JP2009136720A

JP2009136720A - Discharging method of liquid, apparatus for discharging liquid droplet, and manufacturing method of color filter

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Publication number: JP2009136720A
Application number: JP2007313147A
Authority: JP
Inventors: Yoshinobu Monbetsu; 芳信門別
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2007-12-04
Filing date: 2007-12-04
Publication date: 2009-06-25

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To decrease variation in the discharge amount of liquid discharged from a head discharging a liquid droplet, and decrease streak defects produced by difference in the discharge amount. SOLUTION: The discharging method of the liquid comprises the steps of supplying a drive signal to discharge the liquid to the head 50 discharging the liquid droplet, on which a plurality of nozzles 52 discharging the liquid are provided, and of discharging the liquid to a workpiece W, and a plurality of drive signals are prepared to control the discharge amount Iw of the liquid discharged from the nozzle 52. A plurality of heads 50 discharging the liquid droplet, disposed in the arranging direction of the nozzles 52 individually have two adjacent nozzles 52 in the arranging direction, which are positioned at an end of each head 50 discharging the liquid droplet. One among a plurality of the drive signals is selected for the adjacent nozzles 52 and supplied to a driving element 59 of each of the two adjacent nozzles 52 such that the discharge amount Iw of the liquid discharged from each nozzle 52 be substantially equal. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、液状体をノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを用いた液状体の吐出方法、液滴吐出装置およびカラーフィルタの製造方法に関する。 The present invention relates to a liquid discharge method, a droplet discharge device, and a color filter manufacturing method using a droplet discharge head that discharges a liquid as droplets from a nozzle.

例えば、液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の成膜等の分野に液滴吐出装置が利用されている。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この液滴吐出ヘッドには、複数のノズルが規則的に形成されている。液滴吐出装置では、これらのノズルから機能性材料を含む液状体を基板等に吐出して、機能性材料からなる薄膜を形成する。 For example, droplet discharge devices are used in the fields of color filters such as liquid crystal display devices and film formation of organic EL devices. The droplet discharge device has a droplet discharge mechanism called a droplet discharge head. In this droplet discharge head, a plurality of nozzles are regularly formed. In a droplet discharge device, a liquid material containing a functional material is discharged from these nozzles onto a substrate or the like to form a thin film made of the functional material.

近年、表示装置は高画質化、高精細化、大型化が進んでおり、それに伴い形成される薄膜の膜厚の均一化等の要求が高くなってきている。このような薄膜を形成する液滴吐出装置としては、液滴吐出ヘッドを所定の方向に複数並べて配設して、複数の液滴吐出ヘッドと被吐出物とを相対的に移動させ、吐出量の安定したノズルを用い、被吐出物の表面に液状体を吐出して薄膜を形成する液滴吐出装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。 In recent years, display devices have become higher in image quality, higher definition, and larger in size, and accordingly, there is an increasing demand for uniform thickness of a thin film formed. As a droplet discharge apparatus for forming such a thin film, a plurality of droplet discharge heads are arranged side by side in a predetermined direction, and a plurality of droplet discharge heads and an object to be discharged are moved relative to each other. There has been proposed a droplet discharge device that forms a thin film by discharging a liquid on the surface of an object to be discharged using a stable nozzle (see, for example, Patent Document 1).

特開２００３−１５９７８７号公報JP 2003-159787 A

液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量は、ノズルに連通する吐出室や液状体の流路などのヘッド構造や駆動素子間のクロストーク等によって、ノズル毎にばらつきを有している。このばらつきは液滴吐出ヘッドの両端部に位置するノズルほど大きくなる傾向をもつ。ノズルもしくは液滴吐出ヘッド毎に吐出される液状体の吐出量がばらついてしまうと、基板上に形成された薄膜に、液状体の吐出量の差によって生じるいわゆるスジムラが発生する惧れがある。このスジムラは、液滴吐出ヘッドを基板が搬送される方向と直交する方向に移動させるいわゆる改行動作を伴う液滴吐出方法において、すでに吐出された領域と移動された液滴吐出ヘッドから吐出される領域との境界部分で特に顕著になる傾向にある。液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の機能膜等の薄膜にスジムラが発生すると、製造された表示装置の画像品質が低下してしまうという課題があった。 The discharge amount of the liquid discharged from the droplet discharge head varies from nozzle to nozzle due to a head structure such as a discharge chamber communicating with the nozzle and a flow path of the liquid, crosstalk between driving elements, and the like. . This variation tends to increase as the nozzles are located at both ends of the droplet discharge head. If the discharge amount of the liquid material discharged for each nozzle or droplet discharge head varies, there is a possibility that so-called unevenness caused by the difference in the discharge amount of the liquid material may occur in the thin film formed on the substrate. This stripe unevenness is ejected from the already ejected region and the moved droplet ejection head in a droplet ejection method involving a so-called line feed operation in which the droplet ejection head is moved in a direction perpendicular to the direction in which the substrate is conveyed. It tends to be particularly prominent at the boundary with the region. When unevenness occurs in a thin film such as a color filter such as a liquid crystal display device or a functional film of an organic EL device, there is a problem in that the image quality of the manufactured display device deteriorates.

また、上述の液滴吐出装置では、吐出特性、特に吐出重量の安定したノズルを用い、被吐出物に液状体を安定的に吐出して膜厚の均一化を試みている。この場合、吐出特性のばらつきによっては使用されないノズルが発生してしまう。そのため、ノズルの有効活用がはかられず、薄膜形成作業の効率が低下してしまうという課題があった。 In the above-described droplet discharge device, a nozzle having a stable discharge characteristic, particularly discharge weight, is used, and a liquid material is stably discharged onto the discharge target to try to make the film thickness uniform. In this case, nozzles that are not used are generated depending on variations in ejection characteristics. For this reason, there is a problem that the nozzle is not effectively used and the efficiency of the thin film forming operation is lowered.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

（適用例１）液状体を液滴として吐出する複数のノズルが列状に設けられた液滴吐出ヘッドを、前記ノズルの配列方向に複数並べて配置して、前記液状体を吐出するための駆動信号を前記ノズルの駆動素子に供給し、被吐出物に対して前記液状体を吐出する液状体の吐出方法であって、前記駆動信号は、前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を制御すべく複数用意されており、前記ノズルの配列方向に並べられた前記複数の液滴吐出ヘッドは、隣り合う第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとを有し、前記第１の液滴吐出ヘッドと前記第２の液滴吐出ヘッドとのそれぞれは、前記ノズルの配列方向に沿って両端部に第１のノズル群と第２のノズル群とを有し、前記第１の液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群と前記第２の液滴吐出ヘッドの前記第１のノズル群とは、前記ノズルの配列方向に隣接しており、前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する、少なくとも１つの第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する、少なくとも１つの第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする液状体の吐出方法。 (Application Example 1) Drive for discharging a liquid material by arranging a plurality of liquid droplet discharge heads in which a plurality of nozzles for discharging a liquid material as droplets are arranged in a row in the arrangement direction of the nozzles A liquid discharge method for supplying a signal to a drive element of the nozzle and discharging the liquid with respect to a discharge target, wherein the drive signal indicates a discharge amount of the liquid discharged from the nozzle. A plurality of droplet ejection heads prepared in order to be controlled and arranged in the nozzle arrangement direction have adjacent first droplet ejection heads and second droplet ejection heads, Each of the first droplet discharge head and the second droplet discharge head has a first nozzle group and a second nozzle group at both ends along the nozzle arrangement direction, The second nozzle group and the second liquid of one droplet discharge head The first nozzle group of the ejection head is ejected from at least one first nozzle that is adjacent to the nozzle arrangement direction and located on the second nozzle group side of the first nozzle group. The discharge amount of the liquid material and the discharge amount of the liquid material discharged from at least one second nozzle located on the first nozzle group side of the second nozzle group are substantially equal. The liquid is characterized in that one of the plurality of drive signals is selected and supplied to the drive element of the first nozzle and the drive element of the second nozzle. Body discharge method.

液滴吐出ヘッドは、両端部に位置するノズルほど吐出量のばらつきが大きい傾向にあり、両端部以外に位置するノズルは、比較的吐出量が安定している。そのため、液滴吐出ヘッドは、その両端部に吐出量のばらつきが大きい第１のノズル群と第２のノズル群とを有している場合がある。さらには、第１のノズル群と第２のノズル群とにおいても、第１のノズル群の液滴吐出ヘッドの端部側に位置する第１のノズルおよび第２のノズル群の液滴吐出ヘッドの端部側に位置する第２のノズルほど吐出量のばらつきが大きい傾向にある。２つの液滴吐出ヘッド、すなわち、第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとが隣り合うように配置されると、吐出量のばらつきが大きい傾向にある第１の液滴吐出ヘッドの第２のノズル群の少なくとも１つの第２のノズルと、同じく、吐出量のばらつきが大きい傾向にある第２の液滴吐出ヘッドの第１のノズル群の少なくとも１つの第１のノズルとが隣り合うことになる。そのため、隣り合うノズル同士の吐出量のばらつきが発生し、スジムラが顕著になる惧れがある。 In the droplet discharge head, the variation in the discharge amount tends to be larger as the nozzles are located at both ends, and the discharge amount is relatively stable for the nozzles located outside the both ends. For this reason, the droplet discharge head may have a first nozzle group and a second nozzle group with large variations in the discharge amount at both ends thereof. Furthermore, in the first nozzle group and the second nozzle group, the first nozzle group and the droplet discharge head of the second nozzle group located on the end side of the droplet discharge head of the first nozzle group The second nozzle located on the end side of the nozzle tends to have a larger variation in the discharge amount. When two droplet ejection heads, that is, the first droplet ejection head and the second droplet ejection head are arranged adjacent to each other, the first droplet ejection tends to have a large variation in ejection amount. At least one second nozzle of the second nozzle group of the head, and at least one first nozzle of the first nozzle group of the second liquid droplet ejection head, which tends to have a large variation in the ejection amount. Will be next to each other. For this reason, there is a possibility that variations in the discharge amount between adjacent nozzles occur, and uneven stripes become noticeable.

この方法によれば、ノズルから吐出される液状体の吐出量を制御する複数の駆動信号が用意されており、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整することができる。そのため、第１の液滴吐出ヘッドの第２のノズル群の少なくとも１つの第２のノズルの駆動素子と、第２の液滴吐出ヘッドの第１のノズル群の少なくとも１つの第１のノズルの駆動素子とに、それぞれ選択された駆動信号を供給して、当該少なくとも１つの第１のノズルと少なくとも１つの第２のノズルとから吐出される液状体の吐出量を略等しくすることができる。従って、吐出量のばらつきが大きい傾向にあるノズルに着目して、適正な駆動信号を供給して、ノズル毎に発生する吐出量の違いを効果的に低減することができる。その結果、隣り合う液滴吐出ヘッドの境界部分において、隣り合うノズルから吐出される液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができ、表示装置のスジムラ不良を低減させることができる。 According to this method, a plurality of drive signals for controlling the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzles are prepared, and a different drive signal is supplied for each nozzle to discharge the liquid material discharged from the nozzles. The amount can be adjusted. Therefore, at least one second nozzle drive element of the second nozzle group of the first droplet discharge head and at least one first nozzle of the first nozzle group of the second droplet discharge head The selected drive signals are supplied to the drive elements, respectively, so that the discharge amounts of the liquid material discharged from the at least one first nozzle and the at least one second nozzle can be made substantially equal. Therefore, paying attention to nozzles that tend to have large variations in discharge amount, it is possible to supply an appropriate drive signal and effectively reduce the difference in discharge amount generated for each nozzle. As a result, it is possible to reduce the occurrence of uneven stripes due to the difference in the discharge amount of the liquid material discharged from the adjacent nozzles at the boundary portion between the adjacent droplet discharge heads, and to reduce the uneven stripe defect of the display device. Can do.

（適用例２）前記複数の液滴吐出ヘッドはキャリッジに搭載されており、前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に相対移動させて、前記キャリッジに搭載された前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第１の吐出ステップと、前記キャリッジもしくは前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向に所定距離移動させ、前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に移動させて、前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第２の吐出ステップと、を含む改行工程を有していることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。 (Application Example 2) The plurality of droplet discharge heads are mounted on a carriage, and the discharge target is relatively moved in a direction substantially orthogonal to the nozzle arrangement direction to mount the discharge target on the carriage. A first discharge step of discharging the liquid material onto the discharge object from a plurality of nozzles, and moving the carriage or the discharge object by a predetermined distance in the arrangement direction of the nozzles, A line feed step including a second discharge step of moving the liquid material from the plurality of nozzles onto the discharge target object in a direction substantially perpendicular to the nozzle arrangement direction. The method for discharging a liquid material as described above.

大型基板もしくは高精細なパターンが描画される基板等の被吐出物に対しては、液滴吐出ヘッドと被吐出物との相対移動を繰り返し同一被吐出物に複数回の吐出作業を繰り返す、いわゆる改行動作を伴う吐出作業が行われる。この方法によれば、改行動作を伴う吐出作業においても、同一キャリッジに搭載される隣り合う液滴吐出ヘッドの境界部分で、隣り合うノズルから吐出される液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができる。 For an object to be ejected such as a large substrate or a substrate on which a high-definition pattern is drawn, the relative movement between the droplet ejection head and the object to be ejected is repeated, and a plurality of ejection operations are repeated on the same object to be ejected. A discharge operation with a line feed operation is performed. According to this method, even in a discharge operation accompanied by a line feed operation, the unevenness caused by the difference in the discharge amount of the liquid material discharged from the adjacent nozzles at the boundary portion between the adjacent droplet discharge heads mounted on the same carriage. Can be reduced.

（適用例３）前記第１の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上に、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第１の塗布領域が形成され、前記第２の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上に、前記第１の塗布領域と隣り合うように、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第２の塗布領域が形成され、前記第１の塗布領域と前記第２の塗布領域との境界部分には、前記第１の塗布領域に属する第１の境界領域と前記第２の塗布領域に属する第２の境界領域とが形成されており、前記第１の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群から前記液状体が吐出され、前記第２の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群から前記液状体が吐出され、前記第２の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第１のノズル群から前記液状体が吐出されており、前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する少なくとも１つの前記第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する少なくとも１つの前記第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。 (Application Example 3) In the first discharge step, a first application region made of the liquid material discharged from the plurality of nozzles is formed on the discharge target, and in the second discharge step, A second coating region made of the liquid material ejected from the plurality of nozzles is formed on the discharge target so as to be adjacent to the first coating region, and the first coating region and the first coating region are formed. A first boundary region belonging to the first application region and a second boundary region belonging to the second application region are formed at a boundary portion between the first application region and the first application region. The liquid material is ejected from the second nozzle group of the droplet ejection head mounted on the carriage, and the second boundary region is the first droplet ejection mounted on the carriage. A head and the second droplet discharge head; The liquid material is ejected from the second nozzle group of any one of the droplet ejection heads, and the second boundary region includes the first droplet ejection head mounted on the carriage and the first droplet ejection head. The liquid material is discharged from the first nozzle group of one of the two droplet discharge heads, and is located on the first nozzle group side of the second nozzle group. The discharge amount of the liquid material discharged from at least one of the second nozzles, and the discharge of the liquid material from at least one of the first nozzles located on the second nozzle group side of the first nozzle group. One of the plurality of drive signals is selected for the drive element of the first nozzle and the drive element of the second nozzle so that the discharge amount of the liquid material is substantially equal. Characterized by supplying The above liquid discharging method of that.

改行動作を伴う吐出作業では、改行前の吐出作業である第１の吐出ステップで形成された第１の塗布領域と、改行後の吐出作業である第２の吐出ステップで形成された第２の塗布領域と、が形成される。この第１の塗布領域と第２の塗布領域とは、隣り合う境界部分を有する。この境界部分は、改行前の吐出作業である第１の吐出ステップで形成された第１の境界領域と、改行後の吐出作業である第２の吐出ステップで形成された第２の境界領域とで形成される。第１の境界領域は、例えば、キャリッジのノズルの配列方向に沿った一方の端部側に搭載された液滴吐出ヘッドの第２のノズル群から液状体が吐出され形成される。第２の境界領域は、例えば、キャリッジのノズルの配列方向に沿った他方の端部側に搭載された別の液滴吐出ヘッドの第１のノズル群から液状体が吐出され形成される。 In the discharge operation accompanied by the line feed operation, the first application region formed in the first discharge step that is the discharge operation before the line feed and the second discharge step formed in the second discharge step that is the discharge operation after the line feed. And an application region. The first application area and the second application area have adjacent boundary portions. The boundary portion includes a first boundary region formed in the first discharge step that is a discharge operation before a line break, and a second boundary region formed in a second discharge step that is a discharge operation after a line break. Formed with. The first boundary region is formed, for example, by discharging a liquid material from a second nozzle group of a droplet discharge head mounted on one end side along the arrangement direction of the nozzles of the carriage. The second boundary region is formed, for example, by discharging a liquid material from the first nozzle group of another droplet discharge head mounted on the other end side in the arrangement direction of the nozzles of the carriage.

第１のノズル群と第２のノズル群とにおいても、第１のノズル群の液滴吐出ヘッドの端部側に位置する第１のノズルおよび第２のノズル群の液滴吐出ヘッドの端部側に位置する第２のノズルほど吐出量のばらつきが大きい傾向にある。すなわち、境界部分は、吐出量のばらつきの大きい第１のノズルおよび第２のノズルから液滴が吐出され形成される。そのため、境界部分では、吐出される液状体の吐出量のばらつきが発生し、スジムラが顕著になる惧れがある。 Also in the first nozzle group and the second nozzle group, the end portions of the first nozzle group and the droplet discharge head of the second nozzle group located on the end portion side of the droplet discharge head of the first nozzle group The second nozzle located on the side tends to have a larger variation in the discharge amount. That is, the boundary portion is formed by ejecting liquid droplets from the first nozzle and the second nozzle having a large variation in the ejection amount. For this reason, there is a possibility that variations in the discharge amount of the discharged liquid material occur at the boundary portion, and uneven stripes may become noticeable.

この方法によれば、ノズルから吐出される液状体の吐出量を制御する複数の駆動信号が用意されており、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整することができる。そのため、改行前の吐出作業および改行後の吐出作業で、結果として隣り合うことが想定される複数のノズル、すなわち、少なくとも１つの第１のノズルおよび少なくとも１つの第２のノズルに対して、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整し略等しくすることができる。そのため、改行前に吐出された第１の境界領域と改行後に吐出される第２の境界領域との境界部分で発生する吐出量のばらつきを低減させることができる。従って、改行動作を伴った液状体の吐出作業においても、ノズルから吐出される液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができる。 According to this method, a plurality of drive signals for controlling the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzles are prepared, and a different drive signal is supplied for each nozzle to discharge the liquid material discharged from the nozzles. The amount can be adjusted. Therefore, a plurality of nozzles that are assumed to be adjacent as a result of the discharge operation before the line feed and the discharge operation after the line feed, that is, at least one first nozzle and at least one second nozzle. By supplying different drive signals for each, the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzle can be adjusted to be substantially equal. For this reason, it is possible to reduce the variation in the discharge amount generated at the boundary portion between the first boundary area discharged before the line feed and the second boundary area discharged after the line feed. Therefore, even in the liquid discharge operation accompanied with the line feed operation, it is possible to reduce the occurrence of uneven stripes due to the difference in the discharge amount of the liquid discharged from the nozzle.

（適用例４）前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を計測する吐出量計測工程を有し、前記吐出量計測工程で得られた前記ノズルの吐出量データに基づいて、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、前記ノズルに供給することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。 (Application example 4) A discharge amount measurement step of measuring the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzles, and based on discharge amount data of the nozzles obtained in the discharge amount measurement step, One of the drive signals is selected and supplied to the nozzle, the liquid material ejection method described above.

この方法によれば、吐出量計測工程で液滴吐出ヘッドのノズルから吐出される液状体の吐出量を計測することができる。そして、計測されたノズルの吐出量データに基づいて、適切な駆動信号を選択しノズルの駆動素子に供給することができる。従って、ノズルから吐出される液状体の吐出量を確実に調整することができる。 According to this method, it is possible to measure the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzle of the droplet discharge head in the discharge amount measuring step. Based on the measured nozzle discharge amount data, an appropriate drive signal can be selected and supplied to the nozzle drive element. Therefore, the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzle can be adjusted with certainty.

また、この方法によれば、吐出量のばらつきの大きいノズルに対して、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整することができる。そのため、ノズルの吐出特性を安定させることができ、吐出特性のばらつきにより使用されないノズルを低減することができる。従って、ノズルの有効活用がはかられ、薄膜形成作業の効率を向上させることができる。 Further, according to this method, it is possible to adjust the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzles by supplying different drive signals for each nozzle to the nozzles having a large discharge amount variation. Therefore, the discharge characteristics of the nozzles can be stabilized, and the number of nozzles that are not used due to variations in the discharge characteristics can be reduced. Therefore, the nozzle can be effectively used, and the efficiency of the thin film forming operation can be improved.

（適用例５）前記液滴吐出ヘッドに設けられた前記複数のノズルは吐出するねらいの吐出量が設定されており、少なくとも１つの前記第１のノズルおよび少なくとも１つの前記第２のノズルが前記ねらいの吐出量の前記液状体を吐出するように、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、前記ノズルに供給することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。 (Application Example 5) The plurality of nozzles provided in the droplet discharge head are set to have a target discharge amount, and at least one of the first nozzle and at least one of the second nozzles are One of the plurality of drive signals is selected and supplied to the nozzle so as to discharge the liquid material having a target discharge amount.

