JP2011179531A - 蓋開閉装置及び真空装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】カソード等の重量物を搭載した蓋であってもシール部材に偏荷重をかけることがなく、真空装置の開閉部の気密を確実に保つことができる蓋開閉装置及びこの蓋開閉装置を備える真空装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ1の開口部1cに取付けられた蓋を開閉する蓋開閉装置は、開口部1cから蓋2を離間させる方向に直線運動させる蓋昇降装置と、開口部1cを開閉するように蓋2を回転させる蓋回転装置とを備えており、蓋昇降装置により蓋2を開口部から離間させた後に、蓋回転装置により蓋2を側方に回転させることができる。
【選択図】図5
【解決手段】真空チャンバ1の開口部1cに取付けられた蓋を開閉する蓋開閉装置は、開口部1cから蓋2を離間させる方向に直線運動させる蓋昇降装置と、開口部1cを開閉するように蓋2を回転させる蓋回転装置とを備えており、蓋昇降装置により蓋2を開口部から離間させた後に、蓋回転装置により蓋2を側方に回転させることができる。
【選択図】図5
Description
本発明は、真空装置を構成する真空チャンバの開口部に取付けられる蓋開閉装置及び真空装置に係り、特に、カソード等の重量物を搭載した蓋の開閉に適した蓋開閉装置及びこの蓋開閉装置を備える真空装置に関する。
従来から成膜装置の真空チャンバの蓋開閉には、回転機構のみ備える蓋開閉装置が採用されている(例えば、特許文献1,2参照)。回転機構のみで蓋を開閉する蓋開閉装置は、省スペースであることや装置の構造が比較的簡単であることからバッチ式装置等の小型装置に適した機構として広く採用されている。
具体的には、特許文献1に開示された技術では、蓋の回転中心を開口部のシール面と同一平面上に配設することでシール部材(Oリング)が受ける荷重の均一化が図られている。
また、特許文献2に開示された技術によれば、真空チャンバの開口部に蓋を押圧するバネを搭載した機構とすることで、シール部材(Oリング)が受ける荷重を均等にして、シール性やシール部材(Oリング)の耐久性の向上が図られている。
また、特許文献2に開示された技術によれば、真空チャンバの開口部に蓋を押圧するバネを搭載した機構とすることで、シール部材(Oリング)が受ける荷重を均等にして、シール性やシール部材(Oリング)の耐久性の向上が図られている。
しかしながら、特許文献1に開始された技術では、回転機構のみで蓋開閉動作を行なうため、蓋が閉まる直前の動作においてOリングとシール面が斜めに接触するため、接触面に偏荷重がかかることが避けられない場合がある。特に、大型の蓋ではOリングとシール面に負荷される偏荷重が増大することになり、Oリングのねじれや破損が生じることが予想される。
一方、特許文献2に開始された技術では、アームに取付けられた板バネによってこのようなOリングのねじれや破損を軽減することができるものの、カソードを搭載した蓋の重量に対してはOリングの反力に板バネが耐えることができず、蓋の押し付けが十分ではなくなることが予想される。
また、蓋の開閉装置によっては蓋の開放方向や開閉角度が制限されることになる。このため、蓋に搭載されたカソードのメンテナンスをする際に、蓋の開閉方式によってはメンテナンス作業に支障をきたすおそれがある。
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、カソード等の重量物を搭載した蓋であってもシール部材に偏荷重をかけることがなく、真空装置の開閉部の気密を確実に保つことができる蓋開閉装置及びこの蓋開閉装置を備える真空装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、蓋にカソードが搭載された状態であっても良好なメンテナンス性を確保できる蓋開閉装置及びこの蓋開閉装置を備える真空装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、蓋にカソードが搭載された状態であっても良好なメンテナンス性を確保できる蓋開閉装置及びこの蓋開閉装置を備える真空装置を提供することを目的とする。
