JP2009206207A - 板状物搬送装置および板状物搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板状物Wと保持パッド22の保持面22aとの間の空間に融解状態の媒体23を供給し、この媒体23を冷却して凝固させることで板状物Wを保持させて搬送し、搬送後には、媒体23を融解して保持パッド22を板状物Wから離脱させるようにしたので、媒体23が介在することで保持パッド22が非接触状態で板状物Wを保持することとなり、薄い板状物Wであってもダメージを与えることなく保持して搬送できるようにした。
【選択図】 図6
Description
図1は、本実施の形態の板状物搬送装置を備える研削装置を示す外観斜視図である。研削装置1は、半導体ウエーハ等の薄い板状物Wを吸引保持する3つのチャックテーブル2と、これらのチャックテーブル2をそれぞれ回転自在に支持して回転するターンテーブル3と、板状物Wを収容するカセット4,5と、カセット4からの板状物Wの搬出またはカセット5への板状物Wの搬入を行う搬出入手段6と、板状物Wの中心位置合わせを行う位置合わせ手段7と、チャックテーブル2に板状物Wを搬入する搬入手段8と、チャックテーブル2に保持された板状物Wに研削処理を施す研削手段9,10と、板状物Wを吸引保持して回転するスピンナーテーブル11を備え研削後の板状物Wの研削面を洗浄する洗浄手段12と、チャックテーブル2上から板状物Wをスピンナーテーブル11上に搬送する板状物搬送装置20と、研削後のチャックテーブル2を洗浄する洗浄手段13とを備えている。ここで、ターンテーブル3に配設された3個のチャックテーブル2は、ターンテーブル3が回転することにより順次移動し、搬入・搬出領域E1、粗研削加工領域E2、および仕上げ研削加工領域E3に順次位置付けられる。
図7は、変形例1を示す冷却凝固時の概略構成図である。変形例1は、媒体23に代えて、融点が常温(20℃前後)よりも若干低く、例えば17℃程度の媒体31を用いる場合の例を示す。この場合、媒体凝固工程では、大きく温度を下げる必要がないため、冷却層25の開口25bを閉じた構造とし、通路25aに対して冷水32を循環供給させることで、保持面22a下の媒体31を冷却し凝固させるようにしたものである。なお、保持パッド位置付け工程、媒体供給工程、搬送工程並びに媒体融解工程は、図6で説明した場合と同様に行わせればよい。
図8は、変形例2による板状物搬送工程を順に示す概略構成図である。変形例2は、媒体23に代えて、融点が例えば0℃近くの水などを媒体41として用いる場合の例を示す。変形例2では、使用する媒体41に対応させて、保持パッド42は、熱伝導性の良好なる部材により単純な円盤形状に形成されて、下面側が保持面42aとされている。このような保持パッド42には、媒体用配管24bが貫通形成され、媒体供給手段24の媒体供給管24aが連結されている。また、保持パッド42の上面側(すなわち、保持面42aとは反対の面側)には、冷却手段43と融解手段44とが搭載されている。冷却手段43は、例えば通電することにより保持パッド42側を冷却するペルチェ素子等の電熱変換素子が用いられている。また、融解手段44は、例えば通電することにより発熱して保持パッド42を加熱するヒータ等が用いられている。
11 スピンナーテーブル
20 板状物搬送装置
22 保持パッド
22a 保持面
23 媒体
24 媒体供給手段
27 冷却手段
29 融解手段
30 計量送出手段
31 媒体
41 媒体
42 保持パッド
42a 保持面
43 冷却手段
44 融解手段
W 板状物
Claims (5)
- 板状物を第1の位置から第2の位置へ搬送する板状物搬送装置であって、
前記第1の位置と前記第2の位置との間で変位可能に設けられ、媒体を介して板状物を保持する保持パッドと、
該保持パッドの保持面と前記第1の位置に保持された板状物との空間に融解状態の前記媒体を供給する媒体供給手段と、
供給された前記媒体を冷却し凝固させる冷却手段と、
凝固した前記媒体を融解する融解手段と、
を備えることを特徴とする板状物搬送装置。 - 前記媒体供給手段は、計量して所定量の前記媒体を前記保持パッド側へ送出する計量送出手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の板状物搬送装置。
- 前記冷却手段および前記融解手段は、前記保持パッド内に配設されていることを特徴とする請求項1または2に記載の板状物搬送装置。
- 前記冷却手段および前記融解手段は、前記保持パッドの前記保持面とは反対の面側に配設されていることを特徴とする請求項1または2に記載の板状物搬送装置。
- 第1の位置と第2の位置との間で変位可能に設けられた保持パッドを用いて、前記第1の位置に保持された板状物を第2の位置へ搬送する板状物搬送方法であって、
前記第1の位置に保持された板状物の表面真上に対して前記保持パッドの保持面を僅かな空間を保って平行に位置付ける保持パッド位置付け工程と、
前記保持パッドの前記保持面と前記板状物との空間に融解状態の媒体を供給する媒体供給工程と、
供給された前記媒体を冷却手段によって冷却し凝固させる媒体凝固工程と、
凝固した前記媒体を介して前記保持パッドの前記保持面に保持された板状物を該保持パッドの変位によって前記第2の位置へ搬送する搬送工程と、
凝固した前記媒体を前記第2の位置で融解手段によって融解させる媒体融解工程と、
を備えることを特徴とする板状物搬送方法。
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