CN116547112A - 机器人以及手部姿势调整方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板姿势取得部、手姿势调整部和控制部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板姿势取得部取得与预定运送的所述基板即运送预定基板的姿势相关的信息。所述手姿势调整部能够调整所述手部相对于所述运送预定基板的姿势。所述控制部对所述臂部、所述手部以及所述手姿势调整部的动作进行控制。所述控制部根据与所述运送预定基板的姿势相关的信息，用所述手姿势调整部调整对于所述运送预定基板进行取出作业的所述手部的姿势。

Description

机器人以及手部姿势调整方法

技术领域

本发明主要涉及机器人，该机器人用于运送半导体晶片、印刷电路板等基板，详细而言，涉及保持基板的手部的姿势调整。

背景技术

至今为止，从基板的保管装置、基板处理装置等取出基板进行运送的基板运送用的机器人被众所周知。专利文献1公开了作为该种机器人的晶片运送装置。

专利文献1的晶片运送装置包括姿势检测部和致动器，该姿势检测部检测手的姿势。该晶片运送装置的结构如下，即，通过根据用姿势检测部所检测的手的姿势信息，控制致动器的伸缩程度，来调整手的姿势。

专利文献1：日本特开2004-128021号公报

发明内容

在上述专利文献1中，能够想到由于某些理由，有时被手保持之前的基板的姿势与正常情况不同。当基板的姿势不适当时，恐怕会在机器人保持该基板的动作的过程中损坏基板。

鉴于上述内容，本发明的目的在于提供一种在取出基板之前能够根据基板的姿势灵活调整手的姿势的机器人。

本发明所要解决的课题如上所述，接下来对用于解决该课题的手段和其效果进行说明。

根据本发明的第一方面，提供以下结构的机器人。即，用于运送基板的机器人包括臂部、手部、基板姿势取得部、手姿势调整部和手姿势控制部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板姿势取得部取得与预定运送的所述基板即运送预定基板的姿势相关的信息。所述手姿势调整部能够调整所述手部相对于所述运送预定基板的姿势。所述手姿势控制部对所述手姿势调整部的动作进行控制。所述手姿势控制部根据与所述运送预定基板的姿势相关的信息，用所述手姿势调整部调整对于所述运送预定基板进行取出作业的所述手部的姿势。

根据本发明的第二方面，提供以下的手部姿势调整方法。即，该手部姿势调整方法作为对象的机器人包括臂部、手部、基板姿势取得部和手姿势调整部，运送基板。在所述手部姿势调整方法中，调整所述手部的姿势。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板姿势取得部取得与预定运送的所述基板即运送预定基板的姿势相关的信息。所述手姿势调整部能够调整所述手部相对于所述运送预定基板的姿势。在所述手部姿势调整方法中，根据与所述运送预定基板的姿势相关的信息，用所述手姿势调整部来调整对于所述运送预定基板进行取出作业的所述手部的姿势。

因此，当从基板保管装置等中取出运送预定基板时，即使该基板的姿势不适当，也能够在使手部的姿势配合基板的状态下将基板取出。因此，能够防止基板的损坏等，顺利地取出基板。

(发明的效果)

根据本发明，机器人能够在取出基板之前，根据基板的姿势灵活地调整手的姿势。

附图说明

图1是示出了本发明的一个实施方式所涉及的机器人的整体结构的立体图。

图2是示出了倾斜机构的一个例子的立体图。

图3是示出了倾斜机构的一个例子的剖面图。

图4是示出了机器人取得运送预定基板的姿势的样子的图。

图5是示出了机器人手相对于运送预定基板上下移动的样子的图。

图6是示出了因基板的倾斜而带来的检测厚度的变化的图。

图7是对为了检测运送预定基板的倾斜而使映射传感器的检测轴的朝向不同的样子进行概念性说明的图。

图8是概念性示出了第一变形例中的运送预定基板的姿势的检测的平面图。

图9是概念性示出了第二变形例中的运送预定基板的姿势的检测的平面图。

具体实施方式

其次，参照附图，对所公开的实施方式进行说明。图1是示出了本发明的一个实施方式所涉及的机器人100的整体结构的立体图。

图1所示的机器人100例如被设置在半导体晶片、印刷电路板等基板W的制造工厂、仓库等。机器人100用于在基板处理装置与后述的基板保管装置7之间运送基板W。不过，机器人100也可以例如用于在处理基板W的多个基板处理装置之间运送基板W。基板W也可以是基板的原材料、加工中的半成品、加工后的成品中的任意之一。基板W的形状在本实施方式中是圆板状，但并不限于此。

