JP2009134518A - 試験プログラムの検証方法及びその検証システム - Google Patents

Abstract

【課題】同じ磁気記憶装置などの製造物に対して１回程度しか試験できない状況において有効な試験プログラム変更時の検証方法及びその検証システムを提供することにある。
【解決手段】本発明は、複数の測定項目毎の、試験プログラムの更新前後での変動と製造された時系列での変動とを比較検証することにより、試験プログラムの更新による変化のみを効率的に抽出することを特徴とする。
【選択図】図５

Description

本発明は、磁気記憶装置などの製造物の試験、すなわち製造物の良否を判定するために用いられる試験プログラムの良否を検証する試験プログラムの検証方法及びその検証システム並びにその検証方法を実行するコンピュータプログラムに関する。

従来のソフトウェアプログラム同等性検証方法としては、特開２００１−３５０６５０号公報（特許文献１）が知られている。該特許文献１には、コンピュータシステム上で、変更前のソフトウェアプログラムと変更後のソフトウェアプログラムとを、同一の試験条件のもとで実行させた試験結果から、同等性の検証に必要な所定の情報を抽出する試験結果抽出段階と、試験結果抽出段階で得られる変更前のソフトウェアプログラムの試験結果から抽出した抽出情報を基準として、所定の試験項目毎に、変更後のソフトウェアプログラムの試験結果から抽出した抽出情報と照合する照合段階を含むソフトウェアプログラム同等性検証方法が記載されている。

特開２００１−３５０６５０号公報

特許文献１に記載されているように、変更前のプログラムの実行結果と、変更後のプログラムの実行結果を測定項目別に分布を比較し、有意差がある項目を見つけ出すことは有効な方法である。しかし、同じ製造物に対して、双方のプログラムを実行できればよいが、昨今の先端デバイス製品では、一つの製造物の試験時間が数十時間から数百時間を必要とし、同じ製造物に対して、変更前のプログラムと変更後のプログラムの双方を実行することは時間的制約から困難な場合が多い。

本発明の目的は、上記課題を解決すべく、同じ磁気記憶装置などの製造物に対して１回程度しか試験できない状況において有効な試験プログラム変更時の検証方法及びその検証システムを提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は、複数の測定項目毎の、試験プログラムの更新前後での変動と製造された時系列での変動とを比較検証することにより、試験プログラムの更新による変化のみを効率的に抽出することを特徴とする試験プログラムの変更時の検証方法及びその検証システムである。

また、本発明は、コンピュータシステム上における、製造物を試験装置により試験するために用いられる試験プログラムの変更時の検証方法及びその検証システムにおいて、第一の期間において製造された複数の第一の製造物に亘って前記試験装置により変更前の旧試験プログラムを用いて試験して前記各第一の製造物の特性を示す少なくとも複数の共通測定項目について測定して第一のデータ群を取得して入力する第一の入力過程と、前記第一の期間と異なる第二の期間において製造された複数の第二の製造物に亘って前記試験装置により前記変更前の旧試験プログラムを用いて試験して前記各第二の製造物の特性を示す少なくとも前記複数の共通測定項目について測定して第二のデータ群を取得して入力する第二の入力過程と、前記第二の期間に製造された複数の第三の製造物に亘って前記試験装置により変更後の新試験プログラムを用いて試験して前記各第三の製造物の特性を示す少なくとも前記複数の共通測定項目について測定して第三のデータ群を取得して入力する第三の入力過程と、前記第一の入力過程で入力された前記第一のデータ群と前記第二の入力過程で入力された前記第二のデータ群とを前記共通測定項目毎に統計的検定を用いて検定して前記第一の期間と前記第二の期間との間の時系列に基づく前記共通測定項目毎の変動の有意確率若しくは有意差を示す第一の検定結果を算出する第一の検定過程と、前記第二の入力過程で入力された前記第二のデータ群と前記第三の入力過程で入力された前記第三のデータ群とを前記共通測定項目毎に統計的検定を用いて検定して前記旧試験プログラムと前記新試験プログラムとの間の試験プログラムの変更に基づく前記共通測定項目毎の変動の有意確率若しくは有意差を示す第二の検定結果を算出する第二の検定過程と、前記共通測定項目毎に該第二の検定過程で算出された前記第二の検定結果を前記第一の検定過程で算出した前記第一の検定結果で割算若しくは補正してその検証結果を出力する検証結果出力過程とを有することを特徴とする。

また、本発明は、前記試験プログラムの変更時の検証方法及びその検証システムにおいて、さらに、前記第二の検定過程で算出された前記第二の検定結果において有意差が認められる共通測定項目を選出する選出過程を有し、前記検証結果出力過程において前記選出過程で選出された共通測定項目に対して検証することを特徴とする。

本発明によれば、製造物の若干の仕様変更に伴って生じる試験プログラムの変更作業において、そのプログラムの検証作業を効率かつ確実に実施することができる。また、その結果、製造物の顧客に不良品を出荷しないための適切な試験を実施できる。

また、本発明によれば、同じ仕様で製造した製造物であっても、製造した時期の違いによって測定項目として品質や性能に変動が生じたとしても、その要因を除去した試験プログラムの更新による変化のみを効率的に抽出することが可能となる。

本発明に係る試験プログラムの評価方法及びその評価システムの実施の形態について図面を用いて説明する。

磁気記憶装置（ＨＤＤ）、集積回路、液晶ディスプレイなど先端デバイス製品は微細化、複雑化が著しく、製品すなわち製造物を高品質に製造することが難しくなっている。これらの製造物の製造工程では、最終工程で試験し、不良品を出荷しないことが重要な課題である。

製造物が磁気記憶装置（ＨＤＤ）である場合、ＨＤＤの製造工程は、図１に示すように、一枚ないしは複数枚の磁気ディスク５０１、一個ないしは複数個の磁気ヘッド５０２、スピンドルモータ５０３、フレーム５０４、プリント基板５０５などの多数の部品を組み付ける組立工程Ｓ１１と、該組立工程Ｓ１１で組み付けられた磁気ディスク５０１上に磁気的な位置決め信号、すなわちサーボ信号を書き込むサーボライト工程Ｓ１２と、最後に製造されたＨＤＤが該ＨＤＤの仕様に適合する試験プログラムを用いて試験装置６２０により試験して数百に及ぶ測定項目を測定し、該数百に及ぶ測定項目の測定結果と上位のコンピュータ（図示せず）から与えられるＨＤＤの仕様とを比較して、ＨＤＤが良品なのか不良品なのか判定する試験工程Ｓ１３とを有して構成される。