本発明に係る蓋開閉装置は、真空チャンバの開口部に取付けられた蓋を開閉する蓋開閉装置であって、開口部から前記蓋を離間させる方向に直線運動させる蓋昇降装置と、開口部を開閉するように前記蓋を回転させる蓋回転装置とを備えることを特徴とする。
或いは、本発明に係る蓋開閉装置は、真空チャンバの開口部に取付けられた蓋を開閉する蓋開閉装置であって、蓋に連結されたフレーム部材と、フレーム部材を昇降させる蓋昇降装置と、蓋昇降装置を取付けたアーム部材と、アーム部材を側方に傾けるように回転させる蓋回転装置と、を備え、蓋昇降装置により蓋を開口部から離間させた後に、蓋回転装置により前記蓋を側方に回転させることを特徴とする。また、本発明に係る真空装置は、上述の蓋開閉装置を備えることを特徴とする。
或いは、本発明に係る蓋開閉装置は、真空チャンバの開口部に取付けられた蓋を開閉する蓋開閉装置であって、蓋に連結されたフレーム部材と、フレーム部材を昇降させる蓋昇降装置と、蓋昇降装置を取付けたアーム部材と、アーム部材を側方に傾けるように回転させる蓋回転装置と、を備え、蓋昇降装置により蓋を開口部から離間させた後に、蓋回転装置により前記蓋を側方に回転させることを特徴とする。また、本発明に係る真空装置は、上述の蓋開閉装置を備えることを特徴とする。
チャンバ開口のシール面とOリングが水平に接触することで均一な力がかかり、Oリングの延命効果が期待できる。また、90°や180°など開放角度を選択できるためカソード部のメンテナンス性も向上する。
以下に、本発明の一実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下に説明する部材、配置等は発明を具体化した一例であって本発明を限定するものではなく、本発明の趣旨に沿って各種改変できることは勿論である。本実施形態では、蓋開閉装置を備えた真空装置としてインライン式成膜装置とクラスター式成膜装置を例に説明するが本発明はこの限りではない。例えば、他方式のPVD装置やエッチング装置、CVD装置などの真空装置に設けられた蓋の開閉にも本発明に係る蓋開閉装置は好適に適用可能である。また、本実施形態の真空装置の蓋にはカソードが搭載されているが、カソード以外の構造物にも本発明が適用できることはもちろんである。
図1乃至8は本発明の一実施形態に係る真空装置及び蓋開閉装置についての図であり、図1はインライン式成膜装置の上面図、図2はクラスター式成膜装置の上面図、図3は蓋開閉装置を備えたチャンバユニットの側面図(蓋閉位置)、図4は蓋開閉装置を備えたチャンバユニットの上面図(蓋閉位置)、図5は蓋開閉装置を備えたチャンバユニットの側面図(シール面の非接触位置)、図6は図3のA−A断面図、図7は蓋開閉装置を備えたチャンバユニットの側面図(蓋開度90°位置)、図8は蓋開閉装置を備えたチャンバユニットの側面図(蓋開度180°位置)である。なお、図面の煩雑化を防ぐため一部を除いて省略している。
本発明に係る真空処理装置として、図1に示すインライン式成膜装置と図2に示すクラスター式成膜装置が上げられる。
図1に示したインライン式成膜装置S1は、ロードチャンバLLとアンロードチャンバULと複数のプロセスチャンバ(真空チャンバ1)を直列に連結した成膜装置である。これらのプロセスチャンバ内に被成膜材を順次通過させることで、連続的に成膜処理などの所定の真空処置を施す装置である。また、図2に示したクラスター式成膜装置S2は、ロードロックチャンバLLに連結されたコアチャンバCに複数のプロセスチャンバ(真空チャンバ1)を接続した成膜装置である。コアチャンバCを経由して各プロセスチャンバ内に被成膜材を適宜搬送して真空処置を施す装置である。
図1に示したインライン式成膜装置S1は、ロードチャンバLLとアンロードチャンバULと複数のプロセスチャンバ(真空チャンバ1)を直列に連結した成膜装置である。これらのプロセスチャンバ内に被成膜材を順次通過させることで、連続的に成膜処理などの所定の真空処置を施す装置である。また、図2に示したクラスター式成膜装置S2は、ロードロックチャンバLLに連結されたコアチャンバCに複数のプロセスチャンバ(真空チャンバ1)を接続した成膜装置である。コアチャンバCを経由して各プロセスチャンバ内に被成膜材を適宜搬送して真空処置を施す装置である。
