JP2009139092A - 静電容量式厚み多点測定方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測定体Wの測定部位Pを境にして対向する位置に所定の対向距離GSを置いて一対の静電容量式距離検出センサS1・S2を配置し、被測定体の複数の測定部位P1、P2、P3の厚みを多点測定する静電容量式厚み多点測定装置において、アース電極8と被測定体とを被測定体の測定条件に応じて接触状態又は非接触状態に切替可能な接離機構13を設けてなる。
【選択図】図1
Description
P 測定部位
S1 静電容量式距離検出センサ
S2 静電容量式距離検出センサ
W1 外周端部
7 割出機構
8 アース電極
9 載置テーブル
12 位置決め部
13 接離機構
Claims (6)
- 被測定体の測定部位を境にして対向する位置に所定の対向距離を置いて一対の静電容量式距離検出センサを配置し、該被測定体に対向してアース電極を配置し、該一対の静電容量式距離検出センサのそれぞれが検出した静電容量による該被測定体と該一対の静電容量式距離検出センサとの距離及び該一対の静電容量式距離検出センサ間の対向距離に基づいて被測定体の複数の測定部位の厚みを多点測定する静電容量式厚み多点測定方法において、上記アース電極と上記被測定体とを上記被測定体の測定条件に応じて接触状態又は非接触状態に切り替えることを特徴とする静電容量式厚み多点測定方法。
- 被測定体の測定部位を境にして対向する位置に所定の対向距離を置いて一対の静電容量式距離検出センサを配置し、該被測定体に対向してアース電極を配置し、該一対の静電容量式距離検出センサのそれぞれが検出した静電容量による該被測定体と該一対の静電容量式距離検出センサとの距離及び該一対の静電容量式距離検出センサ間の対向距離に基づいて被測定体の複数の測定部位の厚みを多点測定する静電容量式厚み多点測定装置において、上記アース電極と上記被測定体とを上記被測定体の測定条件に応じて接触状態又は非接触状態に切替可能な接離機構を設けて構成したことを特徴とする静電容量式厚み多点測定装置。
- 上記アース電極は上記被測定体を載置可能な載置テーブルであることを特徴とする請求項2記載の静電容量式厚み多点測定装置。
- 上記切離機構は上記アース電極たる載置テーブルに接触状態で載置されている被測定体を該載置テーブル上より浮上させて非接触状態とする構造になっていることを特徴とする請求項3記載の静電容量式厚み多点測定装置。
- 上記被測定体を割出回転可能な割出機構を設けてなることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の静電容量式厚み多点測定装置。
- 上記被測定体の外周端部を位置決め可能な位置決め部を備えてなることを特徴とする請求項2〜5のいずれか1項に記載の静電容量式厚み多点測定装置。
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