該試験工程Ｓ１３では、磁気ヘッド５０２が磁気ディスク５０１に情報を書き込むときの書込み信号の幅や強度、磁気ヘッド５０２から磁気ディスク５０１に情報を書き込んだ後、磁気ヘッド５０２にてその情報を読み出すときの読取りエラー率などの数百に及ぶ多数の測定項目を測定している。この試験工程Ｓ１３では、図２に示すように、製造物である磁気記憶装置（ＨＤＤ）に電気的に接触するプローブを有するコンピュータ、すなわち試験装置６２０が使われ、試験装置６２０を稼働するためには、製造物であるＨＤＤの仕様に適合した試験プログラムを用意しなければならない。

一方、磁気記憶装置（ＨＤＤ）、集積回路、液晶ディスプレイなど先端デバイス製品では、量産が開始した後も、顧客の合意のもと、製造物の品質向上や性能向上など様々な理由で製造物の仕様を若干変更する。この仕様変更にともなって、該仕様に適合する試験プログラムも変更しなければならず、その度に、図３に示すような、新試験プログラムＹの設計（新試験プログラムＹの仕様作成）Ｓ３１、新試験プログラムＹのコーディング及びデバッグＳ３２、新試験プログラムＹの動作検証（新試験プログラムＹの評価Ｓ３３，問題測定項目の有無Ｓ３４，新試験プログラムＹの採用決定Ｓ３５）といった一連の試験プログラムの変更作業が発生する。なお、新試験プログラムＹの評価結果において、問題測定項目が有る場合には、新試験プログラムＹのコーディングおよびデバックをやり直す必要がある。

しかしながら、同じ製造物に対して、変更前と変更後の双方の試験プログラムを試験装置６２０により実行できればよいが、昨今の先端デバイス製品では、一つの製造物の試験時間が数十時間から数百時間を必要とし、同じ製造物に対して、変更前と変更後の双方の試験プログラムを試験装置６２０により実行することは時間的制約から困難な場合が多くなってきている。

そこで、本発明者は、試験装置により同じ製造物に対して１回しか試験できない状況で有効な試験プログラムの検証方法及びその検証システム（評価方法及び評価システム）を創生したことにある。

［第１の実施の形態］
本発明に係る試験プログラムの検証方法及びその検証システム（評価方法及びその評価システム）を、製造物である磁気記憶装置（ＨＤＤ）に適用した場合の第１の実施の形態について説明する。

まず、本発明に係る試験プログラムの検証システム（評価システム）について図２を用いて説明する。本発明に係る試験プログラムの評価方法（検証方法）を実行するハードウェアである評価システム（検証システム）は、複数台の試験装置６２０と、該複数台の試験装置６２０で測定された試験結果を蓄えるデータベース６３０と、試験プログラムを評価する評価装置６００とがネットワーク６１０を介して接続されて構成される。各試験装置６２０は、上位コンピュータ（図示せず）から与えられるＨＤＤの仕様に適合した各試験プログラムにより、複数の製造物に亘って多数の測定項目について電気的に測定するためにプローブを有するコンピュータで構成される。また、データベース６３０は、各試験装置６２０で各試験プログラムによりＨＤＤを試験された結果、すなわち、ＨＤＤの特性である多数の測定項目について測定したデータ（例えば図４及び図５に示すように、変更後の試行期間Ｂにおいて製造された多数のＨＤＤを、変更後の新試験プログラムＹを搭載した１台乃至数台の試験装置を用いて試験して多数の測定項目に亘って測定した第三のデータ郡１０１、変更後の試行期間Ｂにおいて製造された多数のＨＤＤを、変更前の旧試験プログラムＸを搭載した残りの試験装置を用いて試験して多数の測定項目に亘って測定した第二のデータ群１０２、変更前の通常期間Ａ（時系列変動を算出するための試行期間Ｂより定めた一定期間（例えば１週間程度）前の期間）において製造された多数のＨＤＤを、変更前の旧試験プログラムＸを搭載した全試験装置を用いて試験して多数の測定項目に亘って測定した第一のデータ群１０３）を、ネットワーク６１０を経由して収集して、そのデータを蓄積し、他のコンピュータから検索できる状態にしておくコンピュータである。試験プログラムの評価装置６００は、演算部６０２、主記憶装置６０３、２次記憶装置６０４、ユーザインターフェース６０５、ネットワークインターフェース６０６、及び上記演算部６０２と上記主記憶装置６０３と上記２次記憶装置６０４と上記ユーザインターフェース６０５と上記ネットワークインターフェース６０６とを制御する制御部６０１を有するコンピュータで、ネットワーク６１０とネットワークインターフェース６０６を介して接続され、ネットワーク６１０を経由して試験結果データベース６３０に蓄積されたデータ群１０１、１０２、１０３を検索でき、検索したデータ群１０１、１０２、１０３をネットワークインターフェース６０６を経由して例えば主記憶装置６０３に取り込む。

本発明において、検証（評価）する新試験プログラム及び更新前の旧試験プログラムは、試験装置６２０内に搭載されて存在し、製造物である磁気記憶装置（ＨＤＤ）の試験に使われる。一方、本発明に係る新試験プログラムの検証（評価）は、評価装置６００で行われ、後述する図５、図６及び図１３に示した処理は、コンピュータのプログラムとして、２次記憶装置６０４に格納され、必要に応じて主記憶装置６０３に読みだされ、演算部６０２で計算されて主記憶装置６０３に記憶される。また、図１０に示したグラフ４５０、４６０、４７０は、ユーザインターフェース６０５に出力される。また、評価装置６００は、図３に示すステップＳ３３の変更後の新試験プログラムＹの評価だけではなく、ステップＳ３２の変更後の新試験プログラムＹのコーディングやデバッグにも活用される。そのため、図３に示すステップＳ３２乃至Ｓ３５を実行するプログラムも２次記憶装置６０４に格納されている。なお、ステップＳ３１における新プログラムＹの仕様作成は、上位コンピュータ（図示せず）から得られるＨＤＤの仕様変更に基づいて試験装置６２０において実行される。

なお、各試験装置６２０の試験プログラムによって測定されるＨＤＤの測定項目としては、例えば、（１）磁気ヘッド５０２が磁気ディスク５０１に情報を書き込むときの書込み信号の幅、（２）磁気ヘッド５０２が磁気ディスク５０１に情報を書き込むときの書込み信号の強度、（３）磁気ヘッド５０２が磁気ディスク５０１に情報を書き込むときの磁気ディスク５０１の位置による書き込み信号の幅の変動、（４）磁気ヘッド５０２が磁気ディスク５０１に情報を書き込むときの書込み信号の強度の変動、（５）磁気ヘッド５０２から磁気ディスク５０１に情報を書き込んだ後、磁気ヘッド５０２にてその情報を読み出すときの読取りエラー率、（６）磁気ヘッド５０２が磁気ディスク５０１に情報を書き込み，さらにその情報を書き換えた後の書き換え前の信号の減衰率などの数百に及ぶ測定項目が考えられる。

