displace.

これに伴い、プローブ３は、第１のアクチュエータ１１によって高速で、かつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動した後、第２のアクチュエータ１２によって比較的低速で、かつ残りの必要な短い距離だけを移動する。これにより、プローブ３を、大半の距離を高速で移動させることが可能になるとともに、ワークに対しては低速で接触させることができる。したがって、高速応答性を確保しつつ、プローブ３がワークに接触する際の衝撃を確実に緩和することができる。 Accordingly, the probe 3 is moved at a high speed by the first actuator 11 and after moving most of the necessary moving distance, and then at a relatively low speed by the second actuator 12 and the remaining necessary short distance. Move only the distance. As a result, the probe 3 can be moved most of the distance at a high speed, and can be brought into contact with the workpiece at a low speed. Therefore, the impact when the probe 3 comes into contact with the workpiece can be reliably mitigated while ensuring high-speed response.

図７は本発明の実施例３にかかる特性検査装置の構成図である。なお、図１および図２において、実施例１と対応もしくは相当する構成部分には同一の符号を付している。 FIG. 7 is a configuration diagram of the characteristic inspection apparatus according to the third embodiment of the present invention. In FIG. 1 and FIG. 2, the same reference numerals are assigned to components corresponding to or corresponding to the first embodiment.

この実施例３の特徴は、駆動ユニット１０において、プローブ３が取り付けられた第２のアクチュエータ１２は圧電アクチュエータからなるが、第１のアクチュエータ１１は、ソレノイド４３を駆動源として構成されていることである。 The feature of the third embodiment is that, in the drive unit 10, the second actuator 12 to which the probe 3 is attached is a piezoelectric actuator, but the first actuator 11 is configured with a solenoid 43 as a drive source. is there.

すなわち、この実施例３において、第１のアクチュエータ１１は、コの字型をしたヨーク４１の上下一対のアーム部４１ａ，４１ｂを貫通してスライド軸４２が摺動自在に設けられ、このスライド軸４２の上下の両アーム４１ａ，４１ｂの間に位置する箇所にソレノイド４３が固定され、また、スライド軸４２の下側のアーム部４１ｂの外方側に圧縮ばね４４が嵌入されている。さらに、ソレノイド４３には励磁用の駆動電源４５が接続されている。 That is, in the third embodiment, the first actuator 11 has a slide shaft 42 slidably provided through a pair of upper and lower arms 41a and 41b of a U-shaped yoke 41. A solenoid 43 is fixed at a position located between the upper and lower arms 41a and 41b of the 42, and a compression spring 44 is fitted on the outer side of the lower arm portion 41b of the slide shaft 42. Further, a driving power supply 45 for excitation is connected to the solenoid 43.

そして、第１のアクチュエータを構成するスライド軸の上側のアームの外方側に第２のアクチュエータが直列に接続され、この第２のアクチュエータの上端部に衝撃緩和用のばね１６を介して一対のプローブが取り付けられている。その他の構成は実施例１の場合と同様である。 A second actuator is connected in series to the outer side of the upper arm of the slide shaft that constitutes the first actuator, and a pair of shock absorbers 16 are connected to the upper end of the second actuator via a pair of shock relaxation springs 16. A probe is attached. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

上記構成において、コントローラ２３のタイミング制御によって、最初に励磁用の駆動電源４５により第１のアクチュエータ１１を構成するソレノイド４３を励磁すると、ソレノイド４３がヨーク４１の上側のアーム部４１ａに吸引されるので、第２のアクチュエータ１２が高速で移動する。そして、ソレノイド４３が上側のアーム部４１ａに当接してその移動が規制されると、引き続いて、駆動電源１５により第２のアクチュエータ１２を駆動して第１のアクチュエータ１１よりも低速度で変位させる。 In the above configuration, when the solenoid 43 constituting the first actuator 11 is first excited by the excitation drive power supply 45 by the timing control of the controller 23, the solenoid 43 is attracted to the upper arm portion 41a of the yoke 41. The second actuator 12 moves at a high speed. When the solenoid 43 comes into contact with the upper arm portion 41a and its movement is restricted, the second actuator 12 is subsequently driven by the drive power supply 15 to be displaced at a lower speed than the first actuator 11. .

