JP2009162644A - 発泡体ローラーの欠陥検出方法及び欠陥検出装置 - Google Patents

発泡体ローラーの欠陥検出方法及び欠陥検出装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2009162644A
JP2009162644A JP2008001189A JP2008001189A JP2009162644A JP 2009162644 A JP2009162644 A JP 2009162644A JP 2008001189 A JP2008001189 A JP 2008001189A JP 2008001189 A JP2008001189 A JP 2008001189A JP 2009162644 A JP2009162644 A JP 2009162644A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
foam roller
light
imaging device
inspection
image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2008001189A
Other languages
English (en)
Inventor
Takayuki Hatanaka
孝行 畑中
Keiji Sasaki
計二 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Chemicals Inc
Original Assignee
Canon Chemicals Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Chemicals Inc filed Critical Canon Chemicals Inc
Priority to JP2008001189A priority Critical patent/JP2009162644A/ja
Publication of JP2009162644A publication Critical patent/JP2009162644A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Dry Development In Electrophotography (AREA)

Abstract

【課題】発泡体ローラーの表面部と内部に存在する欠陥を1度の検査で得る方法及び装置を提供する。
【解決手段】投光装置の光源及びシリンドリカルレンズ4を通した光を発泡体ローラー1に投光する。そして、発泡体ローラー1における反射光Pを撮像装置11で撮像すると共に、発泡体ローラー1を透過した透過光を反射板2で反射させて、撮像装置11で撮像する。
【選択図】図5

Description

本発明は、発泡体ローラー部材に光を照射して行なう欠陥検出方法及び欠陥検出装置に関する。
発泡体ローラーの欠陥を判別する方法として、人手で行なう方法、検査装置を用いて行なう方法があった。人手で行なう方法に関しては、製品の高精度化に伴い、微小な欠陥を発見する必要がある。そのために長時間集中しなければならない根気のいる作業となり、精神的な負担も大きくなり疲労も倍増することになる。また、視覚による検査は、検査員の主観的な検査判定であって、検査員の判断に依存する。したがって、検査員が異なる場合や極端な場合において、同じ検査員であっても、検査時間の推移によって、検査水準が変化する可能性がある。
上記検査員に代わる方法として、CCDカメラを用いた電子撮像装置による外観検査手法も明らかにされている(例えば、特許文献1)。
また、発泡体表面に光を照射してローラーからの反射光を利用してローラーの状態を判断する検査装置が提案されている(例えば、特許文献2)。
これらの特許文献に開示された技術は、照射した光が発泡体表面で反射し、前記反射した光が、発泡体表面に欠陥があった場合には、その欠陥部分で光の反射変化が起こることを利用している。すなわち、それら反射光を撮像装置により撮影し、映像信号化し、その映像信号を信号処理して、欠陥部分を検出する方法である。
特開平9-243568号公報 特開2005-274140号公報
しかしながら、上記特許文献に記載の方式は製品表面部に存在する欠陥に対しては有効な手段であるが、製品内部に存在する欠陥に対しては、表面において光が反射してしまう為、製品内部の検査は出来ないという課題があった。