次に、本発明に係る、上位のコンピュータ（図示せず）から入力されるＨＤＤの仕様変更に伴ってＨＤＤの特性である測定項目を測定するために実行する新試験プログラムの変更作業の一実施例について、図３を用いて説明する。試験装置６２０は上位のコンピュータから与えられるＨＤＤの仕様変更を基に新試験プログラムＹの仕様を作成する（Ｓ３１）。次に、評価装置６００は、試験装置６２０で作成したＨＤＤの仕様に基づいて新試験プログラムＹをコーディングおよびデバッグする（Ｓ３２）。次に、評価装置６００は、ステップＳ３２においてコーディングおよびデバックされた新試験プログラムＹが適切に作成されたか否かを検証（評価）する（Ｓ３３）。評価装置６００は、さらに、ステップＳ３３での検証結果（評価結果）について問題測定項目の有無を判断し、問題測定項目が有る場合には、ステップＳ３２に戻り、コーディングおよびデバッグをやり直す（Ｓ３４）。そして、評価装置６００は問題測定項目が無ければ、新試験プログラムＹの採用を決定して試験装置６２０に提供することになる。その結果、仕様変更されたＨＤＤに対して採用を決定した新試験プログラムＹを用いて試験して多数の測定項目に亘って測定し、該多数の測定項目の測定結果と上位のコンピュータ（図示せず）から与えられるＨＤＤの仕様とを比較して、ＨＤＤが良品なのか不良品なのか判定し、例えば試験結果データベース６３０に格納すると共に良品・不良品の情報を磁気記憶装置（ＨＤＤ）の製造を管理する例えば上位コンピュータ（図示せず）に提供することになる。

次に、本発明に係るステップＳ３３における新試験プログラムＹの評価の一実施の形態について図４乃至図６を用いて具体的に説明する。図５及び図６は、ステップＳ３３での本発明による新試験プログラムＹの評価方法の一実施の形態を示す図である。仕様変更に伴って更新された試験プログラムＹを作成するとき、旧試験プログラムＸは既に実際の磁気記憶装置（ＨＤＤ）に適用されている。そのため、図５に示すように、通常期間Ａ（試行期間Ｂより定めた一定の期間前の期間）及び試行期間Ｂにおいて製造されたＨＤＤに対して試験装置６００を用いて旧試験プログラムＸによるＨＤＤテストＳ５１ｂ及びＳ５１ｃを実行して多数の測定項目に亘って測定されたデータ（測定結果ＸＡ及びＸＢ）は、試験結果データベース６３０に格納され、大量に存在する。本発明はこの点を利用して更新された試験プログラムＹを検証（評価）することになる。

まず、図４に示すようにＨＤＤが製造された通常期間Ａおよび試行期間Ｂを定義する。なお、通常期間（第一の期間）Ａは、時系列変動が大幅に生じない試行期間（第二の期間）Ｂの例えば１週間程度前とする。図４は縦軸に旧試験プログラムＸ及び新試験プログラムＹが搭載される試験装置の台数、横軸にＨＤＤが製造された時系列を示す時間軸をとり、旧試験プログラムＸと新試験プログラムＹの適用状況を示している。旧試験プログラムＸは、以前から仕様変更前のＨＤＤに適用され、新試験プログラムＹが作成されるまでは、製造されて全ての試験装置６２０で試験される全てのＨＤＤに適用されている。このうちの仕様変更前の任意の期間を通常期間（第一の期間）Ａと定義する。一方、更新された試験プログラムＹが作成されたとき、その施行期間（第二の期間）Ｂにおいて製造されたＨＤＤに対して、図５に示すように、まず新試験プログラムＹを搭載した１台乃至数台の試験装置に限定して新試験プログラムＹによるＨＤＤテスト（Ｓ５１ａ）を試行して多数の測定項目に亘って測定して測定結果（ＹＢ）を試験結果データベース６３０に格納する。この限定試行中の任意の期間を試行期間（第二の期間）Ｂと定義する。即ち、Ｂは試行期間であり、新試験プログラムＹを検証するためであるため、新試験プログラムＹを搭載する試験装置６２０は限定された１台乃至数台とする。

以上説明したように、本発明に係る新試験プログラムＹの使用が問題ないという検証（評価）が完了し、新試験プログラムＹを正式に採用することが決定すると、全ての試験装置６２０に対して旧試験プログラムＸの適用を停止し、新試験プログラムＹに入れ換えて仕様変更後のＨＤＤに適用されることになる。

図６において、まず、評価装置６００は、試行期間Ｂにおいて製造されたＨＤＤに対して新試験プログラムＹを用いて限定された台数の試験装置６２０で試験して測定した第三のデータ群１０１を試験結果データベース６３０から得て図７に示す配列変数ＹＢ（Ｋ，Ｊ）に入力して主記憶装置６０３に格納する（Ｓ３３０１）。ここで、配列変数内のＫは測定された測定項目の通し番号、Ｊは試行期間Ｂにおいて製造されて新試験プログラムＹを用いて試験されたＨＤＤの通し番号を意味する。すなわち、Ｋは１から項目数分まで変化する正の整数、Ｊは１からＨＤＤの台数分まで変化する正の整数である。次に、評価装置６００は、試行期間Ｂにおいて製造されたＨＤＤに対して旧試験プログラムＸを用いて残りの台数の試験装置６２０で試験して測定した第二のデータ群１０２を試験結果データベース６３０から得て図８に示す配列変数ＸＢ（Ｋ，Ｊ）に入力して主記憶装置６０３に格納する（Ｓ３３０２）。ここで、配列変数内のＫは、ステップＳ３３０１と同様に、測定された測定項目の通し番号であり、Ｊは試行期間Ｂにおいて製造されて旧試験プログラムＸを用いて試験されたＨＤＤの通し番号である。次に、評価装置６００は、通常期間Ａにおいて製造されたＨＤＤに対して旧試験プログラムＸを用いて測定した第一のデータ群１０３を試験データベース６３０から得て図９に示す配列変数ＸＡ（Ｋ，Ｊ）に入力して主記憶装置６０３に格納する（Ｓ３３０３）。ここで、ＫはステップＳ３３０１、ステップＳ３３０２と同様に、測定された測定項目の通し番号であり、Ｊは通常期間Ａにおいて製造されて旧試験プログラムＸを用いて試験されたＨＤＤの通し番号である。旧試験プログラムＸと新試験プログラムＹで測定項目が異なる場合がある。その場合、その異なる項目は入力データに含めず、データ群１０１、１０２、１０３から予め除外しておき、配列変数ＹＢ（Ｋ，Ｊ）、ＸＢ（Ｋ，Ｊ）、ＸＡ（Ｋ，Ｊ）が有する共通測定項目数、すなわちＫの最大値は同じにする。また、旧試験プログラムＸと新試験プログラムＹで明らかに違う測定結果が得られる測定項目もデータ群１０１、１０２、１０３の共通測定項目から予め除外しておく。また、ステップＳ３３０１、Ｓ３３０２、Ｓ３３０３を実行する順番は、本実施例に従う必要はなく、任意に入れ換えてよい。

