JP2009160484A - 有機溶剤含有ガス処理システム - Google Patents

Abstract

【課題】 後処理の燃焼装置において燃焼温度を安定させることにより低ランニングコストでＶＯＣ含有ガスを処理することができるシステムを提供する。
【解決手段】 筒状吸着体をその筒軸まわりに回転させ、吸着部を通過する吸着体に低濃度の揮発性有機溶剤を含むガス中の有機溶剤を吸着させ、脱着部を通過する有機溶剤を吸着した吸着体に脱着用空気を吹き込むことにより濃縮された脱着ガスを排出する濃縮装置と、脱着ガスの燃焼のための燃焼装置と、脱着ガスの一部の吸着部・燃焼装置用帰還路と、脱着ガスの残部の燃焼装置用供給路とを備え、脱着部の出口部が、温度が低い脱着ガスを吸着部・燃焼装置用帰還路に案内する領域と、温度が高い脱着ガスを燃焼装置用供給路に案内する領域とに分割され、燃焼状態の変化を検知する手段を設けて、吸着部・燃焼装置用帰還路において燃焼装置へ供給するガス量を制御し、燃焼装置へ導入される有機溶剤の濃度を制御する。
【選択図】 図８

Description

本発明は、揮発性有機化合物（ＶＯＣ「Ｖｏｌａｔｉｌｅ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃｏｍｐｏｕｎｄ」）含有ガスを低ランニングコストで処理するための有機溶剤含有ガス処理システムに関するものである。

塗装工場、印刷工場、フィルムのラミネート工場などではトルエン、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、キシレン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、酢酸エチルなどの揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を使用しており、蒸発したＶＯＣが工場内の空間に拡散し浮遊すると人体に悪影響を与える。また、ＶＯＣ含有ガスが処理されることなく大気に放出されると、光化学オキシダントが発生すると報告されており、環境を汚染することになる。

そこで、大気汚染防止の観点から、規制対象となる工場ではＶＯＣの排出基準が設けられ、その排出基準を守ることが義務付けられている。

ＶＯＣ含有ガスを分解または除去するガス浄化方法としては、例えばＶＯＣ含有ガスを直接、バーナーなどで燃焼する直接燃焼方式、触媒により酸化分解する触媒燃焼方式、蓄熱材で予熱して燃焼させる蓄熱燃焼方式などが知られている。

また、ＶＯＣガスの濃度が低濃度の場合は、燃焼装置に投入する燃料を減らしてランニングコストを抑えるため、燃焼装置の前段にＶＯＣガス濃縮装置を設置する処理システムが知られている（例えば特許文献１参照）。

図１は、一般的な吸着濃縮装置を示したものであり、吸着濃縮装置６０により、例えば１０００Ｎｍ^３／ｍｉｎのＶＯＣ含有ガスを吸着材により吸着除去して清浄空気として排出する一方で、例えば２００Ｎｍ^３／ｍｉｎで１８０℃の加熱空気によって脱着して、小風量で高濃度の濃縮ガスを得る。

図２は、一般的な吸着濃縮装置を用いた有機溶剤処理システムを示したものであり、吸着濃縮装置６０により得られた脱着ガスを燃焼装置６１において酸化分解処理して清浄空気として排出する。このシステムは、吸着濃縮処理を行なうことで燃焼時に使用される燃料使用量を低減でき、経済的に有機溶剤含有ガスを処理できる。

上記のような低濃度のＶＯＣ含有ガスを濃縮して処理する濃縮装置では、処理対象ガス濃度が安定している状態であっても、固定型やシリンダ型の濃縮装置を使用した場合や、ディスク型濃縮装置でもリブ等の補強により脱着風速の変動がある場合には、脱着ガスの濃度に例えば図３のような変動が見られる。また逆に、比較的脱着風速の変動が少ないとされているディスク型濃縮装置の場合でも、処理対象ガス濃度が一時的に増加すると脱着ガス濃度も一時的に増加し、燃焼装置を制御の範囲内で安定に稼動させることは難しかった。