そこで本発明の目的は、上記課題を解決することができる発泡体ローラーの欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供することにある。その目的の一例は発泡体ローラーの表面部と内部に存在する欠陥を1度の検査で得ることにある。
上記目的を達成するため本発明は、投光装置と撮像装置を少なくとも有し、該撮像装置で得られた画像をもとに発泡体ローラーの欠陥を検出する、発泡体ローラーの欠陥検出方法において、
前記投光装置からの光を該発泡体ローラーに投光し、前記発泡体ローラーにおける反射光を前記撮像装置で撮像すると共に、前記発泡体ローラーを透過した透過光を反射板で反射させて、前記撮像装置で撮像することを特徴とする。
本発明によれば、発泡体ローラーの表面部と内部に存在する欠陥を1度の検査で得ることが出来る。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
本発明においては、発泡体ローラー表面にて反射する光及び、発泡体ローラーを透過した光について、これら2つの光の像を重なり合わないように1つの撮像装置へと投写させることに苦慮した。例えば、発泡体ローラーへ投光する投光装置においては、照射するライン状光源の配置角度である。また、反射板においては、発泡体ローラーからの反射光成分と、反射板にて反射させる発泡体ローラー内部を透過した透過光成分とが重なり合わない配置角度である。さらに、撮像装置においては、撮影される発泡体ローラーの画像処理である。
具体的には図1及び図2に示される装置構成により、発泡体ローラーの欠陥検査を実施できる。図1は本発明に係る発泡体ローラーと投光装置と反射反の位置関係を示す図、図2は本発明の一実施形態による欠陥検出装置の概略構成図である。以下、図中の符号を用いて本実施形態の装置及び方法を説明する。
被測定物となる発泡体ローラー1は、主成分がウレタンからなるローラーである。光の透過率特性として長波長領域及び可視光領域においては、同様の成分からなる厚さ2[mm]のシートの場合60〜90[%]の透過率を有している。しかし、同シートは短波長領域、つまり光源波長380[nm]以下から急激に光を透過しなくなり、300[nm]以下において透過率は20[%]以下となる性質を持つ。ローラー形状においても同様の性質を有していることを確認している。
光源3を有する投光装置の配置位置は、発泡体ローラー全域に光が当たるように配置する必要がある。投光装置のライン幅は発泡体ローラー1の製品幅より長いことを要する。また、光の照度ムラを無くす為に、投光装置の照射部分は、例えば、光ファイバをライン状に分割し配置したものを用いる。照射部分の先端には、均一した照度の光を照射させるという観点から、シリンドリカルレンズ4を用いる。このレンズは、光の一軸上方向のみの高さの拡大、縮小が可能となるレンズである。このレンズを用いることにより、拡散した光を収束させ、均一した光を照射することが可能となる。
投光装置の光の波長については、発泡体ローラー1の表面で反射し且つ発泡体ローラー1の内部を透過する波長領域であることを要とする。
これに関して、ハロゲン光源を用いた可視光領域、及び1000[nm]以上の長波長領域を照射するIR光源と、220〜320[nm]を照射するUV光源とを用い試験を行なった。
試験の中で、220〜320[nm]の光源波長領域においては、発泡体ローラー内部への透過は行なわれていないことを確認している。その結果、光源3からの光の波長において、320[nm]以上の光源波長を用いる必要がある。
撮像装置11は、発泡体ローラー1より反射した光、及び、発泡体ローラー1を透過し、その透過した光が反射板2により反射し、その反射光を撮像できる位置に配置する事を要する(図5)。本実施形態においては、撮影装置11としてCCDカメラを使用し、撮像装置11の撮影範囲を発泡体ローラー1の検査対象範囲内に設置する。また、撮像装置11の視野角、及び撮像装置11の分解能の関係より、一つの撮像装置11で発泡体ローラー1の幅方向全域を撮影が出来ない場合においては、撮像装置11を複数台用いて撮影してもよい。尚、発泡体ローラーの幅とは、ローラー軸に平行な方向の長さをいう。
本実施形態において撮像装置11として用いたCCDカメラはカメラの画素配置が2次元平面のものとなっている平面撮像用のカラーカメラを用いた。前記カメラは1画像1要素に付き約30万画素のもので、赤色成分(R)、青色成分(B)、緑色成分(G)の3要素に分かれているものを選択した。1画像に含まれる約90万の画素は各々アナログ階調となっており256段階の光量に分割されているものを選択した。しかし、発泡体ローラー1の欠陥を検出可能な撮像装置であればモノクロカメラでも良く、このカメラ仕様に限定するものではない。
