JP2009136857A - 画素修正装置および画素修正機台 - Google Patents
画素修正装置および画素修正機台 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009136857A JP2009136857A JP2008027399A JP2008027399A JP2009136857A JP 2009136857 A JP2009136857 A JP 2009136857A JP 2008027399 A JP2008027399 A JP 2008027399A JP 2008027399 A JP2008027399 A JP 2008027399A JP 2009136857 A JP2009136857 A JP 2009136857A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- correction
- container
- nozzle
- pixel
- pixel correction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1341—Filling or closing of cells
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/12—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode
- G02F2201/123—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode pixel
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/861—Repairing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【課題】修正液を継続的に供給することが可能なため、画素欠陥を一回で修正することができる画素修正装置および画素修正機台を提供する。
【解決手段】画素修正装置は、表示パネル101中の欠陥画素102を修正し、修正液を収納する容器と、容器と連通するノズル106a,106b,106c,106dと、容器と接続し、修正液を駆動し、ノズル106a,106b,106c,106dから流出させるエアポンプ107と、を備える。
【選択図】図1A
【解決手段】画素修正装置は、表示パネル101中の欠陥画素102を修正し、修正液を収納する容器と、容器と連通するノズル106a,106b,106c,106dと、容器と接続し、修正液を駆動し、ノズル106a,106b,106c,106dから流出させるエアポンプ107と、を備える。
【選択図】図1A
Description
本発明は表示装置の画素修正装置およびその応用に関し、特に、画素修正装置および画素修正機台に関する。
液晶表示装置の画像画素は、一般に2つの透明基板の間に配置され、カラーフィルタ(Color Filter:CF)および薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:TFT)または有機発光ダイオード(Organic Light Emitting Diode:OLED)により画定される。
カラーフィルタ、薄膜トランジスタおよび有機発光ダイオードは、フォトリソグラフィ工程を用いる必要があった。例えば、カラーフィルタの製造工程は、まず、透明基板上に黒色樹脂を塗布し、フォトリソグラフィ工程により露光、現像、検査およびベークを行ってブラックマトリックス(black matrix)を形成し、同様の方法によりブラックマトリックス中に赤色、緑色または青色のパターンを形成し、カラーフィルタを構成する。しかし、フォトリソグラフィ工程で用いられるレジスト材料は、安定性を制御することが困難であった。そのため、画像画素の密度に対する要求が高まるに従い、カラーフィルタまたは薄膜トランジスタのパターンに発生した欠陥を修正する画素修正工程をさらに行わなければならなかった。
従来の画素修正工程は、レーザ方式または研磨方式により、局所的に障害部に付着した基板表面上の残留物質を除去し、赤色、緑色、青色または黒色の修正液が直接付着された修正針の針先または修正液が充填された毛細管を用い、障害部に修正液を付着させたりスプレー塗布したりする。そして、障害部に紫外線を局所的または全面的に照射した後に、赤外線でベークして修正工程を完了させる。
しかし、針先または毛細管により画素を修正する方法は、1回で提供できる修正液の量が固定されている上、障害部の体積が針先または1つの毛細管により提供される修正液よりも多かった。そのため、修正液を繰り返して付着させたり、毛細管を繰り返して交換したりしなければならなかったが、これは工程に悪影響を与えることがあった。つまり、修正液を繰り返して付着させたり毛細管を何度も交換したりした場合、機台が何度も作動されるため、修正の位置決め精度に悪影響を与え、修正工程でエラーが発生してしまうことがあった。
従来の画素修正技術には、インクジェットヘッドを電圧駆動させ、修正材料を吐出し、障害部を修正する方法があった(例えば、特許文献1)。
しかし、インクジェットを用いる方法は、修正材料を微細な液滴状にした後に揮発させて硬化させ、基板上に付着させる必要があった。しかし、微細な液滴は、修正材料の物理特性の違いにより、揮発の過程で修正の均一性に悪影響を与え、基板と修正物質とが相分離(phase separation)してしまうことがあった。この問題を解決するため、修正材料を選択したりインクジェットヘッドの方向を調整したりする必要があるが、そうした場合、製造工程の制御が複雑となり、ハードウェア構成にかかるコストも大幅に増大してしまうことがあった。
そのため、低コスト、簡単な構造および良好な操作性といった特性を有し、修正精度および品質が高い表示装置の画素修正装置および画素修正機台が求められていた。
本発明の目的は、表示パネル中の欠陥画素を修正する画素修正装置を提供することにある。
本発明のもう一つの目的は、表示パネル中の欠陥画素を修正する画素修正機台を提供することにある。