次に、評価装置６００の演算部６０２において、ステップＳ３３０４からステップＳ３３１４まで変数Ｋを１から順に、測定項目数分だけ一つずつインクリメントしてループを回す。演算部６０２は、ステップＳ３３０５において、変数Ｋに対応する測定項目の配列変数ＹＢ（Ｋ，Ｊ）のデータ、配列変数ＸＢ（Ｋ，Ｊ）のデータ、配列変数ＸＡ（Ｋ，Ｊ）のデータに対して、度数分布表の階級を決定して主記憶装置６０３に記憶する。階級を決定する方法としては、次に示す（１）式で示すスタージェスの公式を使うことが一般的である。

スタージェスの公式では、まず、図７に示す変数Ｋに対する共通測定項目の配列変数ＹＢ（Ｋ，Ｊ）のデータ数、図８に示す変数Ｋに対する共通測定項目の配列変数ＸＢのデータ数、図９に示す変数Ｋに対する共通測定項目の配列変数ＸＡ（Ｋ，Ｊ）のデータ数をそれぞれ計算し、そのうち最小のデータ数（最小のＪの数）をＮmin（図７、図８、図９の中で最も小さい行数）として、（１）式に代入し、階級数Ｎclassを計算する。図１０に示す場合は、階級数Ｎclass は５階級の場合を示す。各階級の幅Ｗclassは、図７に示す変数Ｋに対する共通測定項目の配列変数ＹＢ（Ｋ，Ｊ）のデータ、図８に示す変数Ｋに対する共通測定項目の配列変数ＸＢ（Ｋ，Ｊ）のデータ、図９に示す変数Ｋに対する共通測定項目の配列変数ＸＡ（Ｋ，Ｊ）のデータのすべてデータの最大値と最小値の差を階級数Ｎclassで割った商とする。図１０に示す場合は、図７乃至図９に示す共通測定項目Ｋ＝１についての全ての最大値（１６８０９．０）と最小値（１４０３６．０）の差を５階級数で割った商（５５４．６）で示す。ただし、スタージェスの公式を使わず、別の方法で階級数Ｎclassや階級の幅Ｗclassを決定してもよいし、階級数Ｎclassや階級の幅Ｗclassを一定にしてもよい。

次に、演算部６０２は、ステップＳ３３０５において決定して主記憶装置６０３に記憶された階級数や階級の幅に従って、変数Ｋに対する共通測定項目の（試行期間Ｂの新試験プログラムＹによる）配列変数ＹＢ（Ｋ，Ｊ）の度数分布Ｈ１（Ｋ）を算出し（Ｓ３３０６）、同様に変数Ｋに対する共通測定項目の（試行期間Ｂの旧試験プログラムＸによる）配列変数ＸＢ（Ｋ，Ｊ）の度数分布Ｈ２（Ｋ）を算出し（Ｓ３３０７）、同様に変数Ｋに対する共通測定項目の（通常期間Ａの旧試験プログラムＸによる）配列変数ＸＡ（Ｋ，Ｊ）の度数分布Ｈ３（Ｋ）を算出して２次記憶装置６０４に記憶する（Ｓ３３０８）。図１０に示す度数分布Ｈ１は、共通測定項目Ｋ＝１における試行期間Ｂの新試験プログラムＹによる度数分布を示す。度数分布Ｈ２は、共通測定項目Ｋ＝１における試行期間Ｂの旧試験プログラムＸによる度数分布を示す。度数分布Ｈ３は、共通測定項目Ｋ＝１における通常期間Ａの旧試験プログラムＸによる度数分布を示す。従って、度数分布Ｈ１と度数分布Ｈ２との間は共通測定項目Ｋ＝１における新試験プログラムと旧試験プログラムとによる変動を示すことになり、度数分布Ｈ２と度数分布Ｈ３との間は共通測定項目Ｋ＝１における時系列による変動を示すことになる。

次に、図５及び図６に示すように、演算部６０２は、ステップＳ３３０９において、試行期間Ｂにおける試験プログラム変更に伴う変動を示す共通測定項目（Ｋ）毎の度数分布Ｈ１と度数分布Ｈ２との間の有意確率を統計的検定である例えばカイ２乗検定で計算し、該計算された検定結果（評価結果）を配列変数ＰＰ（Ｋ）に代入して主記憶装置６０３に記憶すると共に、図１１（ａ）に示すように、表示装置で有するユーザインターフェース６０５に出力して表示することは可能である。演算部６０２は、同様に、ステップＳ３３１０において、旧試験プログラムＸにおける時系列による変動を示す共通測定項目（Ｋ）毎の度数分布Ｈ２と度数分布Ｈ３との間の有意確率を統計的検定である例えばカイ２乗検定で計算し、該計算された検定結果（評価結果）を配列変数ＰＴ（Ｋ）に代入して主記憶装置６０３に記憶すると共に、図１１（ｂ）に示すように表示装置を有するユーザインターフェース６０５に出力して表示することは可能である。

従って、演算部６０２は、ステップＳ３３１１において、図１１（ａ）に示すように、検定（評価）した結果である試験プログラム変更に伴う変動を示す共通測定項目（Ｋ）毎の度数分布Ｈ１と度数分布Ｈ２との間の有意確率ＰＰ（Ｋ）と予め既定したしきい値ＴＨを比較して、時系列による変動ＰＴ（Ｋ）を考慮するまでも無く、明らかに有意差がある（ＰＰ（Ｋ）＜ＴＨ）となる共通測定項目Ｋ＝１，３を選出し、該選出された共通測定項目Ｋ＝１，３を主記憶装置６０３に記憶すると共に、ユーザインターフェース６０５に出力することは可能である。さらに、演算部６０２は、選出された共通測定項目Ｋ＝１，３において、上記ＰＰ（Ｋ）を、検定（評価）した結果である時系列による変動を示す度数分布Ｈ２と度数分布Ｈ３との間の有意確率ＰＴ（Ｋ）で割った商（ＰＰ（Ｋ）÷ＰＴ（Ｋ））を求めて主記憶装置６０３に記憶すると共に、図１１（ｃ）に示すようにユーザインターフェース６０５に出力することは可能である。特に、試験プログラムの変更に伴う有意確率ＰＰ（Ｋ）を時系列の変化に伴う有意確率ＰＴ（Ｋ）で割ったのは、試験プログラムの変更に伴う有意確率ＰＰ（Ｋ）の変動から時系列の変化に伴う有意確率ＰＴ（Ｋ）の変動を除くためであり、必ずしも割る必要はなく、補正ができればよい。