该机器人100主要包括基座1、机器人臂(臂部)2、机器人手(手部)3、倾斜机构(手姿势调整部)4和机器人控制部(控制部)9。

基座1被固定在工厂的地板等。但是，并不限于此，基座1也可以被固定在例如包括所述基板处理装置的基板处理设备的壳体。并且，基座1也可以被固定到在基板处理装置(或设备)与基板保管装置7之间运行的省略图示的移动台车等。

如图1所示，机器人臂2经由能够在上下方向移动的升降轴11安装在基座1。机器人臂2能够相对于升降轴11旋转。

机器人臂2由水平多关节式机器人臂构成。机器人臂2包括第一臂21和第二臂22。

第一臂21作为在水平的直线状延伸的细长部件构成。第一臂21的长度方向的一端被安装在升降轴11的上端部。第一臂21被以升降轴11的轴线(垂直轴)为中心可旋转地支撑着。在第一臂21的长度方向的另一端安装有第二臂22。

第二臂22作为在水平的直线状延伸的细长部件构成。第二臂22的长度方向的一端被安装在第一臂21的前端。第二臂22被以与升降轴11平行的轴线(垂直轴)为中心可旋转地支撑着。在第二臂22的长度方向的另一端安装有机器人手3。

升降轴11、第一臂21以及第二臂22的每一个通过无图示的适当的致动器驱动。该致动器例如能够是电动马达。

在位于升降轴11与第一臂21之间、第一臂21与第二臂22之间以及第二臂22与机器人手3之间的臂关节部安装有检测第一臂21、第二臂22以及机器人手3的每一个的旋转位置的省略图示的编码器。并且，在机器人100的适当位置还设置有检测高度方向的第一臂21的位置变化(即，升降轴11的升降量)的编码器。

机器人控制部9根据包含由各个编码器所检测出的第一臂21、第二臂22或机器人手3的旋转位置或高度位置的位置信息，来控制对升降轴11、第一臂21、第二臂22以及机器人手3的每一个进行驱动的电动马达的动作。需要说明的是，在以下的说明中，当称为由编码器所检测出的“位置信息”时，意思是指表示机器人100的姿势的、由每一个编码器所检测出的位置信息的组合。

如图1所示，机器人手3包括手腕部31和手本体部32。

手腕部31经由倾斜机构4安装在第二臂22的前端。手腕部31被以与升降轴11平行的轴线(垂直轴)为中心可旋转地支撑着。不过，能够通过倾斜机构4使手腕部31的旋转轴相对于与升降轴11平行的直线倾斜。后面将说明倾斜机构4的详细结构。手腕部31通过无图示的适当的致动器被旋转驱动。该致动器例如能够是电动马达。在手腕部31连接有手本体部32。手腕部31以及手本体部32也可以形成为一体。

手本体部32是为了保持基板W而发挥作用的部分。手本体部32由形成为Y字形状(或U字形状)的板状的部件构成。手本体部32成为与连接在手腕部31的一侧相反的一侧(换言之，前端侧)分成两个叉的形状。在以下的说明中，有时将分支的各个部分称为第一手指部32a以及第二手指部32b。

第一手指部32a以及第二手指部32b形成为彼此对称。如图4以及图5等所示，在手本体部32以及第二手指部32b的前端部分之间形成有适当的间隔。因此，能够在不使机器人手3与基板W接触的情况下，使基板W的边缘部位于第一手指部32a以及第二手指部32b的每一个的前端部分之间。

在本实施方式的手本体部32的前端侧以及基端侧分别设置有用于保持基板W的多个引导部33。每个引导部33例如由橡胶等制成。引导部33设置为从板状的手本体部32向上侧突出。如图1所示，引导部33例如在第一手指部32a以及第二手指部32b的每一个各设置一个，在手本体部32的基端侧设置两个。