これに伴い、プローブ３は、第１のアクチュエータ１１によって高速で、かつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動し、次に第２のアクチュエータ１２によって比較的低速で、かつ残りの必要な短い距離だけ移動する。これにより、プローブ３は平均的に高速で移動されるとともに、ワークに対しては低速度で接触させることができる。したがって、高速応答性を確保しつつ、プローブ３がワークに接触する際の衝撃を確実に緩和することができる。
なお、励磁用の駆動電源４５によるソレノイド４３の励磁が停止されると、ソレノイド４３は、自重と圧縮ばね４４のばね力とによって元の位置に復帰するので、プローブ３はワークから離間する。 Accordingly, the probe 3 moves at a high speed by the first actuator 11 and travels most of the required moving distance, and then at a relatively low speed by the second actuator 12 and the remaining necessary distance. Move a short distance. As a result, the probe 3 can be moved at a high speed on average and can be brought into contact with the work at a low speed. Therefore, the impact when the probe 3 comes into contact with the workpiece can be reliably mitigated while ensuring high-speed response.
When the excitation of the solenoid 43 by the excitation drive power supply 45 is stopped, the solenoid 43 returns to the original position by its own weight and the spring force of the compression spring 44, so that the probe 3 is separated from the workpiece.

図８は本発明の実施例４にかかる特性検査装置の構成図である。なお、図６および図７に示した実施例２、３と対応もしくは相当する構成部分には同一の符号を付している。 FIG. 8 is a block diagram of a characteristic inspection apparatus according to Embodiment 4 of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component corresponding or equivalent to Example 2, 3 shown in FIG.6 and FIG.7.

この実施例４の特性検査装置の特徴は、駆動ユニット１０において、プローブ３が取り付けられた第２のアクチュエータ１２として圧電アクチュエータが用いられているが、第１のアクチュエータ１１は、複数のアクチュエータ１１Ａ，１１Ｂを組み合わせて構成されていることにある。 A characteristic of the characteristic inspection apparatus according to the fourth embodiment is that a piezoelectric actuator is used as the second actuator 12 to which the probe 3 is attached in the drive unit 10, but the first actuator 11 includes a plurality of actuators 11A, 11A, 11B is combined.

すなわち、この実施例４において、第１のアクチュエータ１１は、モータ３２を駆動源とした実施例２（図６）に示したものと同様の構成を有するアクチュエータ１１Ａと、ソレノイド４３を駆動源とした実施例３（図７）に示したものと同様の構成を有するアクチュエータ１１Ｂとを組み合わせることにより構成されている。 That is, in the fourth embodiment, the first actuator 11 uses the actuator 11A having the same configuration as that shown in the second embodiment (FIG. 6) using the motor 32 as a drive source and the solenoid 43 as the drive source. It is configured by combining an actuator 11B having the same configuration as that shown in the third embodiment (FIG. 7).

そして、モータ３２を駆動源とするアクチュエータ１１Ａのスライド支持台３３の上に、ソレノイド４３を駆動源とするアクチュエータ１１Ｂのヨーク４１が固定され、また、ソレノイド４３が固定されたスライド軸４２の上端部に第２のアクチュエータ１２が直列に接続されている。そして、モータ駆動用のモータドライバ３７、ソレノイド励磁用の駆動電源４５、および第２のアクチュエータ１２の駆動電源１５は、ともにコントローラ２３によって動作タイミングが調整されるように構成されている。 The yoke 41 of the actuator 11B using the solenoid 43 as a drive source is fixed on the slide support 33 of the actuator 11A using the motor 32 as a drive source, and the upper end of the slide shaft 42 to which the solenoid 43 is fixed. The second actuator 12 is connected in series. The motor driver 37 for driving the motor, the drive power supply 45 for exciting the solenoid, and the drive power supply 15 for the second actuator 12 are all configured such that the operation timing is adjusted by the controller 23.

上記構成において、コントローラ２３のタイミング制御によって、最初にモータドライバ３７により第１のアクチュエータ１１を構成するモータ３２を駆動し、次いで、スライド支持台３３を高速で移動させた後にモータ３２を停止し、その後、励磁用の駆動電源４５によりソレノイド４３を励磁してヨーク４１の上側のアーム部４１ａに向けて吸引する。そして、ソレノイド４３が上側のアーム部４１ａに当接してその移動が規制されると、引き続いて、駆動電源１５により第２のアクチュエータ１２を駆動して低速で変位させる。 In the above configuration, by the timing control of the controller 23, the motor 32 constituting the first actuator 11 is first driven by the motor driver 37, and then the motor 32 is stopped after moving the slide support 33 at a high speed. Thereafter, the solenoid 43 is excited by the excitation drive power supply 45 and attracted toward the upper arm portion 41 a of the yoke 41. When the solenoid 43 comes into contact with the upper arm portion 41a and its movement is restricted, the second actuator 12 is subsequently driven by the drive power supply 15 to be displaced at a low speed.