ところで、問題有りの共通測定項目Ｋを選出するためには、例えば、（ＰＰ（Ｋ）÷ＰＴ（Ｋ））を、予め既定したしきい値ＴＴを比較して（ＰＰ（Ｋ）÷ＰＴ（Ｋ））＜ＴＴの結果から、ステップＳ３３１２あるいはステップＳ３３１３のどちらかに進み、変数Ｋに対応する共通測定項目を問題有り、あるいは問題なしとする。なお、有意確率は値が小さいほど有意差が大きいことを意味する。そのため、図１１（ｃ）に示すように、共通測定項目Ｋ＝１が問題有り、共通測定項目Ｋ＝３はＰＴ（Ｋ）を考慮すると問題無し、共通測定項目Ｋ＝２はＰＴ（Ｋ）を考慮するまでもなく問題無しと判定でき、その結果を主記憶装置６０３に記憶すると共に、ユーザインターフェース６０５に出力することは可能である。次に、演算部６０２は、ステップＳ３３１４において、変数Ｋ、すなわち測定項目に対するループが終了したかどうか判断し、ループが終了したら、ステップＳ３３１５で検証結果（評価結果）を主記憶装置６０３に記憶すると共に、ユーザインターフェース６０５に出力することは可能である。勿論、問題有りの共通測定項目が存在する場合には、図３に示すように、ステップＳ３２において、新試験プログラムＹのコーディング及びデバックがやり直され、ステップＳ３３においてやり直された新試験プログラムＹが適切に作成されたか否かを検証（評価）し、問題共通測定項目が無くなった段階で新試験プログラムＹの採用を決定して試験装置６２０に提供することになる。また、問題有りの共通測定項目が存在する場合には、試験プログラムの更新によって変化した共通測定項目として、試験工程Ｓ１３の管理者に警告することは可能となる。

さらに、検証結果（評価結果）は、評価装置６００からネットワーク６１０を介して試験結果データベース６３０に格納することができ、試験装置６２０において使用することも可能となる。

次に、評価装置６００が、図６に示した手順に従って、サンプルデータを入力した場合の結果の一実施例について説明する。ただし、紙面の都合上、実際にＨＤＤの試験工程で測定されるデータより少ないデータでの一実施例を示す。

図７は、データ群１０１の一実施例である。データ群は、試行期間（第二の期間）Ｂに製造されて新試験プログラムＹを用いて測定したＨＤＤの台数分のデータが縦方向に並び、各ＨＤＤに対して測定した共通測定項目が横方向に並ぶ。この一実施例は、試行期間Ｂにおいて製造された２０台のＨＤＤを新試験プログラムＹを用いて試験し、各ＨＤＤに対して３種類の共通測定項目について測定したデータである。

図８は、データ群１０２の一実施例である。データ群は、試行期間（第二の期間）Ｂにおいて製造されて旧試験プログラムＸを用いて測定したＨＤＤの台数分のデータが縦方向に並び、各ＨＤＤに対して測定した共通測定項目が横方向に並ぶ。この一実施例は、試行期間Ｂにおいて製造された２５台のＨＤＤを旧試験プログラムＸを用いて試験し、各ＨＤＤに対して３種類の共通測定項目について測定したデータである。

図９は、データ群１０３の一実施例である。データ群は、通常期間（第一の期間）Ａにおいて製造されて旧試験プログラムＸを用いて測定したＨＤＤの台数分のデータが縦方向に並び、各ＨＤＤに対して測定した共通測定項目が横方向に並ぶ。この一実施例は、通常期間Ａにおいて製造された２２台のＨＤＤを旧試験プログラムＸを用いて試験し、各ＨＤＤに対して３種類の共通測定項目について測定したデータである。

図１０は、図７、図８、図９に示したデータをステップＳ３３０１、Ｓ３３０２、Ｓ３３０３で入力し、演算部６０２等において、ステップＳ３３０５で上記（１）式に示したスタージェスの公式に従って階級数Ｎclassと階級の幅Ｗclassを計算し、ステップＳ３３０６、ステップＳ３３０７、ステップＳ３３０８で共通測定項目Ｋ＝１について度数分布を計算して作成した度数分布表である。スタージェスの公式に従うと、階級数は５個となり、共通測定項目Ｋ＝１についての度数分布Ｈ１、度数分布Ｈ２、度数分布Ｈ３はこの表のとおりに計算される。

図１１は、演算部６０２等において、共通測定項目Ｋ（＝１、２、３、・・・）毎の度数分布表を用いて、ステップＳ３３０９、ステップＳ３３１０、ステップＳ３３１１、ステップＳ３３１２、ステップＳ３３１３を実行し、その結果をステップＳ３３１５でユーザインターフェース６０５等を用いて出力した一実施例である。ステップＳ３３０９は、試行期間Ｂにおける試験プログラム変更に伴う変動を示す共通測定項目（Ｋ）毎の度数分布Ｈ１と度数分布Ｈ２との間の有意確率を統計的検定である例えばカイ２乗検定で計算して該計算された検定結果（評価結果）として配列変数ＰＰ（Ｋ）を得るステップである。ステップＳ３３１０は、旧試験プログラムＸにおける時系列による変動を示す共通測定項目（Ｋ）毎の度数分布Ｈ２と度数分布Ｈ３との間の有意確率を統計的検定である例えばカイ２乗検定で計算して該計算された検定結果（評価結果）として配列変数ＰＴ（Ｋ）を得るステップである。本実施例では、図１１（ａ）にステップＳ３３０９で変数Ｋ（＝１、２、３、・・・）に対応する共通測定項目の配列変数ＰＰ（Ｋ）を、図１１（ｂ）にステップＳ３３１０で変数Ｋ（＝１、２、３、・・・）に対応する共通測定項目の配列変数ＰＴ（Ｋ）を、図１１（ｃ）にステップＳ３３１１で変数Ｋ（＝１、２、３、・・・）に対応する共通測定項目のＰＰ（Ｋ）をＰＴ（Ｋ）で割った商を、棒グラフで表示した。