如图1所示，引导部33接触到载置在机器人手3上的基板W的周缘附近的下表面，保持基板W。引导部33能够通过从直径方向外侧接触到基板W的边缘，来限制载置在机器人手3上的基板W不会在水平方向偏离。

机器人手3保持基板W的结构并不限于上述结构。机器人手3例如也可以通过用负压吸附基板W的上表面或下表面的结构等来保持基板W。例如，也可以使机器人手3包括周知的伯努利吸盘，来非接触保持基板W。

倾斜机构4被安装在第二臂22的前端侧(与连接在第一臂21的一侧相反的一侧)。

如图2所示，倾斜机构4包括下板部41和上板部42。下板部41固定在第二臂22的上表面。机器人手3的手腕部31被上板部42可旋转地支撑着。在下板部41与上板部42之间配置有高度调整机构5。倾斜机构4使用该高度调整机构5，调整上板部42的相对于下板部41的倾斜角度以及倾斜方向。

如图2所示，该高度调整机构5例如包括3个支撑部51、52、53，该3个支撑部51、52、53被设置在下板部41以及上板部42之间的不同位置。为了便于说明，在图3中支撑部51、52、53被描绘为直线排列，实际上，如图2所示，从平面来看，支撑部51、52、53被配置为形成三角形。

三个中的两个支撑部51、52包括外螺纹56、内螺纹57和球面轴承58。外螺纹56的螺纹轴以轴线朝向上下方向可旋转地被下板部41支撑着。该螺纹轴能够通过省略图示的致动器(例如，电动马达)，来在两个支撑部51、52独立旋转。内螺纹57被拧到外螺纹56的螺纹轴。当使螺纹轴旋转时，内螺纹57在上下方向移动。通过该螺纹进给，能够变更支撑部51、52支撑上板部42的高度。在内螺纹57与上板部42之间配置有球面轴承58。

在剩余的支撑部53配置有球面轴承58。该支撑部53不具有因螺纹进给所产生的支撑高度变更功能。

通过驱动电动马达，在多个支撑部51、52独立变更上板部42相对于下板部41的高度，能够变更上板部42相对于下板部41的倾斜角度以及倾斜方向。其结果是能够调整机器人手3相对于第二臂22的姿势(倾斜角度以及倾斜方向)。需要说明的是，高度调整机构5(乃至倾斜机构4)并不限于该结构。

如图1所示，在手本体部32的前端侧设置有映射传感器(传感器)6。通过映射传感器6，能够非接触进行基板W的有无的确认(映射)。在本实施方式中，映射传感器6由例如具有投光部61和受光部62的透射式传感器构成。需要说明的是，并不限于此，映射传感器6也可以例如由反射式传感器等构成。

如图1以及图4等所示，投光部61被设置在第一手指部32a的前端侧。受光部62被设置在第二手指部32b的前端侧。投光部61朝向受光部62照射检测光。作为检测光，例如，能够是红外光，但并不限于此。

受光部62用无线或有线与机器人控制部9连接着。受光部62将表示检测光的受光的有无的电信号输出到机器人控制部9。当在投光部61与受光部62之间没有物体(例如，基板W)时，由于来自投光部61的检测光到达受光部62，因此受光部62输出有受光的电信号。当在投光部61与受光部62之间有物体时，由于来自投光部61的检测光被基板W遮挡，因此受光部62输出没有受光的电信号。

当在基板保管装置7中，基板W的配置位置间隔适当间隔在上下方向排列配置有多个时，机器人控制部9在使机器人手3的前端部接近了该配置位置的附近的状态下，跨越多个配置位置使该机器人手3在上下方向移动(映射动作)。此时，当假设在所述配置位置有基板W时，从平面来看的机器人手3的位置成为机器人手3没有接触到该基板W且能够通过映射传感器6检测该基板W的位置。能够根据使机器人手3在上下方向移动时映射传感器6的输出的时间序列数据，来获得各个配置位置中的基板W的有无。

但是，并不限于此，例如，还能够根据使机器人手3在上下方向移动时机器人手3的各个位置中的映射传感器6的输出，来获得由编码器所检测出的各个位置信息中的基板W的有无。此时，使通过映射传感器6的输出所得到的基板W的有无信息与由编码器所检测出的位置信息相关联。