撮像装置11に用いるカメラレンズ12については、ディストーション(歪曲)を低減している高解像度型のレンズを用いた。本実施形態において、焦点距離が25mm、TVディストーション-0.1%以内、フォーカスとアイリス絞りは手動で調整可能なレンズを用いた。しかし、発泡体ローラー1の欠陥を検出可能な撮像装置であればこのカメラレンズ仕様に限定するものではない。
撮像装置11の焦点位置は、一つの撮像装置11において発泡体ローラー1の表面で反射した反射光Pと、発泡体ローラー1を透過し、その透過した光が反射板2により反射した反射光Qが撮像装置11において、同じ被写界深度内に入ることを要する。被写界深度に関しては、フォーカスとアイリス絞りにより、手動で調整することにより調節可能である。
測定物である発泡体ローラー1の回転機構については、発泡体ローラーの芯に当たる、芯金部分1aの両端を、金属で製作された2つの回転部材15で受けることにより、発泡体ローラー1を装置で把持させている。この回転部材15を回転させることにより、発泡体ローラー1を回転させる事が可能となる。回転部材15は測定物を一定速度で回転させる観点より、全駆動としている。また、測定物の回転を一定に保つ事を保証するという観点よりエンコーダーつきのモータードライバ18を用い回転させている。
上記回転機構は駆動制御装置19よりの回転開始信号を受け回転を始め、駆動制御装置19よりの、回転終了信号より回転を停止する機構となっている。
欠陥検査時には発泡体ローラー1を上記回転機構により回転させることにより、撮像装置11が発泡体ローラー1の検査対象範囲場所に対し逐次撮影を行い、検査対象範囲全域を撮影する。取り込んだ画像より、画像処理を行い、欠陥がある場合には、駆動制御装置19より出されているトリガをもとに、取り込み画像の画像番号を算出し、同時に欠陥が発見された画像における画像内部での位置情報を算出する。これらの算出結果を組み合わせることによって検査物における不良箇所のおおよその位置情報を得る。同時に、欠陥の大きさ、1回の検査における欠陥の数等も記憶して表示可能としておく。これらは記憶装置及び処理装置21により行われる。
撮像装置11の調整機構については、カメラの焦点位置の調整を容易させるという観点より、微動ステージ13を各々の撮像装置11に設置することにより可能にさせている。微動ステージ13の具体的な構成は図3及び図4に示されている。これらの図において、符号13aはθ角微動ステージ、符号13bはY軸方向微動ステージ、符号13cはX方向調整ステージ、符号13dは回転ステージ、符号13eはZ軸方向微動ステージを示す。さらに、符号13fはY軸方向微動ステージ、符号13gはX軸方向微動ステージを示している。
上述した反射板2については、光源3からシリンドリカルレンズ4を透過し集光された光が、発泡体ローラー1を透過し、その透過した光が反射板2により反射し、その反射光を撮像装置11が撮像出来るように配置することを要する。
本発明において、一つの撮像装置11により反射光成分と透過光成分の両方を同時に撮影するという観点より、反射板2のなす角度θ(図1)は、光源2とシリンドリカルレンズ4を有する投光装置の光軸6に対し60度以上150度以下に配置することを要する。
反射板2の反射率に関しては、発泡体ローラー1を良好に撮像させるという観点より、反射板2の反射率が60%以上であることを要する。60%未満の反射率においては、発泡体ローラー1の形状の把握及び、発泡体ローラー1内部を透過した光を反射した際、撮像装置11において、十分な光量が得られないことを確認している。本実施形態において反射板2の反射率は約90%のものを用いた。しかし、発泡体ローラー1の表面形状及び内部形状を撮影でき欠陥を判別させる反射率でよいのでこの反射率に限定するものではない。
また、一つの撮像装置11において発泡体ローラー1の表面部で反射した反射光Pと、発泡体ローラー1の内部を透過し、その透過した光が反射板2により反射した反射光Qが撮像装置11において、同じ被写界深度内に入ることを要する。
また、反射板2は発泡体ローラー1の表面形状及び内部形状を平面板に比べ、より多く撮影させる観点より、反射板2の反射面が平面でなく、曲率を持った面でもよい。
なお、撮像した画像において、投光装置の配置角度、投光出力、撮像装置の配置位置、反射板の反射率、設置角度との関係は実験的に最適値は得られる。
次に、図6を参照し、発泡体ローラー全域を検査する流れを説明する。図6は、発泡体ローラー全域を検査する流れを示すフローチャートである。