この濃度の変動により、例えば燃焼装置等の後処理装置において、ＶＯＣを酸化分解するのに必要な燃焼温度の制御が安定せずに、温度が低く振れる場合に除去率の低下を招いたり、温度が高く振れる場合には燃焼装置の耐久温度以上の温度になり燃焼温度の異常が発生する問題があった。
特開平１０−３３０号公報

本発明は、かかる従来技術の問題点を解消するために創案されたものであり、その目的は、後処理の燃焼装置において燃焼温度を安定させることにより低ランニングコストでＶＯＣ含有ガスを処理することができる有機溶剤含有ガス処理システムを提供することにある。

本発明者は、上記目的を達成するために鋭意検討した結果、後処理の燃焼装置における燃焼温度の制御が安定しない原因が脱着濃縮ガスの濃度変動であることを見出し、その濃度変動を抑える方法として脱着出口部に複数のダクトを設置し、濃縮装置の脱着部を複数の領域に分割し、燃焼装置へ供給する風量を調節することによって、燃焼装置に導入される濃度変動を著しく抑えることができることを見出し、本発明の完成に至った。

本発明は、以下の２種類の有機溶剤含有ガス処理システムの形態がある。
本発明の第１形態は、
筒状吸着体をその筒軸まわりに回転させ、吸着部を通過する吸着体に低濃度の揮発性有機溶剤を含むガス中の有機溶剤を吸着させ、脱着部を通過する有機溶剤を吸着した吸着体に脱着用空気を吹き込むことにより濃縮された脱着ガスを排出する濃縮装置と、
前記脱着ガスを燃焼させるための燃焼装置と、
前記脱着ガスの一部を前記吸着部または燃焼装置に帰還させるための吸着部・燃焼装置用帰還路と、
前記脱着ガスの残部を前記燃焼装置に供給するための燃焼装置用供給路とを備え、
前記脱着部の出口部が、前記筒状吸着体の回転方向において、温度が低い脱着ガスを前記吸着部・燃焼装置用帰還路に案内するように区画された第１領域と、温度が高い脱着ガスを前記燃焼装置用供給路に案内するように区画された第２領域とに分割されており、
燃焼装置へ導入される脱着ガス中の有機溶剤の濃度、または燃焼装置の制御温度、または燃焼装置への燃料ガス供給量などから燃焼状態の変化を検知する手段を設けて、吸着部・燃焼装置用帰還路において燃焼装置へ供給するガス量を制御し、燃焼装置へ導入される有機溶剤の濃度を制御することを特徴とする有機溶剤含有ガス処理システムである。

本発明の第２形態は、
筒状吸着体をその筒軸まわりに回転させ、吸着部を通過する吸着体に低濃度の揮発性有機溶剤を含むガス中の有機溶剤を吸着させ、脱着部を通過する有機溶剤を吸着した吸着体に脱着用空気を吹き込むことにより濃縮された脱着ガスを排出する濃縮装置と、
前記脱着ガスを燃焼させるための燃焼装置と、
前記脱着ガスの一部を前記脱着部または燃焼装置に帰還させるための脱着部・燃焼装置用帰還路と、
前記脱着ガスの残部を前記燃焼装置に供給するための燃焼装置用供給路とを備え、
前記脱着部の出口部が、前記筒状吸着体の回転方向において、温度が低い脱着ガスを前記脱着部・燃焼装置用帰還路に案内するように区画された第１領域と、温度が高い脱着ガスを前記燃焼装置用供給路に案内するように区画された第２領域とに分割されており、
燃焼装置へ導入される脱着ガス中の有機溶剤の濃度、または燃焼装置の制御温度、または燃焼装置への燃料ガス供給量などから燃焼状態の変化を検知する手段を設けて、脱着部・燃焼装置用帰還路において燃焼装置へ供給するガス量を制御し、燃焼装置へ導入される有機溶剤の濃度を制御することを特徴とする有機溶剤含有ガス処理システムである。