只要受光部62能够检测投光部61的光，在机器人手3中配置投光部61以及受光部62的位置任意。例如，也可以将投光部61内藏在第一手指部32a，将受光部62内藏在第二手指部32b。

如图1所示，机器人控制部9与基座1被分别设置。不过，机器人控制部9也可以配置在基座1的内部。

机器人控制部9包括基板姿势取得部9a和手姿势控制部9b。

具体而言，机器人控制部9作为周知的计算机构成，包括微控制器、CPU、MPU、PLC、DSP、ASIC或者FPGA等运算处理部、ROM、RAM、HDD等存储部和可与外部装置通信的通信部。在存储部存储有运算处理部所执行的程序、各种设定阈值、运送对象的基板W的厚度、尺寸等形状数据等。通信部构成为能够将各种传感器(例如，映射传感器6、编码器等)的检测结果发送给外部装置，且能够从外部装置接收关于基板W的信息等。通过该硬件和软件的协作，能够使机器人控制部9作为基板姿势取得部9a以及手姿势控制部9b发挥作用。

接着，参照图4到图7等对由本实施方式的机器人100的基板W的姿势的检测以及机器人手3的姿势的调整进行详细说明。需要说明的是，以下，对从基板保管装置7中取出被基板保管装置7保管的运送预定基板W0进行说明。并且，为了使各个部分的结构较容易理解，在附图中，有时会省略一部分的结构。

图4所示的基板保管装置7用于保管基板W。在基板保管装置7，多个(例如，100个以上)基板以在上下方向(基板保管装置7的高度方向)等间隔排列的状态被保管着。

在基板保管装置7中，通常，基板W被以水平姿势保管着。但是，由于隔板的变形、异物的存在等一些原因，有时基板W被以不是水平的姿势保管在基板保管装置7中。本实施方式的机器人100能够在从基板保管装置7中取出运送预定基板W0进行运送之前，检测该基板W0的姿势(例如，相对于水平面的倾斜)，调整机器人手3的姿势，以与基板W0平行。

运送预定基板W0的倾斜有可能在三维方向产生，本实施方式的基板姿势取得部9a能够在沿着使机器人手3***基板保管装置7的方向(以下，称为手***方向)来观看基板W0时，取得基板W0相对于水平的倾斜。换言之，基板姿势取得部9a所取得的对象是以手***方向为基准时运送预定基板W0的翻滚方向的倾斜。

具体而言，如图5所示，基板姿势取得部9a在使机器人手3的手本体部32维持在水平的状态下，使其移动，以使运送预定基板W0的一部分位于第一手指部32a以及第二手指部32b之间。此时，映射传感器6的检测光被朝向与W0的适当姿势平行且从平面来看与手***方向垂直。

然后，基板姿势取得部9a通过使升降轴11在上下方向移动，来使机器人手3在保持水平姿势的同时，在上下方向移动。其结果是通过映射传感器6进行上下方向的扫描。如图5所示，机器人手3例如从运送预定基板W0的下方朝向上方或者上方朝向下方移动。优选当使此时的机器人手3的移动速度一定时，能够很容易地计算后述的检测厚度TH1。

基板姿势取得部9a根据机器人手3在映射传感器6输出没有受光的期间在上下方向移动的距离，求出上下方向的运送预定基板W0的检测厚度TH1。该检测厚度TH1能够根据来自投光部61的光线在机器人手3上下移动期间被检查对象的基板W遮挡的遮挡时间t0很容易地求出。

基板姿势取得部9a判断所求出的检测厚度TH1与作为运送预定基板W0的实际的厚度的实际厚度TH的差是否超过了规定的容许阈值。

基板W0的实际厚度TH既可以事前根据基板W0的设计数据以及制造数据算出，也可以使用通过测量多个基板W0的厚度所求出的平均厚度。机器人控制部9事前经由通信部，从外部装置接收如上述那样得到的实际厚度TH，将其存储在存储部中。

当圆板状的基板W0与映射传感器6的检测光的朝向平行时，检测厚度TH1实质上与实际厚度TH一致。另一方面，当基板W0相对于映射传感器6的检测光的朝向倾斜时，检测厚度TH1大于实际厚度TH。

