JP2009158889A - ウェーハの分割方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイシング装置10によって第2分割予定ライン3の交差領域3aに改質層を形成する。次いで、ウェーハ1を第1分割予定ラインに沿って分割し、短冊状のウェーハ1を得る。短冊状のウェーハ1を得たら、交差領域3a以外の第2分割予定ライン3に、ダイシング装置10によってレーザ光線を照射し、第2分割予定ライン3に沿って改質層を形成する。次いで、第2分割予定ライン3に沿って改質層が形成された短冊状のウェーハ1に外力を加え、短冊状のウェーハ1を分割し、デバイス8を得る。
【選択図】図2
Description
[1]半導体ウェーハ
本実施形態は、図3に示したウェーハ1を好適に分割する方法である。このウェーハ1はシリコンウェーハ等であって、前述のように、ウェーハ1の表面1aには第1分割予定ライン2と、第1分割予定ライン2と交差する第2分割予定ライン3とによって複数の矩形状のデバイス領域4が区画されている。これらデバイス領域3には、TEGやエレメント等が積層される。ウェーハ1は、最終的には各分割予定ライン2、3に沿って分割され、複数のデバイスに個片化される。
ウェーハ1は、ダイシング装置10が備える水平なチャックテーブル20上に保持される。チャックテーブル20の上方には、レーザ光線を垂直下向きに照射するレーザヘッド50が配設されている。チャックテーブル20は、装置10の基台11上において水平なX軸方向およびY軸方向に移動自在に設けられたXY移動テーブル12に設置されており、このXY移動テーブル12がX軸方向やY軸方向に移動することにより、レーザヘッド50から各分割予定ライン2、3にレーザ光線が照射される。
・光源…LD励起QスイッチNd:YVO4
・波長…1064nmのパルスレーザ
・繰り返し周波数…100kHz
・パルス幅…40ns
・平均出力…1W
・集光スポット径…φ1μm
・加工送り速度…100mm/sec
次に、図2を参照して、一実施形態の分割方法について説明する。
まず最初に、ダイシング装置10によってウェーハ1の第2分割予定ライン3中の、第1分割予定ライン2と交差する領域(以下、交差領域3aと称する。)のみにレーザ光線を照射する(改質層形成工程)。これによって、図2(a)に示すように交差領域3aのみに改質層が形成される。次いで、ウェーハ1が第1分割予定ライン2に沿って分割され、図2(b)に示す短冊状のウェーハ1を得る(第1分割工程)。第1分割工程では、ダイシング装置10によってウェーハ1の第1分割予定ライン2に沿ってレーザ光線が照射され、第1分割予定ライン2に沿って改質層が形成される。ところで、ウェーハ1は、改質層が形成された分割予定ラインの長さに比例して強度が低下する。すなわち、改質層が形成される分割予定ラインが短くなるほど、改質層形成後のウェーハ1の強度を保つことができる。一実施形態の分割方法の改質層形成工程では、加工屑の発生を抑えるために必要最小限の領域である交差領域3aのみに改質層を形成する。この結果、改質層形成工程後のウェーハ1は、全ての第2分割予定ライン3に改質層を形成する場合に比べ、強度低下が抑えられる。
2…第1分割予定ライン
3…第2分割予定ライン
4…デバイス領域
5…改質層
8…デバイス
Claims (2)
- 第1の方向の第1分割予定ラインと、該第1分割予定ラインと交差する第2の方向の第2分割予定ラインとによって区画された複数のデバイス形成領域が形成されたウェーハを、第1分割予定ラインに沿って分割して短冊状のウェーハを得た後に、第2分割予定ラインに沿って分割する方法であって、
前記第1分割予定ラインに沿って前記ウェーハを分割する前に、少なくとも、前記第2分割予定ライン中の、第1分割予定ラインに沿って分割したときに断面になると予定される領域を超えた両側の箇所に、ウェーハを透過する波長のパルスレーザ光線を照射することによって第2分割予定ラインの内部に改質層を形成する改質層形成工程と、
前記第1分割予定ラインに沿ってウェーハを分割し、短冊状のウェーハを得る第1分割工程と、
前記短冊状のウェーハの、少なくとも前記改質層形成工程で改質層が形成されていない前記第2分割予定ラインに沿ってレーザ光線を照射することにより、第2分割予定ラインに沿って改質層を形成し、次いで短冊状のウェーハに外力を加えることによって第2分割予定ラインに沿って分割してデバイスを得る第2分割工程とを備えることを特徴とするウェーハの分割方法。 - 前記第1分割工程は、前記第1分割予定ラインに沿って前記ウェーハを透過する波長のパルスレーザ光線を照射することによって改質層を形成し、該改質層が形成されたウェーハに外力を加えることにより、ウェーハを第1分割予定ラインに沿って短冊状に分割することを特徴とする請求項1に記載のウェーハの分割方法。
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