この方法によれば、少なくとも１つの第１のノズルおよび少なくとも１つの第２のノズル、すなわち、隣り合うもしくは結果として隣り合うことが想定される複数のノズルに対して、各ノズルから吐出される液状体の吐出量を、各ノズルが吐出することが期待されている「ねらいの吐出量」に近づけるように、複数の駆動信号のうちの１つを選択して、各ノズルに供給することことができる。そのため、隣り合うもしくは結果として隣り合うことが想定される複数のノズルの吐出量を「ねらいの吐出量」に近づけることができ、当該複数のノズルの吐出量のばらつきを低減することができる。従って、液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができる。 According to this method, the liquid ejected from each nozzle is applied to at least one first nozzle and at least one second nozzle, that is, a plurality of nozzles that are assumed to be adjacent or consequently adjacent to each other. One of a plurality of drive signals can be selected and supplied to each nozzle so that the discharge amount of the body approaches the “target discharge amount” that each nozzle is expected to discharge it can. Therefore, the discharge amounts of a plurality of nozzles that are assumed to be adjacent or as a result of being adjacent to each other can be brought close to the “target discharge amount”, and variations in the discharge amounts of the plurality of nozzles can be reduced. Therefore, it is possible to reduce the occurrence of uneven stripes due to the difference in the discharge amount of the liquid material.

（適用例６）前記第１のノズル群の前記第１のノズルと前記第２のノズル群の前記第２のノズルとが、前記ねらいの吐出量の前記液状体を吐出するように、前記第１のノズル群に位置し前記第１のノズルと反対方向に位置する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量を、前記第１のノズル群外に位置し前記第１のノズル群と近接する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量と略同等の吐出量の前記液状体を吐出するように、前記第２のノズル群に位置し前記第２のノズルと反対方向に位置する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量を、前記第２のノズル群外に位置し前記第２のノズル群と近接する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量と略同等の吐出量の前記液状体を吐出するように、前記第１のノズル群および前記第２のノズル群のその他の前記ノズルの吐出量を、前記ねらいの吐出量と、前記第１のノズル群および前記第２のノズル群外に位置し前記第１のノズルおよび前記第２のノズルと近接する複数の前記ノズルの吐出量と略同等の吐出量との間の吐出量の前記液状体を吐出するように、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、それぞれの前記ノズルに供給することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。 Application Example 6 The first nozzle of the first nozzle group and the second nozzle of the second nozzle group discharge the liquid material with the target discharge amount. The discharge amount of at least one nozzle located in one nozzle group and located in the opposite direction to the first nozzle is set to at least one nozzle located outside the first nozzle group and close to the first nozzle group. A discharge amount of at least one nozzle located in the second nozzle group and in a direction opposite to the second nozzle is set so as to discharge the liquid material having a discharge amount substantially equal to the discharge amount of the nozzle. The first nozzle group is configured to discharge the liquid material having a discharge amount substantially equal to the discharge amount of at least one nozzle located outside the second nozzle group and in proximity to the second nozzle group. And other before the second nozzle group The discharge amount of the nozzle is determined by the discharge amount of the target and the discharge of the plurality of nozzles located outside the first nozzle group and the second nozzle group and in proximity to the first nozzle and the second nozzle. One of the plurality of drive signals is selected and supplied to each of the nozzles so as to discharge the liquid material having a discharge amount that is substantially equal to the discharge amount. A method for discharging the liquid material.

液滴吐出ヘッドは、その両端部に吐出量のばらつきが大きいノズルから構成される第１のノズル群と第２のノズル群とを有している。複数の液滴吐出ヘッドを用いる吐出作業において、第１のノズル群と第２のノズル群とが隣り合い、群を構成する複数のノズルから液状体が吐出されると、第１のノズル群と第２のノズル群とから形成された塗布領域の境界部分で液状体の吐出量の差に起因するスジムラが発生する惧れがある。 The droplet discharge head has a first nozzle group and a second nozzle group composed of nozzles having large variations in discharge amount at both ends thereof. In a discharge operation using a plurality of droplet discharge heads, when the first nozzle group and the second nozzle group are adjacent to each other, and a liquid material is discharged from a plurality of nozzles constituting the group, the first nozzle group There is a risk that unevenness due to the difference in the discharge amount of the liquid material may occur at the boundary portion of the application region formed from the second nozzle group.

この方法によれば、吐出量のばらつきの大きいノズルに対して、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整することができる。そのため、異なる液滴吐出ヘッド同士の第１のノズル群と第２のノズル群とが隣り合う場合は、まず、第１のノズル群の第１のノズルと第２のノズル群の第２のノズルとが、「ねらいの吐出量」の液状体を吐出するように、複数の駆動信号のうちの１つを選択して、それぞれのノズルに供給する。これをすることにより、隣り合う複数のノズルの吐出量を「ねらいの吐出量」に近づけることができ、異なる液滴吐出ヘッド間の吐出量のばらつきを低減することができる。 According to this method, it is possible to adjust the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzles by supplying different drive signals for each nozzle to the nozzles having large discharge amount variations. Therefore, when the first nozzle group and the second nozzle group of different droplet discharge heads are adjacent to each other, first, the first nozzle of the first nozzle group and the second nozzle of the second nozzle group However, one of the plurality of drive signals is selected and supplied to each of the nozzles so as to discharge the liquid material of the “target discharge amount”. By doing this, the discharge amount of a plurality of adjacent nozzles can be brought close to the “target discharge amount”, and variations in discharge amount between different droplet discharge heads can be reduced.

次いで、吐出量のばらつきが大きい第１のノズル群を構成する複数のノズルにおいて、第１のノズルと反対方向、すなわち、液滴吐出ヘッドの中央側に位置する少なくとも１つのばらつきを有するノズルの吐出量を、第１のノズル群外に位置し第１のノズル群と近接している吐出量の安定した少なくとも１つのノズルの吐出量と略同等の吐出量の液状体を吐出するように、複数の駆動信号のうちの１つを選択してノズルに供給する。これをすることにより、第１のノズル群内にあり、液滴吐出ヘッドの中央側に位置するばらつきを有するノズルの吐出量を、第１のノズル群外に位置し第１のノズル群と近接している吐出量の安定したノズルの吐出量と略等しくすることができる。従って、第１のノズル群の液滴吐出ヘッドの中央側に位置する複数のノズルの吐出量のばらつきを低減することができる。 Next, among the plurality of nozzles constituting the first nozzle group having a large variation in the ejection amount, ejection of the nozzle having at least one variation located in the opposite direction to the first nozzle, that is, on the center side of the droplet ejection head. A plurality of liquids are discharged so as to discharge a liquid material having a discharge amount substantially equal to the discharge amount of at least one nozzle having a stable discharge amount located outside the first nozzle group and close to the first nozzle group. Is selected and supplied to the nozzle. By doing this, the discharge amount of the nozzle having a variation located in the center side of the droplet discharge head in the first nozzle group is positioned outside the first nozzle group and close to the first nozzle group. The discharge amount of the nozzle having a stable discharge amount can be made substantially equal. Accordingly, it is possible to reduce variations in the discharge amounts of the plurality of nozzles located on the center side of the droplet discharge head of the first nozzle group.

そして、第１のノズル群を構成する複数のノズルのうち、吐出量の調整が終了した上記以外のノズルの吐出量が、「ねらいの吐出量」と、当該第１のノズル群以外の吐出量が安定したノズルの吐出量との間の吐出量を吐出するように、複数の駆動信号のうちの１つを選択して、それぞれのノズルに供給する。これをすることにより、第１のノズル群において、すべてのノズルの吐出量を、「ねらいの吐出量」と、当該第１のノズル群以外の吐出量が安定したノズルの吐出量との間の吐出量に調整することができ、吐出量のばらつきを低減することができる。なお、第２のノズル群を構成する複数のノズルについても、上記と同様に吐出量の調整を行う。
その結果、複数の液滴吐出ヘッドを用いる吐出作業において、第１のノズル群と第２のノズル群とが隣り合う場合においても、第１のノズル群と第２のノズル群とから形成された塗布領域の境界部分で液状体の吐出量のばらつきを低減させることができ、吐出量の差に起因するスジムラの発生を低減させることができる。 Then, among the plurality of nozzles constituting the first nozzle group, the discharge amount of the nozzle other than the above after the adjustment of the discharge amount is “target discharge amount” and the discharge amount other than the first nozzle group. One of the plurality of drive signals is selected and supplied to each nozzle so as to discharge a discharge amount between the nozzle and a stable nozzle discharge amount. By doing this, in the first nozzle group, the discharge amount of all the nozzles is between the “target discharge amount” and the discharge amount of the nozzle other than the first nozzle group in which the discharge amount is stable. The discharge amount can be adjusted, and the variation in the discharge amount can be reduced. Note that the discharge amount is adjusted in the same manner as described above for the plurality of nozzles constituting the second nozzle group.
As a result, in the discharge operation using a plurality of droplet discharge heads, the first nozzle group and the second nozzle group were formed even when the first nozzle group and the second nozzle group were adjacent to each other. Variations in the discharge amount of the liquid material can be reduced at the boundary portion of the application region, and the occurrence of uneven stripes due to the difference in discharge amount can be reduced.

（適用例７）前記第１のノズル群および前記第２のノズル群に位置する前記ノズルは、吐出される前記液状体の吐出量が前記液滴吐出ヘッドの前記ノズルの平均吐出量と比較して±１％以上の吐出量の差を有していることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。 Application Example 7 In the nozzles located in the first nozzle group and the second nozzle group, the discharge amount of the liquid material to be discharged is compared with the average discharge amount of the nozzles of the droplet discharge head. The liquid material discharge method described above, which has a difference in discharge amount of ± 1% or more.

この方法によれば、液滴吐出ヘッドの全ノズルの平均吐出量と比較して±１％以上の吐出量の差を有している複数のノズルを第１のノズル群および第２のノズル群と定義して、その複数のノズルに対して、液状体の吐出量の調整を行うことができる。そのため、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出される吐出量をばらつきを±１％以内に押えることができる。従って、ノズルから吐出される液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができる。 According to this method, a plurality of nozzles having a difference in discharge amount of ± 1% or more compared to the average discharge amount of all the nozzles of the droplet discharge head are divided into the first nozzle group and the second nozzle group. And the discharge amount of the liquid material can be adjusted for the plurality of nozzles. For this reason, it is possible to suppress the variation in the ejection amount ejected from the nozzles of the droplet ejection head within ± 1%. Accordingly, it is possible to reduce the occurrence of unevenness due to the difference in the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzle.

（適用例８）液状体を液滴として吐出する複数のノズルが列状に設けられた液滴吐出ヘッドを、前記ノズルの配列方向に複数並べて配置して、前記液状体を吐出するための駆動信号を前記ノズルの駆動素子に供給し、被吐出物に対して前記液状体を吐出する液滴吐出装置であって、前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を計測する吐出量計測手段と、前記ノズル毎に設けられた前記駆動素子を駆動するとともに前記液状体の吐出量を制御する前記駆動信号を複数種生成する駆動信号生成手段と、を備え、前記ノズルの配列方向に並べられた前記複数の液滴吐出ヘッドは、隣り合う第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとを有し、前記第１の液滴吐出ヘッドと前記第２の液滴吐出ヘッドとのそれぞれは、前記ノズルの配列方向に沿って両端部に第１のノズル群と第２のノズル群とを有し、前記第１の液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群と前記第２の液滴吐出ヘッドの前記第１のノズル群とは、前記ノズルの配列方向に隣接しており、前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする液滴吐出装置。 Application Example 8 Driving for Discharging the Liquid by Disposing a Plurality of Droplet Discharge Heads with a Plurality of Nozzles for Discharging Liquid as Droplets in an Array A droplet discharge device that supplies a signal to a drive element of the nozzle and discharges the liquid material to an object to be discharged, the discharge amount measuring unit measuring the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzle Driving signal generating means for driving the driving element provided for each nozzle and generating a plurality of types of the driving signal for controlling the discharge amount of the liquid material, and arranged in the arrangement direction of the nozzles The plurality of droplet discharge heads include a first droplet discharge head and a second droplet discharge head that are adjacent to each other, and the first droplet discharge head, the second droplet discharge head, Each of which is the direction of arrangement of the nozzles A first nozzle group and a second nozzle group at both ends along the first nozzle group and the second nozzle group of the first droplet discharge head and the first nozzle group of the second droplet discharge head. The nozzle group is adjacent to the nozzle arrangement direction, and the discharge amount of the liquid material discharged from the second nozzle located on the first nozzle group side of the second nozzle group, and The drive element of the first nozzle and the discharge amount of the liquid material discharged from the first nozzle located on the second nozzle group side of the first nozzle group and the first nozzle group are substantially equal to each other. A droplet discharge device, wherein one of the plurality of drive signals is selected and supplied to the drive element of the second nozzle.

この構成によれば、第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとにおいて、吐出量計測手段で各ノズルから吐出される液状体の吐出量を計測することができる。また、複数のノズルに対して、吐出量計測手段で得られたノズルの吐出量データに基づいて、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整することができる。そのため、第１の液滴吐出ヘッドの第２のノズル群の少なくとも１つの第２のノズルの駆動素子と、第２の液滴吐出ヘッドの第１のノズル群の少なくとも１つの第１のノズルの駆動素子とに、それぞれ選択された駆動信号を供給して、当該少なくとも１つの第１のノズルと少なくとも１つの第２のノズルとから吐出される液状体の吐出量を略等しくすることができる。従って、吐出量のばらつきが大きい傾向にあるノズルに着目して、適正な駆動信号を供給して、ノズル毎に発生する吐出量の違いを効果的に低減することができる。その結果、隣り合う液滴吐出ヘッドの境界部分において、隣り合うノズルから吐出される液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができ、表示装置のスジムラ不良を低減させることができる液滴吐出装置を提供することができる。 According to this configuration, in the first droplet discharge head and the second droplet discharge head, the discharge amount of the liquid material discharged from each nozzle can be measured by the discharge amount measuring unit. Also, for each nozzle, based on the nozzle discharge amount data obtained by the discharge amount measuring means, different drive signals are supplied for each nozzle to adjust the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzle. can do. Therefore, at least one second nozzle drive element of the second nozzle group of the first droplet discharge head and at least one first nozzle of the first nozzle group of the second droplet discharge head The selected drive signals are supplied to the drive elements, respectively, so that the discharge amounts of the liquid material discharged from the at least one first nozzle and the at least one second nozzle can be made substantially equal. Therefore, paying attention to nozzles that tend to have large variations in discharge amount, it is possible to supply an appropriate drive signal and effectively reduce the difference in discharge amount generated for each nozzle. As a result, it is possible to reduce the occurrence of uneven stripes due to the difference in the discharge amount of the liquid material discharged from the adjacent nozzles at the boundary portion between the adjacent droplet discharge heads, and to reduce the uneven stripe defect of the display device. It is possible to provide a droplet discharge device that can perform the above operation.

（適用例９）前記複数の液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジを有し、前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に相対移動させて、前記キャリッジに搭載された前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第１の吐出ステップと、前記キャリッジもしくは前記被吐出物を前記ノズルの配列方向に所定距離移動させ、前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に移動させて、前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第２の吐出ステップと、を有していることを特徴とする上記の液滴吐出装置。 (Application example 9) A carriage having the plurality of droplet discharge heads mounted thereon, the object to be discharged is relatively moved in a direction substantially perpendicular to the nozzle arrangement direction, and the carriage mounted on the carriage A first discharge step of discharging the liquid material onto the discharge object from a plurality of nozzles; and moving the carriage or the discharge object by a predetermined distance in an arrangement direction of the nozzles to move the discharge object to the nozzle And a second discharge step of discharging the liquid material from the plurality of nozzles onto the discharge target object in a direction substantially orthogonal to the arrangement direction. Droplet discharge device.

大型基板もしくは高精細なパターンが描画される基板等の被吐出物に対しては、液滴吐出ヘッドと被吐出物との相対移動を繰り返し同一被吐出物に複数回の吐出作業を繰り返す、いわゆる改行動作を伴う吐出作業が行われる。この構成によれば、改行動作を伴う吐出作業においても、同一キャリッジに搭載される隣り合う液滴吐出ヘッドの境界部分で、隣り合うノズルから吐出される液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができる。 For an object to be ejected such as a large substrate or a substrate on which a high-definition pattern is drawn, the relative movement between the droplet ejection head and the object to be ejected is repeated, and a plurality of ejection operations are repeated on the same object to be ejected. A discharge operation with a line feed operation is performed. According to this configuration, even in a discharge operation accompanied by a line feed operation, the unevenness caused by the difference in the discharge amount of the liquid material discharged from the adjacent nozzles at the boundary portion between the adjacent droplet discharge heads mounted on the same carriage. Can be reduced.

（適用例１０）前記第１の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上には、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第１の塗布領域が形成され、前記第２の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上には、前記第１の塗布領域と隣り合うように、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第２の塗布領域が形成され、前記第１の塗布領域と前記第２の塗布領域との境界部分には、前記第１の塗布領域に属する第１の境界領域と前記第２の塗布領域に属する第２の境界領域とが形成されており、前記第１の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群から前記液状体が吐出され、前記第２の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群から前記液状体が吐出されており、前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する前記第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する前記第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする上記の液滴吐出装置。 Application Example 10 In the first discharge step, a first application region made of the liquid material discharged from the plurality of nozzles is formed on the discharge target, and in the second discharge step, A second coating region made of the liquid material ejected from the plurality of nozzles is formed on the object to be ejected so as to be adjacent to the first coating region, and the first coating region and A first boundary region belonging to the first application region and a second boundary region belonging to the second application region are formed at a boundary portion with the second application region, and the first application region The boundary region is formed by the liquid material from the second nozzle group of one of the first droplet ejection head and the second droplet ejection head mounted on the carriage. The second boundary region is discharged before The liquid material is discharged from the second nozzle group of one of the first droplet discharge head and the second droplet discharge head mounted on a carriage, and The liquid material discharged from the second nozzle located on the first nozzle group side of the second nozzle group and the second nozzle group side of the first nozzle group The plurality of liquid elements discharged from the first nozzle are substantially equal to each other with respect to the driving elements of the first nozzle and the driving elements of the second nozzle. The liquid droplet ejection apparatus as described above, wherein one of the drive signals is selected and supplied.

この構成によれば、ノズルから吐出される液状体の吐出量を制御する複数の駆動信号が用意されており、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整することができる。そのため、改行前の吐出作業および改行後の吐出作業で、結果として隣り合うことが想定される複数のノズル、すなわち、少なくとも１つの第１のノズルおよび少なくとも１つの第２のノズルに対して、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整し略等しくすることができる。そのため、改行前に吐出された第１の境界領域と改行後に吐出される第２の境界領域との境界部分で発生する吐出量のばらつきを低減させることができる。従って、改行動作を伴った液状体の吐出作業においても、ノズルから吐出される液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができる。 According to this configuration, a plurality of drive signals for controlling the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzles are prepared, and different drive signals are supplied for each nozzle to discharge the liquid material discharged from the nozzles. The amount can be adjusted. Therefore, a plurality of nozzles that are assumed to be adjacent as a result of the discharge operation before the line feed and the discharge operation after the line feed, that is, at least one first nozzle and at least one second nozzle. By supplying different drive signals for each, the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzle can be adjusted to be substantially equal. For this reason, it is possible to reduce the variation in the discharge amount generated at the boundary portion between the first boundary area discharged before the line feed and the second boundary area discharged after the line feed. Therefore, even in the liquid discharge operation accompanied with the line feed operation, it is possible to reduce the occurrence of uneven stripes due to the difference in the discharge amount of the liquid discharged from the nozzle.

（適用例１１）前記吐出量計測手段で得られた前記ノズルの吐出量データに基づいて、前記駆動信号生成手段で生成された前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、前記ノズルに供給することを特徴とする上記の液滴吐出装置。 Application Example 11 Based on the discharge amount data of the nozzle obtained by the discharge amount measuring unit, one of the plurality of drive signals generated by the drive signal generation unit is selected, and the nozzle The above-described liquid droplet ejection apparatus.

この構成によれば、吐出量計測手段で液滴吐出ヘッドのノズルから吐出される液状体の吐出量を計測することができる。そして、計測されたノズルの吐出量データに基づいて、駆動信号生成手段で生成された複数の駆動信号のうちの１つを選択して、ノズルの駆動素子に供給することができる。従って、ノズルから吐出される液状体の吐出量を確実に調整することができる。 According to this configuration, the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzle of the droplet discharge head can be measured by the discharge amount measuring means. Then, based on the measured nozzle discharge amount data, one of a plurality of drive signals generated by the drive signal generation means can be selected and supplied to the nozzle drive element. Therefore, the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzle can be adjusted with certainty.

また、この構成によれば、吐出量のばらつきの大きいノズルに対して、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整することができる。そのため、ノズルの吐出特性を安定させることができ、吐出特性のばらつきにより使用されないノズルを低減することができる。従って、ノズルの有効活用がはかられ、薄膜形成作業の効率を向上させることができる。 Further, according to this configuration, it is possible to adjust the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzles by supplying different drive signals for each nozzle to the nozzles having large discharge amount variations. Therefore, the discharge characteristics of the nozzles can be stabilized, and the number of nozzles that are not used due to variations in the discharge characteristics can be reduced. Therefore, the nozzle can be effectively used, and the efficiency of the thin film forming operation can be improved.