まず、回転機構部、検査部ともに電源を投入する。電源を投入された検査部においては、処理装置21における通信の確認、ソフト起動の確認等を行なう。電源を投入された回転機構部は「装置原点だし」と呼ばれる稼働準備を始める。この準備とは、装置の機械的な原点、ソフト的な原点位置、検査部におけるソフト起動信号トリガを受け付け、装置の準備が出来ているのかを確認するためのものである。
装置原点出しを終えた回転機構部は、検査準備完了ランプを点灯させ、回転準備待ちとなる。
回転機構部に測定物である発泡体ローラー1が載せられ、回転開始信号を受け取ると、回転機構(モータドライバ18等)は回転を始める。回転機構が測定物の回転が一定となったと判断される時間の後、検査開始トリガを検査部へ発信する。検査部は前記検査開始トリガ信号を受け、画像処理すなわち検査を開始する。
検査部にて検査開始トリガを受けると、撮像装置11の画像取り込みを開始し、取り込んだ画像において画像処理を逐次進めていく。処理速度向上の観点より、取り込みと画像処理は同時並行で進められるよう、処理装置21は並列処理化させている。
画像取り込みを終え、もしくは画像処理を終えた処理装置21は、次の測定物の入替を少しでも早く行なえるようにさせるという観点より、検査を終えたと同時に検査終了トリガを回転機構部へと出力する。その後、検査結果を集計し検査結果を出力する。
検査終了信号を受け取った、回転機構部は直ちに測定物の回転を停止し、測定物の着脱を可能にさせる。測定物の回転が十分に完了していると判断した後に、着脱信号を出力する。この信号を受け、ハンド部は測定物の着脱を行なう。
検査結果は、回転機構部の場所近傍での表示、及び表示装置での出力にて確認を行なえる様になっている。
さらに、検査部における、画像処理について詳述する。
初めに、画像処理の前処理について説明する。
測定物の画像取り込みにおいて撮像された画像の照度計算を行なう。製品の形状状態、光学系の配置角度において10〜20程度照度は変動する。照度に関しては投光装置に付属しているボリュームにより調整可能である。取り込み画像の輝度変換の調整値は256階調中の好きな数値に設定可能だが、好ましくは、製品の公差左右されにくい照度にするという観点より160付近が望ましい。しかしながら発泡体ローラー1を良好に撮影可能であれば、この数値に限定するものではない。
取り込む画像に関しては、データの伝送時に発生する外因的な影響によるノイズ、カメラの画素欠けによるノイズ等を低減させる為、平滑化処理を行っている。そして平滑化処理に関しては、製品の表面粗さの影響を軽減させるように設定している。したがって、検出条件、設置状況の違いにより対応可能なよう設定値の数値変更は可能なようにしておく。
このとき、取り込み画像の平滑化処理の画素調整値、つまり平均化する際の隣合う画素の範囲は、取り込み画素数内において好きな数値に設定可能だが、好ましくは、製品の表面粗さを軽減し、且つ凹凸を検出可能にさせるという観点より3〜5付近が望ましい。しかし、製品表面部を良好に撮影可能であれば、この数値に限定するものではない。
続いて、検査部における欠陥検出処理について説明する。
上記画像処理前処理を行なった後、欠陥を検出する為、二値化処理及び光量差分処理等を行なう。二値化処理とは、設定した照度以下のものを欠陥と認識させるものである。
光量差分処理とは、取り込んだ1つの画像を、設定した複数の枠に分割し、その分割した枠の平均光量を算出する。次いで、算出した枠と隣り合う枠との差分を計算する。その差分値の最大値を算出し、欠陥としている基準値とその最大値とを比較することにより欠陥を見つけるというものである。
この光量差分処理においては、隣り合う枠との比較をする替わりに1画像前の画像を用い同じ場所での枠の平均光量差を用いて算出させてもよい。
このような処理を、取り込んだ画像に対し、逐次行なっていくことにより、不良箇所を見つけ出すことが可能となる。なお、二値化方式及び光量差分処理等は発泡体ローラーに適するものであるから、画像形成装置における搬送用ローラー部材(例えば、電子写真装置用トナー搬送ローラー)として用いるものの欠陥検出方法として優れたものでも有る。
以下、前述した形態について、より具体的に説明する。
前述した欠陥検出装置は図2に示される符号の部品を備えるものである。上記の説明と重複するが、符号1は発泡体ローラー、符号2は反射板、符号3は光源、符号4はシリンドリカルレンズ、符号5は投光制御装置、符号11は撮像装置、符号12はカメラレンズ、符号13は微動ステージ、符号18はモータードライバである。さらに、符号19は駆動制御装置、符号20は検査ステージ、符号21は記憶装置及び処理装置、符号22は表示装置、符号23は電源ユニット及び無停電電源である。