これらの真空処理装置を構成するプロセスチャンバ(真空チャンバ1)には、その上面にカソード7を搭載した蓋2と蓋の開閉動作を制御する蓋開閉装置が設けられている。蓋開閉装置は、良好なカソードのメンテナンス性を得るために、蓋2を180°回転した状態で開放できるように構成されている。なお、図中の符号2aは蓋が開放された際に占めるスペース(蓋開閉スペース2a)である。
以下にインライン式成膜装置に設けられた蓋開閉装置について説明する。
図3は蓋開閉装置を備えたチャンバユニットの側面図、図4は蓋開閉装置を備えたチャンバユニットの上面図であり、図3、4はいずれも蓋2が閉じられた状態を示している。
蓋開閉装置は、蓋2を真空チャンバ1(チャンバ本体1b)の開口部1cに開閉可能に取付ける装置であり、蓋2の上部に接続された略X字状の部材であるフレーム4と、フレーム4と接続された略L字状の部材であるアーム3と、フレーム4を上下方向に昇降する蓋昇降装置と、アーム3を側方に回転する蓋回転装置とを有している。フレーム4は蓋昇降装置を介してアーム3と連結され、アーム3は蓋回転装置を介して真空チャンバ1側(台座1a)と連結されている。
図3は蓋開閉装置を備えたチャンバユニットの側面図、図4は蓋開閉装置を備えたチャンバユニットの上面図であり、図3、4はいずれも蓋2が閉じられた状態を示している。
蓋開閉装置は、蓋2を真空チャンバ1(チャンバ本体1b)の開口部1cに開閉可能に取付ける装置であり、蓋2の上部に接続された略X字状の部材であるフレーム4と、フレーム4と接続された略L字状の部材であるアーム3と、フレーム4を上下方向に昇降する蓋昇降装置と、アーム3を側方に回転する蓋回転装置とを有している。フレーム4は蓋昇降装置を介してアーム3と連結され、アーム3は蓋回転装置を介して真空チャンバ1側(台座1a)と連結されている。
アーム3は、蓋2へ直接接続せず、略X字状のフレーム4の中心に蓋昇降装置(ウォームジャッキユニット5)を介して接続された構造である。X字状のフレーム4のそれぞれの先端部は矩形状の蓋2の四隅にそれぞれ接続されるように配置されているため、フレーム4の水平面での中心位置は蓋2の中心と一致している。フレーム4の中心位置に蓋昇降装置を接続することで、昇降時の荷重が蓋2の全体により均一に作用することになる。従って、本実施形態に係る蓋開閉装置はシール面とOリングに偏荷重が生じ難い構造である。
蓋昇降装置は、蓋昇降用モータ6と連結されたウォームジャッキユニット5を有している。ウォームジャッキユニット5は蓋昇降用モータ6と一体に構成されたハウジング5aと蓋昇降用モータ6によって進退動作を制御できるシリンダ5bとを有している。そして、ハウジング5aをアーム3側に、シリンダ5bをフレーム4側にそれぞれ固定することで、フレーム4をアーム3に対して上下動可能な構造としている。
より詳しくは、フレーム4とウォームジャッキユニット5とはネジにて締結され、ウォームジャッキユニット5と蓋昇降用モータ6はカップリングにて接続されている。蓋昇降用モータ6にはロータリポジショナ(位置決めリミットスイッチユニット)11が取付けられており、蓋昇降用モータ6は所定の回転角度範囲内でのみ回転するようになっている。すなわち、アーム3に対する蓋2の昇降範囲が設定されている。また、フレーム4とウォームジャッキユニット5はネジにより締結されており、ネジの緩みによる位置ずれを防止するストッパ14によってさらに両側から固定されている。
蓋回転装置は、回転用モータ8と連結された減速機ユニット9を有している。減速機ユニット9は回転用モータ8と一体に構成されたハウジング9aと回転用モータ8によって回転角度を制御できる回転軸9bとを有している。ハウジング9aを真空チャンバ1側(台座)に、回転軸9bをアーム3にそれぞれ固定することで、アーム3を真空チャンバ1に対して回転可能な構造としている。なお、カソード7を搭載した蓋2とアーム3及びフレーム4の総重量は1 tonを超えるため、昇降用モータ6と回転用モータ8は重荷重に耐えうるものが選定されている。