本発明の上記の形態において、温度が低いまたは高いとは、単一の領域（分割されていない領域）で構成されている脱着出口部における平均脱着出口温度に比べて温度が低いまたは高いことを意味する。

本発明の上記の形態において、燃焼装置へ導入される脱着ガス中の有機溶剤の濃度を検知する手段はＶＯＣ濃度計であり、燃焼装置へ供給されるガスの濃度を一定の濃度範囲に制御する手段として、吸着部・燃焼装置用帰還路または脱着部・燃焼装置用帰還路にＶＯＣ濃度計と連動させたダンパーが備えられている。

本発明の上記の形態において、燃焼装置の燃焼によって生じた排ガスを脱着用空気と熱交換することにより脱着用空気を加熱する熱交換器を備えることができる。

本発明によれば、低ランニングコストでＶＯＣ含有ガスを処理することのできる有機溶剤含有ガス処理システムを提供することができる。

以下、図面に示した実施形態に基づいて本発明の有機溶剤含有ガス処理システムを説明する。

１．濃縮装置の原理
図４は本発明のシステムの有機溶剤含有ガス濃縮装置（以下、濃縮装置と略称する）の原理を示したものである。

同図において、大風量・低濃度のＶＯＣ含有ガス中の有機溶剤を吸着するための濃縮装置１は、中心軸２まわりに回転可能な円筒形のケース３を有しており、このケース３内にＶＯＣを吸着するためのハニカム構造（連通路を中心軸方向に向けている）からなる吸着剤４が収納され、全体として筒状吸着体を構成している。

なお、吸着剤４はＶＯＣ含有ガスの成分に応じて活性炭素繊維やゼオライトペーパー等が適宜選択される。

筒状吸着体が回転する移動経路上には吸着部１ａと脱着部１ｂが区画されており、吸着剤（吸着体）４がそれら吸着部１ａと脱着部１ｂとを交互に通過するようになっている。

吸着部１ａには、例えば工場内で発生したＶＯＣ含有ガスを導入するためのＶＯＣ含有ガス供給管５と、濃縮装置１の吸着剤４によって浄化された清浄空気を工場へ送り出すための浄化空気送出管６が設けられている。

また、脱着部１ｂには、ＶＯＣを吸着した吸着剤４に対して脱着用加熱空気（例えば１８０℃の高温乾燥空気）を吹き付けるための脱着用空気供給管７が設けられており、脱着用加熱空気の風量がＶＯＣ含有ガスの風量の１／２〜１／５０程度に設定されていることにより脱着されるガスが濃縮されるようになっている。

脱着出口部１ｃには、筒状回転体の回転方向において、第１管路８と第２管路９がそれぞれ設けられ、第１管路８は脱着部１ｂにおける処理初期領域（第１領域）から引き出され、第２管路９は脱着部１ｂにおける処理後期領域（第２領域）から引き出されている。

２．濃縮装置の特性
次に、脱着出口部１ｃを複数の領域に分割する目的について説明する。

図５（ａ）は図１に示した濃縮装置１について、脱着部１ｂにおける脱着入口温度と脱着出口温度と濃縮ガス濃度（脱着出口濃度）とを計測したグラフであり、同図（ｂ）は計測した各測定値を示している。

なお、濃縮装置１の吸着部にはＶＯＣ含有ガス（ＭＥＫ、トルエン、ＭＩＢＫ他）を２４５０ｐｐｍＣＨ４導入し、脱着部には１８０℃の脱着用加熱空気を導入した。

また、図５（ａ）において、横軸は経過時間（％）を、左側縦軸は温度（℃）を、右側縦軸はガス濃度（ｐｐｍＣＨ４）をそれぞれ示している。また、上記経過時間とは、筒状吸着体が脱着部１ｂの始点（ゼロ％）に到着した時から脱着部１ｂの終了点（１００％）に移動するまでの時間を表しており、脱着部１ｂにおける円周方向吸着位置を示している。