本発明のもう一つの目的は、表示パネル中の欠陥画素を修正する画素修正機台を提供することにある。
(1) 表示パネル中の欠陥画素を修正する画素修正装置であって、修正液を収納する容器と、前記容器と連通されたノズルと、前記容器と接続され、前記修正液を駆動させて前記ノズルから流出させるエアポンプと、を備えることを特徴とする画素修正装置。
(2) 前記ノズルは、前記容器中の液体と連通された中空管路であり、該中空管路はガラス管またはマイクロディスペンサであることを特徴とする(1)に記載の画素修正装置。
(3) 前記エアポンプは、前記容器を介して前記ノズルと直列に接続され、前記容器中にある前記修正液を正圧により駆動し、前記ノズルから流出させることを特徴とする(1)に記載の画素修正装置。
(4) 前記容器は、少なくとも1つの交換型針シリンダまたは少なくとも1つの充填型針シリンダであることを特徴とする(1)に記載の画素修正装置。
(5) 前記エアポンプと、前記ノズルとの間に配置され、気圧の出力量を制御する圧力変換装置をさらに備えることを特徴とする(1)に記載の画素修正装置。
(6) 表示パネル中の欠陥画素を修正する画素修正機台であって、前記欠陥画素の位置決めを行う光学検査装置と、前記欠陥画素を除去し、障害部を提供する欠陥画素除去装置と、修正液を収納する容器と、前記容器と連通されたノズルと、前記容器と接続され、前記修正液を駆動させて前記ノズルから流出させ、前記障害部を充填するエアポンプと、 前記障害部に充填された前記修正液をベークする修正液硬化装置と、を備えることを特徴とする画素修正機台。
(7) 前記ノズルは、前記容器中の液体と連通された中空管路であり、該中空管路はガラス管またはマイクロディスペンサであることを特徴とする(6)に記載の画素修正機台。
(8) 前記エアポンプは、前記容器を介して前記ノズルと直列に接続され、前記容器中にある前記修正液を正圧により駆動し、前記ノズルから流出させることを特徴とする(6)に記載の画素修正機台。
(9) 前記容器は、少なくとも1つの交換型針シリンダまたは少なくとも1つの充填型針シリンダであることを特徴とする(6)に記載の画素修正機台。
(10) 前記エアポンプと、前記ノズルとの間に配置され、気圧の出力量を制御する圧力変換装置をさらに備えることを特徴とする(6)に記載の画素修正機台。
本発明の画素修正装置および画素修正機台は、修正液を継続的に供給することが可能なため、画素欠陥を一回で修正することができる。そのため、修正装置が往復移動を複数回繰り返して修正液を付着させたり毛細管を何度も交換したりしなければならなかった従来技術の問題点がない上、修正装置の往復移動および位置決めを行う回数を減らすことができる。そのため、修正工程の精度および収率が向上する上、画素の修正にかかる時間が減り、スループット全体を向上させることができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、これによって本発明が限定されるものではない。
図1Aを参照する。図1Aは、本発明の一実施形態によるカラーフィルタまたは薄膜トランジスタの製造工程を行っている時の状態を示す斜視図である。図1Aに示すように、画素修正機台100は、表示パネル101のカラーフィルタ(または薄膜トランジスタ)の製造工程で用い、表示パネル101中の欠陥画素102を修正する。
図1Aおよび図1Bに示すように、画素修正機台100は、光学検査装置103、欠陥画素除去装置104、容器、ノズル、エアポンプ107および修正液硬化装置108を備える。光学検査装置103は、欠陥画素102の位置決めを行うために用いられる。本発明の他の実施形態では、光学検査装置103は、マイクロレンズを有するCCD(Charge−Coupled Device:CCD)を用いてもよい。欠陥画素除去装置104は、欠陥画素102を除去して障害部109を画定する。欠陥画素除去装置104は、機械研磨装置またはレーザ発振装置でもよい。図1Bに示すように、本発明の一実施形態の光学検査装置103、修正液硬化装置108および欠陥画素除去装置104は、同一の固定座115上に固定されている。
本発明の一実施形態では、光学検査装置103にCCDが用いられ、レーザ発振装置(欠陥画素除去装置104)とともにマイクロレンズを共用するが、他の実施形態では光学検査装置103と、欠陥画素除去装置104とは互いに離間されていてもよい。
容器は、修正液を収納する充填型または交換型の針シリンダ(例えば、針シリンダ112a,112b,112c,112d)である。各針シリンダ112a,112b,112c,112dには、欠陥画素の特性に応じ、異なる修正液(例えば、赤色のレジスト液、緑色のレジスト液、青色のレジスト液、黒色のレジスト液またはその他の色のレジスト液)がそれぞれ充填されている。
ノズルと容器とは連通されている。本発明の一実施形態において、ノズルは中空管路を有するガラス管またはマイクロディスペンサであり、1本の管路(図示せず)を介して容器中の液体と連通している。各針シリンダ112a,112b,112c,112dは、本発明の一実施形態では、それぞれ1つのノズル(例えば、ノズル106a,106b,106c,106d)と別々に連通されているが、他の実施形態では単一のノズルを共有してもよい。
エアポンプ107は、空気流量調整装置(pneumatic flow controller)であり、導管を介して容器と接続され、修正液を駆動してノズルから流出させ、障害部109に充填させる。図1Aに示すように、エアポンプ107は、導管105a,105b,105c,105dを介して針シリンダ112a,112b,112c,112dとそれぞれ直列に接続されている。針シリンダ112a,112b,112c,112dは、それぞれノズル106a,106b,106c,106dと連通されている。エアポンプ107は、針シリンダ112a,112b,112c,112d中にある修正液を正圧により直接駆動し、ノズル106a,106b,106c,106dから流出させる。本発明の他の実施形態において、エアポンプ107は、導管105a,105b,105c,105dを介してノズル106a,106b,106c,106dとそれぞれ連通し、針シリンダ112a,112b,112c,112dは、導管105a,105b,105c,105dのそれぞれと対応するように接続され、並列状に配置されている。エアポンプ107は、針シリンダ112a,112b,112c,112dからノズル106a,106b,106c,106dの方向へ修正液を導く負圧を提供する。