（適用例１２）基板上に区画形成された複数の着色領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記の液状体の吐出方法を用い、着色材料を含む少なくとも３色の液状体を前記複数の着色領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 Application Example 12 A manufacturing method of a color filter having a colored layer of at least three colors in a plurality of colored regions partitioned and formed on a substrate, wherein at least 3 containing a coloring material is used by using the above liquid material discharge method. A discharge step of discharging a colored liquid material to the plurality of colored regions; and a solidifying step of solidifying the discharged liquid material to form the colored layer of at least three colors. A method for producing a color filter.

この方法によれば、ノズルの吐出量のばらつきに起因する液状体のスジムラが低減されるので、スジムラ不良が少ないカラーフィルタを製造することができる。 According to this method, since the liquid unevenness due to the variation in the discharge amount of the nozzle is reduced, it is possible to manufacture a color filter with few uneven stripes.

本実施形態を、着色層を備えたカラーフィルタの製造方法を例にとり説明する。なお、以下の説明で参照する図面では、説明および図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。 This embodiment will be described using a method for producing a color filter having a colored layer as an example. In the drawings referred to in the following description, the vertical and horizontal scales of members or parts may be shown differently from the actual ones for convenience of description and illustration.

（液状体吐出装置の全体構成について）
まず、本実施形態における液滴吐出装置を、図１および図２を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。図２は吐出量計測手段としての重量計測機構の構造を示す概略断面図である。
図１に示すように、液滴吐出装置１００は、キャリッジ１５と、キャリッジ移動機構２０と、テーブル１０と、第１のテーブル移動機構３０と、第２のテーブル移動機構４０と、制御装置１６と、基台１８とを備えている。 (About the overall configuration of the liquid material discharge device)
First, the droplet discharge device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. 1A and 1B are diagrams illustrating a configuration of a droplet discharge device, where FIG. 1A is a plan view, FIG. 1B is a front view, and FIG. 1C is a side view. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the structure of a weight measuring mechanism as a discharge amount measuring means.
As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 100 includes a carriage 15, a carriage moving mechanism 20, a table 10, a first table moving mechanism 30, a second table moving mechanism 40, and a control device 16. The base 18 is provided.

この液滴吐出装置１００は、キャリッジ１５と、テーブル１０との相対位置を変化させつつ、キャリッジ１５に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０から液状体を液滴として吐出して、テーブル１０に搭載された被吐出物としての基板等からなるワークＷに液状体で所望のパターンを形成するものである。なお、図中のＹ方向はテーブル１０の主走査方向を示し、Ｘ方向はキャリッジ１５の移動方向およびテーブル１０の副走査方向を示し、Ｚ方向は、Ｘ方向とＹ方向とに直交する方向を示している。 The droplet discharge device 100 discharges a liquid material as droplets from a plurality of droplet discharge heads 50 mounted on the carriage 15 while changing the relative position between the carriage 15 and the table 10, and applies it to the table 10. A desired pattern is formed with a liquid material on a workpiece W made of a substrate or the like as an object to be discharged. In the figure, the Y direction indicates the main scanning direction of the table 10, the X direction indicates the movement direction of the carriage 15 and the sub scanning direction of the table 10, and the Z direction indicates a direction orthogonal to the X direction and the Y direction. Show.

このような液滴吐出装置１００は、例えば、各種の表示装置のカラー表示を可能にするカラーフィルタの製造に適用され得る。例えば、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造する場合は、液滴吐出装置１００の各々の液滴吐出ヘッドから、赤、緑および青の３色の液状体のいずれかをワークＷに液滴として吐出して、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントのパターンを描画する。 Such a droplet discharge device 100 can be applied, for example, to the manufacture of a color filter that enables color display of various display devices. For example, when manufacturing a color filter having filter elements of three colors of red, green, and blue, any one of liquid materials of three colors, red, green, and blue, from each droplet discharge head of the droplet discharge device 100 These are ejected as droplets onto the workpiece W, and a pattern of filter elements of three colors of red, green and blue is drawn.

ここで、液滴吐出装置１００の各構成について説明する。
基台１８は、例えば、平板状の石材などの熱膨張係数が小さい材料から形成されており、Ｙ方向に一定の幅を有し、Ｘ方向に沿って延びるように４本の脚部１９に支持されている。また、基台１８のＺ方向の下部には、制御装置１６が設けられている。 Here, each configuration of the droplet discharge device 100 will be described.
The base 18 is made of a material having a small thermal expansion coefficient, such as a flat stone, and has a certain width in the Y direction and extends to the four legs 19 so as to extend along the X direction. It is supported. In addition, a control device 16 is provided below the base 18 in the Z direction.

第１のテーブル移動機構３０は、ベース３１と、２つのリニアモータ３２とを有している。ベース３１は、平板状に形成され、基台１８のＺ方向上面に固定されている。ベース３１のＺ方向上面には、２つのリニアモータ３２がＹ方向に沿って平行に配置されている。 The first table moving mechanism 30 has a base 31 and two linear motors 32. The base 31 is formed in a flat plate shape and is fixed to the upper surface of the base 18 in the Z direction. On the upper surface in the Z direction of the base 31, two linear motors 32 are arranged in parallel along the Y direction.

第２のテーブル移動機構４０は、スライド部材３７と、２つのリニアモータ３８とを有している。スライド部材３７は、平板状に形成され、ベース３１に配置された２つのリニアモータ３２の上方に配設されている。スライド部材３７のＺ方向上面には、２つのリニアモータ３８がＸ方向に沿って平行に配置されている。 The second table moving mechanism 40 includes a slide member 37 and two linear motors 38. The slide member 37 is formed in a flat plate shape and is disposed above the two linear motors 32 disposed on the base 31. On the upper surface in the Z direction of the slide member 37, two linear motors 38 are arranged in parallel along the X direction.

テーブル１０は、平板状の部材であり、Ｚ方向上面にワークＷを着脱可能に保持する載置面１０Ａを有している。テーブル１０は、スライド部材３７に配置された２つのリニアモータ３８の上方に配設されている。 The table 10 is a flat plate-like member, and has a mounting surface 10A that detachably holds the workpiece W on the upper surface in the Z direction. The table 10 is disposed above the two linear motors 38 disposed on the slide member 37.

リニアモータ３２は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子はベース３１に、可動子はスライド部材３７に設けられている。第１のテーブル移動機構３０は、制御装置１６からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、テーブル１０を第１方向であるＹ方向に往復移動させることができる。 The linear motor 32 has a stator and a mover (not shown). The stator is provided on the base 31 and the mover is provided on the slide member 37. The first table moving mechanism 30 can reciprocate the table 10 in the Y direction, which is the first direction, when the coil of the mover is energized based on a command from the control device 16.

リニアモータ３８は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子はスライド部材３７に、可動子はテーブル１０に設けられている。第２のテーブル移動機構４０は、制御装置１６からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、テーブル１０を第２方向であるＸ方向に往復移動させることができる。 The linear motor 38 includes a stator and a mover (not shown). The stator is provided on the slide member 37 and the mover is provided on the table 10. The second table moving mechanism 40 can reciprocate the table 10 in the X direction, which is the second direction, when the coil of the mover is energized based on a command from the control device 16.

図１に示すように、キャリッジ移動機構２０は、２つのリニアモータ２２と、４本の支柱２３とを備えている。リニアモータ２２のそれぞれは、第２のテーブル移動機構４０に配置されたテーブル１０に対してＺ方向に空間を有する状態でＸ方向に延びるように、２本の支柱２３に支持され互いに平行に配設されている。 As shown in FIG. 1, the carriage moving mechanism 20 includes two linear motors 22 and four support columns 23. Each of the linear motors 22 is supported by two columns 23 and arranged in parallel to each other so as to extend in the X direction with a space in the Z direction with respect to the table 10 arranged in the second table moving mechanism 40. It is installed.

キャリッジ１５は、複数の液滴吐出ヘッド５０が搭載されており、液滴吐出ヘッド５０側がＺ方向下方、すなわち、テーブル１０に載置されたワークＷの上面に対向するように、２つのリニアモータ２２のＺ方向上方に配設されている。リニアモータ２２は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子は支柱２３に支持され、可動子はキャリッジ１５に設けられている。キャリッジ移動機構２０は、制御装置１６からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、キャリッジ１５を第２方向であるＸ方向に往復移動させることができる。 The carriage 15 has a plurality of droplet discharge heads 50 mounted thereon, and two linear motors are disposed so that the droplet discharge head 50 side faces the lower side in the Z direction, that is, the upper surface of the workpiece W placed on the table 10. 22 is arranged above the Z direction. The linear motor 22 has a stator and a mover (not shown). The stator is supported by a support post 23, and the mover is provided on a carriage 15. The carriage moving mechanism 20 can reciprocate the carriage 15 in the X direction, which is the second direction, by energizing the coil of the mover based on a command from the control device 16.

検出部３５は、基台１８の図１中Ｘ方向左側に検出部３５の上面がＺ方向上方向を向くようにベース３１と並んで設けられている、また、検出部３５は、キャリッジ移動機構２０によるキャリッジ１５の移動領域内に設けられており、検出部３５の上面がキャリッジ１５に搭載された液滴吐出ヘッド５０のノズル側と対向している。 The detection unit 35 is provided on the left side of the base 18 in the X direction in FIG. 1 side by side with the base 31 so that the upper surface of the detection unit 35 faces the upper direction in the Z direction. The detection unit 35 includes a carriage moving mechanism. 20, the upper surface of the detection unit 35 is opposed to the nozzle side of the droplet discharge head 50 mounted on the carriage 15.

検出部３５には、液滴吐出ヘッド５０のノズル毎に吐出された液状体を受けて、その重量を計測する電子天秤などの計測器を有する重量計測機構６０を備えている。重量計測機構６０は、図２に示すように、受け容器２５と電子天秤２６とを備える。ここで、検出部３５には、受け容器２５と電子天秤２６とを収容する空間２７が形成されている。受け容器２５は、箱状に形成され、内部に液滴吐出ヘッド５０の各ノズルから吐出される液状体を貯蔵する空間が形成されている。受け容器２５は、耐食性に優れた材料から形成されており、例えば、ステンレス等が採用され得る。 The detection unit 35 includes a weight measuring mechanism 60 having a measuring instrument such as an electronic balance that receives the liquid discharged from each nozzle of the droplet discharge head 50 and measures the weight thereof. As shown in FIG. 2, the weight measuring mechanism 60 includes a receiving container 25 and an electronic balance 26. Here, a space 27 for accommodating the receiving container 25 and the electronic balance 26 is formed in the detection unit 35. The receiving container 25 is formed in a box shape, and a space for storing a liquid material discharged from each nozzle of the droplet discharge head 50 is formed therein. The receiving container 25 is made of a material having excellent corrosion resistance, and for example, stainless steel or the like can be adopted.

電子天秤２６は、空間２７の底面２８に配設された状態で空間２７に収容されている。そして、受け容器２５は、電子天秤２６の被測定物載置台２６Ａに配置されている。上記の構成を有する重量計測機構６０は、各液滴吐出ヘッド５０からノズル単位で液滴の吐出を受けて、受け容器２５に収集された液状体の重量を液滴吐出ヘッド５０のノズル毎に電子天秤２６で測定する。 The electronic balance 26 is accommodated in the space 27 in a state of being disposed on the bottom surface 28 of the space 27. And the receiving container 25 is arrange | positioned at the to-be-measured object mounting base 26A of the electronic balance 26. FIG. The weight measuring mechanism 60 having the above-described configuration receives the discharge of droplets from each droplet discharge head 50 in units of nozzles, and determines the weight of the liquid material collected in the receiving container 25 for each nozzle of the droplet discharge head 50. Measure with an electronic balance 26.

また、液滴吐出装置１００は、上記構成の他にも、キャリッジ１５に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０のノズルの目詰まりの解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構が、複数の液滴吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されている。図１では、メンテナンス機構は、図示省略した。 In addition to the above configuration, the droplet discharge device 100 performs maintenance such as elimination of clogging of nozzles of a plurality of droplet discharge heads 50 mounted on the carriage 15 and removal of foreign matters and dirt on the nozzle surface. A maintenance mechanism is disposed at a position facing the plurality of droplet discharge heads 50. In FIG. 1, the maintenance mechanism is not shown.

（液滴吐出ヘッドの構成について）
次に、液滴吐出ヘッドについて、図３を参照して説明する。図３は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図であり、（ａ）は概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図である。図３（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、液滴Ｄが吐出される複数のノズル５２を有するノズルプレート５１と、複数のノズル５２がそれぞれ連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有するキャビティプレート５３と、各キャビティ５５に対応する駆動素子としての振動子５９を有する振動板５８とが、順に積層され接合された構造となっている。 (Regarding the configuration of the droplet discharge head)
Next, the droplet discharge head will be described with reference to FIG. 3A and 3B are schematic views showing the structure of the droplet discharge head, FIG. 3A is a schematic exploded perspective view, and FIG. 3B is a sectional view showing the structure of the nozzle portion. As shown in FIGS. 3A and 3B, the droplet discharge head 50 includes a nozzle plate 51 having a plurality of nozzles 52 from which droplets D are discharged, and a cavity 55 in which the plurality of nozzles 52 communicate with each other. A cavity plate 53 having partitioning partitions 54 and a diaphragm 58 having a vibrator 59 as a driving element corresponding to each cavity 55 are sequentially stacked and joined.

キャビティプレート５３は、ノズル５２に連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４と、キャビティ５５に液状体を充填するための流路５６，５７とを有している。流路５７は、ノズルプレート５１と振動板５８とによって挟まれ、出来上がった空間が、液状体が貯留されるリザーバの役目を果たす。 The cavity plate 53 includes a partition wall 54 that defines a cavity 55 that communicates with the nozzle 52, and flow paths 56 and 57 for filling the cavity 55 with a liquid material. The flow path 57 is sandwiched between the nozzle plate 51 and the vibration plate 58, and the completed space serves as a reservoir for storing the liquid material.

液状体は、図示しない液状体供給機構から配管を通じて供給され、振動板５８に設けられた供給孔５８ａを通じてリザーバに貯留された後に、流路５６を通じて各キャビティ５５に充填される。 The liquid material is supplied through a pipe from a liquid material supply mechanism (not shown), stored in a reservoir through a supply hole 58 a provided in the vibration plate 58, and then filled into each cavity 55 through a flow path 56.

図３（ｂ）に示すように、振動子５９は、ピエゾ素子５９ｃと、ピエゾ素子５９ｃを挟む一対の電極５９ａ，５９ｂとからなる圧電素子である。外部から一対の電極５９ａ，５９ｂに駆動信号としての駆動波形が印加されることにより接合された振動板５８を変形させる。これにより隔壁５４で仕切られたキャビティ５５の体積が増加して、液状体がリザーバからキャビティ５５に吸引される。そして、駆動波形の印加が終了すると、振動板５８は元に戻り充填された液状体を加圧する。これにより、ノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。ピエゾ素子５９ｃへ印加される駆動波形を制御することにより、それぞれのノズル５２に対して液状体の吐出制御を行うことができる。 As shown in FIG. 3B, the vibrator 59 is a piezoelectric element including a piezo element 59c and a pair of electrodes 59a and 59b sandwiching the piezo element 59c. The bonded diaphragm 58 is deformed by applying a drive waveform as a drive signal to the pair of electrodes 59a, 59b from the outside. As a result, the volume of the cavity 55 partitioned by the partition wall 54 increases, and the liquid material is sucked into the cavity 55 from the reservoir. When the application of the drive waveform is completed, the diaphragm 58 returns to the original state and pressurizes the filled liquid material. As a result, the liquid material can be discharged from the nozzle 52 as the droplet D. By controlling the drive waveform applied to the piezo element 59c, the discharge of the liquid material can be controlled for each nozzle 52.

液滴吐出ヘッド５０における駆動素子は、圧電素子に限らない。振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子（サーマル方式）でもよい。 The drive element in the droplet discharge head 50 is not limited to a piezoelectric element. An electromechanical conversion element that displaces the diaphragm by electrostatic adsorption or an electrothermal conversion element (thermal method) that heats the liquid and discharges it from the nozzle 52 as droplets may be used.

（キャリッジの構成について）
キャリッジについて、図１および図４を参照して説明する。図４は、キャリッジにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、ワークＷに対向する側から見た図である。図１に示すように、キャリッジ１５は、ヘッドプレート３６と、複数の液滴吐出ヘッド５０とを有している。 (About carriage configuration)
The carriage will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a schematic plan view showing the arrangement of the droplet discharge heads in the carriage. Specifically, it is a view seen from the side facing the workpiece W. As shown in FIG. 1, the carriage 15 includes a head plate 36 and a plurality of droplet discharge heads 50.

ヘッドプレート３６は、ステンレス等からなる板状部材であり、複数の液滴吐出ヘッド５０を、ノズル５２側がＺ方向下方に突出するよう搭載し、キャリッジ１５のＺ方向下方に設けられている。図４に示すように、ヘッドプレート３６には、３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａとヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（液滴吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（液滴吐出ヘッド５０）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。なお、ここで、ヘッドＲ１，Ｇ１，Ｂ１が第１の液滴吐出ヘッドに、ヘッドＲ２，Ｇ２，Ｂ２が第２の液滴吐出ヘッドに対応する。 The head plate 36 is a plate-like member made of stainless steel or the like, and a plurality of droplet discharge heads 50 are mounted so that the nozzle 52 side protrudes downward in the Z direction, and is provided below the carriage 15 in the Z direction. As shown in FIG. 4, a total of six droplet ejection heads 50, that is, a head group 50 A composed of three droplet ejection heads 50 and a head group 50 B, are mounted on the head plate 36. In this case, the head R1 (droplet discharge head 50) of the head group 50A and the head R2 (droplet discharge head 50) of the head group 50B discharge the same type of liquid. The same applies to the other heads G1 and G2, and heads B1 and B2. That is, it has a configuration capable of discharging three different liquid materials. Here, the heads R1, G1, and B1 correspond to the first droplet discharge head, and the heads R2, G2, and B2 correspond to the second droplet discharge head.

各液滴吐出ヘッド５０は、略等しい間隔（およそ１４０μｍのノズルピッチ）で配設された複数（１８０個）のノズル５２からなるノズル列５２ａを有している。ノズル５２の径はおよそ２０μｍである。１つの液滴吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ₀とし、これをノズル列５２ａの有効長とする。以降、ノズル列５２ａとは、１８０個のノズル５２から構成されるものを指す。 Each droplet discharge head 50 has a nozzle row 52a composed of a plurality (180) of nozzles 52 arranged at substantially equal intervals (nozzle pitch of about 140 μm). The diameter of the nozzle 52 is approximately 20 μm. The drawing width that can be drawn by one droplet discharge head 50 is L _0, and this is the effective length of the nozzle row 52a. Hereinafter, the nozzle row 52a refers to what is composed of 180 nozzles 52.

この場合、ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｙ方向）から見て隣り合うノズル列５２ａが主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状体を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ₁は、描画幅Ｌ₀の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向に並列して配置されている。 In this case, the head R1 and the head R2 are arranged such that the nozzle rows 52a adjacent to each other when viewed from the main scanning direction (Y direction) are continuous with one nozzle pitch in the sub scanning direction (X direction) orthogonal to the main scanning direction. They are arranged in parallel in the main scanning direction. Therefore, the effective drawing width L ₁ of the heads R1 and R2 that discharge the same kind of liquid is twice the drawing width L ₀ . Similarly, the heads G1 and G2 and the heads B1 and B2 are arranged in parallel in the main scanning direction.

なお、液滴吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ａは、１列に限らない。例えば、複数のノズル列５２ａを列方向に互いにずらして配設すれば実質的なノズルピッチが狭くなり、高精細に液滴Ｄを吐出することが可能となる。 The nozzle row 52a provided in the droplet discharge head 50 is not limited to one row. For example, if the plurality of nozzle rows 52a are arranged so as to be shifted from each other in the row direction, the substantial nozzle pitch becomes narrow, and the droplets D can be discharged with high definition.

図５は、液滴吐出ヘッドの吐出特性を示すグラフである。詳しくは、一方の軸をノズル５２の番号（１から１８０）とし、他方の軸をノズル５２毎に吐出される液滴Ｄの吐出量Ｉｗ（ｎｇ）として、ノズル列５２ａにおける吐出量の分布を示したグラフである。 FIG. 5 is a graph showing the ejection characteristics of the droplet ejection head. Specifically, the distribution of the discharge amount in the nozzle row 52a is set with one axis being the number (1 to 180) of the nozzle 52 and the other axis being the discharge amount Iw (ng) of the droplet D discharged for each nozzle 52. It is the shown graph.