図５（ａ）から分かるように、１８０℃の脱着用加熱空気で導入されると、脱着出口温度は遅れ（経過時間約３０％）を伴って上昇し始め、経過時間が１００％になると脱着入口温度と同様に概ね１８０℃となる。一方、脱着部１ｂから脱着された濃縮ガスの濃度は、脱着出口温度の上昇につれて上昇し、経過時間５０％で概ねピークとなり、以降減少する。

次に、脱着出口部１ｃを複数の領域（本実施形態では第１および第２領域）に分割した本発明例の風量、脱着出口温度、脱着出口濃度を測定した結果を表１に示す。なお、比較のため、脱着領域が単一領域である従来のディスクロータ式の濃縮装置６０（図１参照）も比較例として示す。測定結果の脱着出口温度および濃度は平均値である。

表１から分かるように、脱着出口部１ｃの面積比率を変えて第１および第２領域に分割すると、本発明例の第１領域からは温度が低く且つ濃度も低い脱着ガスが得られ、第２領域からは温度が高く濃度も高い脱着ガスが得られる。

本発明例において、濃度が低いまたは高いとは、比較例の脱着部の平均脱着出口濃度に比べて濃度が低いまたは高いことを意味する。

上記したように、脱着部１ｂにおける脱着始点から脱着終了点までの範囲を第１領域と第２領域とに分割すれば、ＶＯＣガス濃度の異なる脱着ガスを選択的に得ることができる。

本発明は、脱着出口部１ｃを複数に分割すれば、ＶＯＣ濃度の異なる脱着ガスが得られることに着目し、そのＶＯＣ濃度の異なる脱着ガスを用いたＶＯＣ含有ガス処理装置を具体化したものである。

３．濃縮装置における脱着出口部の構成
次に、脱着出口部１ｃの具体的な構成を、図６に示すディスクロータ式濃縮装置、図７に示すシリンダ式濃縮装置についてそれぞれ説明する。

３−１．ディスクロータ式濃縮装置
図６に示すディスクロータ式濃縮装置１０は、ハニカム構造の筒状吸着体１１を回転軸１２まわりに回転させるように構成されており、ＶＯＣ含有ガスが筒状吸着体１１の一方から導入され、他方から浄化された清浄空気が取り出される。

筒状吸着体１１の両側にはダクト１３および１４が対向するようにして配置されており、脱着用加熱空気はダクト１３からその筒状吸着体１１に吹き付けられ、脱着ガスは他方のダクト１４から排出されるようになっている。

ダクト１４は、ダクト１３に対向しているものの、ダクト１３の外周側長さＬａ＞ダクト１４の外周側長さＬｂとなっている。すなわち、破線で示した範囲１４′についてダクト１４の通路面積がダクト１３の通路面積よりも小さく設定されている。

このように、ダクトの外周側長さのＬａとＬｂの比率を変えることにより、脱着領域を所望の第１領域と第２領域に分割することができる。それにより、第１領域からの比較的ＶＯＣガス濃度の低い（比較例の脱着出口濃度に比べ）脱着ガスＣは、図４に示した第１管路８に導くことができ、ＶＯＣ濃度の高い脱着ガスＤは第２管路９に導くことができる。なお、図中の矢印Ａは筒状吸着体１１の回転方向を示している。

３−２．シリンダ式濃縮装置
図７はシリンダ式濃縮装置２０の構成を示したものであり、同図（ａ）は全体の構成を示す外観図、同図（ｂ）は脱着出口部を拡大して示したものである。

濃縮装置２０は、垂直軸Ｖ．Ａまわりに回転可能な円筒形の吸着剤２１を有し、ＶＯＣ含有ガスは吸着剤２１の外周側からその中心に向けて導入され、浄化された清浄空気は吸着剤２１内側の空間から取り出される。