エアポンプ107は、エアポンプ107と、ノズル106a,106b,106c,106dとの間に配置され、各導管105a,105b,105c,105dの気圧の出力量を制御する圧力変換装置(例えば、吸気絞り装置113a,113b,113c,113d)をさらに含む。エアポンプ107(空気流量調整装置)は、プログラムモジュール(図示せず)により、導管上の吸気絞り装置113a,113b,113c,113dを制御して各導管105a,105b,105c,105dに必要な分圧を加えて、針シリンダ112a,112b,112c,112d中のレジスト液の残量を判断し、ユーザに交換を促す。
修正液硬化装置108は、使用する修正液の化学特性に基づき、紫外線照射装置108aを選択し、障害部109に充填された修正液を照射してもよい。本発明の一実施形態では、障害部109に充填された修正液を紫外線照射装置108aにより局所的に照射する以外に、さらに赤外線照射装置108bによりベークを行い、障害部109に充填された修正液を硬化させる。
本発明の一実施形態では、表示パネル101が移動式の作業台114上に固定され、画素修正機台100が表示パネル101の上方に固定されている。作業台114は、CCDの検出結果を基に、横軸X、縦軸YおよびZ軸に沿って往復移動し、位置決めを行う。そして、作業台114は、欠陥画素除去装置104を用いて行う除去工程および後続の修正工程の必要に応じ、横軸X、縦軸YおよびZ軸に沿って三次元の空間を移動する(図1Aを参照する)。本発明の他の実施形態では、画素修正機台100は、移動式フレーム(図示せず)上に配置され、光学検査工程、欠陥画素除去工程および後続の修正工程の必要に応じ、横軸X、縦軸YおよびZ軸に沿って三次元空間を移動する。
図2を参照する。図2は、図1Aの画素修正機台により表示パネル101中の欠陥画素102を修正する方法を示す流れ図である。図2に示すように、この修正方法には、工程S21、工程S22、工程S23および工程S24が含まれる。
まず、工程S21において、光学検査装置103を用いて欠陥画素102の位置決めを行う。続いて、工程S22において、欠陥画素除去装置104を用いて欠陥画素102を除去し、障害部109を画定する。さらに工程S23において、図1Aに示すように、容器(針シリンダ112a,112b,112c,112d)、ノズル106a,106b,106c,106dおよびエアポンプ107を含む画素修正装置を用いて障害部109を修正する。障害部109の修正工程では、エアポンプ107を用いて修正液を駆動し、ノズルから流出させて障害部109を充填する。最後に、工程S24において、修正液硬化装置108を用いて障害部109に充填された修正液を硬化させる。
ここで、上述した画素修正機台100および修正方法は、カラーフィルタの修正工程に適用できるだけでなく、薄膜トランジスタや有機発光ダイオードの修正工程にも適用することができる。
上述の実施形態から分かるように、本発明の画素修正装置および画素修正機台は、ノズル、容器およびエアポンプが結合された単純な構造により表示パネル中の欠陥画素を修正することができる。この画素修正装置は、修正液を継続的に供給することが可能なため、画素の欠陥を一回で修正することができる。そのため、修正装置が往復移動を複数回繰り返して修正液を付着させたり毛細管を交換したりしなければならなかった従来技術の問題点を解決することができる。これにより、修正装置の往復移動および位置決めを行う回数を減らし、修正工程の精度および収率を向上させることができる。同時に、画素の修正にかかる時間を減らし、スループット全体を向上させることができる。
本発明では好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本発明を限定するものではなく、当該技術を熟知するものなら誰でも、本発明の主旨と領域を脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って本発明の保護の範囲は、特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。
100…画素修正機台、
101…表示パネル、
102…欠陥画素、
103…光学検査装置、
104…欠陥画素除去装置、
105a…導管、
105b…導管、
105c…導管、
105d…導管、
106a…ノズル、
106b…ノズル、
106c…ノズル、
106d…ノズル、
107…エアポンプ、
108…修正液硬化装置、
108a…紫外線照射装置、
108b…赤外線照射装置、
109…障害部、
112a…針シリンダ、
112b…針シリンダ、
112c…針シリンダ、
112d…針シリンダ、
113a…吸気絞り装置、
113b…吸気絞り装置、
113c…吸気絞り装置、
113d…吸気絞り装置、
114…作業台、
115…固定座、
X…横軸、
Y…縦軸、
Z…Z軸。
101…表示パネル、
102…欠陥画素、
103…光学検査装置、
104…欠陥画素除去装置、
105a…導管、
105b…導管、
105c…導管、
105d…導管、
106a…ノズル、
106b…ノズル、
106c…ノズル、
106d…ノズル、
107…エアポンプ、
108…修正液硬化装置、
108a…紫外線照射装置、
108b…赤外線照射装置、
109…障害部、
112a…針シリンダ、
112b…針シリンダ、
112c…針シリンダ、
112d…針シリンダ、
113a…吸気絞り装置、
113b…吸気絞り装置、
113c…吸気絞り装置、
113d…吸気絞り装置、
114…作業台、
115…固定座、
X…横軸、
Y…縦軸、
Z…Z軸。
Claims (10)
- 表示パネル中の欠陥画素を修正する画素修正装置であって、
修正液を収納する容器と、
前記容器と連通されたノズルと、
前記容器と接続され、前記修正液を駆動させて前記ノズルから流出させるエアポンプと、を備えることを特徴とする画素修正装置。 - 前記ノズルは、前記容器中の液体と連通された中空管路であり、該中空管路はガラス管またはマイクロディスペンサであることを特徴とする請求項1に記載の画素修正装置。