投光制御装置5、撮像装置11、モータードライバ18、駆動制御装置19、記憶装置及び処理装置21、表示装置22は、電源ユニット及び無停電電源23より電源を供給されている。
投光制御装置5より光源3が発光してシリンドリカルレンズ4を通過した光は、発泡体ローラー1に照射される。発泡体ローラー1に照射された光は、発泡体ローラー1の表面部で反射する成分と、発泡体ローラー1の内部を透過する光成分とに分別される。ローラー表面部において反射した光Pは撮像装置11へと取込まれると共に、ローラー内部を透過した光Qにおいても、反射板2により反射され、撮像装置11へと取込まれる。
撮像装置11により撮影された画像は記憶装置及び処理装置21に転送される。その際、転送された画像は記憶装置及び処理装置21に画像番号を付して記憶するようにしておく。
撮像装置11のカメラレンズ12は、近接撮影時に最良な光学性能が得られるような近接撮影専用レンズを用い、フォーカス機能及びアイリス絞り機能を有し光量を調節可能なものを使用した。撮像装置11において、像がハレーションを起こすことなく、精度よく結像できるようなものを選択した。
処理装置21は、内蔵する記憶装置に記憶された画像データをもとに、画像処理を行なう所であり、画像処理の流れとしては、取り込んだ画像を、まず初めにノイズ等を取り除く為、画像フィルタ処理(画像平滑化処理)を行っている。これは、1つの画素が突発的に周囲の隣り合う画素と大きく異なる光量の場合など、画素の突発的なノイズを除去させ、さらに、製品の表面粗さの影響を軽減させるために設定している処理である。
また、図7に図示している、反射光による発泡体ローラー画像33、透過光による発泡体ローラー画像34の照度は互いに違う為、各々の画像中の光量を算出し、光量値を元に、光量を足す処理を加えている。
これらの画像を基に、製品表面部の凹凸及び製品内部の気泡などの箇所を認識させ、製品表面及び内部に存在する欠陥箇所の検出を可能にしている。
その際には、各々のカメラレンズ12の倍率、撮像装置11の設置角度、撮像可能範囲の位置などの設定はあらかじめ処理装置21へ登録しておく。前記情報を元に、欠陥の位置情報、大きさを処理装置21上で算出し、その結果は記憶装置に記録を行い、同時に表示装置22へ出力する。
また処理装置21は、駆動制御装置19と連動させ、設定した計測分解能に従ってモータードライバ18を制御し、発泡体ローラー1の検査位置を順次変えていくことで、検査領域全域を検査することが可能になっている。
次に欠陥検出動作について説明する。
本例の欠陥検出装置はハンド部と回転機構部と検査部より構成されている。ワークとは、製品となる発泡体ローラー1である被検査物(測定物)を指す。ハンド部はワークを検査ステージ20のワーク台に載せる機能と、画像処理部の結果を受けてワーク台よりワークをそれぞれのコンベアに載せる機能を有するものである(図2には不図示)。上記ハンド部ではワークをワーク台に着脱させること可能となる。
回転機構部は、駆動部であるモータードライバ18と、ワークを回転させる為の回転部材15を有するものである。
検査部は、記憶装置及び処理装置21、表示装置22、回転機構部を駆動制御する駆動制御装置19、撮像装置11、5投光装置から構成される。そして、回転機構部の回転制御と、画像処理により、ワークの表面部の欠陥箇所を認識出来るようにするものである。
上記回転機構部について説明する。回転機構部とはワークを撮像装置11が撮像すべき領域、つまり検査領域全てを、撮影させる事を目的とした機構である。
初めに、ハンド部からワークが検査ステージ20上の回転機構部に搬送され、回転部材15にセットされる。セットされたワークは、位置ずれしない様に、突き当てを前進させワークの位置を固定する。ワークを把持し、位置を固定した後は、回転機構部以外において、無理な方向からの力が働かないようにするという観点より、把持機構は後退する。
把持機構が後退したら、駆動制御装置19より制御された、モータードライバ18より回転部材15を回転させる。ワークを載せた回転部材15にて、撮像装置11が撮像すべき領域、つまり検査領域全てを撮影するように、ワークを回転させた後、回転機構部はワークの回転を終了する。回転機構部が完全にワークの回転を終了した後に、検査部の結果を待ってワークはハンド部の機構により検査ステージ20のワーク台から取り外される。
ワーク台からワークが取り出された後、ハンド部はステージ開始位置に戻り、別のワークを載せられるよう待機する。
ワーク台から取り出されたワークは、検査部の結果を待って、それぞれのコンベアに分別されるようになっている。