ＶＯＣを吸着した吸着剤２１に対し、脱着用加熱空気はその吸着剤２１を挟むようにして配置された一方のダクト（すなわち脱着用空気供給管２２）から吸着剤２１に吹き付けられ、ＶＯＣを含有している脱着ガスは他方のダクト（すなわち脱着出口部２３）から排出されるようになっている。

図７（ｂ）において、脱着出口部２３は、吸着剤２１の脱着領域出口部を区画するようにして垂直方向に設けられるダクト部２３ａと、このダクト部２３ａの下部から水平方向に分岐して設けられる第１管路２３ｂおよび第２管路２３ｃとを備えている。

ダクト部２３ａ内には、脱着領域出口部を複数の領域に分割（図では２分割）するための仕切板２３ｄが垂直方向に設けられている。この仕切板２３ｄにはガイド溝２３ｅを通して軸２３ｆが突設されており、この軸２３ｆにはナット２３ｇを締め付けることができるようになっている。それにより、ナット２３ｇを緩めて左右方向（矢印Ｂ方向）に移動させ、移動させた位置でナット２３ｇを締め付ければ、仕切板２３ｄを所望の位置で固定することができ、脱着領域の出口部を任意の比率で第１領域、第２領域にそれぞれ分割することができるようになっている。

また、仕切板２３ｄを境として第１領域は第１管路２３ｂに連通し、第２領域は第２管路２３ｃに連通している。それにより、脱着領域からの脱着ガスは二つの管路２３ｂ，２３ｃに分岐され、それぞれ脱着ガスＣおよび脱着ガスＤとして取り出されるようになっている。

第１領域からの脱着ガスＣは図４に示した第１管路８に導くことができ、第２領域からの脱着ガスＤは第２管路９に導くことができる。

４．ＶＯＣ含有ガス処理システム
本発明の処理システムの二つの形態を以下に説明する。
４−１．第一の処理システム
図８は上記濃縮装置を用いたＶＯＣ含有ガス処理システムの第一実施形態を示したものである。なお、以下の説明において、図４と同じ構成要素については同一符号を付してその説明を省略する。また、図８に示す濃縮装置１の脱着出口部は、表１の本発明例に示した第１領域と第２領域に分割されている。

第１領域は、比較例（単一領域）の濃縮装置の脱着領域に比べて脱着出口のＶＯＣガス濃度が低い（７４３０→２８００ｐｐｍＣＨ_４）。したがって、吸着部・燃焼装置用帰還路としての第１管路８を介してＶＯＣ含有ガス供給管５に戻し、再度、原ガスとして利用するか、吸着部・燃焼装置用帰還路としての第１管路８を介して脱着ガスＤの第２管路（燃焼装置用供給路）９に戻して利用する。

脱着初期では吸着体が十分に加熱されておらず、脱着濃度が極めて低い。したがって、脱着ガスＤのＶＯＣガス濃度が変動する場合、この脱着効率の悪い脱着ガスＣにおいて第１管路８から分離した管路３４より、再度吸着処理に供給させる量と、第１管路８から分離した管路３５より、燃焼装置３１に供給させる量を調節することによって、燃焼装置３１に供給する脱着ガスのＶＯＣガス濃度の変動を少なく調節することができる。

脱着ガスＣにおいて第１管路８から分離した管路３４と管路３５に設置したダンパー３３を、燃焼装置用供給路に設置したＶＯＣ濃度計３６で燃焼装置３１に供給されるＶＯＣガス濃度測定値によって制御することで、燃焼装置３１に供給する脱着ガスのＶＯＣガス濃度の変動を少なく調節することができる。

ＶＯＣ濃度計を用いたＶＯＣガス濃度測定値による制御以外の方法として、燃焼装置に設置した炉内温度計を用いた燃焼装置温度値による制御、燃焼装置へ導入する燃料ガス供給量による制御も可能である。また、ダンパーによる調節以外に、送風機をインバーターで制御することも本発明の目的を達成するのには有効な手段となる。