図３（ａ）および（ｂ）に示したように、複数のノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量は、キャビティ５５、流路５６，５７の設計寸法やその加工精度によってキャビティ５５毎に流れる液状体の流動抵抗が異なることにより、ノズル５２毎に変動する。また、液状体が供給される供給孔５８ａが複数のキャビティ５５に対してどのような位置に形成されたかにも影響される。さらには、キャビティ５５毎に設けられた振動子５９の固有振動特性によっても影響される。すなわち、ノズル列５２ａから吐出される液滴Ｄの吐出量の分布が液滴吐出ヘッド５０毎に異なる場合がある。 As shown in FIGS. 3A and 3B, the discharge amount of the droplets D discharged from the plurality of nozzles 52 depends on the design dimensions of the cavity 55 and the flow paths 56 and 57 and the processing accuracy thereof. Due to the difference in flow resistance of the liquid material flowing through the nozzle 52, it varies from nozzle 52 to nozzle 52. Further, it is also affected by where the supply holes 58a for supplying the liquid material are formed with respect to the plurality of cavities 55. Further, it is influenced by the natural vibration characteristic of the vibrator 59 provided for each cavity 55. That is, the distribution of the ejection amount of the droplets D ejected from the nozzle row 52 a may be different for each droplet ejection head 50.

図５は、液滴吐出ヘッド５０（ノズル列５２ａ）の吐出特性を調べたものである。具体的には、所定の駆動電圧を有する駆動波形を振動子５９に与え、数千から数万程度の吐出数の液滴Ｄをノズル５２から吐出させ、その液状体の重量を前述した重量計測機構６０を用いて計測する。そして、計測された液状体の重量を上記吐出数で除して１滴あたりの重量を算出して液滴Ｄの吐出量とした。 FIG. 5 shows the discharge characteristics of the droplet discharge head 50 (nozzle row 52a). Specifically, a drive waveform having a predetermined drive voltage is applied to the vibrator 59, and droplets D having a discharge number of about several thousand to several tens of thousands are discharged from the nozzle 52, and the weight of the liquid is measured as described above. Measurement is performed using the mechanism 60. Then, the weight of the measured liquid was divided by the number of discharges to calculate the weight per droplet, and the discharge amount of the droplet D was obtained.

図５に示すように、その吐出特性の１つは、Ｉｗアーチと呼ばれる曲線形状を示し、ノズル列５２ａの両端側に位置するノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量が、他のノズル５２に対して増加する傾向を有している。後述する液滴吐出ヘッド５０の液状体の吐出方法は、このようなノズル列５２ａの吐出特性に起因する吐出のばらつきを、極力小さくしようとするものである。 As shown in FIG. 5, one of the ejection characteristics shows a curved shape called an Iw arch, and the ejection amount of the droplets D ejected from the nozzles 52 located at both ends of the nozzle row 52a is different from that of the other nozzles. It has a tendency to increase with respect to 52. The liquid material discharge method of the droplet discharge head 50 to be described later intends to reduce the discharge variation caused by the discharge characteristics of the nozzle row 52a as much as possible.

（液滴吐出装置の制御系について）
次に液滴吐出装置の制御系について図６を参照して説明する。図６は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。液滴吐出装置１００の制御装置１６は、液滴吐出ヘッド５０、キャリッジ移動機構２０、第１のテーブル移動機構３０、第２のテーブル移動機構４０等を駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１００を制御する制御部４とを備えている。 (Regarding the control system of the droplet discharge device)
Next, a control system of the droplet discharge device will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a block diagram showing a control system of the droplet discharge device. The controller 16 of the droplet discharge device 100 includes a drive unit 46 having various drivers for driving the droplet discharge head 50, the carriage moving mechanism 20, the first table moving mechanism 30, the second table moving mechanism 40, and the like. And a control unit 4 that controls the droplet discharge device 100 including the drive unit 46.

駆動部４６は、キャリッジ移動機構２０、第１のテーブル移動機構３０、第２のテーブル移動機構４０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッドドライバ４８と、重量計測機構６０の各ユニットを駆動制御する重量計測用ドライバ４９と、メンテナンス機構の各メンテ用ユニットを駆動制御するメンテナンス用ドライバ（図示省略）とを備えている。 The drive unit 46 includes a moving driver 47 that drives and controls the linear motors of the carriage moving mechanism 20, the first table moving mechanism 30, and the second table moving mechanism 40, and a head that controls the droplet discharge head 50. A driver 48, a weight measuring driver 49 for driving and controlling each unit of the weight measuring mechanism 60, and a maintenance driver (not shown) for driving and controlling each maintenance unit of the maintenance mechanism are provided.

制御部４は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。 The control unit 4 includes a CPU 41, a ROM 42, a RAM 43, and a P-CON 44, which are connected to each other via a bus 45. The host computer 11 is connected to the P-CON 44. The ROM 42 has a control program area for storing a control program processed by the CPU 41 and a control data area for storing control data for performing a drawing operation, a function recovery process, and the like.

ＲＡＭ４３は、ワークＷに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークＷおよび液滴吐出ヘッド５０、すなわち、ノズル列５２ａの位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバ等が接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。 The RAM 43 includes various storage units such as a drawing data storage unit that stores drawing data for drawing on the workpiece W, and a position data storage unit that stores position data of the workpiece W and the droplet discharge head 50, that is, the nozzle row 52a. And used as various work areas for control processing. Various drivers and the like of the drive unit 46 are connected to the P-CON 44, and the logic circuit for supplementing the function of the CPU 41 and handling interface signals with peripheral circuits is configured and incorporated. For this reason, the P-CON 44 receives various commands and the like from the host computer 11 as they are or processes them and imports them into the bus 45, and in conjunction with the CPU 41, the data and control signals output from the CPU 41 and the like to the bus 45 are used as they are. Or it processes and outputs to the drive part 46. FIG.

そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１００全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０、キャリッジ移動機構２０、第１のテーブル移動機構３０、第２のテーブル移動機構４０を制御して、キャリッジ１５とワークＷとを対向配置させる。そして、キャリッジ１５とワークＷとの相対移動に同期して、キャリッジ１５に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワークＷに液状体を液滴Ｄとして吐出して描画を行う。 Then, the CPU 41 inputs various detection signals, various commands, various data, etc. via the P-CON 44 in accordance with the control program in the ROM 42, processes various data, etc. in the RAM 43, and then drives via the P-CON 44. The entire droplet discharge device 100 is controlled by outputting various control signals to the unit 46 and the like. For example, the CPU 41 controls the droplet discharge head 50, the carriage moving mechanism 20, the first table moving mechanism 30, and the second table moving mechanism 40 so that the carriage 15 and the work W are arranged to face each other. Then, in synchronization with the relative movement between the carriage 15 and the workpiece W, drawing is performed by discharging a liquid material as droplets D from the plurality of nozzles 52 of each droplet discharge head 50 mounted on the carriage 15 onto the workpiece W. .

この場合、Ｙ方向へのワークＷの移動を主走査と呼び、Ｘ方向にキャリッジ１５およびワークを移動させることを副走査と呼ぶ。この主走査のときに、キャリッジ１５に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワークＷに液状体を液滴Ｄとして吐出して描画を行う。 In this case, the movement of the workpiece W in the Y direction is called main scanning, and the movement of the carriage 15 and the workpiece in the X direction is called sub scanning. During this main scanning, drawing is performed by discharging a liquid material as droplets D from the plurality of nozzles 52 of each droplet discharge head 50 mounted on the carriage 15 onto the workpiece W.

本実施形態の液滴吐出装置１００は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向へのワークＷの移動に限らず、ワークＷを往復させて行うこともできる。また、主走査を行ったあとに、ワークＷをＸ方向に移動させて、いわゆる改行動作を行い、さらにワークをＹ方向に往復移動させ液状体を吐出描画することもできる。 The droplet discharge device 100 of the present embodiment can discharge and draw a liquid material by combining a main scan and a sub-scan and repeating a plurality of times. The main scanning is not limited to the movement of the workpiece W in one direction with respect to the droplet discharge head 50 but can be performed by reciprocating the workpiece W. In addition, after the main scanning is performed, the workpiece W is moved in the X direction to perform a so-called line feed operation, and the workpiece is reciprocated in the Y direction to discharge and draw the liquid material.

上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置１００に送出するだけでなく、これらの制御情報を修正することもできる。また、図５に示したノズル列５２ａの吐出特性等のノズル情報に基づいて、基板上の吐出領域毎に必要量の液状体を液滴Ｄとして配置する配置情報を生成する配置情報生成部としての機能を有している。配置情報は、吐出領域における液滴Ｄの吐出位置（換言すればワークＷとノズル５２との相対位置）、液滴Ｄの配置数（換言すればノズル５２毎の吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ、吐出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして現したものである。 The host computer 11 can not only send control information such as a control program and control data to the droplet discharge device 100, but can also correct the control information. Further, as an arrangement information generation unit that generates arrangement information for arranging a required amount of liquid material as droplets D for each ejection area on the substrate based on nozzle information such as ejection characteristics of the nozzle row 52a shown in FIG. It has the function of The arrangement information includes an ejection position of the droplet D in the ejection area (in other words, a relative position between the workpiece W and the nozzle 52), an arrangement number of the droplet D (in other words, an ejection number for each nozzle 52), and a plurality in the main scanning. The information such as ON / OFF of the nozzle 52 and the discharge timing is expressed as a bitmap, for example.

（液滴吐出ヘッドの吐出制御方法）
次に、本実施形態の液滴吐出ヘッドの吐出制御方法について、図７および図８を参照して説明する。図７は、液滴吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図である。図８は、駆動信号および制御信号のタイミング図である。 (Discharge control method of droplet discharge head)
Next, a discharge control method of the droplet discharge head according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a block diagram showing electrical control of the droplet discharge head. FIG. 8 is a timing diagram of the drive signal and the control signal.

図７に示すように、ヘッドドライバ４８は、液滴Ｄの吐出量を制御する異なる複数の駆動信号ＣＯＭを、それぞれ独立して生成するＤ／Ａコンバータ（以降、ＤＡＣとする）７１Ａ〜７１Ｄと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄが生成する駆動信号ＣＯＭのスルーレートデータ（以下、波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）とする）の格納メモリを内部に有する波形データ選択回路７２と、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して上位コンピュータ１１から送信される吐出制御データを格納するためのデータメモリ７３と、を備えている。ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の各ＣＯＭラインに、ＤＡＣ７１Ａ〜ＤＡＣ７１Ｄで生成された駆動信号がそれぞれ出力される。 As shown in FIG. 7, the head driver 48 includes D / A converters (hereinafter referred to as DACs) 71 A to 71 D that independently generate a plurality of different drive signals COM that control the ejection amount of the droplet D. , The waveform data selection circuit 72 having a storage memory for the slew rate data (hereinafter referred to as waveform data (WD1 to WD4)) of the drive signal COM generated by the DACs 71A to 71D, and the host computer 11 via the P-CON44. A data memory 73 for storing the discharge control data transmitted from. The drive signals generated by the DACs 71A to 71D are output to the COM lines COM1 to COM4, respectively.

各液滴吐出ヘッド５０には、ノズル５２毎に設けられた振動子５９（図３参照）への駆動信号ＣＯＭの印加をＯＮ／ＯＦＦするスイッチング回路７４と、各ＣＯＭラインのいずれか１つを選択して、各振動子５９に接続したスイッチング回路７４に駆動信号ＣＯＭを送出する駆動信号選択回路７５と、を備えている。 Each droplet discharge head 50 is provided with a switching circuit 74 for turning ON / OFF the application of a drive signal COM to a vibrator 59 (see FIG. 3) provided for each nozzle 52, and any one of the COM lines. And a drive signal selection circuit 75 that selects and sends a drive signal COM to the switching circuit 74 connected to each vibrator 59.

ノズル列５２ａにおいて、振動子５９の一方の電極５９ｂは、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄのグランドライン（ＧＮＤ）に接続されている。また、振動子５９の他方の電極５９ａ（以下、セグメント電極５９ａとする）は、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５を介して、各ＣＯＭラインに電気的に接続されている。また、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２には、クロック信号（ＣＬＫ）や各吐出タイミングに対応したラッチ信号（ＬＡＴ）が入力されるようになっている。 In the nozzle row 52a, one electrode 59b of the vibrator 59 is connected to the ground lines (GND) of the DACs 71A to 71D. The other electrode 59a (hereinafter referred to as segment electrode 59a) of the vibrator 59 is electrically connected to each COM line via the switching circuit 74 and the drive signal selection circuit 75. The switching circuit 74, the drive signal selection circuit 75, and the waveform data selection circuit 72 are supplied with a clock signal (CLK) and a latch signal (LAT) corresponding to each ejection timing.

データメモリ７３には、各液滴吐出ヘッド５０の走査位置に応じて周期的に設定される吐出タイミング毎に、次のデータが格納されている。すなわち、各振動子５９への駆動信号ＣＯＭの印加（ＯＮ／ＯＦＦ）を規定する吐出データＤＡと、各振動子５９に対応したＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の選択を規定する駆動信号選択データＤＢと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄに入力される波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）の種別を規定する波形番号データＷＮである。本実施形態においては、吐出データＤＡは、１ノズルあたり１ビット（０，１）で、駆動信号選択データＤＢは、１ノズルあたり２ビット（０，１，２，３）で、波形番号データＷＮは、１Ｄ／Ａコンバータあたり７ビット（０〜１２７）で構成されている。尚、データ構造は適宜変更可能である。 The data memory 73 stores the following data for each ejection timing that is periodically set according to the scanning position of each droplet ejection head 50. That is, the ejection data DA that defines the application (ON / OFF) of the drive signal COM to each transducer 59 and the drive signal selection data DB that defines the selection of the COM lines (COM1 to COM4) corresponding to each transducer 59. And waveform number data WN that defines the type of waveform data (WD1 to WD4) input to the DACs 71A to 71D. In the present embodiment, the discharge data DA is 1 bit (0, 1) per nozzle, the drive signal selection data DB is 2 bits (0, 1, 2, 3) per nozzle, and the waveform number data WN. Is composed of 7 bits (0 to 127) per 1D / A converter. The data structure can be changed as appropriate.

上述の構成において、各吐出タイミングに係る駆動制御は次のように行われる。図８に示すように、タイミングｔ１〜ｔ２の期間において、吐出データＤＡ、駆動信号選択データＤＢ、波形番号データＷＮが、それぞれシリアル信号化されて、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２に送信される。そして、タイミングｔ２において各データがラッチされることで、吐出（ＯＮ）に係る各振動子５９のセグメント電極５９ａが、駆動信号選択データＤＢで指定されたＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４のいずれか）に接続された状態となる。例えば、振動子５９のセグメント電極５９ａは、駆動信号選択データＤＢが「０」のときには、ＣＯＭ１に接続される。同様に駆動信号選択データＤＢが「１」のときにはＣＯＭ２に、駆動信号選択データＤＢが「２」のときはＣＯＭ３に、駆動信号選択データＤＢが「３」のときはＣＯＭ４に接続される。また、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄの生成に係る波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）がこの選択に連動して設定される。 In the above-described configuration, drive control related to each ejection timing is performed as follows. As shown in FIG. 8, during the period from timing t1 to t2, the ejection data DA, drive signal selection data DB, and waveform number data WN are converted into serial signals, respectively, and the switching circuit 74, drive signal selection circuit 75, waveform data It is transmitted to the selection circuit 72. Then, each data is latched at timing t2, so that the segment electrode 59a of each vibrator 59 related to ejection (ON) is connected to the COM line (any one of COM1 to COM4) designated by the drive signal selection data DB. Connected. For example, the segment electrode 59a of the vibrator 59 is connected to COM1 when the drive signal selection data DB is “0”. Similarly, when the drive signal selection data DB is “1”, it is connected to COM2, when the drive signal selection data DB is “2”, it is connected to COM3, and when the drive signal selection data DB is “3”, it is connected to COM4. Further, waveform data (WD1 to WD4) related to generation of the DACs 71A to 71D are set in conjunction with this selection.

タイミングｔ３〜ｔ４の期間においては、タイミングｔ２で設定された波形データに従い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の一連のステップで駆動信号ＣＯＭが生成される。そして、ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４とそれぞれ接続された状態にある振動子５９に、生成された駆動信号ＣＯＭが供給され、ノズル５２に連通するキャビティ５５の容積（圧力）制御が行われる。 In the period from timing t3 to t4, the drive signal COM is generated in a series of steps of increasing potential, maintaining potential, and decreasing potential according to the waveform data set at timing t2. Then, the generated drive signal COM is supplied to the vibrator 59 connected to COM1 to COM4, and volume (pressure) control of the cavity 55 communicating with the nozzle 52 is performed.

ここで、タイミングｔ３における電位上昇成分はキャビティ５５を膨張させ、液状体をキャビティ５５内に引き込む役割を果たしている。また、タイミングｔ４における電位降下成分は、キャビティ５５を収縮させ、液状体をノズル５２外に押し出して吐出させる役割を果たしている。 Here, the potential increasing component at the timing t 3 expands the cavity 55 and plays a role of drawing the liquid material into the cavity 55. Further, the potential drop component at the timing t4 plays a role of causing the cavity 55 to contract and pushing the liquid material out of the nozzle 52 for discharge.

駆動信号ＣＯＭにおける電位上昇、電位保持、電位降下に係る時間成分、電圧成分は、その供給によって吐出される液状体の吐出量に密接に依存している。とりわけ、圧電方式の液滴吐出ヘッド５０では、電圧成分の変化に対して吐出量が良好な線形性を示すため、タイミングｔ３〜ｔ４における電圧成分の変化（電位差）を駆動電圧Ｖｈとして規定し、これを吐出量制御の条件として利用することができる。すなわち、駆動電圧Ｖｈは、液滴Ｄの吐出量を制御する条件の１つである。尚、生成する駆動信号ＣＯＭは、本実施形態で示すような単純な矩形波に限られるものではなく、例えば、台形波など公知の様々な形状の波形を適宜採用することも可能である。また、異なる駆動方式（例えばサーマル方式）の実施形態の場合、駆動信号のパルス幅（時間成分）を吐出量制御の条件として利用することも可能である。 The time component and the voltage component related to the potential increase, potential retention, and potential decrease in the drive signal COM closely depend on the discharge amount of the liquid material discharged by the supply. In particular, in the piezoelectric droplet discharge head 50, the change in the voltage component (potential difference) at the timings t3 to t4 is defined as the drive voltage Vh in order to exhibit a good linearity with respect to the change in the voltage component. This can be used as a condition for the discharge amount control. That is, the drive voltage Vh is one of the conditions for controlling the discharge amount of the droplet D. The drive signal COM to be generated is not limited to a simple rectangular wave as shown in the present embodiment, and various known waveforms such as a trapezoidal wave can be appropriately employed. In the case of an embodiment of a different driving method (for example, a thermal method), the pulse width (time component) of the driving signal can be used as a condition for controlling the ejection amount.

本実施形態では、駆動電圧Ｖｈを段階的に違えた複数種の波形データを用意し、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄにそれぞれ独立した波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）を入力することにより、各ＣＯＭラインにそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４の駆動信号ＣＯＭを出力することが可能である。用意できる波形データの種類は、波形番号データＷＮの情報量（７ビット）に相当する１２８種類であり、例えばこれを０．１Ｖ刻みの駆動電圧Ｖｈに対応させている。言い換えれば、１２．８Ｖの電位差の範囲でＶｈ１〜Ｖｈ４の各駆動電圧を０．１Ｖ刻みで設定することができる。 In the present embodiment, a plurality of types of waveform data with different drive voltages Vh are prepared, and independent waveform data (WD1 to WD4) are input to the DACs 71A to 71D, whereby different drives are applied to each COM line. It is possible to output a drive signal COM having voltages Vh1 to Vh4. The types of waveform data that can be prepared are 128 types corresponding to the information amount (7 bits) of the waveform number data WN. For example, this corresponds to the drive voltage Vh in increments of 0.1V. In other words, the drive voltages Vh1 to Vh4 can be set in increments of 0.1V within a potential difference range of 12.8V.

かくして、本実施形態の液滴吐出装置１００は、ノズル５２毎の吐出特性を考慮して、各振動子５９（ノズル５２）と各ＣＯＭラインとの対応関係を規定する駆動信号選択データＤＢと、各ＣＯＭラインと駆動信号の種類（駆動電圧Ｖｈ）との対応関係を規定する波形番号データＷＮとを適切に設定することにより、液滴Ｄの吐出量を調整して液状体を吐出することが可能である。逆の言い方をすれば、駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとの関係で定まる各ノズル５２の駆動信号ＣＯＭの設定を適切に行うことが、吐出量を管理するための重要事項であると言える。 Thus, the droplet discharge device 100 according to the present embodiment takes into consideration the discharge characteristics of each nozzle 52, the drive signal selection data DB that defines the correspondence between each vibrator 59 (nozzle 52) and each COM line, By appropriately setting the waveform number data WN that defines the correspondence between each COM line and the type of drive signal (drive voltage Vh), it is possible to adjust the discharge amount of the droplet D and discharge the liquid material. Is possible. In other words, it is an important matter for managing the discharge amount to appropriately set the drive signal COM of each nozzle 52 determined by the relationship between the drive signal selection data DB and the waveform number data WN. I can say that.

上記液滴吐出装置１００において、本実施形態の液滴吐出ヘッド５０の吐出制御方法は、液滴Ｄの吐出毎、言い換えれば吐出タイミング毎に駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとを更新可能となっている。また、吐出データＤＡに対応させて駆動信号ＣＯＭを精細に設定することも可能である。したがって、ノズル５２毎に吐出される液滴Ｄの吐出量を、吐出タイミング毎に少なくとも４段階に渡って変化させることができるので、一定の駆動信号ＣＯＭを各振動子５９に印加する場合に比べて、ノズル列５２ａの吐出特性に起因する液滴Ｄの吐出量のばらつきを、ノズル５２毎、且つ液滴Ｄの吐出毎に調整することが可能である。 In the droplet ejection apparatus 100, the ejection control method of the droplet ejection head 50 of the present embodiment can update the drive signal selection data DB and the waveform number data WN for each ejection of the droplet D, in other words, for each ejection timing. It has become. It is also possible to set the drive signal COM precisely in correspondence with the ejection data DA. Accordingly, since the discharge amount of the droplet D discharged from each nozzle 52 can be changed in at least four stages at each discharge timing, compared with the case where a constant drive signal COM is applied to each vibrator 59. Thus, it is possible to adjust the variation in the discharge amount of the droplet D due to the discharge characteristics of the nozzle row 52a for each nozzle 52 and each discharge of the droplet D.