- 前記エアポンプは、前記容器を介して前記ノズルと直列に接続され、前記容器中にある前記修正液を正圧により駆動し、前記ノズルから流出させることを特徴とする請求項1に記載の画素修正装置。
- 前記容器は、少なくとも1つの交換型針シリンダまたは少なくとも1つの充填型針シリンダであることを特徴とする請求項1に記載の画素修正装置。
- 前記エアポンプと、前記ノズルとの間に配置され、気圧の出力量を制御する圧力変換装置をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の画素修正装置。
- 表示パネル中の欠陥画素を修正する画素修正機台であって、
前記欠陥画素の位置決めを行う光学検査装置と、
前記欠陥画素を除去し、障害部を提供する欠陥画素除去装置と、
修正液を収納する容器と、
前記容器と連通されたノズルと、
前記容器と接続され、前記修正液を駆動させて前記ノズルから流出させ、前記障害部を充填するエアポンプと、
前記障害部に充填された前記修正液をベークする修正液硬化装置と、を備えることを特徴とする画素修正機台。 - 前記ノズルは、前記容器中の液体と連通された中空管路であり、該中空管路はガラス管またはマイクロディスペンサであることを特徴とする請求項6に記載の画素修正機台。
- 前記エアポンプは、前記容器を介して前記ノズルと直列に接続され、前記容器中にある前記修正液を正圧により駆動し、前記ノズルから流出させることを特徴とする請求項6に記載の画素修正機台。
- 前記容器は、少なくとも1つの交換型針シリンダまたは少なくとも1つの充填型針シリンダであることを特徴とする請求項6に記載の画素修正機台。
- 前記エアポンプと、前記ノズルとの間に配置され、気圧の出力量を制御する圧力変換装置をさらに備えることを特徴とする請求項6に記載の画素修正機台。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW096147119A TW200925704A (en) | 2007-12-10 | 2007-12-10 | Pixel-repairing device and applications thereof |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009136857A true JP2009136857A (ja) | 2009-06-25 |
Family
ID=40868065
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008027399A Pending JP2009136857A (ja) | 2007-12-10 | 2008-02-07 | 画素修正装置および画素修正機台 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009136857A (ja) |
KR (1) | KR20090060921A (ja) |
TW (1) | TW200925704A (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6431186A (en) * | 1987-07-27 | 1989-02-01 | Sharp Kk | Correction of color filter defect |
JPH06109914A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | Toppan Printing Co Ltd | フィルターパターン欠陥部補修方法及び補修装置 |
JPH08182949A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-07-16 | Ntn Corp | 液状物質塗布装置、液状物質塗布方法および修正装置 |
JPH0929976A (ja) * | 1995-07-13 | 1997-02-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 微小点描画スタイラス治具、その製造方法およびその使用方法 |
JP2006136864A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | V Technology Co Ltd | 液体材料供給装置 |
JP2006145786A (ja) * | 2004-11-18 | 2006-06-08 | V Technology Co Ltd | カラーフィルタの欠陥修正方法 |
JP2008151872A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-03 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタ形成基板の欠陥修正方法およびカラーフィルタ形成基板 |
JP2009092735A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥修正方法 |
-
2007
- 2007-12-10 TW TW096147119A patent/TW200925704A/zh unknown
-
2008
- 2008-01-16 KR KR1020080005042A patent/KR20090060921A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-02-07 JP JP2008027399A patent/JP2009136857A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6431186A (en) * | 1987-07-27 | 1989-02-01 | Sharp Kk | Correction of color filter defect |
JPH06109914A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | Toppan Printing Co Ltd | フィルターパターン欠陥部補修方法及び補修装置 |