当检测厚度TH1减去实际厚度TH的值大于容许阈值时，意味着基板W0的姿势不是水平的。此时，基板姿势取得部9a通过使机器人手3从水平适当倾斜，来使映射传感器6的检测光的朝向向翻滚方向倾斜。然后，基板姿势取得部9a再次使机器人手3在上下方向移动，再次求出检测厚度TH1。检测厚度TH1的取得能够适当地使检测光在翻滚方向的倾斜的朝向以及大小不同而进行多次。图7概念性地示出了使映射传感器6的检测光的朝向为各种朝向，来取得检测厚度TH1的样子。

当取得多个检测厚度TH1时，基板姿势取得部9a求出检测厚度TH1与实际厚度TH之间的差成为最小时的检测光的倾斜角度。该倾斜角度意味着基板W0在翻滚方向的倾斜角度θ。

在基板姿势取得部9a取得基板W0的倾斜角度θ之后，手姿势控制部9b使倾斜机构4动作，使机器人手3向翻滚方向倾斜，以与该倾斜角度相对应。其结果是能够使机器人手3的姿势相对于与正常情况不同的姿势的基板W0在翻滚方向一致。随着机器人手3的姿势的变更，将该机器人手3***基板保管装置7中的高度也根据需要而被变更。

然后，机器人控制部9进行控制，以使机器人手3***运送预定基板W0的下方，从基板保管装置7中取出运送预定基板W0。即使运送预定基板W0的姿势与正常情况不同，由于机器人手3的姿势在翻滚方向与基板W0一致，因此也能够防止因意外接触而使基板W0等损坏。

如上所述，本实施方式的机器人100用于运送基板W。机器人100包括机器人臂2、机器人手3、基板姿势取得部9a、倾斜机构4和手姿势控制部9b。机器人手3被设置在机器人臂2，保持且运送基板W。基板姿势取得部9a取得与运送预定基板W0的姿势相关的信息。倾斜机构4能够调整机器人手3相对于运送预定基板W0的姿势。手姿势控制部9b控制倾斜机构4的动作。手姿势控制部9b根据与运送预定基板W0的姿势相关的信息，使用倾斜机构4调整对于运送预定基板W0进行取出作业的机器人手3的姿势。

因此，在从基板保管装置7等中取出运送预定基板W0时，即使该基板W0的姿势不适当，也能够在使机器人手3的姿势配合基板W0的状态下将其取出。因此，能够防止基板W0的损坏等，顺利地取出基板W0。

并且，在本实施方式的机器人100中，倾斜机构4能够使机器人手3的姿势倾斜。

因此，能够用简单的结构很容易地调整机器人手3的姿势。

并且，在本实施方式的机器人100中，基板姿势取得部9a根据设置在机器人手3的映射传感器6的检测结果，来取得运送预定基板W0的姿势。

因此，机器人100既能够进行基板W0的姿势的检测，又能够进行机器人手3的姿势的调整。其结果是能够提高方便性。

并且，在本实施方式的机器人100中，用于检测运送预定基板W0的姿势的传感器包括通过检测光检测运送预定基板W0的存在的有无的映射传感器6。基板姿势取得部9a根据使检测光的朝向不同扫描运送预定基板W0时的映射传感器6的输出，取得运送预定基板W0的姿势。

因此，能够用简单的结构检测运送预定基板W0的姿势。

其次，说明所述实施方式的第一变形例。图8是对第一变形例中的运送预定基板W0的姿势的检测进行概念性说明的平面图。需要说明的是，在本变形例的说明中，附图中，对与所述实施方式相同或类似的部件标注相同符号，有时省略说明。

本变形例的机器人100除了映射传感器6之外，还包括测距仪6x。该测距仪6x与映射传感器6一起构成用于检测运送预定基板W0的姿势的传感器。在本变形例中，测距仪6x用于检测在与所述手***方向垂直的方向水平观看基板W0时基板W0相对于水平的倾斜。换言之，由测距仪6x进行检测的对象是以手***方向为基准时基板W0的俯仰方向的倾斜。