（液状体の吐出方法について）
次に、本実施形態の液状体の吐出方法について、図９〜１２を参照して説明する。図９は比較例の液滴の吐出状態を示す概略図である。図１０は実施例１の液状体の吐出方法を示す概略図、図１１および図１２は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略図である。本実施形態の液状体の吐出方法は、上述の液滴吐出装置１００における液滴吐出ヘッド５０の吐出制御方法を適用して実現するものである。以下、液状体の吐出方法の比較例、実施例１、実施例２について説明する。 (About liquid material discharge method)
Next, a liquid discharge method according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 9 is a schematic view showing a discharge state of a droplet of a comparative example. FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a liquid material discharge method according to the first embodiment, and FIGS. 11 and 12 are schematic views illustrating a liquid material discharge method according to the second embodiment. The liquid discharge method according to the present embodiment is realized by applying the discharge control method of the droplet discharge head 50 in the droplet discharge apparatus 100 described above. Hereinafter, Comparative Examples, Example 1 and Example 2 of the liquid material discharge method will be described.

図９は、キャリッジ１５に搭載された６個の液滴吐出ヘッド５０のうち、副走査方向（Ｘ方向）に隣り合う液滴吐出ヘッド５０としての２個のヘッドＲ１，Ｒ２を例にとり、各液滴吐出ヘッド５０のノズル５２毎の液滴Ｄの吐出量Ｉｗを示している。すなわち、液滴吐出ヘッド５０の１８０個のノズル５２に対して♯１〜♯１８０のノズル番号を与え、各ノズル５２の吐出量Ｉｗをグラフ化している。 FIG. 9 illustrates two of the six droplet discharge heads 50 mounted on the carriage 15 as two droplet discharge heads 50 adjacent to each other in the sub-scanning direction (X direction). The discharge amount Iw of the droplet D for each nozzle 52 of the droplet discharge head 50 is shown. That is, nozzle numbers # 1 to # 180 are assigned to the 180 nozzles 52 of the droplet discharge head 50, and the discharge amount Iw of each nozzle 52 is graphed.

前述のように１つの液滴吐出ヘッド５０において、複数のノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量Ｉｗは、キャビティ５５毎に流れる液状体の流動抵抗、他のノズル５２の影響（クロストーク）等により、ノズル５２毎に変動する。また、ノズル列５２ａから吐出される液滴Ｄの吐出量Ｉｗの分布は、液滴吐出ヘッド５０毎に異なる場合がある。 As described above, in one droplet discharge head 50, the discharge amount Iw of the droplets D discharged from the plurality of nozzles 52 depends on the flow resistance of the liquid flowing in each cavity 55 and the influence of other nozzles 52 (crosstalk). ) Or the like. In addition, the distribution of the ejection amount Iw of the droplets D ejected from the nozzle row 52a may differ for each droplet ejection head 50.

本比較例では、例えば、第１の液滴吐出ヘッドとしてのヘッドＲ１では、ノズル番号♯１〜♯６およびノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２の吐出量Ｉｗが、その他のノズル５２の吐出量Ｉｗと比較して±１％以上多くなっている。従って、第１のノズル群はノズル番号♯１〜♯６のノズルから構成され、第２のノズル群はノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズルから構成される。そして、両端部に近づくほどノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗは多くなる傾向にあり、ノズル番号♯１のノズル５２が第１のノズルに、ノズル番号♯１８０のノズル５２が第２のノズルに対応する。 In this comparative example, for example, in the head R1 as the first droplet discharge head, the discharge amounts Iw of the nozzles 52 of the nozzle numbers # 1 to # 6 and the nozzle numbers # 175 to # 180 are discharged from the other nozzles 52. Compared with the amount Iw, it is more than ± 1%. Therefore, the first nozzle group is composed of nozzles with nozzle numbers # 1 to # 6, and the second nozzle group is composed of nozzles with nozzle numbers # 175 to # 180. The discharge amount Iw discharged from the nozzle 52 tends to increase as it approaches both ends. The nozzle 52 with nozzle number # 1 is the first nozzle, and the nozzle 52 with nozzle number # 180 is the second nozzle. Correspond.

第２の液滴吐出ヘッドとしてのヘッドＲ２でも、同様な傾向を有しており、ノズル番号♯１〜♯６およびノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２の吐出量Ｉｗが、その他のノズル５２の吐出量Ｉｗと比較して±１％以上多くなっている。従って、第１のノズル群はノズル番号♯１〜♯６のノズルから構成され、第２のノズル群はノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズルから構成される。そして、両端部に近づくほどノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗは多くなる傾向にあり、ノズル番号♯１のノズル５２が第１のノズルに、ノズル番号♯１８０のノズル５２が第２のノズルに対応する。 The head R2 as the second droplet discharge head has the same tendency, and the discharge amount Iw of the nozzles 52 of the nozzle numbers # 1 to # 6 and the nozzle numbers # 175 to # 180 is the other nozzle 52. The discharge amount Iw is increased by ± 1% or more. Therefore, the first nozzle group is composed of nozzles with nozzle numbers # 1 to # 6, and the second nozzle group is composed of nozzles with nozzle numbers # 175 to # 180. The discharge amount Iw discharged from the nozzle 52 tends to increase as it approaches both ends. The nozzle 52 with nozzle number # 1 is the first nozzle, and the nozzle 52 with nozzle number # 180 is the second nozzle. Correspond.

さらに、ヘッドＲ１とヘッドＲ２とは、それぞれ吐出特性の違いを有している。Ｘ方向に１ドットピッチおいて互いに隣接するヘッドＲ１の第２のノズル群に属する第２のノズルとしてのノズル番号♯１８０のノズル５２と、ヘッドＲ２の第１のノズル群に属する第１のノズルとしてのノズル番号♯１のノズル５２とは、図９に示すように、Ｉｗｐ（ｎｇ）の吐出量Ｉｗの差を有している。 Furthermore, the head R1 and the head R2 have different ejection characteristics. Nozzle 52 of nozzle number # 180 as a second nozzle belonging to the second nozzle group of head R1 adjacent to each other at a one-dot pitch in the X direction, and the first nozzle belonging to the first nozzle group of head R2 9 has a difference in the discharge amount Iw of Iwp (ng), as shown in FIG.

すなわち、隣り合うヘッドＲ１とヘッドＲ２とでは、境界部分において明らかに吐出される液状体の量に差が生じている。このような吐出特性の違いを有する２個のヘッドＲ１，Ｒ２を用い各ノズル５２から液状体を吐出してワークＷ上に描画すると、副走査方向（Ｘ方向）においてヘッドＲ１とヘッドＲ２との境界部分に、吐出される液状体の吐出量Ｉｗの差Ｉｗｐによりスジムラが発生する。 That is, there is a difference in the amount of liquid material that is clearly discharged at the boundary between the adjacent heads R1 and R2. When the liquid material is ejected from each nozzle 52 using the two heads R1 and R2 having such a difference in ejection characteristics and drawn on the workpiece W, the head R1 and the head R2 in the sub-scanning direction (X direction). In the boundary portion, unevenness occurs due to the difference Iwp in the discharge amount Iw of the discharged liquid material.

また、ヘッドＲ１，Ｒ２においても、第１のノズル群と第２のノズル群以外のノズル番号♯７〜１７４のノズル５２は、吐出量が比較的安定している。そのため、ノズル番号♯７〜１７４のノズル５２と比較して吐出量Ｉｗの多いノズル番号♯１〜６およびノズル番号♯１７５〜１８０のノズル５２により描画された領域は、吐出量Ｉｗの差によりスジムラが発生する惧れがある。発明者は、実験の結果、着色材料を含む液状体を用いた場合には、液状体が吐出される領域間で吐出量Ｉｗの差がそれぞれの液滴吐出ヘッド５０の平均吐出量と比較して±１％以上の違いがあるとこのスジムラが視認可能なスジムラ不良となることを確認した。 Also in the heads R1 and R2, the discharge amounts of the nozzles 52 of nozzle numbers # 7 to 174 other than the first nozzle group and the second nozzle group are relatively stable. For this reason, regions drawn by the nozzles # 1 to 6 and the nozzles # 175 to 180 having a larger discharge amount Iw than the nozzles 52 having the nozzle numbers # 7 to 174 are streaked due to the difference in the discharge amount Iw. May occur. As a result of the experiment, the inventor has found that when a liquid material containing a coloring material is used, the difference in the discharge amount Iw between the regions where the liquid material is discharged is compared with the average discharge amount of each droplet discharge head 50. When there is a difference of ± 1% or more, it was confirmed that this stripe unevenness becomes a visible stripe unevenness.

なお、図９中、吐出量Ｉｗｒ１は、ヘッドＲ１のノズル番号♯１〜♯１８０の全ノズル５２の平均吐出量を示し、吐出量Ｉｗｒ２は、ヘッドＲ２のノズル番号♯１〜♯１８０の全ノズル５２の平均吐出量を示す。ちなみに、ヘッドＲ１，Ｒ２の各ノズル５２のねらいの吐出量Ｉｗは吐出量Ｉｗｔ（ｎｇ）である。
また、特定のノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗを表す場合は、Ｉｗ（ヘッド，ノズル番号）で示す。例えば、ヘッドＲ１のノズル番号♯１８０のノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗは、Ｉｗ（Ｒ１，♯１８０）と表す。 In FIG. 9, the discharge amount Iwr1 indicates the average discharge amount of all the nozzles 52 of the nozzle numbers # 1 to # 180 of the head R1, and the discharge amount Iwr2 indicates all the nozzles of the nozzle numbers # 1 to # 180 of the head R2. 52 shows the average discharge amount. Incidentally, the target discharge amount Iw of each nozzle 52 of the heads R1 and R2 is the discharge amount Iwt (ng).
Further, when the discharge amount Iw discharged from the specific nozzle 52 is expressed, it is indicated by Iw (head, nozzle number). For example, the discharge amount Iw discharged from the nozzle 52 of the nozzle number # 180 of the head R1 is expressed as Iw (R1, # 180).

（実施例１）
実施例１について、前述の図９および図１０を参照して説明する。実施例１は隣り合うヘッドＲ１とヘッドＲ２の境界部分のスジムラを解消するものである。図１０は、実施例１の吐出方法を説明する図であり、（ａ）は、図９のＥ領域の拡大図であり、（ｂ）は、実施例１の隣り合う２個のヘッドと吐出量の関係を示す図である。 (Example 1)
The first embodiment will be described with reference to FIGS. 9 and 10 described above. In the first embodiment, the unevenness at the boundary between the adjacent heads R1 and R2 is eliminated. 10A and 10B are diagrams for explaining a discharge method according to the first embodiment. FIG. 10A is an enlarged view of an E region in FIG. 9, and FIG. 10B is a diagram illustrating two adjacent heads and discharge according to the first embodiment. It is a figure which shows the relationship of quantity.

まず、図２に示す液滴吐出装置１００の重量計測機構６０により、ヘッドＲ１およびヘッドＲ２のノズル５２毎の液状体の吐出量Ｉｗを測定する。具体的には、所定の駆動電圧を有する駆動波形を振動子５９に与え、数千から数万程度の吐出数の液滴Ｄをノズル５２から受け容器２５内に吐出させ、その液状体の重量を重量計測機構６０の電子天秤２６を用いて計測する。そして、計測された液状体の重量を上記吐出数で除して１滴あたりの重量を算出して液滴Ｄの吐出量とする。そして、測定の結果として、図１０（ａ）に示すノズル５２とその吐出量Ｉｗの相関を求める。 First, the liquid discharge amount Iw for each nozzle 52 of the head R1 and the head R2 is measured by the weight measuring mechanism 60 of the droplet discharge device 100 shown in FIG. Specifically, a drive waveform having a predetermined drive voltage is applied to the vibrator 59, and droplets D having a discharge number of about several thousand to several tens of thousands are discharged from the nozzle 52 into the receiving container 25, and the weight of the liquid material Is measured using the electronic balance 26 of the weight measuring mechanism 60. Then, the weight of the measured liquid is divided by the number of discharges to calculate the weight per droplet, and the discharge amount of the droplet D is obtained. Then, as a result of the measurement, a correlation between the nozzle 52 and the discharge amount Iw shown in FIG.

図９および図１０（ａ）に示すように、ヘッドＲ１およびヘッドＲ２の境界において、ヘッドＲ１では、ノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２の吐出量Ｉｗが、その他のノズル５２の吐出量Ｉｗと比較して多く、ヘッドＲ２では、ノズル番号♯１〜♯６のノズル５２の吐出量Ｉｗが、その他のノズル５２の吐出量Ｉｗと比較して多いことが分かる。さらに、ヘッドＲ１とヘッドＲ２とは、Ｘ方向に１ドットピッチおいて互いに隣接するヘッドＲ１のノズル番号♯１８０のノズル５２とヘッドＲ２のノズル番号♯１のノズル５２とは、吐出量Ｉｗの差Ｉｗｐ（ｎｇ）を有していることが分かる。 As shown in FIG. 9 and FIG. 10A, at the boundary between the head R1 and the head R2, in the head R1, the discharge amount Iw of the nozzles 52 of the nozzle numbers # 175 to # 180 is the discharge amount Iw of the other nozzles 52. It can be seen that in the head R2, the discharge amount Iw of the nozzles 52 of the nozzle numbers # 1 to # 6 is larger than the discharge amounts Iw of the other nozzles 52. Further, the head R1 and the head R2 are different from each other in the discharge amount Iw between the nozzle 52 of the nozzle number # 180 of the head R1 and the nozzle 52 of the nozzle number # 1 of the head R2, which are adjacent to each other at a pitch of 1 dot in the X direction. It can be seen that it has Iwp (ng).

前述のように、ヘッドＲ１，Ｒ２の各ノズル５２のねらいの吐出量Ｉｗは、吐出量Ｉｗｔ（ｎｇ）である。そこで、ヘッドＲ１のノズル番号♯１８０のノズル５２とヘッドＲ２のノズル番号♯１のノズル５２との吐出量差Ｉｗｐ（ｎｇ）を解消すべく、ヘッドＲ１のノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ２のノズル番号♯１〜♯６のノズル５２の吐出量Ｉｗを、ねらいの吐出量Ｉｗｔに近づくように液滴吐出ヘッド５０の吐出制御を行う。 As described above, the target discharge amount Iw of each nozzle 52 of the heads R1 and R2 is the discharge amount Iwt (ng). Therefore, in order to eliminate the discharge amount difference Iwp (ng) between the nozzle 52 of nozzle number # 180 of the head R1 and the nozzle 52 of nozzle number # 1 of the head R2, the nozzles 52 of nozzle numbers # 175 to # 180 of the head R1. In addition, the discharge control of the droplet discharge head 50 is performed so that the discharge amount Iw of the nozzles 52 of the nozzle numbers # 1 to # 6 of the head R2 approaches the target discharge amount Iwt.

ただし、本実施例１では、ねらいの吐出量ＩｗｔとヘッドＲ１の平均吐出量Ｉｗｒ１およびヘッドＲ２の平均吐出量Ｉｗｒ２とでは、違いが生じている。この吐出量Ｉｗの違いが、あらたなスジムラを発生させる惧れがある。そこで、例えば、ヘッドＲ１のノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２では、第２のノズル群に属するノズル番号♯１７５近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗを、ヘッドＲ１の第２のノズル群以外のノズル５２、例えば、ノズル番号♯１７４のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ１，♯１７４）に近づけるように制御する。そして、ノズル番号♯１８０近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗをねらいの吐出量Ｉｗｔに近づけるように制御する。次いで、それ以外のノズル５２の吐出量Ｉｗをねらいの吐出量ＩｗｔとヘッドＲ１のノズル番号♯１７４の吐出量Ｉｗ（Ｒ１，♯１７４）との間の吐出量Ｉｗになるように制御する。 However, in the first embodiment, there is a difference between the target discharge amount Iwt, the average discharge amount Iwr1 of the head R1, and the average discharge amount Iwr2 of the head R2. The difference in the discharge amount Iw may cause a new uneven stripe. Therefore, for example, in the nozzle 52 of the nozzle number # 175 to # 180 of the head R1, the discharge amount Iw of the nozzle 52 near the nozzle number # 175 belonging to the second nozzle group is set to a value other than that of the second nozzle group of the head R1. Control is performed so as to approach the discharge amount Iw (R1, # 174) of the nozzle 52, for example, the nozzle 52 of the nozzle number # 174. Then, control is performed so that the discharge amount Iw of the nozzle 52 near the nozzle number # 180 approaches the target discharge amount Iwt. Next, control is performed so that the discharge amount Iw of the other nozzles 52 becomes the discharge amount Iw between the target discharge amount Iwt and the discharge amount Iw (R1, # 174) of the nozzle number # 174 of the head R1.

すなわち、ヘッドＲ１のノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２のぞれぞれの吐出量Ｉｗを、図１０（ａ）中の白抜きの丸で表記した♯１７５ｂ〜♯１８０ｂの吐出量Ｉｗとなるように制御する。このとき、図１０（ａ）に示すように、ノズル番号♯１７５〜ノズル番号♯１８０のノズル５２の吐出量Ｉｗをなだらかに結ぶように制御するとさらに好ましい。なお、本実施例では、ヘッドＲ１のノズル番号♯１７５近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗをノズル番号♯１７４のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ１，♯１７４）に近づけたが、これに限定されない。ヘッドＲ１のノズル番号♯１７５のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ１，♯１７５）を、ヘッドＲ１の平均吐出量Ｉｗｒ１に近づけてもよい。 That is, the discharge amount Iw of each of the nozzles 52 of the nozzle numbers # 175 to # 180 of the head R1 is set to the discharge amount Iw of # 175b to # 180b represented by white circles in FIG. Control to be. At this time, as shown in FIG. 10A, it is more preferable to control the discharge amount Iw of the nozzles 52 of nozzle number # 175 to nozzle number # 180 so as to be smoothly connected. In this embodiment, the discharge amount Iw of the nozzle 52 in the vicinity of the nozzle number # 175 of the head R1 is brought close to the discharge amount Iw (R1, # 174) of the nozzle 52 of the nozzle number # 174. However, the present invention is not limited to this. The discharge amount Iw (R1, # 175) of the nozzle 52 of the nozzle number # 175 of the head R1 may be close to the average discharge amount Iwr1 of the head R1.

ヘッドＲ２においても同様に、ヘッドＲ２の第１のノズル群に属するノズル番号♯１〜♯６のノズル５２では、ノズル番号♯６近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗを、ヘッドＲ２の第１のノズル群以外のノズル５２、例えば、ノズル番号♯７のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ２，♯７）に近づけるように制御する。そして、ノズル番号♯１近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗをねらいの吐出量Ｉｗｔに近づけるように制御する。次いで、それ以外のノズル５２の吐出量Ｉｗをねらいの吐出量ＩｗｔとヘッドＲ２のノズル番号♯７の吐出量Ｉｗ（Ｒ２，♯７）との間の吐出量Ｉｗになるように制御する。すなわち、ヘッドＲ２のノズル番号♯１〜♯６のノズル５２のぞれぞれの吐出量Ｉｗを、図１０（ａ）中の白抜きの丸で表記した♯１ａ〜♯６ａの吐出量Ｉｗとなるように制御する。 Similarly, in the head R2, in the nozzles 52 having the nozzle numbers # 1 to # 6 belonging to the first nozzle group of the head R2, the discharge amount Iw of the nozzle 52 in the vicinity of the nozzle number # 6 is set to be the first nozzle of the head R2. Control is performed so as to approach the ejection amount Iw (R2, # 7) of the nozzles 52 other than the group, for example, the nozzle 52 of the nozzle number # 7. Then, the discharge amount Iw of the nozzle 52 in the vicinity of the nozzle number # 1 is controlled so as to approach the target discharge amount Iwt. Next, the discharge amount Iw of the other nozzles 52 is controlled to be the discharge amount Iw between the target discharge amount Iwt and the discharge amount Iw (R2, # 7) of the nozzle number # 7 of the head R2. In other words, the discharge amount Iw of each of the nozzles 52 of the nozzle numbers # 1 to # 6 of the head R2 is expressed as the discharge amount Iw of # 1a to # 6a represented by white circles in FIG. Control to be.