JPH08182949A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-07-16 | Ntn Corp | 液状物質塗布装置、液状物質塗布方法および修正装置 |
JPH0929976A (ja) * | 1995-07-13 | 1997-02-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 微小点描画スタイラス治具、その製造方法およびその使用方法 |
JP2006136864A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | V Technology Co Ltd | 液体材料供給装置 |
JP2006145786A (ja) * | 2004-11-18 | 2006-06-08 | V Technology Co Ltd | カラーフィルタの欠陥修正方法 |
JP2008151872A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-03 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタ形成基板の欠陥修正方法およびカラーフィルタ形成基板 |
JP2009092735A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥修正方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200925704A (en) | 2009-06-16 |
KR20090060921A (ko) | 2009-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7241343B2 (en) | Liquid droplet ejecting apparatus, electro-optical device, method of manufacturing the electro-optical device, and electronic apparatus | |
JP4289391B2 (ja) | 液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法 | |
JP3890973B2 (ja) | ヘッドユニット | |
JP2009113040A (ja) | マイクロデポジション装置 | |
CN1876246A (zh) | 液滴喷出方法、电光学装置及电子设备 | |
JP4048979B2 (ja) | ノズル孔の画像認識方法およびこれを用いた液滴吐出ヘッドの位置補正方法、ノズル孔の検査方法、ノズル孔の画像認識装置およびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP2006159116A (ja) | ワークギャップ調整方法、ワークギャップ調整装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2004209429A (ja) | 液滴吐出システム、液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、液滴吐出ヘッドの吐出量適正化方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 | |
JP4055570B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP2009136857A (ja) | 画素修正装置および画素修正機台 | |
JP2006159117A (ja) | ヘッド位置補正方法およびヘッド位置補正装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器 | |
JP2010204411A (ja) | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法 | |
JP2004209412A (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 | |
JP2008119625A (ja) | 液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法 | |
KR20030093952A (ko) | 제막 장치와 그 액상체 충전 방법 및 디바이스 제조방법과 디바이스 제조 장치 및 디바이스 | |
JP2006044059A (ja) | 液滴吐出装置の液滴着弾位置補正方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2008003287A (ja) | パターン修正方法およびパターン修正装置 | |
JP2004202324A (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 | |
JP4432322B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP2012213739A (ja) | 液体噴射装置 | |
CN101458407A (zh) | 像素器件修补装置及其应用 | |
JP2002267828A (ja) | カラーフィルタ製造装置 | |
JP4389449B2 (ja) | 液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 | |
JP2012161920A (ja) | 記録方法 | |
JP5811828B2 (ja) | 描画方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110104 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110712 |