これに伴い、プローブ３は、第１のアクチュエータ１１によって高速で、かつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動し、次に第２のアクチュエータ１２により、比較的低速で残りの必要な短い距離だけを移動する。その結果、上記の各実施例１〜３の場合と同様に、高速応答性を確保しつつ、プローブ３がワークに接触する際の衝撃を確実に緩和することができる。特に、この実施例４では、第１のアクチュエータ１１が、複数のアクチュエータ１１Ａ，１１Ｂを組み合わせて構成されていることから、構成は幾分複雑になるものの、プローブ３を駆動する際の速度制御を一層容易に行うことができるという利点がある。 Along with this, the probe 3 moves at high speed by the first actuator 11 and travels most of the necessary moving distance, and then by the second actuator 12 at a relatively low speed and the remaining necessary short distance. Move only the distance. As a result, as in the case of each of the first to third embodiments, the impact when the probe 3 contacts the workpiece can be reliably mitigated while ensuring high-speed response. In particular, in the fourth embodiment, since the first actuator 11 is configured by combining a plurality of actuators 11A and 11B, the configuration is somewhat complicated, but speed control when driving the probe 3 is performed. There is an advantage that it can be performed more easily.

図９は本発明の実施例５にかかるワーク供給装置の構成図であり、図１および図２に示した実施例１と対応もしくは相当する構成部分には同一の符号を付している。 FIG. 9 is a configuration diagram of a workpiece supply apparatus according to a fifth embodiment of the present invention. Components corresponding to or corresponding to those of the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals.

この実施例５のワーク供給装置５０は、整列状態で順次連続して供給されるワーク２を吸着して所定の検査位置まで搬送する円盤状のターンテーブル５のワーク搬入側の手前の箇所に供給分離機構５１が設けられている。 The workpiece supply device 50 according to the fifth embodiment supplies the workpieces 2 that are successively supplied in an aligned state to a location in front of the workpiece loading side of the disc-shaped turntable 5 that sucks and conveys the workpieces 2 to a predetermined inspection position. A separation mechanism 51 is provided.

この供給分離機構５１は、振動によりワーク２を搬送するフィーダ６１と、フィーダ５２から供給されるワーク２が移行するワーク支持台５２と、ワークガイド用の上蓋５３と、ワーク２をインデックス送りするためのインデックス送り手段５５とを備えている。 The supply / separation mechanism 51 feeds the workpiece 2 by vibration, the workpiece support 52 to which the workpiece 2 supplied from the feeder 52 moves, the upper lid 53 for the workpiece guide, and the workpiece 2 for index feeding. Index feed means 55.

そして、この実施例５においては、インデックス送り手段５５として、実施例１に示した構成を有する駆動ユニット１０が用いられている。なお、インデックス送り手段５５は、これに限らず、実施例２〜４（図６〜図８）に示した各構成を有する駆動ユニットを用いることも可能である。 In the fifth embodiment, the drive unit 10 having the configuration shown in the first embodiment is used as the index feeding means 55. The index feeding means 55 is not limited to this, and a drive unit having each configuration shown in the second to fourth embodiments (FIGS. 6 to 8) can also be used.

ただし、この駆動ユニット１０を構成する第２のアクチュエータ１２には、実施例１で示したような一対のプローブ３は設けられておらず、その代わりに、整列状態で順次供給されるワーク２のうちの２番目以降のワーク２の搬送を停止させるためのストッパ５６が取り付けられている。そして、このストッパ５６は、ワーク支持台５２に形成された貫通孔５７を通じてワーク搬送路５４内のワーク２に望むように挿入されている。
なお、この供給分離機構５１においては、ワーク２をターンテーブル５の収納用切欠部５ａに向けて吸引するために、ターンテーブル５の下面側に吸引溝５ｂが形成されており、ワーク支持台５２には、吸引溝５ｂと連通するように吸引孔５８が配設されている。また、ワーク支持台５２には、ワーク２の位置を検出するためのセンサ５９が配設されている。 However, the second actuator 12 constituting the drive unit 10 is not provided with the pair of probes 3 as shown in the first embodiment, but instead of the workpieces 2 sequentially supplied in an aligned state. A stopper 56 for stopping the conveyance of the second and subsequent workpieces 2 is attached. The stopper 56 is inserted into the workpiece 2 in the workpiece conveyance path 54 as desired through a through hole 57 formed in the workpiece support base 52.
In the supply / separation mechanism 51, a suction groove 5 b is formed on the lower surface side of the turntable 5 in order to suck the work 2 toward the storage cutout 5 a of the turntable 5. Is provided with a suction hole 58 so as to communicate with the suction groove 5b. A sensor 59 for detecting the position of the work 2 is disposed on the work support base 52.