このときの各ノズル５２の吐出量Ｉｗの制御は、前述の液滴吐出ヘッドの吐出制御方法で生成された駆動信号ＣＯＭを用い、ノズル５２毎に液滴Ｄの吐出量Ｉｗが、所望の吐出量Ｉｗに近づくように、複数の駆動信号ＣＯＭのうちの１つを対応させる。前述の液滴吐出ヘッドの吐出制御方法で説明したように、駆動電圧Ｖｈを段階的に違えた複数種の波形データを用意し、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄにそれぞれ独立した波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）を入力することにより、各ＣＯＭラインにそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４の駆動信号ＣＯＭを出力することができる。また、用意できる波形データの種類は、波形番号データＷＮの情報量（７ビット）に相当する１２８種類であり、例えばこれを０．１Ｖ刻みの駆動電圧Ｖｈに対応させている。言い換えれば、１２．８Ｖの電位差の範囲でＶｈ１〜Ｖｈ４の各駆動電圧を０．１Ｖ刻みで設定することができる。そのため、ヘッドＲ１のノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ２のノズル番号♯１〜♯６のノズル５２の吐出量Ｉｗを、所望の吐出量Ｉｗに近づくように吐出制御を行うことが可能になる。 At this time, the discharge amount Iw of each nozzle 52 is controlled using the drive signal COM generated by the above-described discharge control method of the droplet discharge head, and the discharge amount Iw of the droplet D for each nozzle 52 is set to a desired discharge amount. One of the plurality of drive signals COM is made to correspond so as to approach the amount Iw. As described in the droplet discharge head ejection control method described above, multiple types of waveform data with different drive voltages Vh are prepared, and independent waveform data (WD1 to WD4) are input to the DACs 71A to 71D, respectively. By doing so, it is possible to output drive signals COM having different drive voltages Vh1 to Vh4 to the respective COM lines. The types of waveform data that can be prepared are 128 types corresponding to the information amount (7 bits) of the waveform number data WN. For example, this corresponds to the drive voltage Vh in increments of 0.1V. In other words, the drive voltages Vh1 to Vh4 can be set in increments of 0.1V within a potential difference range of 12.8V. Therefore, the discharge control is performed so that the discharge amount Iw of the nozzles 52 of the nozzle numbers # 175 to # 180 of the head R1 and the nozzles 52 of the nozzle numbers # 1 to # 6 of the head R2 approaches the desired discharge amount Iw. It becomes possible.

図１０（ｂ）に示すように、上述の吐出制御を行うことによって、ヘッドＲ１およびヘッドＲ２の境界部に位置するヘッドＲ１のノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ２のノズル番号♯１〜♯６のノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗは、グラフとしてなだらかな連続的なラインとなる。従って、ヘッドＲ１およびヘッドＲ２の境界部に位置するヘッドＲ１のノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ２のノズル番号♯１〜♯６のノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗのばらつきが低減される。その結果、ワークＷ上に形成された薄膜に、液状体の吐出量Ｉｗの差によって生じるスジムラの発生を防止することができ、高い画像品質の表示装置を提供することができる。 As shown in FIG. 10B, by performing the above-described ejection control, the nozzle 52 of the nozzle number # 175 to # 180 of the head R1 and the nozzle number # of the head R2 positioned at the boundary between the head R1 and the head R2. The discharge amount Iw discharged from the nozzles 1 to # 6 is a gentle continuous line as a graph. Accordingly, there is a variation in the discharge amount Iw discharged from the nozzle 52 of the nozzle numbers # 175 to # 180 of the head R1 and the nozzle 52 of the nozzle numbers # 1 to # 6 of the head R2 located at the boundary between the head R1 and the head R2. Reduced. As a result, it is possible to prevent the occurrence of unevenness in the thin film formed on the workpiece W due to the difference in the discharge amount Iw of the liquid material, and to provide a display device with high image quality.

（実施例２）
実施例２について、図１１および図１２を参照して説明する。図１１は実施例２の吐出方法を説明する図であり、図１２は図１１中のＦ領域の拡大図である。実施例２は、実施例１で境界部分のスジムラが解消されたヘッドＲ１とヘッドＲ２とを用いて、いわゆる改行動作を実施してワーク上に描画する場合を例に説明する。 (Example 2)
A second embodiment will be described with reference to FIGS. 11 and 12. FIG. 11 is a diagram for explaining the ejection method of Example 2, and FIG. The second embodiment will be described by taking as an example a case in which a so-called line feed operation is performed and drawing is performed on a workpiece using the head R1 and the head R2 from which the unevenness in the boundary portion is eliminated in the first embodiment.

図１１において、ヘッドＲ１ａ，Ｒ２ａは改行動作前における描画時のヘッドＲ１，Ｒ２の位置を示し、ヘッドＲ１ｂ，Ｒ２ｂは改行動作後における描画時のヘッドＲ１，Ｒ２の位置を示す。すなわち、第１の吐出ステップとして、図１に示す液滴吐出装置１００を用い、第１のテーブル移動機構３０によりワークＷを図１中Ｙ方向に移動させながら、キャリッジ１５に搭載された液滴吐出ヘッド５０としてのヘッドＲ１，Ｒ２から液状体を吐出してワークＷ上に描画する。このとき、描画された領域が、第１の塗布領域に対応する。また、このときのヘッドＲ１，Ｒ２の位置が、図１１中、ヘッドＲ１ａ，Ｒ２ａである In FIG. 11, heads R1a and R2a indicate positions of the heads R1 and R2 at the time of drawing before the line feed operation, and heads R1b and R2b indicate positions of the heads R1 and R2 at the time of drawing after the line feed operation. That is, as the first ejection step, the droplet ejection device 100 shown in FIG. 1 is used, and the droplets mounted on the carriage 15 while the workpiece W is moved in the Y direction in FIG. 1 by the first table moving mechanism 30. A liquid material is ejected from the heads R1 and R2 as the ejection head 50 and drawn on the workpiece W. At this time, the drawn area corresponds to the first application area. Further, the positions of the heads R1 and R2 at this time are the heads R1a and R2a in FIG.

その後、第２のテーブル移動機構４０によりワークＷを、図１中Ｘ（＋）方向に所定の改行幅分移動させる。本実施例２では、第１の吐出ステップでヘッドＲ２のノズル番号♯１８０のノズル５２の吐出位置に対して、改行後のヘッドＲ１のノズル番号♯１のノズル５２の吐出位置がＸ（＋）方向に、１ノズルピッチを置いて連続するように、ワークＷを、Ｘ（＋）方向に移動させる。そして、第１の吐出ステップとして、図１に示す液滴吐出装置１００を用い、第１のテーブル移動機構３０によりワークＷを図１中Ｙ方向に移動させながら、キャリッジ１５に搭載された液滴吐出ヘッド５０としてのヘッドＲ１，Ｒ２から液状体を吐出してワークＷ上に描画する。このとき、描画された領域が、第２の塗布領域に対応する。このときのヘッドＲ１，Ｒ２の位置が、図１１中ヘッドＲ１ｂ，Ｒ２ｂである。このように、第１の吐出ステップおよび第２の吐出ステップを実施することによって、隣り合う第１の塗布領域と第２の塗布領域とが形成される。 Thereafter, the second table moving mechanism 40 moves the work W by a predetermined line feed width in the X (+) direction in FIG. In the second embodiment, the discharge position of the nozzle 52 of the nozzle number # 1 of the head R1 after the line feed is X (+) with respect to the discharge position of the nozzle 52 of the nozzle number # 180 of the head R2 in the first discharge step. The workpiece W is moved in the X (+) direction so as to be continuous with one nozzle pitch in the direction. Then, as the first discharge step, the droplet mounted on the carriage 15 while using the droplet discharge device 100 shown in FIG. 1 and moving the workpiece W in the Y direction in FIG. 1 by the first table moving mechanism 30. A liquid material is ejected from the heads R1 and R2 as the ejection head 50 and drawn on the workpiece W. At this time, the drawn area corresponds to the second application area. The positions of the heads R1 and R2 at this time are the heads R1b and R2b in FIG. As described above, by performing the first discharge step and the second discharge step, the adjacent first application region and second application region are formed.

図１１のグラフは、ヘッドＲ１ａ，Ｒ２ａ，Ｒ１ｂ，Ｒ２ｂの吐出特性を示すグラフである。詳しくは、一方の軸をノズル５２の番号（１から１８０）とし、他方の軸をノズル５２毎に吐出される液滴Ｄの吐出量Ｉｗ（ｎｇ）として、ノズル列５２ａにおける吐出量の分布を示したグラフである。 The graph of FIG. 11 is a graph showing the ejection characteristics of the heads R1a, R2a, R1b, and R2b. Specifically, the distribution of the discharge amount in the nozzle row 52a is set with one axis being the number (1 to 180) of the nozzle 52 and the other axis being the discharge amount Iw (ng) of the droplet D discharged for each nozzle 52. It is the shown graph.

図１１に示すように、改行動作により隣接するヘッドＲ２ａとヘッドＲ１ｂとの境界、すなわち、第１の塗布領域と第２の塗布領域との境界部分において、ヘッドＲ２ａでは、第２のノズル群としてのノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２の吐出量Ｉｗが、その他のノズル５２の吐出量Ｉｗと比較して多く、ヘッドＲ１ｂでは、第１のノズル群としてのノズル番号♯１〜♯６のノズル５２の吐出量Ｉｗが、その他のノズル５２の吐出量Ｉｗと比較して多い。このとき、ヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２から液状体が吐出され描画された領域が、第１の境界領域に対応し、ヘッドＲ１ｂのノズル番号♯１〜♯６のノズル５２から液状体が吐出され描画された領域が、第２の境界領域に対応する。さらに、ヘッドＲ２ａのノズル番号♯１８０のノズル５２とヘッドＲ１ｂのノズル番号♯１のノズル５２とは、Ｉｗｑ（ｎｇ）の吐出量Ｉｗの差を有していることが分かる。 As shown in FIG. 11, at the boundary between the head R2a and the head R1b adjacent to each other by the line feed operation, that is, at the boundary between the first coating region and the second coating region, the head R2a The discharge amount Iw of the nozzles 52 of the nozzle numbers # 175 to # 180 is larger than the discharge amount Iw of the other nozzles 52. In the head R1b, the nozzle numbers # 1 to # 6 as the first nozzle group The discharge amount Iw of the nozzle 52 is larger than the discharge amounts Iw of the other nozzles 52. At this time, a region where the liquid material is ejected and drawn from the nozzles 52 of the nozzle numbers # 175 to # 180 of the head R2a corresponds to the first boundary region, and the nozzles 52 of the nozzle numbers # 1 to # 6 of the head R1b. The area where the liquid material is discharged and drawn corresponds to the second boundary area. Further, it can be seen that the nozzle 52 of nozzle number # 180 of the head R2a and the nozzle 52 of nozzle number # 1 of the head R1b have a difference in the discharge amount Iw of Iwq (ng).

前述のように、ヘッドＲ１，Ｒ２の各ノズル５２のねらいの吐出量Ｉｗは、吐出量Ｉｗｔ（ｎｇ）である。そこで、ヘッドＲ２ａの第２のノズルとしてのノズル番号♯１８０のノズル５２とヘッドＲ１ｂの第１のノズルとしてのノズル番号♯１のノズル５２との吐出量差Ｉｗｑ（ｎｇ）を解消すべく、ヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ１ｂのノズル番号♯１〜♯６のノズル５２の吐出量Ｉｗを、ねらいの吐出量Ｉｗｔに近づくように液滴吐出ヘッド５０の吐出制御を行う。 As described above, the target discharge amount Iw of each nozzle 52 of the heads R1 and R2 is the discharge amount Iwt (ng). Therefore, in order to eliminate the discharge amount difference Iwq (ng) between the nozzle 52 with the nozzle number # 180 as the second nozzle of the head R2a and the nozzle 52 with the nozzle number # 1 as the first nozzle of the head R1b. The discharge control of the droplet discharge head 50 is performed so that the discharge amount Iw of the nozzles 52 of the nozzle numbers # 175 to # 180 of the R2a and the nozzles 52 of the nozzle numbers # 1 to # 6 of the head R1b approaches the target discharge amount Iwt. Do.

ただし、本実施例２では、ねらいの吐出量ＩｗｔとヘッドＲ２ａの平均吐出量Ｉｗｒ２およびヘッドＲ１ｂの平均吐出量Ｉｗｒ１とでは、違いが生じている。この吐出量Ｉｗの違いが、あらたなスジムラを発生させる惧れがある。そこで、例えば、ヘッドＲ２ａの第２のノズル群に属するノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２では、第２のノズル群に属するノズル番号♯１７５近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗを、ヘッドＲ２ａの第２のノズル群以外のノズル５２、例えば、ノズル番号♯１７４のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ２ａ，♯１７４）に近づけるように制御する。そして、ノズル番号♯１８０近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗをねらいの吐出量Ｉｗｔに近づけるように制御する。次いで、それ以外のノズル５２の吐出量Ｉｗを、ねらいの吐出量ＩｗｔとヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７４の吐出量Ｉｗ（Ｒ２ａ，♯１７４）との間の吐出量Ｉｗになるように制御する。 However, in the second embodiment, there is a difference between the target discharge amount Iwt, the average discharge amount Iwr2 of the head R2a, and the average discharge amount Iwr1 of the head R1b. The difference in the discharge amount Iw may cause a new uneven stripe. Therefore, for example, in the nozzles 52 having nozzle numbers # 175 to # 180 belonging to the second nozzle group of the head R2a, the discharge amount Iw of the nozzle 52 in the vicinity of the nozzle number # 175 belonging to the second nozzle group is set to be equal to that of the head R2a. Control is performed so as to approach the discharge amount Iw (R2a, # 174) of the nozzles 52 other than the second nozzle group, for example, the nozzle 52 of the nozzle number # 174. Then, control is performed so that the discharge amount Iw of the nozzle 52 near the nozzle number # 180 approaches the target discharge amount Iwt. Next, the discharge amount Iw of the other nozzles 52 is controlled to be a discharge amount Iw between the target discharge amount Iwt and the discharge amount Iw (R2a, # 174) of the nozzle number # 174 of the head R2a.

すなわち、ヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２のぞれぞれの吐出量Ｉｗを、図１２中の白抜きの丸で表記した♯１７５ｃ〜♯１８０ｃの吐出量Ｉｗとなるように制御する。このとき、図１２に示すように、ノズル番号♯１７５からノズル番号♯１８０のノズル５２の吐出量Ｉｗをなだらかに結ぶように制御するとさらに好ましい。なお、本実施例では、ヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗをノズル番号♯１７４のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ２ａ，♯１７４）に近づけたが、これに限定されない。ヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ２ａ，♯１７５）を、ヘッドＲ２ａの平均吐出量Ｉｗｒ２に近づけてもよい。 That is, the discharge amount Iw of each of the nozzles 52 of the nozzle numbers # 175 to # 180 of the head R2a is set to be the discharge amount Iw of # 175c to # 180c represented by white circles in FIG. Control. At this time, as shown in FIG. 12, it is more preferable to control so that the discharge amount Iw of the nozzles 52 of nozzle number # 175 to nozzle number # 180 is gently connected. In this embodiment, the discharge amount Iw of the nozzle 52 in the vicinity of the nozzle number # 175 of the head R2a is brought close to the discharge amount Iw (R2a, # 174) of the nozzle 52 of the nozzle number # 174. However, the present invention is not limited to this. The discharge amount Iw (R2a, # 175) of the nozzle 52 of the nozzle number # 175 of the head R2a may be close to the average discharge amount Iwr2 of the head R2a.

ヘッドＲ１ｂにおいても同様に、ヘッドＲ１ｂの第１のノズル群に属するノズル番号♯１〜♯６のノズル５２では、ノズル番号♯６近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗを、ヘッドＲ１ｂの第１のノズル群以外のノズル５２、例えば、ノズル番号♯７のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ１ｂ，♯７）に近づけるように制御する。そしてノズル番号♯１近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗをねらいの吐出量Ｉｗｔに近づけるように制御する。次いで、その間をならだかに結ぶようにノズル番号♯１〜♯６のノズル５２の吐出量Ｉｗを制御する。すなわち、ヘッドＲ１ｂのノズル番号♯１〜♯６のノズル５２のぞれぞれの吐出量Ｉｗを、図１２中の白抜きの丸で表記した♯１ｄ〜♯６ｄの吐出量Ｉｗとなるように制御する。 Similarly, in the head R1b, in the nozzles 52 having nozzle numbers # 1 to # 6 belonging to the first nozzle group of the head R1b, the discharge amount Iw of the nozzle 52 in the vicinity of the nozzle number # 6 is set to be the first nozzle of the head R1b. Control is performed so as to approach the discharge amount Iw (R1b, # 7) of the nozzles 52 other than the group, for example, the nozzle 52 of the nozzle number # 7. Then, control is performed so that the discharge amount Iw of the nozzle 52 near the nozzle number # 1 approaches the target discharge amount Iwt. Next, the discharge amount Iw of the nozzles 52 of the nozzle numbers # 1 to # 6 is controlled so as to connect the intervals. That is, the discharge amount Iw of each of the nozzles 52 of the nozzle numbers # 1 to # 6 of the head R1b is set to the discharge amounts Iw of # 1d to # 6d represented by white circles in FIG. Control.

このときの各ノズル５２の吐出量Ｉｗの制御は、前述の液滴吐出ヘッドの吐出制御方法で生成された駆動信号ＣＯＭを用い、ノズル５２毎に液滴Ｄの吐出量Ｉｗが、所望の吐出量Ｉｗに近づくように、複数の駆動信号ＣＯＭのうちの１つを対応させる。前述の液滴吐出ヘッドの吐出制御方法で説明したように、駆動電圧Ｖｈを段階的に違えた複数種の波形データを用意し、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄにそれぞれ独立した波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）を入力することにより、各ＣＯＭラインにそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４の駆動信号ＣＯＭを出力することができる。また、用意できる波形データの種類は、波形番号データＷＮの情報量（７ビット）に相当する１２８種類であり、例えばこれを０．１Ｖ刻みの駆動電圧Ｖｈに対応させている。言い換えれば、１２．８Ｖの電位差の範囲でＶｈ１〜Ｖｈ４の各駆動電圧を０．１Ｖ刻みで設定することができる。そのため、ヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ１ａのノズル番号♯１〜♯６のノズル５２の吐出量Ｉｗを、所望の吐出量Ｉｗに近づくように吐出制御を行うことが可能になる。 At this time, the discharge amount Iw of each nozzle 52 is controlled using the drive signal COM generated by the above-described discharge control method of the droplet discharge head, and the discharge amount Iw of the droplet D for each nozzle 52 is set to a desired discharge amount. One of the plurality of drive signals COM is made to correspond so as to approach the amount Iw. As described in the droplet discharge head ejection control method described above, multiple types of waveform data with different drive voltages Vh are prepared, and independent waveform data (WD1 to WD4) are input to the DACs 71A to 71D, respectively. By doing so, it is possible to output drive signals COM having different drive voltages Vh1 to Vh4 to the respective COM lines. The types of waveform data that can be prepared are 128 types corresponding to the information amount (7 bits) of the waveform number data WN. For example, this corresponds to the drive voltage Vh in increments of 0.1V. In other words, the drive voltages Vh1 to Vh4 can be set in increments of 0.1V within a potential difference range of 12.8V. Therefore, the discharge control is performed so that the discharge amount Iw of the nozzles # 175 to # 180 of the head R2a and the nozzles 52 of the nozzle numbers # 1 to # 6 of the head R1a approaches the desired discharge amount Iw. It becomes possible.

図１２に示すように、上述の吐出制御を行うことによって、改行動作により隣接するヘッドＲ２ａおよびヘッドＲ１ｂの境界部に位置するヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ１ｂのノズル番号♯１〜♯６のノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗは、グラフとしてなだらかな連続的なラインとなる。従って、ヘッドＲ２ａおよびヘッドＲ１ｂの境界部に位置するヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ１ｂのノズル番号♯１〜♯６のノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗのばらつきが低減される。その結果、上述の改行動作を伴う液状体の吐出作業においても、ワークＷ上に形成された薄膜に、液状体の吐出量Ｉｗの差によって生じるスジムラの発生を防止することができ、高い画像品質の表示装置を提供することができる。 As shown in FIG. 12, by performing the above-described discharge control, the nozzle 52 of the nozzle numbers # 175 to # 180 and the nozzles of the head R1b of the head R2a located at the boundary between the head R2a and the head R1b adjacent to each other by the line feed operation. The discharge amount Iw discharged from the nozzles 52 of numbers # 1 to # 6 is a gentle continuous line as a graph. Accordingly, there is a variation in the discharge amount Iw discharged from the nozzle 52 of the nozzle number # 175 to # 180 of the head R2a and the nozzle 52 of the nozzle number # 1 to # 6 of the head R1b located at the boundary between the head R2a and the head R1b. Reduced. As a result, even in the above-described liquid material discharge operation accompanied by the line feed operation, it is possible to prevent the occurrence of unevenness due to the difference in the liquid material discharge amount Iw in the thin film formed on the workpiece W, and high image quality. A display device can be provided.

（カラーフィルタの製造方法）
次に、上記液状体の吐出方法を適用したカラーフィルタの製造方法について図１３〜図１５を参照して説明する。図１３は液晶表示装置の構造を示す分解斜視図、図１４はカラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１５（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造工程を示す概略断面図である。 (Color filter manufacturing method)
Next, a method for manufacturing a color filter to which the above liquid material discharge method is applied will be described with reference to FIGS. FIG. 13 is an exploded perspective view showing the structure of the liquid crystal display device, FIG. 14 is a flowchart showing the color filter manufacturing process, and FIGS. 15A to 15E are schematic cross-sectional views showing the color filter manufacturing process.