図5は、蓋開閉装置を備えたチャンバユニットの側面図(シール面の非接触位置)であり、蓋昇降装置のウォームジャッキユニット5を作動させることによって蓋2を垂直に上昇させた状態を示している。図5では蓋2は高さhだけ上昇した状態である。ウォームジャッキユニット5に接続された昇降用モータ6を動作させることで蓋2が昇降する。蓋昇降装置による蓋2を昇降動作は、蓋2のシール面が真空チャンバ1の開口部のシール面と接触しない高さまで昇降できるように構成されている。
蓋回転装置により蓋2を回転動作させる前に、蓋昇降装置によって蓋2を上昇動作させることで、シール面とOリングに偏荷重がかかることを防ぐことができる。同様に、蓋2の閉動作においても、蓋回転装置により蓋2を回転動作させた後に、蓋昇降装置によって蓋2を降下動作させることで、シール面とOリングに偏荷重がかかることを防ぐことができる。
なお、蓋2の昇降速度は、昇降用モータ6の駆動により簡易的に変更できるが、高速動作はシール面やOリングへのダメージや、カソード7からのパーティクル等の問題を生じさせるため、例えば2 mm/sec程度の動作速度に設定されることが望ましい。
図6は図3のA−A断面図である。
図5のように、蓋昇降装置によって蓋2を昇降動作させる際に、蓋2が水平姿勢で回転することによるシール位置のずれを抑制するために蓋ガイド装置が設けられている。
蓋ガイド装置は、フレーム4に固定されたガイドプレート12と、アーム3に固定されたガイドベアリング13とを有して構成されている。すなわち、蓋2の昇降動作に伴ってガイドプレート12とガイドベアリング13の接触位置がスライドする。蓋ガイド装置によって、常時、フレーム4側のガイドプレート12とアーム3側のガイドベアリング13を接触させることで蓋2の位置ずれを防ぎ、蓋昇降装置の繰り返し動作によるシール性の信頼性向上に効果がある。
図5のように、蓋昇降装置によって蓋2を昇降動作させる際に、蓋2が水平姿勢で回転することによるシール位置のずれを抑制するために蓋ガイド装置が設けられている。
蓋ガイド装置は、フレーム4に固定されたガイドプレート12と、アーム3に固定されたガイドベアリング13とを有して構成されている。すなわち、蓋2の昇降動作に伴ってガイドプレート12とガイドベアリング13の接触位置がスライドする。蓋ガイド装置によって、常時、フレーム4側のガイドプレート12とアーム3側のガイドベアリング13を接触させることで蓋2の位置ずれを防ぎ、蓋昇降装置の繰り返し動作によるシール性の信頼性向上に効果がある。
図7,8は蓋開閉装置を備えたチャンバユニットの側面図であり、図7は蓋を90°回転させた位置を、図8は蓋を180°回転させた位置をそれぞれ示している。
上述のように、減速機ユニット9の回転軸9bには、アーム3が固定されているため、回転用モータ8を回転させることで、アーム3が回転軸9bを中心に回転し、蓋2が開閉動作をすることができる。
上述のように、減速機ユニット9の回転軸9bには、アーム3が固定されているため、回転用モータ8を回転させることで、アーム3が回転軸9bを中心に回転し、蓋2が開閉動作をすることができる。
回転用モータ8の回転角度(回転数)を制御することで、蓋2の回転位置を90°、180°などの所定角度で保持することができる。
蓋を90°回転させた位置で保持する場合は、真空チャンバ1の内部の確認やメンテナンス等に適している。
蓋を90°回転させた位置で保持する場合は、真空チャンバ1の内部の確認やメンテナンス等に適している。
蓋を180°回転させた位置で保持する場合は、蓋内部側に配置された構造物(カソード7など)のメンテナンスに適している。また、蓋を180°回転させたときの床から蓋までの高さは回転軸9bの位置により任意に決定づけられ、この回転軸9bの回転中心と真空チャンバ1の開口面(シール面)の高さを一致させる必要性はない。もちろん、回転動作は回転用モータ8の駆動により、任意の位置にて停止させることができる。また、蓋2の回転速度は回転用モータ8の駆動速度を変更することで簡易的に変更が可能であるが、安全性等や作業性を考慮して決定される。
なお、蓋2の開動作は上述とは逆順にて行なう。すなわち、蓋回転機構を動作させることによって蓋2を真空チャンバ1の開口部の直上まで回転させ、その後、蓋昇降機構によって蓋2を真空チャンバ1の開口部に接触させる位置に降下させることで蓋2を閉じればよい。