上記構成において、整列状態で順次連続して供給されるワーク２のうち、先頭のワーク２が、図示のようにターンテーブル５の外周部に形成された収納用切欠部５ａに吸着されたことがセンサ５９で検出されると、これに応じて、コントローラ２３は、駆動電源１４，１５による第１、第２のアクチュエータ１１，１２への電圧印加を停止するので、ストッパ５６は貫通孔５７内に後退する。そのため、次の先頭となるワーク２がターンテーブル５の収納用切欠部５ａに向けて吸引される。 In the above configuration, among the workpieces 2 that are successively supplied in an aligned state, the leading workpiece 2 is adsorbed to the storage notch 5a formed on the outer periphery of the turntable 5 as shown in the figure. When detected by the sensor 59, the controller 23 stops the voltage application to the first and second actuators 11 and 12 by the drive power supplies 14 and 15 accordingly, so that the stopper 56 is placed in the through hole 57. fall back. Therefore, the next work 2 as the head is sucked toward the storage cutout 5 a of the turntable 5.

そして、次の先頭となるワーク２が吸引されたことがセンサ５９で検出されると、コントローラ２３は、駆動電源１４，１５により第１、第２のアクチュエータ１１，１２へ電圧を印加する。これに伴ってストッパ５６は貫通孔５７内からワーク搬送路５４内に突出するので、先頭から２番目のワーク２の前端部に接触して当該ワーク２がその位置に一時的に保持される。そして、上記動作が繰り返し実行される。 When the sensor 59 detects that the next leading work 2 is sucked, the controller 23 applies a voltage to the first and second actuators 11 and 12 by the drive power supplies 14 and 15. Accordingly, the stopper 56 protrudes from the through hole 57 into the work conveyance path 54, so that it comes into contact with the front end of the second work 2 from the top and is temporarily held at that position. Then, the above operation is repeatedly executed.

このように、この実施例５では、駆動ユニット１０により駆動されるストッパ５６が、整列状態で順次連続して供給されるワーク２のうち、先頭から２番目のワーク２に接触してその位置に一時的に保持するようにしているため、隣り合う各ワークを順次所定距離だけ離して送出するインデックス送りが可能になる。しかも、その際、第１、第２のアクチュエータ１１，１２は、実施例１で説明した動作を行うため、例えばストッパ５６の挿入時においてワーク２に当たったとしても、ワーク２に与えるダメージを抑制することができる。 As described above, in the fifth embodiment, the stopper 56 driven by the drive unit 10 contacts the second workpiece 2 from the top of the workpieces 2 successively supplied in an aligned state, and is at that position. Since temporary holding is performed, it is possible to perform index feeding in which adjacent works are sequentially separated by a predetermined distance. In addition, at that time, the first and second actuators 11 and 12 perform the operation described in the first embodiment, and therefore, even if the first and second actuators 11 and 12 hit the work 2 when the stopper 56 is inserted, for example, the damage to the work 2 is suppressed. can do.

図１０は本発明の実施例６にかかるテーピング装置の構成図である。
この実施例６のテーピング装置６０は、チップ型電子部品をワーク２として所定の位置まで順次搬送する搬送機構として円盤状のターンテーブル５を備えている。ターンテーブル５の外周部には、その周方向に沿って等ピッチでワーク収納用の収納用切欠部５ａが形成されている。 FIG. 10 is a configuration diagram of a taping device according to Example 6 of the present invention.
The taping device 60 according to the sixth embodiment includes a disk-shaped turntable 5 as a transport mechanism that sequentially transports chip-type electronic components as workpieces 2 to a predetermined position. On the outer peripheral portion of the turntable 5, storage cutout portions 5 a for storing workpieces are formed at equal pitches along the circumferential direction.