まず、カラーフィルタを備えた電気光学装置の一例である液晶表示装置について説明する。図１３に示すように、液晶表示装置５００は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）透過型の液晶表示パネル５２０と、液晶表示パネル５２０を照明する照明装置５１６とを備えている。液晶表示パネル５２０は、着色層を有するカラーフィルタ５０５を具備した対向基板５０１と、画素電極５１０に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子５１１を有する素子基板５０８と、両基板５０１，５０８によって挟持された液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル５２０の外面側となる両基板５０１，５０８の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板５１４と下偏光板５１５とが配設される。 First, a liquid crystal display device that is an example of an electro-optical device including a color filter will be described. As shown in FIG. 13, the liquid crystal display device 500 includes a TFT (Thin Film Transistor) transmissive liquid crystal display panel 520 and an illumination device 516 that illuminates the liquid crystal display panel 520. The liquid crystal display panel 520 includes a counter substrate 501 having a color filter 505 having a colored layer, an element substrate 508 having a TFT element 511 having one of three terminals connected to the pixel electrode 510, and both substrates 501 and 508. And a liquid crystal (not shown) sandwiched between the two. Further, an upper polarizing plate 514 and a lower polarizing plate 515 for deflecting transmitted light are disposed on the surfaces of both the substrates 501 and 508 on the outer surface side of the liquid crystal display panel 520.

対向基板５０１は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に複数の着色領域をマトリクス状に区画するバンクとしての隔壁部５０４と、区画された複数の着色領域にＲＧＢ３色の着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを備えている。隔壁部５０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれる下層バンク５０２と、下層バンク５０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク５０３とにより構成されている。また対向基板５０１は、隔壁部５０４と隔壁部５０４によって区画された着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）５０６と、ＯＣ層５０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極５０７とを備えている。カラーフィルタ５０５は後述する製造方法を用いて製造されている。 The counter substrate 501 is made of a material such as transparent glass, and has a partition wall portion 504 as a bank for partitioning a plurality of coloring regions in a matrix on the surface side sandwiching the liquid crystal, and coloring of the three or more partitioned coloring regions with three colors of RGB. Layers 505R, 505G, and 505B. The partition wall 504 includes a lower layer bank 502 called a black matrix made of a light-shielding metal such as Cr or an oxide film thereof, and an upper layer bank 503 made of an organic compound formed on the lower layer bank 502 (downward in the drawing). It is comprised by. The counter substrate 501 is formed so as to cover the OC layer 506 and the overcoat layer (OC layer) 506 as a planarization layer that covers the partition wall portion 504 and the colored layers 505R, 505G, and 505B partitioned by the partition wall portion 504. And a counter electrode 507 made of a transparent conductive film such as ITO (Indium Tin Oxide). The color filter 505 is manufactured using a manufacturing method described later.

素子基板５０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜５０９を介してマトリクス状に形成された画素電極５１０と、画素電極５１０に対応して形成された複数のＴＦＴ素子５１１とを備えている。ＴＦＴ素子５１１の３端子のうち、画素電極５１０に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極５１０を囲むように格子状に配設された走査線５１２とデータ線５１３とに接続されている。 The element substrate 508 is also made of a material such as transparent glass, and has a plurality of pixel electrodes 510 formed in a matrix form on the surface side sandwiching the liquid crystal with an insulating film 509 interposed therebetween, and corresponding to the pixel electrodes 510. And a TFT element 511. Of the three terminals of the TFT element 511, the other two terminals not connected to the pixel electrode 510 are connected to the scanning line 512 and the data line 513 arranged in a grid so as to surround the pixel electrode 510 while being insulated from each other. It is connected.

照明装置５１６は、光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル５２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。 The lighting device 516 uses a white LED, EL, cold cathode tube, or the like as a light source, and includes a light guide plate, a diffusion plate, a reflection plate, and the like that can emit light from these light sources toward the liquid crystal display panel 520. As long as it is provided with anything.

なお、液晶を挟む対向基板５０１と素子基板５０８の表面には、液晶の分子を一定の方向に配列させるための配向膜がそれぞれ形成されているが、図示省略した。また、上下偏光板５１４，５１５は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル５２０は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子に限らずＴＦＤ（Thin Film Diode）素子を有したものでもよい。さらには、少なくとも一方の基板にカラーフィルタ５０５を備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。 Note that alignment films for aligning liquid crystal molecules in a certain direction are formed on the surfaces of the counter substrate 501 and the element substrate 508 sandwiching the liquid crystal, but they are not shown. The upper and lower polarizing plates 514 and 515 may be combined with an optical functional film such as a retardation film used for the purpose of improving the viewing angle dependency. The liquid crystal display panel 520 is not limited to a TFT element as an active element, and may have a TFD (Thin Film Diode) element. Further, as long as the color filter 505 is provided on at least one of the substrates, a passive liquid crystal display device in which electrodes constituting pixels intersect with each other may be used.

図１４に示すように、本実施形態のカラーフィルタ５０５の製造方法は、対向基板５０１の表面にバンクを形成する工程（ステップＳ１）と、バンクによって区画された着色領域を表面処理する工程（ステップＳ２）とを備えている。また、表面処理された着色領域に着色層形成材料を含む３種（３色）の液状体を吐出する工程（ステップＳ３）と、吐出された液状体を乾燥してカラーフィルタ５０５を成膜する工程（ステップＳ４）とを備えている。さらに隔壁部５０４とカラーフィルタ５０５とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する工程（ステップＳ５）と、ＯＣ層５０６を覆うようにＩＴＯからなる透明な対向電極５０７を形成する工程（ステップＳ６）とを備えている。 As shown in FIG. 14, the method for manufacturing the color filter 505 of the present embodiment includes a step of forming a bank on the surface of the counter substrate 501 (step S1) and a step of surface-treating the colored region partitioned by the bank (step S1). S2). In addition, a step (step S3) of discharging three kinds (three colors) of liquid materials including the coloring layer forming material in the surface-treated colored region, and the discharged liquid materials are dried to form a color filter 505. And a process (step S4). Further, a step of forming the OC layer 506 so as to cover the partition wall 504 and the color filter 505 (step S5), and a step of forming a transparent counter electrode 507 made of ITO so as to cover the OC layer 506 (step S6). It has.

図１４のステップＳ１は、バンク形成工程である。ステップＳ１では、図１５（ａ）に示すように、まずブラックマトリクスとしての下層バンク５０２を対向基板５０１上に形成する。下層バンク５０２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を用いることができる。下層バンク５０２の形成方法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜を対向基板５０１上に成膜する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい。例えば、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法により開口部５０２ａ（図１３参照）に対応する部分以外をレジストで膜を覆い、上記材料に対応する酸等のエッチング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部５０２ａを有する下層バンク５０２が形成される。 Step S1 in FIG. 14 is a bank forming process. In step S1, a lower layer bank 502 as a black matrix is first formed on the counter substrate 501 as shown in FIG. As the material of the lower layer bank 502, for example, an opaque metal such as Cr, Ni, Al, or a compound such as an oxide of these metals can be used. As a method for forming the lower layer bank 502, a film made of the above material is formed on the counter substrate 501 by vapor deposition or sputtering. The film thickness may be set in accordance with the material selected to maintain the light shielding property. For example, if Cr, 100 to 200 nm is preferable. Then, the film is covered with a resist except for a portion corresponding to the opening 502a (see FIG. 13) by photolithography, and the film is etched using an etching solution such as an acid corresponding to the above material. As a result, a lower layer bank 502 having an opening 502a is formed.

次に上層バンク５０３を下層バンク５０２の上に形成する。上層バンク５０３の材料としては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、遮光性を有することが好ましい。上層バンク５０３の形成方法としては、例えば、下層バンク５０２が形成された対向基板５０１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、着色領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを対向基板５０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク５０３を形成する方法が挙げられる。これにより対向基板５０１上に複数の着色領域Ａをマトリクス状に区画するバンクとしての隔壁部５０４が形成される。そしてステップＳ２へ進む。 Next, the upper layer bank 503 is formed on the lower layer bank 502. As the material of the upper layer bank 503, an acrylic photosensitive resin material can be used. The photosensitive resin material preferably has a light shielding property. As a method for forming the upper layer bank 503, for example, a photosensitive resin material is applied to the surface of the counter substrate 501 on which the lower layer bank 502 is formed by a roll coat method or a spin coat method, and dried to have a thickness of about 2 μm. A resin layer is formed. Then, there is a method of forming the upper layer bank 503 by exposing and developing a mask provided with an opening having a size corresponding to the colored region A, facing the counter substrate 501 at a predetermined position. As a result, a partition wall portion 504 is formed on the counter substrate 501 as a bank that partitions the plurality of colored regions A in a matrix. Then, the process proceeds to step S2.

図１４のステップＳ２は、表面処理工程である。ステップＳ２では、Ｏ₂を処理ガスとするプラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、着色領域Ａが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク５０３の表面（壁面を含む）が撥液処理される。そしてステップＳ３へ進む。 Step S2 in FIG. 14 is a surface treatment process. In step S2, plasma processing using O ₂ as a processing gas and plasma processing using a fluorine-based gas as a processing gas are performed. That is, the colored region A is subjected to lyophilic treatment, and then the surface (including the wall surface) of the upper layer bank 503 made of a photosensitive resin is subjected to lyophobic treatment. Then, the process proceeds to step S3.

図１４のステップＳ３は、液状体吐出工程である。ステップＳ３では、図１５（ｂ）に示すように、表面処理された各着色領域Ａのそれぞれに、対応する液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを液滴Ｄとして吐出する。液状体８０ＲはＲ（赤色）の着色層形成材料を含むものであり、液状体８０ＧはＧ（緑色）の着色層形成材料を含むものであり、液状体８０ＢはＢ（青色）の着色層形成材料を含むものである。各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂは、上記液状体の吐出方法を用い、隣り合うように並べて配置される少なくとも２つの液滴吐出ヘッド５０において、それぞれの液滴吐出ヘッド５０に配列される複数のノズル５２のうち、それぞれ他方の液滴吐出ヘッド５０側の端部に位置する複数のノズル５２に対して、ノズル５２毎に異なった駆動信号を供給して、ノズル５２から吐出される液状体の吐出量を調整して、同一色の着色領域Ａに対して対応する液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを吐出する。このような主走査を必要量の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂが対応する着色領域に付与されるまで繰り返す。これにより、着色領域Ａ毎に、ノズル列５２ａの両端部に位置するノズル５２の吐出特性に起因する液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂの吐出のばらつきが低減される。吐出された液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂは、着色領域Ａに濡れ拡がり、表面張力によって盛り上がる。そしてステップＳ４へ進む。 Step S3 in FIG. 14 is a liquid discharge process. In step S3, as shown in FIG. 15B, the corresponding liquid materials 80R, 80G, and 80B are discharged as droplets D in each of the colored regions A subjected to the surface treatment. The liquid 80R includes an R (red) colored layer forming material, the liquid 80G includes a G (green) colored layer forming material, and the liquid 80B includes a B (blue) colored layer forming material. Contains materials. Each of the liquid bodies 80R, 80G, and 80B uses the above-described liquid body discharge method, and a plurality of liquid bodies 80R, 80G, and 80B are arranged in each of the droplet discharge heads 50 in at least two droplet discharge heads 50 that are arranged side by side. A different drive signal is supplied to each of the plurality of nozzles 52 located at the end of the other droplet discharge head 50 side among the nozzles 52, and the liquid material discharged from the nozzles 52 is supplied. By adjusting the discharge amount, the corresponding liquid materials 80R, 80G, and 80B are discharged to the colored region A of the same color. Such main scanning is repeated until a necessary amount of the liquid materials 80R, 80G, and 80B is applied to the corresponding colored region. Thereby, the dispersion | variation in the discharge of liquid 80R, 80G, 80B resulting from the discharge characteristic of the nozzle 52 located in the both ends of the nozzle row 52a for every coloring area | region A is reduced. The discharged liquid materials 80R, 80G, and 80B spread out in the colored area A and rise due to surface tension. Then, the process proceeds to step S4.

図１４のステップＳ４は、液状体乾燥・成膜工程である。ステップＳ４では、図１５（ｃ）に示すように、吐出された液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを一括乾燥し、溶剤成分を除去して着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを成膜する。乾燥方法としては、溶剤成分を均質に乾燥可能な減圧乾燥などの方法が望ましい。そしてステップＳ５へ進む。 Step S4 in FIG. 14 is a liquid drying / film-forming process. In step S4, as shown in FIG. 15C, the discharged liquids 80R, 80G, and 80B are collectively dried, and the solvent components are removed to form colored layers 505R, 505G, and 505B. As the drying method, a method such as reduced-pressure drying capable of uniformly drying the solvent component is desirable. Then, the process proceeds to step S5.

図１４のステップＳ５は、ＯＣ層形成工程である。ステップＳ５では、図１５（ｄ）に示すように、着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂと上層バンク５０３とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する。ＯＣ層５０６の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用いることができる。形成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷などの方法が挙げられる。ＯＣ層５０６は、カラーフィルタ５０５が形成された対向基板５０１の表面の凹凸を緩和して、後にこの表面に膜付けされる対向電極５０７を平担化するために設けられている。また、対向電極５０７との密着性を確保するために、ＯＣ層５０６の上にさらにＳｉＯ₂などの薄膜を形成してもよい。そしてステップＳ６へ進む。 Step S5 in FIG. 14 is an OC layer forming process. In step S5, as shown in FIG. 15D, the OC layer 506 is formed so as to cover the colored layers 505R, 505G, and 505B and the upper layer bank 503. As a material of the OC layer 506, a transparent acrylic resin material can be used. Examples of the forming method include spin coating and offset printing. The OC layer 506 is provided to relieve unevenness on the surface of the counter substrate 501 on which the color filter 505 is formed, and to flatten the counter electrode 507 to be filmed on the surface later. In addition, a thin film such as SiO ₂ may be further formed on the OC layer 506 in order to ensure adhesion with the counter electrode 507. Then, the process proceeds to step S6.

図１４のステップＳ６は、対向電極形成工程である。ステップＳ６では、図１５（ｅ）に示すように、スパッタ法や蒸着法を用いてＩＴＯなどの透明電極材料を真空中で成膜して、ＯＣ層５０６を覆うように全面に対向電極５０７を形成する。 Step S6 in FIG. 14 is a counter electrode forming step. In step S6, as shown in FIG. 15E, a transparent electrode material such as ITO is formed in a vacuum using a sputtering method or a vapor deposition method, and a counter electrode 507 is formed on the entire surface so as to cover the OC layer 506. Form.

このようにして出来上がった対向基板５０１のカラーフィルタ５０５は、吐出領域としての着色領域Ａに液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを液滴Ｄとして、その吐出量のばらつきが低減されるように吐出されている。各ノズル列５２ａの両端部に位置するノズル５２の吐出特性に起因する副走査方向（Ｘ方向）へのスジ状の色ムラが低減されている。この対向基板５０１と素子基板５０８とを接着剤を用いて所定の位置で接着し、対向基板５０１と素子基板５０８との隙間に液晶を充填すれば、スジムラが目立ちにくい、見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置５００を製造することができる。 The color filter 505 of the counter substrate 501 thus completed is ejected with the liquids 80R, 80G, and 80B as droplets D in the colored region A as the ejection region so that the variation in the ejection amount is reduced. Yes. Striped color unevenness in the sub-scanning direction (X direction) due to the ejection characteristics of the nozzles 52 positioned at both ends of each nozzle row 52a is reduced. If the counter substrate 501 and the element substrate 508 are bonded to each other at a predetermined position using an adhesive, and liquid crystal is filled in the gap between the counter substrate 501 and the element substrate 508, uneven display is less noticeable and the display quality is good. The liquid crystal display device 500 having the above can be manufactured.

以下、実施形態の効果を記載する。
（１）上記実施形態の液状体の吐出方法は、液滴Ｄの吐出毎に、ＤＡＣ７１Ａ〜ＤＡＣ７１Ｄにより生成された４つの駆動信号（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）のうち１つを選択して、液滴吐出ヘッド５０のノズル５２毎の振動子５９に印加することができる。従って、ノズル５２から吐出される液状体の吐出量Ｉｗを変化させることができる。また、駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４に係る駆動電圧Ｖｈの設定は、０．１Ｖ刻みで精細に設定することができるので、ノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗの制御を高精度に調整することができる。すなわち、ノズル５２毎に吐出される液状体の吐出量Ｉｗをコントロールすることができ、隣り合う液滴吐出ヘッド５０のそれぞれの両端部分に発生する吐出量Ｉｗのばらつきを低減させることができる。従って、液滴吐出ヘッド５０間に発生する吐出量のばらつきに起因するスジムラを低減することができる。 Hereinafter, effects of the embodiment will be described.
(1) The liquid material ejection method of the above embodiment selects one of the four drive signals (COM1 to COM4) generated by the DACs 71A to DAC71D for each ejection of the droplet D, and ejects the droplet. It can be applied to the vibrator 59 for each nozzle 52 of the head 50. Therefore, the discharge amount Iw of the liquid discharged from the nozzle 52 can be changed. Further, since the drive voltage Vh related to the drive signals COM1 to COM4 can be set finely in increments of 0.1V, the control of the discharge amount Iw discharged from the nozzle 52 can be adjusted with high accuracy. . That is, the discharge amount Iw of the liquid material discharged for each nozzle 52 can be controlled, and variations in the discharge amount Iw generated at both end portions of the adjacent droplet discharge heads 50 can be reduced. Accordingly, it is possible to reduce the unevenness due to the variation in the discharge amount generated between the droplet discharge heads 50.

（２）上記実施形態の液状体の吐出方法は、隣り合う液滴吐出ヘッド５０において、それぞれの液滴吐出ヘッド５０に配列される複数のノズル５２のうち、吐出量のばらつきの大きい傾向にある端部に位置する複数のノズル５２に対して、ノズル５２毎に異なった駆動信号を供給して、ノズル５２から吐出される液状体の吐出量Ｉｗを調整することができる。そのため、ノズル５２毎に発生する吐出量Ｉｗの違いを効果的に低減することができ、ノズル５２から吐出される液状体の吐出量Ｉｗの違いに起因するスジムラの発生を低減させることができる。 (2) The liquid material ejection method of the above embodiment tends to have large variations in the ejection amount among the plurality of nozzles 52 arranged in each droplet ejection head 50 in the adjacent droplet ejection heads 50. A different drive signal can be supplied to each of the plurality of nozzles 52 located at the ends to adjust the discharge amount Iw of the liquid material discharged from the nozzles 52. Therefore, the difference in the discharge amount Iw generated for each nozzle 52 can be effectively reduced, and the occurrence of unevenness due to the difference in the discharge amount Iw of the liquid material discharged from the nozzle 52 can be reduced.

（３）上記実施形態の液状体の吐出方法は、吐出量のばらつきの大きいノズル５２に対して、ノズル５２毎に異なった駆動信号を供給して、ノズル５２から吐出される液状体の吐出量Ｉｗを調整することができる。そのため、ノズル５２の吐出特性を安定させることができ、吐出特性のばらつきにより使用されないノズル５２を低減することができる。従って、ノズル５２の有効活用がはかられ、薄膜形成作業の効率を向上させることができる。 (3) In the liquid material ejection method according to the above embodiment, the liquid material ejected from the nozzles 52 is supplied to the nozzles 52 having large variations in the ejection amounts by supplying different drive signals to the nozzles 52. Iw can be adjusted. Therefore, the discharge characteristics of the nozzles 52 can be stabilized, and the number of nozzles 52 that are not used due to variations in the discharge characteristics can be reduced. Accordingly, the nozzle 52 can be effectively used, and the efficiency of the thin film forming operation can be improved.

（４）上記実施形態の液状体の吐出方法は、吐出量計測工程を有しているため、隣り合う液滴吐出ヘッド５０のノズル５２から吐出される液状体の吐出量Ｉｗをノズル５２毎に計測することができる。そして、計測された吐出量データに基づいて、適切な駆動信号を選択しそのノズル５２の駆動素子に供給することができる。従って、ノズル５２から吐出される液状体の吐出量Ｉｗの経時的な変化にも対応することができ、安定した吐出量Ｉｗの調整が可能になる。 (4) Since the liquid discharge method of the above embodiment includes the discharge amount measurement step, the discharge amount Iw of the liquid discharged from the nozzles 52 of the adjacent droplet discharge heads 50 is set for each nozzle 52. It can be measured. An appropriate drive signal can be selected and supplied to the drive element of the nozzle 52 based on the measured discharge amount data. Accordingly, it is possible to cope with a change with time of the discharge amount Iw of the liquid discharged from the nozzle 52, and it becomes possible to adjust the discharge amount Iw stably.

（５）上記実施形態のカラーフィルタ５０５の製造方法において、液状体の吐出工程では、対向基板５０１の着色領域Ａに、上記液状体の吐出方法を用いて３種の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを吐出する。したがって、隣り合う液滴吐出ヘッド５０の端部に位置するノズル５２の吐出ばらつきに起因するスジムラを低減し、且つ高い生産性を実現してカラーフィルタ５０５を歩留まりよく製造することができる。 (5) In the manufacturing method of the color filter 505 of the above-described embodiment, in the liquid material discharge step, three types of liquid materials 80R, 80G, and 80B are applied to the colored region A of the counter substrate 501 using the liquid material discharge method. Is discharged. Accordingly, the color filter 505 can be manufactured with a high yield by reducing the unevenness due to the discharge variation of the nozzles 52 located at the ends of the adjacent droplet discharge heads 50 and realizing high productivity.