测距仪6x例如由激光位移计、超声波距离传感器等构成。如图8所示，测距仪6x例如被设置在手本体部32的第二手指部32b的上表面。测距仪6x非接触检测从该测距仪6x到基板W0的下表面为止的上下方向的距离。测距仪6x用无线或有线与机器人控制部9连接着，将在测量位置中所测量的到基板W0为止的距离发送给机器人控制部9。

基板姿势取得部9a使机器人手3为水平姿势，将机器人手3***由基板保管装置7支撑的基板W0的下方。因此，成为基板W0相对于测距仪6x在上下方向对着的状态。不过，在该状态下，基板W0没有被引导部33保持。基板姿势取得部9a通过在该状态下沿着手***方向使机器人手3在水平方向移动，来在至少两处测量从测距仪6x到检查对象的基板W0为止的距离。

基板姿势取得部9a根据在基板W0的两处由测距仪6x所测量的该基板W0的高度的差，来取得以手***方向为基准时的基板W0的俯仰方向的倾斜。

在本变形例中，能够通过映射传感器6取得基板W0的翻滚方向的倾斜，能够通过测距仪6x取得俯仰方向的倾斜。所以，由于能够三维取得基板W0的倾斜，因此能够利用倾斜机构4，调整机器人手3的姿势，使其相对于基板W0三维平行。随着机器人手3的姿势的三维变更，将该机器人手3***基板保管装置7的高度也根据需要而被变更。同样，使机器人手3进入基板保管装置7的俯仰方向的朝向也根据需要而被变更。因此，能够防止在用机器人手3取出基板W0时的基板W0等的损坏。

如上所述，在本实施方式的机器人100中，倾斜机构4能够使机器人手3的姿势向任意方向倾斜。基板姿势取得部9a取得与运送预定基板W0的三维姿势相关的信息。手姿势控制部9b根据与运送预定基板W0的姿势相关的信息，用倾斜机构4三维调整进行取出作业的机器人手3的姿势。

因此，即使在运送预定基板W0的姿势产生三维倾斜时，也能够通过倾斜机构4，使机器人手3的姿势沿着该基板W0。因此，能够确实防止基板W0的损坏等。

其次，说明所述实施方式的第二变形例。图9是概念性示出了第二变形例中的基板W0的姿势的检测的平面图。需要说明的是，在本变形例的说明中，附图中，对与所述实施方式相同或类似的部件标注相同符号，有时省略说明。

本变形例的机器人100作为基板姿势检测部仅包括映射传感器6。换言之，机器人100不包括测距仪6x。

如图9所示，在本变形例中，基板姿势取得部9a在从平面来看使映射传感器6的检测光的朝向不同的同时，分别进行与所述实施方式一样的测量。其结果是能够三维检测基板W0的倾斜。手姿势控制部9b能够根据所得到的基板W0的倾斜，使机器人手3的姿势三维配合基板W0。

以上，说明了本发明的优选实施方式，所述结构例如也能够如下变更。

检测厚度TH1也可以根据在映射传感器6开始没有受光的输出的时刻以及结束没有受光的输出的时刻时编码器的检测结果(藉由编码器所检测出的位置信息)求出，来代替根据映射传感器6输出没有受光的期间机器人手3在上下方向移动的距离求出。需要说明的是，当在使机器人手3的姿势一定的同时，使该机器人手3在上下方向移动检测基板W的有无时，能够仅使用检测高度方向的第一臂21的位置变化(升降轴11的升降量)的编码器的检测结果来进行检测厚度TH1的计算。

机器人100也可以保持收纳基板W的托盘等间接地运送基板W，来代替直接保持基板W进行运送。

机器人手3的手本体部32也可以与倾斜机构4的上板部42形成为一体。

通过映射传感器6扫描运送预定基板W0时的扫描方向并不限于上下方向，也可以从上下方向倾斜。

倾斜机构4既可以配置在基座1与升降轴11之间，也可以配置在升降轴11与第一臂21之间，还可以配置在第一臂21与第二臂22之间。

在图8所示的第一变形例中，能够省略映射传感器6。此时，也能够通过沿着手***方向水平扫描测距仪6x，来检查运送预定基板W0的俯仰方向的倾斜。并且，也可以在水平面内使机器人手3适当移动的同时，用测距仪6x测量在基板W0中从平面来看形成三角形的3处的高度。此时，能够仅用测距仪6x三维检查运送预定基板W0的倾斜。