図１１（ａ）に示すグラフ４５０は、縦軸を配列変数ＰＰ（Ｋ）、横軸を共通測定項目Ｋとし、横軸はＰＰ（Ｋ）の値が小さい項目ほど左側に出力されるように整列して出力した結果である。また、有意確率は値が小さいほど有意差が大きいことを意味するため、縦軸を対数で表し、棒が高いほど有意差が大きいことがわかるように出力した。また、有意確率は一般的に０．０１あるいは０．０５より小さい値なら、有意差があると判定する。そこで、本実施例では、ステップＳ３３１１で用いるしきい値ＴＨを０．０１とし、グラフ４５０の中にしきい値ＴＨの位置を直線で示した。この結果、ＰＴ（Ｋ）を考慮せずに、ＰＰ（Ｋ）を基に、ＰＰ（Ｋ）＜ＴＨが成り立つ明らかに有意差のある共通測定項目１と共通測定項目３を選択することが可能となる。

図１１（ｂ）に示すグラフ４６０は、縦軸を配列変数ＰＴ（Ｋ）、横軸を共通測定項目とし、縦軸はグラフ４５０と同様に対数で表し、横軸はグラフ４５０と同じ順番で出力した結果である。図１１（ｃ）に示すグラフ４７０は、縦軸として配列変数ＰＰ（Ｋ）を配列変数ＰＴ（Ｋ）で割った商、横軸をグラフ４５０やグラフ４６０と同じ順番で出力した結果である。ここで本実施例では、ステップＳ３３１１で用いるしきい値ＴＴを０．１とし、しきい値ＴＴの位置を直線で表した。この結果、共通測定項目１だけがステップＳ３３１１の条件を満たし、ステップＳ３３１２に進み、共通測定項目１に問題があると判定される。共通測定項目２と共通測定項目３は、ステップＳ３３１１の条件を満たさないため、ステップＳ３３１３に進む。以上の結果、ステップＳ３３１５において、新試験プログラムＹは共通測定項目１の測定に問題があることと判定される。その結果、図３に示すステップＳ３４で問題の共通測定項目があると判定され、新試験プログラムＹのコーディングやデバッグをやり直さなければならないことが自動的にわかる。また、試験プログラムの更新によって問題となった共通測定項目を評価装置６００から直接または試験装置６２０を通して試験工程Ｓ１３の管理者に警告することが可能となる。

ここで、ステップＳ３３０９において共通測定項目毎に度数分布Ｈ１と度数分布Ｈ２との間の有意確率ＰＰ（Ｋ）を算出し、ステップＳ３３１０において共通測定項目毎に度数分布Ｈ２と度数分布Ｈ３との間の有意確率ＰＴ（Ｋ）を算出する統計的検定であるカイ２乗検定の方法について次に説明する。統計的検定の一つであるカイ２乗検定には、一般的に適合度の検定と独立性の検定の２種類がある。本発明はどちらを使っても有効であるが、ここでは独立性の検定の方法について説明する。また、ＰＰ（Ｋ）を算出するステップＳ３３０９とＰＴ（Ｋ）を算出するステップＳ３３１０とは、上述したように入力する度数分布は異なるが、計算手法は同じであるため、ここでは、ＰＰ（Ｋ）を算出するステップＳ３３０９での計算手法について説明する。まず、共通測定項目毎に、度数分布Ｈ１と度数分布Ｈ２の各度数を配列変数Ｄ（ｉ，ｊ）に代入する。具体的には、Ｄ（ｉ，ｊ）としては、Ｄ（１，１）＝０、Ｄ（２，１）＝０、Ｄ（３，１）＝６、Ｄ（４，１）＝７、Ｄ（５，１）＝７；Ｄ（１，２）＝３、Ｄ（２、２）＝１２、Ｄ（３、２）＝７、Ｄ（４、２）＝３、Ｄ（５、２）＝０となる。次に、期待値Ｅ（ｉ，ｊ）はそれぞれ（２）式に従って計算されて、具体的には、Ｅ（１，１）＝１．３３、Ｅ（２，１）＝５．３３、Ｅ（３，１）＝５．７８、Ｅ（４，１）＝４．４４、Ｅ（５，１）＝３．１１；Ｅ（１，２）＝１．６７、Ｅ（２、２）＝６．６７、Ｅ（３、２）＝７．２２、Ｅ（４、２）＝５．５６、Ｅ（５、２）＝３．８９となる。本実施例では、ｃｌａｓｓは階級を意味し、ｉとして１から５のいずれかの整数であり、Ｌはｊとして１なら度数分布Ｈ１、２なら度数分布Ｈ２を意味する。

次に、上記配列変数Ｄ（ｉ，ｊ）及び上記（２）式によって計算した期待値Ｅ（ｉ，ｊ）を次に示す（３）式にそれぞれ代入し、カイ２乗値Ｘ^２を計算する。

次に、カイ２乗検定による有意確率Ｐ（ＰＰ（Ｋ））は、次に示す（４）式で計算できる。すなわち、（３）式で計算したカイ２乗値Ｘ^２から無限大（∞）までｘについて積分した面積が有意確率ｐ（ＰＰ（Ｋ））となる。

以上説明したように、共通測定項目毎に度数分布Ｈ１と度数分布Ｈ２との間の有意確率ＰＰ（Ｋ）および共通測定項目毎に度数分布Ｈ２と度数分布Ｈ３との間の有意確率ＰＴ（Ｋ）を統計的検定であるカイ２乗検定の方法を用いて算出することが可能となる。

その結果、図１に示す試験工程Ｓ１３における、製造物即ち磁気記憶装置の若干の仕様変更に伴って製造物即ち磁気記憶装置の試験プログラムの変更作業において、その試験プログラムの検証作業を効率かつ確実に実施することが可能となる。また、その結果、製造物の顧客に不良品を出荷しないための適切な試験を実施することが可能となる。

［第２の実施の形態］
本発明に係る試験プログラムの検証方法及びその検証システム（評価方法及びその評価システム）を、製造物である磁気記憶装置（ＨＤＤ）に適用した場合の第２の実施の形態について説明する。第２の実施の形態において、第１の実施の形態と相違する点は、第１の実施の形態では共通測定項目（Ｋ）毎の有意確率ＰＰ（Ｋ）およびＰＴ（Ｋ）を算出するのに統計的検定であるカイ２乗検定を用いたが、該カイ２乗検定に代えて、ｔ検定やＦ検定を用いた点にある。