次に検査部について説明する。
検査部とは、ワークである発泡体ローラー1の表面の凹凸及び内部の気泡などの欠陥とされる箇所を認識させることを目的とした機構である。同時にハンド部、回転機構部の制御機能も兼ねている。
検査部は、回転機構部にワークを載せられた際、発信される検査トリガ信号を受けて、画像処理の為のメモリの初期化、ウインドウの設定等の初期設定を開始する。
ワークを保持する回転部材15の回転を開始し、撮像装置11が撮像すべき安定したワーク回転であると判断できる回転速度領域となった際に、駆動制御装置19より発信される検査開始トリガを受けて、画像の取り込みを開始する。
撮像装置11が撮像すべき領域、つまり検査領域全てを撮影した後、処理装置21が画像処理を行い、結果を集計する。集計した結果を結果I・Oとして、ハンド部へ、結果別のコンベアに運ばせる為の信号を送る。
これらのハンド部と回転機構部と検査部がそれぞれ連携し、動作を繰り返すことにより、複数本のワークを短時間に撮像することを可能にしている。
「比較例」
次に比較例を示す。
比較例として、本実施例の投光装置(光源3とシリンドカルレンズ4を備えた筐体)及び撮像装置11との配置を図8に示すようにした。すなわち、発泡体ローラー1に対し、その反射光を取り込む撮像装置11Aと、その透過光を取り込む撮像装置11Bとに分けて配置した。
このときに用いた発泡体ローラー1のサンプルとして、ローラー表面部にスジがある不良品とローラー内部に気泡がある不良品をそれぞれ各5本用意した。そして、比較例及び本実施例の方法にて、同様の検査を行なった。
検査の結果、比較例及び本実施例において、両方共に各5本共に欠陥であるという判定であった。
このことより、本実施例における欠陥検出方法は、比較例と同様の検査能力が示せることが証明された。
以上、本発明の好ましい形態例を図面をもとに説明したが、本発明は図面に開示した構造や形などに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことが出来るのは言うまでもない。
本発明に用いられる反射板の設置角度を示す図である。 本発明の一実施形態による欠陥検出装置の構成を示すブロック図である。 図2の撮像装置の微調機能を示す斜視図である。 図2の撮像装置の微調機能を示す側面図である。 本発明に用いられる投光装置、撮像装置、反射板の配置を示す図である。 本発明の欠陥検出装置を用いて発泡体ローラー全域を検査する流れの一例を示したフローチャートである。 実施例における撮像装置での取り込み画像のブロック図である。 比較例1における装置配置のブロック図である。
符号の説明
1 発泡体ローラー
2 反射板
5 投光装置
11 撮像装置
31 取り込み画像
32 反射板による直接の反射画像
33 反射光による発泡体ローラー画像
34 透過光による発泡体ローラー画像

Claims (7)

  1. 投光装置と撮像装置を少なくとも用いて発泡体ローラーの欠陥を検出する、発泡体ローラーの欠陥検出方法において、
    前記投光装置からの光を該発泡体ローラーに投光し、前記発泡体ローラーにおける反射光を前記撮像装置で撮像すると共に、前記発泡体ローラーを透過した透過光を反射板で反射させて、前記撮像装置で撮像することを特徴とする発泡体ローラーの欠陥検出方法。
  2. 前記反射板のなす角度が前記投光装置の光軸に対し60度以上150度以下であることを特徴とする請求項1に記載の発泡体ローラーの欠陥検出方法。
  3. 前記投光装置からの光の波長が320nm以上であることを特徴とする請求項1に記載の発泡体ローラーの欠陥検出方法。
  4. 前記発泡体ローラーが電子写真装置用トナー搬送ローラーであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の発泡体ローラーの欠陥検出方法。
  5. 投光装置と撮像装置を少なくとも有し、該撮像装置で得られた画像をもとに発泡体ローラーの欠陥を検出する、発泡体ローラーの欠陥検出装置において、
    前記投光装置よりの光が該発泡体ローラーに投光され、前記発泡体ローラーにおける反射光を前記撮像装置で撮像すると共に、前記発泡体ローラーを透過した透過光を反射板で反射させて、前記撮像装置で撮像することを特徴とする発泡体ローラーの欠陥検出装置。
  6. 前記反射板のなす角度が前記投光装置の光軸に対し60度以上150度以下であることを特徴とする請求項4に記載の発泡体ローラーの欠陥検出装置。
  7. 前記発泡体ローラーが電子写真装置用トナー搬送ローラーであることを特徴とする請求項5または6に記載の発泡体ローラーの欠陥検出装置。