そして、ターンテーブル５のワーク搬入側には、ワーク２を整列状態で順次連続して供給するフィーダ６１、および実施例５（図９）で示した構成を有する供給分離機構５１が配設されている。また、ターンテーブル５で順次搬送されるワーク２の搬送経路の途中には、実施例１〜４で示したいずれかの構成を有する特性検査装置１が設けられている。さらに、ターンテーブル５のワーク搬出側の搬送経路には、ワーク５をキャリアテープ６２に形成された収納凹部６２ａに順次収納するテープ収納部６３が設けられている。また、キャリアテープ６２のテープ収納部６３よりも下流側の搬送経路の途中には、キャリアテープ６２に搭載されたワーク２を封止テープ６４で封止するためのシール手段６５が設けられている。 On the work carry-in side of the turntable 5, a feeder 61 that sequentially supplies the workpieces 2 in an aligned state and a supply separation mechanism 51 having the configuration shown in the fifth embodiment (FIG. 9) are disposed. Yes. A characteristic inspection apparatus 1 having any one of the configurations shown in the first to fourth embodiments is provided in the middle of the conveyance path of the workpiece 2 that is sequentially conveyed by the turntable 5. Further, a tape storage portion 63 for sequentially storing the workpiece 5 in a storage recess 62 a formed in the carrier tape 62 is provided in the transport path on the workpiece unloading side of the turntable 5. Further, a sealing means 65 for sealing the work 2 mounted on the carrier tape 62 with the sealing tape 64 is provided in the middle of the transport path downstream of the tape storage portion 63 of the carrier tape 62. .

上記構成において、フィーダ６１によってワーク２が整列状態で順次連続して供給され、供給分離機構５１で隣り合う各ワーク２がインデックス送りされた後、各ワーク２はターンテーブル５の外周部の収納用切欠部５ａ内に吸着された状態で、ターンテーブル５の回転にともなって搬送される。
その搬送途中で、各ワーク２は特性検査装置１によって電気的特性が検査される。その際、不良品は排出される一方、良品はさらにターンテーブル５でテープ収納部６３まで搬送される。
そして、テープ収納部６３において、ターンテーブル５のワーク２の吸着保持が解除され、ワーク２はその直下に搬送されてきたキャリアテープ６２の収納凹部６２ａ内に順次収納される。その後、シール手段６５によってキャリアテープ６２には封止テープ６４が熱圧着されてワーク２が封止される。 In the above configuration, the workpieces 2 are successively supplied in an aligned state by the feeder 61, and the adjacent workpieces 2 are index-fed by the supply / separation mechanism 51, and then each workpiece 2 is used for storing the outer peripheral portion of the turntable 5. In the state of being adsorbed in the notch 5a, it is transported as the turntable 5 rotates.
During the conveyance, each workpiece 2 is inspected for electrical characteristics by the characteristic inspection apparatus 1. At that time, the defective product is discharged, and the non-defective product is further conveyed to the tape storage unit 63 by the turntable 5.
And in the tape storage part 63, adsorption | suction holding | maintenance of the workpiece | work 2 of the turntable 5 is cancelled | released, and the workpiece | work 2 is sequentially accommodated in the accommodation recessed part 62a of the carrier tape 62 conveyed just under it. Thereafter, the sealing tape 64 is thermocompression-bonded to the carrier tape 62 by the sealing means 65 to seal the workpiece 2.

このように、この実施例６のテーピング装置６０は、ターンテーブル５のワーク搬入側に設けた供給分離機構５１によって隣り合う各ワーク２がインデックス送りされ、また、ターンテーブル５の搬送経路の途中に設けた特性検査装置１によって特性検査が実施され、検査後の良品のワーク２はテープ収納部６３においてキャリアテープ６２に順次収納されてシール手段６５でシールされるため、ワーク２に損傷を与えることなく、搬送過程で効率よく製品検査を行った後、パッケージ化して製品とすることが可能になる。 As described above, in the taping device 60 according to the sixth embodiment, the adjacent workpieces 2 are index-fed by the supply separation mechanism 51 provided on the workpiece carry-in side of the turntable 5, and in the middle of the conveyance path of the turntable 5. Characteristic inspection is performed by the provided characteristic inspection apparatus 1, and the non-defective work 2 after inspection is sequentially stored in the carrier tape 62 and sealed by the sealing means 65 in the tape storage portion 63, so that the work 2 is damaged. In addition, after product inspection is efficiently performed in the conveyance process, it can be packaged into a product.

なお、本発明は、上記の各実施例１〜６の態様に限定されるものでなく、本発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。 In addition, this invention is not limited to the aspect of said each Examples 1-6, A various application and deformation | transformation are possible within the scope of the present invention.

