JP2009186200A - 電磁誘導式エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定方向に沿ってスケール10上に多数配列されたスケールコイル14と、前記スケールに対して測定方向に相対移動自在にグリッド12上に配設された送信コイル24及び受信コイル20とを備え、送信コイルを励磁した時に、スケールコイルを経由して受信コイルで検出される磁束の変化から、スケールとグリッドの相対移動量を検出する電磁誘導式エンコーダにおいて、前記送信コイル、受信コイルとスケールコイルが、スケールの中心に対して対称に複数セット(24A、24B)(20A、20B)(14A、14B)配置されており、スケール中心に関して対称な位置にあるスケールコイルの一方は、他方のスケールコイルに対し、スケールピッチの1/2位相がずれた関係になっている。
【選択図】図3
Description
12…グリッド
14A、14B…スケールコイル
20A、20B…受信コイル
24A、24B…送信コイル
28…送信制御部
Claims (3)
- 測定方向に沿ってスケール上に多数配列されたスケールコイルと、
前記スケールに対して測定方向に相対移動自在にグリッド上に配設された送信コイル及び受信コイルとを備え、
送信コイルを励磁した時に、スケールコイルを経由して受信コイルで検出される磁束の変化から、スケールとグリッドの相対移動量を検出する電磁誘導式エンコーダにおいて、
前記送信コイル、受信コイルとスケールコイルが、スケールの中心に対して対称に複数セット配置されており、
スケール中心に関して対称な位置にあるスケールコイルの一方は、他方のスケールコイルに対し、スケールピッチの1/2位相がずれた関係になっていることを特徴とする電磁誘導式エンコーダ。 - 前記送信コイルに同じ方向の電流を流す際に、スケール中心に関して対称な位置にある2つの受信コイルの出力の差を取るように受信コイル同士が接続されることを特徴とする請求項1に記載の電磁誘導式エンコーダ。
- 前記送信コイルに異なる方向の電流を流す際に、スケール中心に関して対称な位置にある2つの受信コイルの出力の和を取るように受信コイル同士が接続されることを特徴とする請求項1に記載の電磁誘導式エンコーダ。
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