（６）上記実施形態の液晶表示装置５００の製造方法は、上記カラーフィルタ５０５の製造方法を用いて製造された対向基板５０１を備えているため、スジムラが目立ちにくい、見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置５００を製造することができる。 (6) Since the manufacturing method of the liquid crystal display device 500 according to the above embodiment includes the counter substrate 501 manufactured using the manufacturing method of the color filter 505, the display quality is good and the display is less noticeable. The liquid crystal display device 500 can be manufactured.

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, various deformation | transformation can be added with respect to the said embodiment in the range which does not deviate from the meaning of this invention. For example, modifications other than the above embodiment are as follows.

（変形例１）上記実施形態の液状体の吐出方法において、液状体の吐出量Ｉｗを制御する異なる駆動信号の種類が４つの場合を例にとり説明したがこれに限定されない。ヘッドドライバ４８の電気回路構成を工夫すれば、さらにその種類を増やすことが可能である。 (Modification 1) In the liquid material ejection method of the above embodiment, the case where there are four different types of drive signals for controlling the liquid material ejection amount Iw has been described as an example, but the present invention is not limited to this. If the electric circuit configuration of the head driver 48 is devised, the number of types can be further increased.

（変形例２）上記実施形態の液状体の吐出方法において、液状体の吐出量Ｉｗの計測を吐出重量を測定して行う場合を例にとり説明したがこれに限定されない。例えば、ノズル５２から吐出された飛行中の液滴Ｄを撮像してその体積を求め吐出量を計測してもよいし、撥水性を有する基板上に着弾した後の液滴Ｄの形状を撮像してその体積を求め吐出量を計測してもよい。 (Modification 2) In the liquid material discharge method of the above-described embodiment, the case where the liquid material discharge amount Iw is measured by measuring the discharge weight is described as an example, but the present invention is not limited to this. For example, the in-flight droplet D ejected from the nozzle 52 may be imaged and its volume may be obtained to measure the ejection amount, or the shape of the droplet D after landing on a water-repellent substrate may be imaged. Then, the volume may be obtained and the discharge amount may be measured.

（変形例３）上記実施形態の液状体の吐出方法において、隣り合う液滴吐出ヘッド５０のそれぞれの隣り合う端部に位置するノズル５２に対して、液状体の吐出量Ｉｗを制御する複数の駆動信号のうちの１つを選択し供給する場合を例にとり説明したがこれに限定されない。例えば、上述の改行動作において、液滴吐出ヘッド５０の端部同士が隣り合わず、一方の液滴吐出ヘッド５０の端部と他方の液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ａの列内に位置するノズル５２とが隣り合う場合は、一方の液滴吐出ヘッド５０の端部に位置する所定領域内の複数のノズル５２と隣り合う他方の液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ａの列内の所定領域に位置する複数のノズル５２とに対して、液状体の吐出量Ｉｗを制御する複数の駆動信号のうちの１つを選択しノズル毎に供給してもよい。 (Modification 3) In the liquid material discharge method of the above embodiment, a plurality of liquid material discharge amounts Iw are controlled for the nozzles 52 located at the adjacent ends of the adjacent droplet discharge heads 50. The case where one of the drive signals is selected and supplied has been described as an example, but the present invention is not limited to this. For example, in the above-described line feed operation, the ends of the droplet discharge heads 50 are not adjacent to each other, and are positioned within the end of one droplet discharge head 50 and the nozzle row 52a of the other droplet discharge head 50. When the nozzles 52 are adjacent to each other, the predetermined region in the row of the nozzle row 52a of the other droplet discharge head 50 adjacent to the plurality of nozzles 52 in the predetermined region located at the end of the one droplet discharge head 50. One of a plurality of drive signals for controlling the discharge amount Iw of the liquid material may be selected and supplied to each nozzle.

（変形例４）上記実施形態の液状体の吐出方法において、隣り合う液滴吐出ヘッド５０のそれぞれの隣り合う端部に位置するノズル５２に対して、それぞれの液滴吐出ヘッド５０から吐出されるねらいの吐出量Ｉｗｔとなるように、液状体の吐出量Ｉｗを制御する複数の駆動信号のうちの１つを選択し供給する場合を例にとり説明したが、これに限定されない。隣り合う液滴吐出ヘッド５０のそれぞれの隣り合う端部に位置するノズル５２に対して、これらのノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗが、２つの液滴吐出ヘッド５０から吐出される液状体の吐出平均値でもよいし、どちらか一方の液滴吐出ヘッド５０の平均吐出量でもよい。 (Modification 4) In the liquid discharge method according to the above-described embodiment, the droplets are ejected from the respective droplet ejection heads 50 to the nozzles 52 located at the adjacent ends of the adjacent droplet ejection heads 50. The case where one of a plurality of drive signals for controlling the discharge amount Iw of the liquid material is selected and supplied so as to achieve the target discharge amount Iwt has been described as an example. However, the present invention is not limited to this. With respect to the nozzles 52 located at the adjacent ends of the adjacent droplet discharge heads 50, the discharge amount Iw discharged from these nozzles 52 is equal to the liquid material discharged from the two droplet discharge heads 50. The average discharge value or the average discharge amount of one of the droplet discharge heads 50 may be used.

液滴吐出装置の構造を示す図。The figure which shows the structure of a droplet discharge apparatus. 重量計測機構の構造を示す概略断面図。The schematic sectional drawing which shows the structure of a weight measurement mechanism. （ａ）は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図。(A) is a schematic exploded perspective view showing the structure of a droplet discharge head, (b) is a cross-sectional view showing the structure of a nozzle part. キャリッジにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。FIG. 3 is a schematic plan view showing an arrangement of droplet discharge heads in a carriage. 液滴吐出ヘッドの吐出特性を示すグラフ。The graph which shows the discharge characteristic of a droplet discharge head. 液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。The block diagram which shows the control system of a droplet discharge apparatus. 液滴吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図。The block diagram which shows the electrical control of a droplet discharge head. 駆動信号および制御信号のタイミング図。The timing diagram of a drive signal and a control signal. 比較例の液状体の吐出状態を示す概略図。Schematic which shows the discharge state of the liquid of a comparative example. 実施例１を示す図。FIG. 3 is a diagram illustrating Example 1; 実施例２を示す図。FIG. 実施例２を示す図。FIG. 液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図。1 is a schematic exploded perspective view showing a structure of a liquid crystal display device. カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。The flowchart which shows the manufacturing method of a color filter. （ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。(A)-(e) is a schematic sectional drawing which shows the manufacturing method of a color filter.

符号の説明Explanation of symbols

１５…キャリッジ、２０…キャリッジ移動機構、３０…第１のテーブル移動機構、４０…第２のテーブル移動機構、５０…液滴吐出ヘッド、５２…ノズル、５９…駆動素子としての振動子、６０…吐出量計測手段としての重量計測機構、１００…液滴吐出装置、５０５…カラーフィルタ、Ｄ…液滴、Ｉｗ…吐出量、Ｉｗｔ…ねらいの吐出量、Ｒ１…第１の液滴吐出ヘッドとしてのヘッド、Ｒ２…第２の液滴吐出ヘッドとしてのヘッド、Ｗ…被吐出物としてのワーク。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 15 ... Carriage, 20 ... Carriage moving mechanism, 30 ... 1st table moving mechanism, 40 ... 2nd table moving mechanism, 50 ... Droplet discharge head, 52 ... Nozzle, 59 ... Vibrator as a drive element, 60 ... Weight measuring mechanism as discharge amount measuring means, 100 ... droplet discharge device, 505 ... color filter, D ... droplet, Iw ... discharge amount, Iwt ... target discharge amount, R1 ... first droplet discharge head Head, R2: Head as a second droplet discharge head, W: Work as discharge target.

Claims

液状体を液滴として吐出する複数のノズルが列状に設けられた液滴吐出ヘッドを、前記ノズルの配列方向に複数並べて配置して、前記液状体を吐出するための駆動信号を前記ノズルの駆動素子に供給し、被吐出物に対して前記液状体を吐出する液状体の吐出方法であって、
前記駆動信号は、前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を制御すべく複数用意されており、
前記ノズルの配列方向に並べられた前記複数の液滴吐出ヘッドは、隣り合う第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとを有し、
前記第１の液滴吐出ヘッドと前記第２の液滴吐出ヘッドとのそれぞれは、前記ノズルの配列方向に沿って両端部に第１のノズル群と第２のノズル群とを有し、
前記第１の液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群と前記第２の液滴吐出ヘッドの前記第１のノズル群とは、前記ノズルの配列方向に隣接しており、
前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する、少なくとも１つの第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する、少なくとも１つの第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする液状体の吐出方法。 A plurality of droplet discharge heads each having a plurality of nozzles for discharging a liquid material as droplets are arranged in a line in the nozzle arrangement direction, and a drive signal for discharging the liquid material is sent to the nozzle. A liquid material discharge method for supplying to a drive element and discharging the liquid material to a discharge object,
A plurality of the drive signals are prepared to control the discharge amount of the liquid material discharged from the nozzle,
The plurality of droplet discharge heads arranged in the arrangement direction of the nozzles have a first droplet discharge head and a second droplet discharge head adjacent to each other,
Each of the first droplet discharge head and the second droplet discharge head has a first nozzle group and a second nozzle group at both ends along the arrangement direction of the nozzles,
The second nozzle group of the first droplet discharge head and the first nozzle group of the second droplet discharge head are adjacent to each other in the nozzle arrangement direction,
The discharge amount of the liquid material discharged from at least one first nozzle located on the second nozzle group side of the first nozzle group, and the first nozzle group of the second nozzle group The drive element of the first nozzle and the drive element of the second nozzle so that the discharge amount of the liquid material discharged from at least one second nozzle located on the side is substantially equal On the other hand, a liquid discharge method, wherein one of the plurality of drive signals is selected and supplied.

前記複数の液滴吐出ヘッドはキャリッジに搭載されており、
前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に相対移動させて、前記キャリッジに搭載された前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第１の吐出ステップと、
前記キャリッジもしくは前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向に所定距離移動させ、前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に移動させて、前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第２の吐出ステップと、を含む改行工程を有していることを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。 The plurality of droplet discharge heads are mounted on a carriage;
A first discharge that discharges the liquid material onto the discharge object from the plurality of nozzles mounted on the carriage by relatively moving the discharge object in a direction substantially orthogonal to the arrangement direction of the nozzles. Steps,
The carriage or the object to be ejected is moved a predetermined distance in the nozzle arrangement direction, and the object to be ejected is moved in a direction substantially perpendicular to the nozzle arrangement direction to eject the object from the plurality of nozzles. The liquid discharge method according to claim 1, further comprising: a line feed process including a second discharge step of discharging the liquid onto an object.

前記第１の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上に、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第１の塗布領域が形成され、
前記第２の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上に、前記第１の塗布領域と隣り合うように、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第２の塗布領域が形成され、
前記第１の塗布領域と前記第２の塗布領域との境界部分には、前記第１の塗布領域に属する第１の境界領域と前記第２の塗布領域に属する第２の境界領域とが形成されており、
前記第１の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群から前記液状体が吐出され、
前記第２の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第１のノズル群から前記液状体が吐出されており、
前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する少なくとも１つの前記第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する少なくとも１つの前記第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする請求項２に記載の液状体の吐出方法。 In the first discharge step, a first application region made of the liquid material discharged from the plurality of nozzles is formed on the discharge target,
In the second ejection step, a second application region made of the liquid material ejected from the plurality of nozzles is formed on the object to be ejected so as to be adjacent to the first application region,
A first boundary region belonging to the first application region and a second boundary region belonging to the second application region are formed at a boundary portion between the first application region and the second application region. Has been
The first boundary region is formed from the second nozzle group of the droplet discharge head of one of the first droplet discharge head and the second droplet discharge head mounted on the carriage. Liquid is discharged,
The second boundary region is formed from the first nozzle group of the droplet discharge head of one of the first droplet discharge head and the second droplet discharge head mounted on the carriage. Liquid is being discharged,
A discharge amount of the liquid material discharged from at least one second nozzle located on the first nozzle group side of the second nozzle group, and the second nozzle group of the first nozzle group; The drive element of the first nozzle and the drive element of the second nozzle so that the discharge amount of the liquid material discharged from at least one of the first nozzles located on the side is substantially equal The liquid material ejection method according to claim 2, wherein one of the plurality of driving signals is selected and supplied.

前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を計測する吐出量計測工程を有し、
前記吐出量計測工程で得られた前記ノズルの吐出量データに基づいて、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、前記ノズルに供給することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。 A discharge amount measuring step of measuring a discharge amount of the liquid material discharged from the nozzle;
The one of the plurality of drive signals is selected based on the discharge amount data of the nozzle obtained in the discharge amount measuring step and is supplied to the nozzle. The liquid discharge method according to any one of the above.

前記液滴吐出ヘッドに設けられた前記複数のノズルは吐出するねらいの吐出量が設定されており、少なくとも１つの前記第１のノズルおよび少なくとも１つの前記第２のノズルが前記ねらいの吐出量の前記液状体を吐出するように、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、前記ノズルに供給することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。 The plurality of nozzles provided in the droplet discharge head are set with a target discharge amount, and at least one of the first nozzle and at least one second nozzle has the target discharge amount. 5. The liquid material according to claim 1, wherein one of the plurality of driving signals is selected and supplied to the nozzle so as to eject the liquid material. 6. Discharge method.

前記第１のノズル群の前記第１のノズルと前記第２のノズル群の前記第２のノズルとが、前記ねらいの吐出量の前記液状体を吐出するように、
前記第１のノズル群内に位置し前記第１のノズルと反対方向に位置する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量を、前記第１のノズル群外に位置し前記第１のノズル群と近接する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量と略同等の吐出量の前記液状体を吐出するように、
前記第２のノズル群内に位置し前記第２のノズルと反対方向に位置する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量を、前記第２のノズル群外に位置し前記第２のノズル群と近接する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量と略同等の吐出量の前記液状体を吐出するように、
前記第１のノズル群および前記第２のノズル群のその他の前記ノズルの吐出量を、前記ねらいの吐出量と、前記第１のノズル群および前記第２のノズル群外に位置し前記第１のノズルおよび前記第２のノズルと近接する複数の前記ノズルの吐出量と略同等の吐出量との間の吐出量の前記液状体を吐出するように、
前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、それぞれの前記ノズルに供給することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。 The first nozzle of the first nozzle group and the second nozzle of the second nozzle group discharge the liquid material of the target discharge amount,
A discharge amount of at least one nozzle located in the first nozzle group and located in a direction opposite to the first nozzle is positioned outside the first nozzle group and close to the first nozzle group. In order to discharge the liquid material with a discharge amount substantially equal to the discharge amount of at least one of the nozzles,
The discharge amount of at least one of the nozzles located in the second nozzle group and located in the opposite direction to the second nozzle is positioned outside the second nozzle group and close to the second nozzle group. In order to discharge the liquid material with a discharge amount substantially equal to the discharge amount of at least one of the nozzles,
The discharge amount of the other nozzles of the first nozzle group and the second nozzle group is set to be the target discharge amount and the first nozzle group located outside the first nozzle group and the second nozzle group. So as to discharge the liquid material with a discharge amount between the discharge amount of the plurality of nozzles adjacent to the nozzle and the second nozzle and substantially the same discharge amount,
6. The liquid discharge method according to claim 1, wherein one of the plurality of driving signals is selected and supplied to each of the nozzles.

前記第１のノズル群および前記第２のノズル群に位置する前記ノズルは、吐出される前記液状体の吐出量が前記液滴吐出ヘッドの前記ノズルの平均吐出量と比較して±１％以上の吐出量の差を有していることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。 The nozzles located in the first nozzle group and the second nozzle group have an ejection amount of the liquid material to be ejected of ± 1% or more as compared with an average ejection amount of the nozzles of the droplet ejection head The liquid discharge method according to claim 1, wherein the liquid discharge amount is different.

液状体を液滴として吐出する複数のノズルが列状に設けられた液滴吐出ヘッドを、前記ノズルの配列方向に複数並べて配置して、前記液状体を吐出するための駆動信号を前記ノズルの駆動素子に供給し、被吐出物に対して前記液状体を吐出する液滴吐出装置であって、
前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を計測する吐出量計測手段と、
前記ノズル毎に設けられた前記駆動素子を駆動するとともに前記液状体の吐出量を制御する前記駆動信号を複数種生成する駆動信号生成手段と、を備え、
前記ノズルの配列方向に並べられた前記複数の液滴吐出ヘッドは、隣り合う第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとを有し、
前記第１の液滴吐出ヘッドと前記第２の液滴吐出ヘッドとのそれぞれは、前記ノズルの配列方向に沿って両端部に第１のノズル群と第２のノズル群とを有し、
前記第１の液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群と前記第２の液滴吐出ヘッドの前記第１のノズル群とは、前記ノズルの配列方向に隣接しており、
前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする液滴吐出装置。 A plurality of droplet discharge heads each having a plurality of nozzles for discharging a liquid material as droplets are arranged in a line in the nozzle arrangement direction, and a drive signal for discharging the liquid material is sent to the nozzle. A droplet discharge device that supplies a drive element and discharges the liquid material to an object to be discharged,
A discharge amount measuring means for measuring a discharge amount of the liquid material discharged from the nozzle;
Drive signal generation means for driving the drive element provided for each nozzle and generating a plurality of types of the drive signals for controlling the discharge amount of the liquid material,
The plurality of droplet discharge heads arranged in the arrangement direction of the nozzles have a first droplet discharge head and a second droplet discharge head adjacent to each other,
Each of the first droplet discharge head and the second droplet discharge head has a first nozzle group and a second nozzle group at both ends along the arrangement direction of the nozzles,
The second nozzle group of the first droplet discharge head and the first nozzle group of the second droplet discharge head are adjacent to each other in the nozzle arrangement direction,
The liquid material ejected from the second nozzle located on the first nozzle group side of the second nozzle group and the second nozzle group side of the first nozzle group The plurality of drives for the drive element of the first nozzle and the drive element of the second nozzle so that the discharge amount of the liquid material discharged from the first nozzle is substantially equal. A droplet discharge apparatus, wherein one of signals is selected and supplied.

前記複数の液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジを有し、
前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に相対移動させて、前記キャリッジに搭載された前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第１の吐出ステップと、
前記キャリッジもしくは前記被吐出物を前記ノズルの配列方向に所定距離移動させ、前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に移動させて、前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第２の吐出ステップと、を有していることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出装置。 A carriage on which the plurality of droplet discharge heads are mounted;
A first discharge that discharges the liquid material onto the discharge object from the plurality of nozzles mounted on the carriage by relatively moving the discharge object in a direction substantially orthogonal to the arrangement direction of the nozzles. Steps,
The carriage or the discharged object is moved by a predetermined distance in the nozzle arrangement direction, and the discharged object is moved in a direction substantially perpendicular to the nozzle arrangement direction, so that the discharged object is discharged from the plurality of nozzles. The liquid droplet ejection apparatus according to claim 8, further comprising a second ejection step for ejecting the liquid material.

前記第１の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上には、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第１の塗布領域が形成され、
前記第２の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上には、前記第１の塗布領域と隣り合うように、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第２の塗布領域が形成され、
前記第１の塗布領域と前記第２の塗布領域との境界部分には、前記第１の塗布領域に属する第１の境界領域と前記第２の塗布領域に属する第２の境界領域とが形成されており、
前記第１の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群から前記液状体が吐出され、
前記第２の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群から前記液状体が吐出されており、
前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する前記第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する前記第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出装置。 In the first discharge step, a first application region made of the liquid material discharged from the plurality of nozzles is formed on the discharge target,
In the second discharge step, a second application region made of the liquid material discharged from the plurality of nozzles is formed on the object to be discharged so as to be adjacent to the first application region,
A first boundary region belonging to the first application region and a second boundary region belonging to the second application region are formed at a boundary portion between the first application region and the second application region. Has been
The first boundary region is formed from the second nozzle group of the droplet discharge head of one of the first droplet discharge head and the second droplet discharge head mounted on the carriage. Liquid is discharged,
The second boundary region is formed from the second nozzle group of the droplet discharge head of one of the first droplet discharge head and the second droplet discharge head mounted on the carriage. Liquid is being discharged,
A discharge amount of the liquid material discharged from the second nozzle located on the first nozzle group side of the second nozzle group, and a position on the second nozzle group side of the first nozzle group; The plurality of liquid elements ejected from the first nozzle are substantially equal to the drive element of the first nozzle and the drive element of the second nozzle so that the discharge amount of the liquid material is substantially equal. The droplet discharge device according to claim 9, wherein one of the drive signals is selected and supplied.

前記吐出量計測手段で得られた前記ノズルの吐出量データに基づいて、前記駆動信号生成手段で生成された前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、前記ノズルに供給することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。 Based on the discharge amount data of the nozzle obtained by the discharge amount measuring means, one of the plurality of drive signals generated by the drive signal generating means is selected and supplied to the nozzle. The liquid droplet ejection apparatus according to claim 8, wherein the liquid droplet ejection apparatus is characterized in that:

基板上に区画形成された複数の着色領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、着色材料を含む少なくとも３色の液状体を前記複数の着色領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 A method for producing a color filter having a colored layer of at least three colors in a plurality of colored regions partitioned on a substrate,
A discharge step of discharging at least three color liquids containing a coloring material to the plurality of colored regions using the liquid discharge method according to any one of claims 1 to 7.
And a solidifying step of solidifying the discharged liquid material to form the colored layer of at least three colors.