上述のように、本発明によれば、比較的簡単な構成で、接触部材の進退動作の高速応答性を確保するとともに、ワークにプローブ等の接触部材が接触する際の衝撃を確実に緩和することが可能で、かつ、騒音の発生も少ない駆動ユニットを提供することができる。そして、それを用いることにより、効率よく高精度の特性検査を行うことが可能なチップ型電子部品の特性検査装置、効率よくワークを供給することが可能なワーク供給装置、およびワークをテーピング部品として効率よくパッケージ化することが可能なテーピング装置を構成することができる。
したがって、本願発明は、チップ型電子部品などをワークとして取り扱う種々の技術分野に広く適用することが可能である。 As described above, according to the present invention, with a relatively simple configuration, high-speed response of the advancing / retreating operation of the contact member is ensured, and the impact when the contact member such as a probe contacts the workpiece is reliably mitigated. In addition, it is possible to provide a drive unit that is capable of generating less noise. And by using it, a chip type electronic component characteristic inspection device capable of efficiently performing high-precision characteristic inspection, a workpiece supply device capable of efficiently supplying a workpiece, and the workpiece as a taping component A taping device that can be efficiently packaged can be configured.
Therefore, the present invention can be widely applied to various technical fields in which chip-type electronic components are handled as workpieces.

本発明の実施例１にかかる特性検査装置の構成図である。It is a block diagram of the characteristic inspection apparatus concerning Example 1 of this invention. 図１の特性検査装置に適用される駆動ユニットの第２のアクチュエータの構成の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of a structure of the 2nd actuator of the drive unit applied to the characteristic inspection apparatus of FIG. 図１の特性検査装置の第１、第２のアクチュエータに対して印加される電圧と、その電圧印加に伴う変位量との関係を示す特性図である。It is a characteristic view which shows the relationship between the voltage applied with respect to the 1st, 2nd actuator of the characteristic inspection apparatus of FIG. 1, and the displacement amount accompanying the voltage application. 図１の特性検査装置の第１、第２のアクチュエータに対して印加される電圧と、その電圧印加に伴う変位量との関係を示す特性図であって、図３の場合の変形例を示す図である。FIG. 4 is a characteristic diagram showing a relationship between a voltage applied to the first and second actuators of the characteristic inspection apparatus of FIG. 1 and a displacement amount due to the voltage application, and shows a modification in the case of FIG. 3. FIG. 図１の特性検査装置の第１、第２のアクチュエータに対して印加される電圧と、その電圧印加に伴う変位量との関係を示す特性図であって、図３の場合の変形例を示す図である。FIG. 4 is a characteristic diagram showing a relationship between a voltage applied to the first and second actuators of the characteristic inspection apparatus of FIG. 1 and a displacement amount due to the voltage application, and shows a modification in the case of FIG. 3. FIG. 本発明の実施例２にかかる特性検査装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the characteristic inspection apparatus concerning Example 2 of this invention. 本発明の実施例３にかかる特性検査装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the characteristic inspection apparatus concerning Example 3 of this invention. 本発明の実施例４にかかる特性検査装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the characteristic inspection apparatus concerning Example 4 of this invention. 本発明の実施例５にかかるワーク供給装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the workpiece supply apparatus concerning Example 5 of this invention. 本発明の実施例６にかかるテーピング装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the taping apparatus concerning Example 6 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１特性検査装置
２チップ型電子部品（ワーク）
２ａ外部電極
３プローブ（接触部材）
５ターンテーブル
５ａ収納用切欠部
５ｂ吸引溝
６ワーク支持台
７上蓋
８ガイド部材
１０駆動ユニット
１１第１のアクチュエータ
１１Ａ，１１Ｂアクチュエータ
１２第２のアクチュエータ
１４，１５駆動電源
１６ばね
１７貫通孔
１８計測器
２１ピエゾ素子
２２フレーム
２３コントローラ
２４リミットスイッチ
３１ベース
３２モータ
３３スライド支持台
３４ガイドレール
３５ねじ棒
３６ベルト
３７モータドライバ
４１ヨーク
４１ａ，４１ｂアーム部
４２スライド軸
４３ソレノイド
４４圧縮ばね
４５励磁用の駆動電源
５０ワーク供給装置
５１供給分離機構
５２ワーク支持台
５３ワークガイド用の上蓋
５４ワーク搬送路
５５インデックス送り手段
５６ストッパ（接触部材）
５７貫通孔
５８吸引孔
５９センサ
６０テーピング装置
６１フィーダ
６２キャリアテープ
６２ａ収納凹部
６３テープ収納部
６４封止テープ
６５シール手段 1 Characteristic inspection device 2 Chip type electronic parts (work)
2a External electrode 3 Probe (contact member)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 5 Turntable 5a Storage notch part 5b Suction groove 6 Work support stand 7 Top cover 8 Guide member 10 Drive unit 11 1st actuator 11A, 11B Actuator 12 2nd actuator 14, 15 Drive power supply 16 Spring 17 Through-hole 18 Measuring device 21 Piezo element 22 Frame 23 Controller 24 Limit switch 31 Base 32 Motor 33 Slide support 34 Guide rail 35 Screw rod 36 Belt 37 Motor driver 41 Yoke 41a, 41b Arm part 42 Slide shaft 43 Solenoid 44 Compression spring 45 Excitation drive power supply DESCRIPTION OF SYMBOLS 50 Work supply apparatus 51 Supply separation mechanism 52 Work support stand 53 Top cover for work guides 54 Work conveyance path 55 Index feed means 56 Stopper (contact member)
57 Through hole 58 Suction hole 59 Sensor 60 Taping device 61 Feeder 62 Carrier tape 62a Storage recess 63 Tape storage part 64 Sealing tape 65 Sealing means

