JP2009212264A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 基板を収容するポッド容器と、前記ポッド容器の底板となって前記基板を載置するポッドプレートとから成るポッドを搭載し、前記ポッドプレート及び前記基板を昇降させて前記ポッド容器と前記ポッドプレートとを開閉するポッド開閉装置において、
   前記ポッド容器が搭載されるポートベースと、
   前記ポッドプレートが搭載されるポートドアと、
   前記ポートドアを昇降させる昇降機構と、を備え、
   前記昇降機構が、前記ポートドア及び前記基板が昇降される基板開放空間から隔離された遮蔽空間内に収容され、
   前記遮蔽空間に、前記遮蔽空間内の気体を前記遮蔽空間外へ排出する第１の整流ファンを備えたことを特徴とするポッド開閉装置。
2. 前記遮蔽空間が、前記ポッド開閉装置の側面に設けられ、
   前記基板開放空間と前記遮蔽空間とを隔てる遮蔽プレートに設けられた長穴開口を介して前記昇降機構が前記ポートドアを昇降させることを特徴とする請求項１記載のポッド開閉装置。
3. 前記ポートドアは、前記長穴開口に挿通された昇降アームに接続され、前記昇降アームは前記遮蔽空間内で昇降する昇降ベースに接続されて昇降することを特徴とする請求項２記載のポッド開閉装置。
4. 前記遮蔽空間内に、一端が前記昇降アームの上端に固定され、他端が前記昇降アームの下端に固定され、前記長穴開口を塞ぐように回転自在に張られたシールベルトを備えたことを特徴とする請求項３記載のポッド開閉装置。
5. 前記昇降機構は、前記遮蔽プレートに配設されたボールネジと、前記ボールネジに並設されたリニアガイドと、前記ボールネジを回転駆動するモータと、を備え、
   前記ボールネジのボールネジナットと前記リニアガイドのスライダとに前記昇降ベースが固定されて前記昇降アームを昇降させることを特徴とする請求項３または４記載のポッド開閉装置。
6. 前記遮蔽空間は、その下面に前記第１の整流ファンを備え、前記昇降機構から発生する粉塵を前記遮蔽空間の外部へ誘導することを特徴とする請求項２乃至５いずれかに記載のポッド開閉装置。
7. 前記遮蔽空間は、その下面に前記第１の整流ファンを備え、前記昇降機構から発生する粉塵を前記遮蔽空間の外部へ誘導するとともに、さらに前記昇降ベースに第２の整流ファンを備えたことを特徴とする請求項５または６記載のポッド開閉装置。
8. ファンフィルタによって清浄な雰囲気が保たれる搬送空間と、前記搬送空間に設置された搬送装置と、を少なくとも備え、前記搬送装置によって搬送された基板を使って所定の作業をなす半導体製造装置において、
   請求項１記載のポッド開閉装置を前記搬送空間内に備え、
   前記ポッド開閉装置が、
   前記ポートベースの一部及び前記ポートドアが前記搬送空間から前記半導体製造装置の外部環境に露出するよう配置され、
   前記基板開放空間が前記搬送空間と連通するように配置され、
   前記第１の整流ファンが前記外部環境に向かって前記遮蔽空間内の気体を排出するよう配置されたことを特徴とする半導体製造装置。