チャンバ開口のシール面とOリングが水平に接触することで均一な力がかかり、Oリングの延命効果が期待できる。また、90°や180°など開放角度を選択できるためカソード部のメンテナンス性も向上する。
1 真空チャンバ
1a 台座
1b チャンバ本体
1c 開口部
2 蓋
2a 蓋開閉スペース
3 アーム
4 フレーム
5 ウォームジャッキユニット
5a ハウジング
5b シリンダ
6 昇降用モータ
7 カソード
8 回転用モータ
9 回転用減速機
9a ハウジング
9b 回転軸
11 ロータリポジショナ
12 ガイドプレート
13 ガイドベアリング
14 ストッパ
1a 台座
1b チャンバ本体
1c 開口部
2 蓋
2a 蓋開閉スペース
3 アーム
4 フレーム
5 ウォームジャッキユニット
5a ハウジング
5b シリンダ
6 昇降用モータ
7 カソード
8 回転用モータ
9 回転用減速機
9a ハウジング
9b 回転軸
11 ロータリポジショナ
12 ガイドプレート
13 ガイドベアリング
14 ストッパ
Claims (7)
- 真空チャンバの開口部に取付けられた蓋を開閉する蓋開閉装置であって、
前記開口部から前記蓋を離間させる方向に直線運動させる蓋昇降装置と、
前記開口部を開閉するように前記蓋を回転させる蓋回転装置と、を備えることを特徴とする蓋開閉装置。 - 真空チャンバの開口部に取付けられた蓋を開閉する蓋開閉装置であって、
蓋に連結されたフレーム部材と、
前記フレーム部材を昇降させる蓋昇降装置と、
前記蓋昇降装置を取付けたアーム部材と、
前記アーム部材を側方に傾けるように回転させる蓋回転装置と、を備え、
前記蓋昇降装置により前記蓋を前記開口部から離間させた後に、前記蓋回転装置により前記蓋を側方に回転させることを特徴とする蓋開閉装置。 - 前記蓋昇降装置による前記フレーム部材の昇降動作の際に、
前記アーム部材側と前記フレーム部材側とをベアリングを介して常時接触させる蓋ガイド装置を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の蓋開閉装置。 - 前記蓋にはカソードが搭載されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の蓋開閉装置。
- 前記フレーム部材はX字状であり、
前記蓋は矩形状であり、
X字状に形成された前記フレーム部材のそれぞれの端部が、前記蓋の四隅側に連結されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の蓋開閉装置。 - 前記蓋回転装置は、前記蓋を180°まで回転可能に構成されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の蓋開閉装置。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の蓋開閉装置を備えることを特徴とする真空装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010041813A JP2011179531A (ja) | 2010-02-26 | 2010-02-26 | 蓋開閉装置及び真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010041813A JP2011179531A (ja) | 2010-02-26 | 2010-02-26 | 蓋開閉装置及び真空装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2010041813A Pending JP2011179531A (ja) | 2010-02-26 | 2010-02-26 | 蓋開閉装置及び真空装置 |
Country Status (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2010
- 2010-02-26 JP JP2010041813A patent/JP2011179531A/ja active Pending
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