JP2009152717A - 圧電素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電極部13と引き出し電極部31との間に設けられたエポキシ系導電性接着剤70は、電極部13及び引き出し電極部31を構成する金属元素種の如何に関わらず電極部13及び引き出し電極部31と強固に密着し、且つ、物理的及び化学的安定性に優れることから電極部13と引き出し電極部31との間の導通性を十分に確保し、維持する。加えて、エポキシ系導電性接着剤70が設けられていない電極部13と引き出し電極部31との間に配置されたシリコン系接着剤75は、非導電性であることから、電極部13と引き出し電極部31との間の導電性の悪化に関与しない。よって、導電性の悪化に伴い発生する圧電素子1の共振周波数シフトを改善することができる。
【選択図】図1
Description
図1は、第1の実施形態の圧電素子を示す平面図である。図2は、図1のA−A線断面図である。図1及び図2に示すように、圧電素子1は、パッケージ10と蓋体50とで形成された空間に圧電振動片30を内蔵している。パッケージ10は、一例としてセラミックグリーンシートを焼結した酸化アルミニウム質焼結体基板を積層して形成されている。パッケージ10の内側底部11には、一例として金で形成された一対の電極部13が設けられている。一対の電極部13は、不図示のパッケージ10の外部と接続されて、圧電振動片30に駆動電圧を供給するものである。
(1)電極部13と引き出し電極部31とが、電極部13と引き出し電極部31との間に設けられたエポキシ系導電性接着剤70と、エポキシ系導電性接着剤70が設けられていない電極部13と引き出し電極部31との間に設けられたシリコン系接着剤75とで接続されている。エポキシ系導電性接着剤70は、電極部13及び引き出し電極部31を構成する金属元素種の如何に関わらず電極部13及び引き出し電極部31と強固に密着し、且つ、物理的及び化学的安定性に優れることから、電極部13と引き出し電極部31との間の導通性を十分に確保し、維持する。加えて、シリコン系接着剤75は、非導電性であることから、電極部13と引き出し電極部31との間の導電性の悪化に関与しない。よって、導電性の悪化に伴い発生する圧電素子1の共振周波数シフトを改善することができる。また、非導電性のシリコン系接着剤75は、エポキシ系導電性接着剤70はもとより、シリコン系導電性接着剤よりも優れた弾性を有することから、圧電素子1に加わる衝撃力に伴い衝撃力が加わる方向の逆方向に向かって、圧電振動片30に作用する慣性力を吸収する。よって、圧電素子1の耐衝撃性を向上することができる。
本実施形態では、上述の実施形態と同じ内容については説明を省き、異なる内容を説明する。図5は、第2の実施形態の圧電素子を示す平面図である。図6は、図5のB−B線断面図である。図5及び図6に示すように、圧電素子2において、エポキシ系導電性接着剤70は、電極部13と引き出し電極部31との間に設けられている。また、圧電素子2において、シリコン系接着剤75は、エポキシ系導電性接着剤70より圧電振動片30の中心36に近づくように設けられている。
(2)エポキシ系導電性接着剤70が、電極部13と引き出し電極部31との間に設けられている。そして、シリコン系接着剤75が、エポキシ系導電性接着剤70より圧電振動片30の中心36に近づくように設けられている。圧電素子2に衝撃力が加わる場合、衝撃力に伴う慣性力が圧電振動片30に作用する。この慣性力により、圧電振動片30は、接着剤で接続された箇所と接着剤で接続されていない箇所との境界部となるシリコン系接着剤75が設けられた箇所を支点37に、振動することになる。この支点37に、電極部13と引き出し電極部31とを接続し、弾性を有するシリコン系接着剤75が設けられていることから、上述の慣性力を効率的に吸収する。そして、慣性力を効率的に吸収することによって、圧電振動片30の振動が抑制され、圧電振動片30とパッケージ10の内側底部11との衝突による圧電振動片30の劣化(割れ、欠け)が抑制される。よって、圧電素子2の耐衝撃性をより向上することができる。
本実施形態では、上述の実施形態と同じ内容については説明を省き、異なる内容を説明する。図7は、第3の実施形態の圧電素子を示す平面図である。図8は、図7のC−C線断面図である。図7及び図8に示すように、圧電素子3において、エポキシ系導電性接着剤70が電極部13と引き出し電極部31との間に配置されている。また、圧電素子3において、シリコン系接着剤75がエポキシ系導電性接着剤70を周状に囲むように設けられている。
(3)エポキシ系導電性接着剤70が、電極部13と引き出し電極部31との間に設けられている。そして、シリコン系接着剤75が、エポキシ系導電性接着剤70を周状に囲むように設けられている。このことにより、電極部13と引き出し電極部31との間において、対称形状となるように接着剤が配置されている。よって、エポキシ系導電性接着剤70とシリコン系接着剤75とは熱膨張係数が異なるが、圧電素子3の温度変化により接着剤が膨張または収縮しても、圧電振動片30は傾かないことからパッケージ10の内側底部11に接触しない。したがって、振動が安定した圧電素子3を提供することができる。
Claims (4)
- 内側底部に電極部が形成されたパッケージと、
前記内側底部に対向するように配置され、端部に引き出し電極部が形成された圧電振動片と、
前記電極部と前記引き出し電極部との間に設けられ、前記電極部と前記引き出し電極部とを接続するエポキシ系導電性接着剤またはポリイミド系導電性接着剤と、
前記エポキシ系導電性接着剤または前記ポリイミド系導電性接着剤が設けられていない前記電極部と前記引き出し電極部との間に設けられ、前記電極部と前記引き出し電極部とを接続するシリコン系接着剤とを備えてなることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1に記載の圧電素子において、
前記エポキシ系導電性接着剤または前記ポリイミド系導電性接着剤が、前記電極部と前記圧電振動片の一端に形成された引き出し電極部との間に設けられ、
前記シリコン系接着剤が、前記エポキシ系導電性接着剤または前記ポリイミド系導電性接着剤より前記圧電振動片の中心に近づくように設けられていることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1に記載の圧電素子において、
前記エポキシ系導電性接着剤または前記ポリイミド系導電性接着剤が、前記電極部と前記圧電振動片の一端に形成された引き出し電極部との間に設けられ、
前記シリコン系接着剤が、前記エポキシ系導電性接着剤または前記ポリイミド系導電性接着剤を周状に囲むように設けられていることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1〜請求項3のいずれか一項記載の圧電素子において、
前記シリコン系接着剤が、非導電性の接着剤であることを特徴とする圧電素子。
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