なお、上記燃焼装置３１としては、直接燃焼装置や触媒酸化装置を使用することができる。直接燃焼装置は、可燃ガスを直接火炎に接触させ、７００〜８５０℃の高温雰囲気に所定時間滞留させて酸化分解させる装置であり、触媒酸化装置は、可燃性ガスを２００〜３５０℃程度に予熱し、触媒に通すことにより酸化分解する装置であり、いずれも公知の装置である。

上記燃焼装置３１の燃焼によって生じた排ガスは熱交換器３２に導入され、脱着用空気を加熱するための熱交換に供せられる。

４−２．第二の処理システム
図９は上記濃縮装置１を用いたＶＯＣ含有ガス処理システムの第二実施形態を示したものである。なお、図８と同じ構成要素については同一符号を付してその説明を省略する。また、図９に示す濃縮装置１の脱着出口部も、表１の実施例に示した第１領域と第２領域に分割されている。

第１領域は、比較例（単一領域）の濃縮装置の脱着領域に比べて脱着出口のＶＯＣガス濃度が低い（７４３０→２８００ｐｐｍＣＨ_４）。したがって、脱着部・燃焼装置用帰還路としての第１管路８を介して脱着用空気供給路７に戻し、再度、脱着ガスとして利用するか、脱着部・燃焼装置用帰還路としての第１管路８を介して脱着ガスＤの第２管路（燃焼装置用供給路）９に戻して利用する。

脱着初期では吸着体が十分に加熱されておらず、脱着濃度が極めて低い。したがって、脱着ガスＤのＶＯＣガス濃度が変動する場合、この脱着効率の悪い脱着ガスＣにおいて第１管路８から分離した管路３７より、再度脱着処理に供給させる量と、第１管路８から分離した管路３５より、燃焼装置３１に供給させる量を調節することによって、燃焼装置３１に供給する脱着ガスのＶＯＣガス濃度の変動を少なく調節することができる。

脱着ガスＣにおいて第１管路８から分離した管路３５と管路３７に設置したダンパー３３を、燃焼装置用供給路に設置したＶＯＣ濃度計３６で燃焼装置３１に供給されるＶＯＣガス濃度測定値によって制御することで、燃焼装置３１に供給する脱着ガスのＶＯＣガス濃度の変動を少なく調節することができる。

ＶＯＣ濃度計を用いたＶＯＣガス濃度測定値による制御以外の方法として、燃焼装置に設置した炉内温度計を用いた燃焼装置温度値による制御、燃焼装置へ導入する燃料ガス供給量による制御も可能である。また、ダンパーによる調節以外に、送風機をインバーターで制御することも本発明の目的を達成するのには有効な手段となる。

なお、上記燃焼装置３１としては、第一実施態様と同様に、いずれも公知の装置である直接燃焼装置や触媒酸化装置を使用することができる。

上記燃焼装置３１の燃焼によって生じた排ガスは熱交換器３２に導入され、脱着用空気を加熱するための熱交換に供せられる。

上記２つのシステムにおいて、濃縮装置を複数台配置すれば、処理すべきＶＯＣ含有ガスの風量が大きくてもＶＯＣを確実に吸着処理することができる。

一般的な濃縮装置を示した説明図である。 一般的なＶＯＣ処理装置を示した説明図である。 濃縮出口濃度の測定チャートである。 本発明の濃縮装置の原理図である。 （ａ）は濃縮装置の脱着特性を示すグラフ、（ｂ）は脱着特性の計測値を示した表である。 本発明が適用されるディスクロータ式濃縮装置の構成を示す斜視図である。 （ａ）は本発明が適用されるシリンダ式濃縮装置の構成を示す斜視図、（ｂ）はその脱着出口部の拡大図である。 ＶＯＣ含有ガス処理システムの第一実施形態を示す説明図である。 ＶＯＣ含有ガス処理システムの第二実施形態を示す説明図である。