図１２は、カイ２乗検定を用いることを前提とした図６に示す第１の実施の形態を、ｔ検定やＦ検定を用いるように変更した第２の実施の形態を示す図である。ｔ検定やＦ検定は、ステップＳ３３０５、ステップＳ３３０６、ステップＳ３３０７、ステップＳ３３０８で行ったような度数分布表の作成が不要であり、その代わりに、演算部６０２は、ステップＳ３３２０において、変数Ｋに対する共通測定項目の配列変数ＹＢ（Ｋ，Ｊ）とＸＢ（Ｋ，Ｊ）のデータそのものをｔ検定やＦ検定に入力して、共通測定項目毎の有意確率ＰＰ（Ｋ）を計算する。また、演算部６０２は、ステップＳ３３２１において、変数Ｋに対する共通測定項目の配列変数ＸＢ（Ｋ，Ｊ）とＸＡ（Ｋ，Ｊ）のデータそのものをｔ検定やＦ検定に入力して、共通測定項目毎の有意確率ＰＴ（Ｋ）を計算する。他の手法は、図６と同じように計算し、結果も同様に出力する。

ｔ検定は、共通測定項目毎に、次に示す（５）式に基づきｔを算出し、該算出されたｔを次に示す（７）式に代入して有意確率ｐ（ＰＰ（Ｋ），ＰＴ（Ｋ））を算出する。

なお、ｍ１，ｍ２は、共通測定項目毎に比較する二つのデータの平均値（図７に示すデータ（ＹＢ）の平均値，図８に示すデータ（ＸＢ）の平均値、並びに図８に示すデータ（ＸＢ）の平均値，図９に示すデータ（ＸＡ））の平均値）である。Ｎ１，Ｎ２は、共通測定項目毎に比較する二つのデータ数（図７〜図９では行数に相当するデータ数）である。σは共通測定項目毎のデータの標準偏差である。（７）式で用いるνは（６）式によって定義される。

また、Ｆ検定は、共通測定項目毎に、次に示す（８）式に従ってＦを算出し、該算出されたＦを次に示す（１１）式に代入して有意確率ｐ（ＰＰ（Ｋ），ＰＴ（Ｋ））を算出する。

なお、ｓ１，ｓ２は、共通測定項目毎に比較する二つのデータの各々の標準偏差（図７に示すデータ（ＹＢ）の標準偏差，図８に示すデータ（ＸＢ）の標準偏差、並びに図８に示すデータ（ＸＢ）の標準偏差，図９に示すデータ（ＸＡ）の標準偏差）である。Ｎ１，Ｎ２は、共通測定項目毎に比較する二つのデータ数（図７〜図９では行数に相当するデータ数）である。（１１）式で用いるｄ_１は（９）式で定義され、ｄ_２は（１０）式で定義される。

ただし、ｔ検定やＦ検定は、カイ２乗検定に比べて、データ分布の形状に結果が左右される傾向にあるため、発明者らはカイ２乗検定を用いた図６の手法の方が使い勝手がよいと考えている。

以上説明した実施の形態では、本発明を磁気記憶装置の試験工程で実行する更新する試験プログラムの検定（評価）に適用した場合について説明した。しかしながら、本発明は、磁気記憶装置の試験工程に限った技術ではなく、集積回路、ディスプレイ、プリント基板など各種製造物の試験工程で実行する更新試験プログラムの検定（評価）に適用できる。また、試験プログラムに限らず、各種測定装置のレシピ、すなわち測定条件の評価にも適用できる。

本発明に係る磁気記憶装置の試験工程を含む製造工程を示す図である。 本発明に係る試験プログラムの検証方法を実行するハードウェアである検証システムの一実施の形態を示す構成図である。 本発明に係る更新試験プログラムを作成して検証する処理フローの一実施の形態を示す図である。 本発明に係る試行期間Ｂ及び通常期間Ａの説明図である。 本発明に係る試験プログラムの検証方法を示す原理図である。 本発明に係る試験プログラムの検証方法の第１の実施の形態を示す図である。 本発明に係る試行期間Ｂに製造された２０台の磁気記憶装置を新試験プログラムＹを用いて試験し、各磁気記憶装置に対して３種類の測定項目を測定したデータ群の一実施例を示した図である。 本発明に係る試行期間Ｂに製造された２５台の磁気記憶装置を旧試験プログラムＸを用いて試験し、各磁気記憶装置に対して３種類の測定項目を測定したデータ群の一実施例を示した図である。 本発明に係る試行期間Ｂから一定期間前の通常期間Ａに製造された２２台の磁気記憶装置を旧試験プログラムＸを用いて試験し、各磁気記憶装置に対して３種類の測定項目を測定したデータ群の一実施例を示した図である。 本発明に係る共通測定項目Ｋ＝１についての度数分布Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３の一実施例を示す図である。 本発明に係る共通測定項目１，３，２について検証結果を出力した一実施例を示した図である。 本発明に係る試験プログラムの検証方法の第２の実施の形態を示す図である。

符号の説明

１０１…第三のデータ群、１０２…第二のデータ群、１０３…第一のデータ群、４５０…有意確率ＰＰ（Ｋ）を示すグラフ出力結果、４６０…有意確率ＰＴ（Ｋ）を示すグラフ出力結果、４７０…（ＰＰ（Ｋ）÷ＰＴ（Ｋ））を示すグラフ出力結果、６００…評価装置、６１０…ネットワーク、６２０…試験装置、６３０…試験結果データベース、６０１…制御部、６０２…演算部、６０３…主記憶装置、６０４…２次記憶装置、６０５…ユーザインターフェース、６０６…ネットワークインターフェース、５０１…磁気ディスク、５０２…磁気ヘッド、５０３…スピンドルモータ、５０４…フレーム、５０５…プリント基板。

Claims (7)