Claims

ワークの外表面に接触させるべき接触部材を前記ワークに対して進退移動させるための駆動ユニットであって、
前記接触部材を所定距離だけ移動させる第１のアクチュエータと、
前記接触部材を前記第１のアクチュエータよりも短い距離だけ移動させる、圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータと、を備え、
前記第１および第２のアクチュエータが、駆動方向に直列に接続されていること
を特徴とする駆動ユニット。 A drive unit for moving a contact member to be brought into contact with the outer surface of the workpiece forward and backward with respect to the workpiece,
A first actuator for moving the contact member by a predetermined distance;
A second actuator made of a piezoelectric actuator that moves the contact member by a shorter distance than the first actuator;
The drive unit, wherein the first and second actuators are connected in series in a drive direction.

ワークの外表面に接触させるべき接触部材を前記ワークに対して進退移動させるための駆動ユニットであって、
前記接触部材を所定の変位速度で移動させる第１のアクチュエータと、
前記接触部材を前記第１のアクチュエータよりも遅い変位速度で移動させる、圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータと、を備え、
前記第１および第２のアクチュエータが、駆動方向に直列に接続されていること
を特徴とする駆動ユニット。 A drive unit for moving a contact member to be brought into contact with the outer surface of the workpiece forward and backward with respect to the workpiece,
A first actuator for moving the contact member at a predetermined displacement speed;
A second actuator made of a piezoelectric actuator that moves the contact member at a displacement rate slower than that of the first actuator,
The drive unit, wherein the first and second actuators are connected in series in a drive direction.

ワークの外表面に接触させるべき接触部材を前記ワークに対して進退移動させるための駆動ユニットであって、
前記接触部材を所定の変位速度でかつ所定距離だけ移動させる第１アクチュエータと、
前記接触部材を前記第１のアクチュエータよりも遅い変位速度でかつ短い距離だけ移動させる、圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータと、を備え、
前記第１および第２のアクチュエータが、駆動方向に直列に接続されていること
を特徴とする駆動ユニット。 A drive unit for moving a contact member to be brought into contact with the outer surface of the workpiece forward and backward with respect to the workpiece,
A first actuator for moving the contact member at a predetermined displacement speed and a predetermined distance;
A second actuator made of a piezoelectric actuator, which moves the contact member at a displacement rate slower than that of the first actuator and by a short distance;
The drive unit, wherein the first and second actuators are connected in series in a drive direction.

前記第１のアクチュエータは、圧電アクチュエータからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の駆動ユニット。 The drive unit according to claim 1, wherein the first actuator is a piezoelectric actuator.

前記第１および第２のアクチュエータの少なくとも一方は、複数のアクチュエータを駆動方向に直列接続して構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の駆動ユニット。 The drive unit according to claim 1, wherein at least one of the first and second actuators is configured by connecting a plurality of actuators in series in the drive direction.

前記接触部材は、前記第２のアクチュエータを介して保持されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の駆動ユニット。 The drive unit according to claim 1, wherein the contact member is held via the second actuator.

請求項１〜６のいずれかに記載の駆動ユニットを用いた接触部材の駆動方法であって、
前記第２のアクチュエータの変位の終了タイミングを、前記第１のアクチュエータの変位の終了タイミングよりも遅くすることを特徴とする接触部材の駆動方法。 A drive method for a contact member using the drive unit according to claim 1,
A contact member driving method characterized in that the end timing of displacement of the second actuator is made later than the end timing of displacement of the first actuator.

請求項４に記載の駆動ユニットを用いた接触部材の駆動方法であって、
前記第１のアクチュエータに印加する電圧よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧を小さくすることを特徴とする接触部材の駆動方法。 A driving method of a contact member using the driving unit according to claim 4,
A method for driving a contact member, wherein a voltage applied to the second actuator is made smaller than a voltage applied to the first actuator.