也可以在第一变形例的机器人手3中，将多个测距仪6x配置在彼此不同的位置。

在第一变形例的机器人手3中，当通过测距仪6x取得俯仰方向的基板W0的倾斜时，也可以不使机器人手3的姿势水平。即，也可以在首先通过映射传感器6取得基板W0的翻滚方向的倾斜之后，在使机器人手3的翻滚方向的倾斜配合基板W0的状态下将其***基板W0的下方，通过测距仪6x取得基板W0的高度。

运送预定基板W0的姿势也可以通过机器人100之外的适当装置取得。此时，与用其它装置所取得的运送预定装置W0的姿势相关的信息被输入手姿势控制部9b。基板姿势取得部9a事前经由通信部从其它装置取得与运送预定基板W0的姿势相关的信息，将其存储在存储部中，来代替求出并取得基板W0的倾斜角度θ。

在本说明书中公开的要素的功能能够使用电路或处理电路执行，该电路或处理电路包含为执行所公开的功能而构成或程序化的通用处理器、专用处理器、集成电路、ASIC(Application Specific Integrated Circuits)、常规电路以及/或者它们的组合。处理器由于包含晶体管和其它电路，因此被看作处理电路或电路。在本发明中，电路、单元或部件是执行所列举的功能的硬件或者为了执行所列举的功能而被程序化的硬件。硬件既可以是在本说明书中所公开的硬件，或者，也可以是为了执行所列举的功能而被程序化或构成的其它已知的硬件。当硬件是被认为是电路的一种的处理器时，电路、部件或单元是硬件与软件的组合，软件被用于硬件以及/或者处理器的结构。

Claims (7)

1.一种机器人，其用于运送基板，其特征在于：

所述机器人包括臂部、手部、基板姿势取得部、手姿势调整部和手姿势控制部，所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板，所述基板姿势取得部取得与预定运送的所述基板即运送预定基板的姿势相关的信息，所述手姿势调整部能够调整所述手部相对于所述运送预定基板的姿势，所述手姿势控制部对所述手姿势调整部的动作进行控制，

所述手姿势控制部根据与所述运送预定基板的姿势相关的信息，用所述手姿势调整部调整对于所述运送预定基板进行取出作业的所述手部的姿势。

2.根据权利要求1所述的机器人，其特征在于：

所述手姿势调整部由能够使所述手部的姿势倾斜的倾斜机构构成。

3.根据权利要求2所述的机器人，其特征在于：

所述倾斜机构能够使所述手部的姿势向任意方向倾斜，

所述基板姿势取得部取得与所述运送预定基板的三维姿势相关的信息，

所述手姿势控制部根据与所述运送预定基板的姿势相关的信息，用所述手姿势调整部三维调整进行所述取出作业的手部的姿势。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的机器人，其特征在于:

所述基板姿势取得部根据设置在所述手部的传感器的检测结果，取得所述运送预定基板的姿势。

5.根据权利要求4所述的机器人，其特征在于：

所述传感器包括映射传感器，该映射传感器通过检测光检测所述运送预定基板的存在的有无，

所述基板姿势取得部根据使所述检测光的朝向不同用所述传感器扫描所述运送预定基板时的所述映射传感器的输出，来取得所述运送预定基板的姿势。

6.根据权利要求4或5所述的机器人，其特征在于：

所述传感器包括测距仪，该测距仪被设置在所述手部，以测量在上下方向的与所述运送预定基板的距离，

所述基板姿势取得部根据在所述基板的多处通过所述测距仪所测量的所述距离的每一个，来取得所述运送预定基板的姿势。

7.一种手部姿势调整方法，其通过运送所述基板的机器人来调整所述手部的姿势，该机器人包括臂部、手部、基板姿势取得部和手姿势调整部，所述手部被设置在所述臂部，保持且运送基板，所述基板姿势取得部取得与预定运送的所述基板即运送预定基板的姿势相关的信息，所述手姿势调整部能够调整所述手部相对于所述运送预定基板的姿势，其特征在于：

所述手部姿势调整方法根据与所述运送预定基板的姿势相关的信息，用所述手姿势调整部来调整对于所述运送预定基板进行取出作业的所述手部的姿势。