符号の説明

１ 濃縮装置
１ａ 吸着部
１ｂ 脱着部
１ｃ 脱着出口部
２ 中心軸
３ ケース
４ 吸着剤
５ ＶＯＣ含有ガス供給管
６ 浄化空気送出管
７ 脱着用空気供給管
８ 第１管路
９ 第２管路
１０ ディスクロータ式濃縮装置
１１ 筒状吸着体
１２ 回転軸
１３ ダクト
１４ ダクト
２０ シリンダ式濃縮装置
２１ 吸着剤
２２ 脱着用空気供給管
２３ 脱着出口部
２３ａ ダクト部
２３ｂ 第１管路
２３ｃ 第２管路
２３ｄ 仕切板
２３ｅ ガイド溝
２３ｆ 軸
２３ｇ ナット
３０ ＶＯＣ含有ガス処理システム
３１ 燃焼装置
３２ 熱交換器
３３ ダンパー
３４ 吸着部用帰還路
３５ 燃焼装置供給路
３６ ＶＯＣ濃度計
３７ 脱着部用帰還路
４０ ＶＯＣ含有ガス処理システム
６０ 濃縮装置
６１ 燃焼装置

Claims (3)

1. 筒状吸着体をその筒軸まわりに回転させ、吸着部を通過する吸着体に低濃度の揮発性有機溶剤を含むガス中の有機溶剤を吸着させ、脱着部を通過する有機溶剤を吸着した吸着体に脱着用空気を吹き込むことにより濃縮された脱着ガスを排出する濃縮装置と、
   前記脱着ガスを燃焼させるための燃焼装置と、
   前記脱着ガスの一部を前記吸着部または燃焼装置に帰還させるための吸着部・燃焼装置用帰還路と、
   前記脱着ガスの残部を前記燃焼装置に供給するための燃焼装置用供給路とを備え、
   前記脱着部の出口部が、前記筒状吸着体の回転方向において、温度が低い脱着ガスを前記吸着部・燃焼装置用帰還路に案内するように区画された第１領域と、温度が高い脱着ガスを前記燃焼装置用供給路に案内するように区画された第２領域とに分割されており、
   燃焼装置へ導入される脱着ガス中の有機溶剤の濃度、または燃焼装置の制御温度、または燃焼装置への燃料ガス供給量などから燃焼状態の変化を検知する手段を設けて、吸着部・燃焼装置用帰還路において燃焼装置へ供給するガス量を制御し、燃焼装置へ導入される有機溶剤の濃度を制御することを特徴とする有機溶剤含有ガス処理システム。
2. 筒状吸着体をその筒軸まわりに回転させ、吸着部を通過する吸着体に低濃度の揮発性有機溶剤を含むガス中の有機溶剤を吸着させ、脱着部を通過する有機溶剤を吸着した吸着体に脱着用空気を吹き込むことにより濃縮された脱着ガスを排出する濃縮装置と、
   前記脱着ガスを燃焼させるための燃焼装置と、
   前記脱着ガスの一部を前記脱着部または燃焼装置に帰還させるための脱着部・燃焼装置用帰還路と、
   前記脱着ガスの残部を前記燃焼装置に供給するための燃焼装置用供給路とを備え、
   前記脱着部の出口部が、前記筒状吸着体の回転方向において、温度が低い脱着ガスを前記脱着部・燃焼装置用帰還路に案内するように区画された第１領域と、温度が高い脱着ガスを前記燃焼装置用供給路に案内するように区画された第２領域とに分割されており、
   燃焼装置へ導入される脱着ガス中の有機溶剤の濃度、または燃焼装置の制御温度、または燃焼装置への燃料ガス供給量などから燃焼状態の変化を検知する手段を設けて、脱着部・燃焼装置用帰還路において燃焼装置へ供給するガス量を制御し、燃焼装置へ導入される有機溶剤の濃度を制御することを特徴とする有機溶剤含有ガス処理システム。
3. 前記燃焼装置の燃焼によって生じた排ガスを脱着用空気と熱交換することにより脱着用空気を加熱する熱交換器が備えられている請求項１または２に記載のいずれかの有機溶剤含有ガス処理システム。