請求項４に記載の駆動ユニットを用いた接触部材の駆動方法であって、
前記第１のアクチュエータに印加する電圧の増加速度よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧の増加速度を小さくすることを特徴とする接触部材の駆動方法。 A driving method of a contact member using the driving unit according to claim 4,
A method for driving a contact member, characterized in that an increasing speed of a voltage applied to the second actuator is made smaller than an increasing speed of a voltage applied to the first actuator.

請求項４に記載の駆動ユニットを用いた接触部材の駆動方法であって、
前記第１のアクチュエータに印加する電圧よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧を小さくし、かつ、前記第１のアクチュエータに印加する電圧の増加速度よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧の増加速度を小さくすることを特徴とする接触部材の駆動方法。 A driving method of a contact member using the driving unit according to claim 4,
The voltage applied to the second actuator is made smaller than the voltage applied to the first actuator, and the voltage applied to the second actuator is higher than the increasing speed of the voltage applied to the first actuator. A method for driving a contact member, characterized by reducing a voltage increase rate.

前記第２のアクチュエータの変位が終了した後に、当該第２のアクチュエータに印加する電圧を微小変動させることを特徴とする請求項７〜１０のいずれかに記載の接触部材の駆動方法。 The method for driving a contact member according to claim 7, wherein the voltage applied to the second actuator is minutely changed after the displacement of the second actuator is finished.

請求項１〜６のいずれかに記載の駆動ユニットを用いた特性検査装置であって、
前記ワークは、外表面に外部電極が形成されたチップ型電子部品であり、前記接触部材は前記外部電極に接触する測定用端子であることを特徴とする特性検査装置。 A characteristic inspection apparatus using the drive unit according to claim 1,
The characteristic inspection apparatus according to claim 1, wherein the workpiece is a chip-type electronic component having an external electrode formed on an outer surface, and the contact member is a measurement terminal that contacts the external electrode.

請求項１２の特性検査装置において、用いられている前記駆動ユニットを構成する第２のアクチュエータの変位が終了した後に、第２のアクチュエータに印加する電圧を微小変動させて、前記接触部材を微小駆動させるように構成されていることを特徴とする特性検査装置。 13. The characteristic inspection apparatus according to claim 12, wherein after the displacement of the second actuator constituting the drive unit used is finished, the voltage applied to the second actuator is minutely changed to finely drive the contact member. It is comprised so that it may make it the characteristic inspection apparatus characterized by the above-mentioned.

請求項１〜６のいずれかに記載の駆動ユニットを用いたワーク供給装置であって、
前記接触部材が、整列状態で順次連続して供給されるワークのうち、先頭から２番目のワークに接触して、該２番目のワークをその位置に一時的に保持するストッパとして用いられていることを特徴とするワーク供給装置。 A workpiece supply apparatus using the drive unit according to claim 1,
The contact member is used as a stopper that comes into contact with the second workpiece from the top of the workpieces that are successively supplied in an aligned state, and temporarily holds the second workpiece in that position. A workpiece supply device characterized by that.

チップ型電子部品をワークとして所定の位置まで順次搬送する搬送機構を有し、この搬送機構で順次搬送されるワークの搬送経路の途中に、請求項１２または１３記載の特性検査装置が設けられ、かつ、
前記特性検査装置による検査後の搬送経路には、前記ワークをキャリアテープに順次収納するテープ収納部が設けられていること
を特徴とするテーピング装置。 A characteristic inspection apparatus according to claim 12 or 13 is provided in the middle of a conveyance path of a workpiece that is sequentially conveyed by the conveyance mechanism, the conveyance mechanism sequentially conveying the chip-type electronic component to a predetermined position as a workpiece. And,
A taping device characterized in that a tape storage portion for sequentially storing the work on a carrier tape is provided in a conveyance path after inspection by the characteristic inspection device.

チップ型電子部品をワークとする請求項１４に記載のワーク供給装置と、
前記ワーク供給装置から供給されるワークを所定の位置まで順次搬送する搬送機構と、
前記ワークを所定の位置でキャリアテープに順次収納するテープ収納部と
を具備することを特徴とするテーピング装置。 The workpiece supply device according to claim 14, wherein the workpiece is a chip-type electronic component;
A transport mechanism for sequentially transporting workpieces supplied from the workpiece supply device to a predetermined position;
And a tape storage unit that sequentially stores the workpiece on a carrier tape at a predetermined position.