JP2008001189A 2008-01-08 2008-01-08 発泡体ローラーの欠陥検出方法及び欠陥検出装置 Withdrawn JP2009162644A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008001189A JP2009162644A (ja) 2008-01-08 2008-01-08 発泡体ローラーの欠陥検出方法及び欠陥検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008001189A JP2009162644A (ja) 2008-01-08 2008-01-08 発泡体ローラーの欠陥検出方法及び欠陥検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009162644A true JP2009162644A (ja) 2009-07-23

Family

ID=40965425

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008001189A Withdrawn JP2009162644A (ja) 2008-01-08 2008-01-08 発泡体ローラーの欠陥検出方法及び欠陥検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009162644A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11576837B2 (en) 2019-10-03 2023-02-14 Jfxd Trx Acq Llc Multi-zonal roller and method of use thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11576837B2 (en) 2019-10-03 2023-02-14 Jfxd Trx Acq Llc Multi-zonal roller and method of use thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4990630B2 (ja) 表面検査装置及び表面検査方法
JP5014003B2 (ja) 検査装置および方法
JP5425189B2 (ja) 半導体ウエハの検査装置および検査方法
JP5144401B2 (ja) ウエハ用検査装置
JP2012026858A (ja) 円筒容器の内周面検査装置
JP6310372B2 (ja) 検査装置
CN208255087U (zh) 轧辊磨削表面清洁及机器视觉检测***
JP5042503B2 (ja) 欠陥検出方法
KR20160121716A (ko) 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
JP2009162644A (ja) 発泡体ローラーの欠陥検出方法及び欠陥検出装置
JP2003075906A (ja) カメラマウント装置、カメラ装置、検査装置、及び複数の1次元ccdカメラの姿勢および位置の調整方法
JP2004219358A (ja) 鋼片の表面疵検出装置
JP2010122155A (ja) 板状体の欠陥検出方法及び欠陥検出装置
JP2009216647A (ja) 欠陥検査方法及び欠陥検査装置
CN211402165U (zh) 外观瑕疵检测装置
JP2001311693A (ja) 検査装置
EP1720353A3 (en) Object detection apparatus and method for a vehicle
JP2015104832A (ja) シート状物の検査装置
CN210166289U (zh) 一种成像装置、成像设备及管件测量和检测***
JP2007003332A (ja) 板状体側面の欠陥検出方法及び欠陥検出装置
JP2002303583A (ja) 容器の検査方法及び容器の検査装置
JP2008107348A (ja) ガラス容器を検査するための機械
JP2008191017A (ja) 板状体の欠陥検出方法
KR100591312B1 (ko) 디스플레이 검사장치
TW201915481A (zh) 光學顯示面板的損傷檢查方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101213

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20120312