1. コンピュータシステム上における、製造物を試験装置により試験するために用いられる試験プログラムの変更時の検証方法において、
   第一の期間において製造された複数の第一の製造物に亘って前記試験装置により変更前の旧試験プログラムを用いて試験して前記各第一の製造物の特性を示す少なくとも複数の共通測定項目について測定して第一のデータ群を取得して入力する第一の入力過程と、
   前記第一の期間と異なる第二の期間において製造された複数の第二の製造物に亘って前記試験装置により前記変更前の旧試験プログラムを用いて試験して前記各第二の製造物の特性を示す少なくとも前記複数の共通測定項目について測定して第二のデータ群を取得して入力する第二の入力過程と、
   前記第二の期間に製造された複数の第三の製造物に亘って前記試験装置により変更後の新試験プログラムを用いて試験して前記各第三の製造物の特性を示す少なくとも前記複数の共通測定項目について測定して第三のデータ群を取得して入力する第三の入力過程と、
   前記第一の入力過程で入力された前記第一のデータ群と前記第二の入力過程で入力された前記第二のデータ群とを前記共通測定項目毎に統計的検定を用いて検定して前記第一の期間と前記第二の期間との間の時系列に基づく前記共通測定項目毎の変動の有意確率若しくは有意差を示す第一の検定結果を算出する第一の検定過程と、
   前記第二の入力過程で入力された前記第二のデータ群と前記第三の入力過程で入力された前記第三のデータ群とを前記共通測定項目毎に統計的検定を用いて検定して前記旧試験プログラムと前記新試験プログラムとの間の試験プログラムの変更に基づく前記共通測定項目毎の変動の有意確率若しくは有意差を示す第二の検定結果を算出する第二の検定過程と、
   前記共通測定項目毎に該第二の検定過程で算出された前記第二の検定結果を前記第一の検定過程で算出した前記第一の検定結果で割算若しくは補正してその検証結果を出力する検証結果出力過程とを有する
   ことを特徴とする試験プログラムの検証方法。
2. コンピュータシステム上における、製造物を試験装置により試験するために用いられる試験プログラムの変更時の検証方法において、
   第一の期間において製造された複数の第一の製造物に亘って試験装置により変更前の旧試験プログラムを用いて試験して前記各第一の製造物の特性を示す少なくとも複数の共通測定項目について測定して第一のデータ群を取得して入力する第一の入力過程と、
   前記第一の期間と異なる第二の期間において製造された複数の第二の製造物に亘って試験装置により前記変更前の旧試験プログラムを用いて試験して前記各第二の製造物の特性を示す少なくとも前記複数の共通測定項目について測定して第二のデータ群を取得して入力する第二の入力過程と、
   前記第二の期間に製造された複数の第三の製造物に亘って試験装置により変更後の新試験プログラムを用いて試験して前記各第三の製造物の特性を示す少なくとも前記複数の共通測定項目について測定して第三のデータ群を取得して入力する第三の入力過程と、
   前記第一の入力過程で入力された前記第一のデータ群と前記第二の入力過程で入力された前記第二のデータ群とを前記共通測定項目毎に統計的検定を用いて検定して前記第一の期間と前記第二の期間との間の時系列に基づく前記共通測定項目毎の変動の有意確率若しくは有意差を示す第一の検定結果を算出する第一の検定過程と、
   前記第二の入力過程で入力された前記第二のデータ群と前記第三の入力過程で入力された前記第三のデータ群とを前記共通測定項目毎に統計的検定を用いて検定して前記旧試験プログラムと前記新試験プログラムとの間の試験プログラムの変更に基づく前記共通測定項目毎の変動の有意確率若しくは有意差を示す第二の検定結果を算出する第二の検定過程と、
   該第二の検定過程で算出された前記第二の検定結果において有意差が認められる共通測定項目を選出する選出過程と、
   該選出過程で選出された共通測定項目に対して、前記第二の検定過程で算出された前記第二の検定結果を前記第一の検定過程で算出した前記第一の検定結果で割算若しくは補正してその検証結果を出力する検証結果出力過程と
   を有することを特徴とする試験プログラムの検証方法。
3. 前記製造物が磁気記憶装置であることを特徴とする請求項１又は２記載の試験プログラムの検証方法。
4. 製造物を試験するために用いられる試験プログラムの変更時の検証システムにおいて、
   第一の期間において製造された複数の第一の製造物に亘って変更前の旧試験プログラムを用いて試験して前記各第一の製造物の特性を示す少なくとも複数の共通測定項目について測定して第一のデータ群を取得し、前記第一の期間と異なる第二の期間において製造された複数の第二の製造物に亘って前記変更前の旧試験プログラムを用いて試験して前記各第二の製造物の特性を示す少なくとも前記複数の共通測定項目について測定して第二のデータ群を取得し、前記第二の期間に製造された複数の第三の製造物に亘って変更後の新試験プログラムを用いて試験して前記各第三の製造物の特性を示す少なくとも前記複数の共通測定項目について測定して第三のデータ群を取得する試験装置と、
   該試験装置で取得した前記第一のデータ群と前記試験装置で取得した前記第二のデータ群とを前記共通測定項目毎に統計的検定を用いて検定して前記第一の期間と前記第二の期間との間の時系列に基づく前記共通測定項目毎の変動の有意確率若しくは有意差である第一の検定結果を算出し、前記試験装置で取得した前記第二のデータ群と前記第三の取得過程で取得した前記第三のデータ群とを前記共通測定項目毎に統計的検定を用いて検定して前記旧試験プログラムと前記新試験プログラムとの間の試験プログラムの変更に基づく前記共通測定項目毎の変動の有意確率若しくは有意差である第二の検定結果を算出し、前記共通測定項目毎に、前記算出された前記第二の検定結果を前記算出した前記第一の検定結果で割算若しくは補正して検証結果を出力する評価装置と
   を備えたことを特徴とする試験プログラムの検証システム。
5. 前記評価装置は、前記算出された前記第一及び第二の検定結果並びに前記検証結果を出力するユーザインターフェースを備えたことを特徴とする請求項４記載の試験プログラムの検証システム。
6. 製造物を試験するために用いられる試験プログラムの変更時の検証システムにおいて、
   第一の期間において製造された複数の第一の製造物に亘って変更前の旧試験プログラムを用いて試験して前記各第一の製造物の特性を示す少なくとも複数の共通測定項目について測定して第一のデータ群を取得し、前記第一の期間と異なる第二の期間において製造された複数の第二の製造物に亘って前記変更前の旧試験プログラムを用いて試験して前記各第二の製造物の特性を示す少なくとも前記複数の共通測定項目について測定して第二のデータ群を取得し、前記第二の期間に製造された複数の第三の製造物に亘って変更後の新試験プログラムを用いて試験して前記各第三の製造物の特性を示す少なくとも前記複数の共通測定項目について測定して第三のデータ群を取得する試験装置と、
   該試験装置で取得した前記第一のデータ群と前記試験装置で取得した前記第二のデータ群とを前記共通測定項目毎に統計的検定を用いて検定して前記第一の期間と前記第二の期間との間の時系列に基づく前記共通測定項目毎の変動の有意確率若しくは有意差を示す第一の検定結果を算出し、前記試験装置で取得した前記第二のデータ群と前記第三の取得過程で取得した前記第三のデータ群とを前記共通測定項目毎に統計的検定を用いて検定して前記旧試験プログラムと前記新試験プログラムとの間の試験プログラムの変更に基づく前記共通測定項目毎の変動の有意確率若しくは有意差を示す第二の検定結果を算出し、該算出された前記第二の検定結果において有意差が認められる共通測定項目を選出し、該選出された共通測定項目に対して、前記算出された前記第二の検定結果を前記算出した前記第一の検定結果で割算若しくは補正して検証結果を出力する評価装置と
   を備えたことを特徴とする試験プログラムの検証システム。
7. 前記評価装置は、前記算出された前記第一及び第二の検定結果、前記選出された共通測定項目並びに前記検証結果を出力するユーザインターフェースを備えたことを特徴とする請求項６記載の試験プログラムの検証システム。

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