JP2009134335A - パネル基板データ検証システム及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】フラットパネルディスプレイ用の複数のパネル基板データを短時間で比較検証できるようにすること。
【解決手段】CPU7は、記憶部8のデータファイル記憶部5に記憶したレチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、第2のパネル基板データを生成した後、前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、第1のパネル基板データ中の前記第2のパネル基板データに対応する領域のパネル基板データを抽出し、前記抽出した第1のパネル基板データと前記第2パネル基板データとの差異を検証する。表示部1のパネル基板ウインドウ9に、前記検証した結果をグラフィック表示する。
【選択図】 図14
【解決手段】CPU7は、記憶部8のデータファイル記憶部5に記憶したレチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、第2のパネル基板データを生成した後、前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、第1のパネル基板データ中の前記第2のパネル基板データに対応する領域のパネル基板データを抽出し、前記抽出した第1のパネル基板データと前記第2パネル基板データとの差異を検証する。表示部1のパネル基板ウインドウ9に、前記検証した結果をグラフィック表示する。
【選択図】 図14
Description
本発明は、フラットパネルディスプレイ用パネル基板データの検証を行うパネル基板データ検証システム及びコンピュータを用いて前記パネル基板データ検証システムを構築するに適したプログラムに関する。
フラットパネルディスプレイ用のレチクルデータは、フラットパネルディスプレイのレイアウトデータ上にショット枠を規定することによって、当該ショット枠内のレイアウトデータを露光要素(繰り返し要素とも称する。)として切り出して作成される。繰り返し要素のレイアウトデータは、前記繰り返し要素を配置するフラットディスプレイパネル上の座標情報とともにパネル基板データとして保存される。
前記レチクルデータを用いてフラットパネルディスプレイを作成する場合、前記繰り返し要素のレイアウトデータと前記繰り返し要素の座標情報(パネル基板データ)を用いて、露光装置にてパネル基板上に転写される。
前記レチクルデータを用いてフラットパネルディスプレイを作成する場合、前記繰り返し要素のレイアウトデータと前記繰り返し要素の座標情報(パネル基板データ)を用いて、露光装置にてパネル基板上に転写される。
このようにして作成された第1のパネル基板データがあったとして、その後設計変更が生じレチクルデータを変更し第2のパネル基板データを作成した際において、要求仕様に基づいて変更した第2のパネル基板データの内容が、結果として正しく第1のデータ内容と異なっているかを判別するために、どの部分が変更されたか第1と第2のパネル基板データの差異部を比較検証する必要がある。
尚、レイアウトデータの比較検証としては、例えば特許文献1に示すように論理データとして示される結線情報とレイアウトデータの結線情報との比較検証を行う発明がある。しかしながら、特許文献1に記載された発明は、はレチクルデータや座標情報の特徴を利用したフラットパネルディスプレイのパネル基板データ同士の比較検証を述べるものではない。
本発明は、フラットパネルディスプレイ用の複数のパネル基板データを比較検証することを課題としている。
また、本発明は、コンピュータに実行させることにより、前記レチクル検証システムを構築するのに好適なレチクル検証用プログラムを提供することを課題としている。
また、本発明は、コンピュータに実行させることにより、前記レチクル検証システムを構築するのに好適なレチクル検証用プログラムを提供することを課題としている。
本発明によれば、第1のパネル基板データと、第2のパネル基板データ用のレチクルレイアウトデータ及び前記レチクルレイアウトデータの座標情報とを記憶する記憶手段と、前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、前記第2のパネル基板データを生成するパネル基板データ生成手段と、前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、前記第1のパネル基板データ中の前記第2のパネル基板データに対応する領域のパネル基板データを抽出する抽出手段と、前記抽出した第1のパネル基板データと前記第2パネル基板データとの差異を検証する検証手段と、前記検証手段が検証した結果を表示する表示手段とを備えて成ることを特徴とするパネル基板データ検証システムが提供される。
パネル基板データ生成手段は、記憶手段に記憶したレチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、第2のパネル基板データを生成する。抽出手段は、前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、第1のパネル基板データ中の前記第2のパネル基板データに対応する領域のパネル基板データを抽出する。検証手段は、前記抽出した第1のパネル基板データと前記第2パネル基板データとの差異を検証する。表示手段は、前記検証手段が検証した結果を表示する。
ここで、前記第1のパネル基板データと第2のパネル基板データは、線情報に幅が定義付けられた線データと長方形データと各頂点を記述した多角形データの少なくとも3種類から構成されると共にグリッド格子点の座標によって表わされたデータであり、前記検証手段は、前記抽出した第1のパネル基板データと前記第2のパネル基板データの前記グリッド格子点同士の演算処理を施して差異を検証することにより、検証結果としての図形を生成し、前記表示手段は前記図形を表示するように構成してもよい。
また、前記第1のパネル基板データと前記レチクルデータは、トランジスタ図形を定義する中間階層を有するか又は中間階層に対応する外部ライブラリとしてトランジスタ図形が定義され、前記検証手段は、前記トランジスタ図形を展開することなく、前記抽出した第1のパネル基板データと前記第2のパネル基板データとの差異を検証するように構成してもよい。
また、前記検証手段は、前記抽出した第1のパネル基板データと前記第2のパネル基板データの差異を検証する場合、論理XOR処理または差分処理を行うことによって両パネル基板データ間における図形データの差異を抽出するように構成してもよい。
また、前記検証手段は、前記抽出した第1パネル基板データと前記第2のパネル基板データ間の差異検証をレイヤー単位に行うように構成してもよい。
また、前記検証手段は、前記抽出した第1パネル基板データと前記第2のパネル基板データ間の差異検証をレイヤー単位に行うように構成してもよい。
また、前記検証手段は、前記抽出した第1のパネル基板データと前記第2のパネル基板データの差異を検証する場合、差異検証の対象とならなかった前記第1のパネル基板データ上の領域を算出するように構成してもよい。
また、前記表示手段は前記検証結果を表示する検証結果ウインドウとダイアログボックスとを有すると共に、前記ダイアログボックス上にて前記エラーレイヤを指定する指定手段を有し、前記表示手段は、前記ダイアログボックス上にてエラー個数を表示すると共に、前記指定手段によるエラーレイヤの指定に応答して当該レイヤのエラー図形情報を前記検証結果ウィンドウ上に表示するように構成してもよい。
また、前記表示手段は前記検証結果を表示する検証結果ウインドウとダイアログボックスとを有すると共に、前記ダイアログボックス上にて前記エラーレイヤを指定する指定手段を有し、前記表示手段は、前記ダイアログボックス上にてエラー個数を表示すると共に、前記指定手段によるエラーレイヤの指定に応答して当該レイヤのエラー図形情報を前記検証結果ウィンドウ上に表示するように構成してもよい。
また、本発明によれば、コンピュータを、前記いずれか一に記載のパネル基板データ検証システムとして機能させるためのプログラムが提供される。
コンピュータは、前記プログラムを実行することにより、前記いずれか一に記載のパネル基板データ検証システムとして機能する。
コンピュータは、前記プログラムを実行することにより、前記いずれか一に記載のパネル基板データ検証システムとして機能する。
本発明に係るパネル基板データ検証システムは、フラットパネルディスプレイ用の複数のパネル基板データを比較検証することが可能である。
また、本発明に係るプログラムは、コンピュータに実行させることにより、前記パネル基板データ検証システムを構築するのに好適なパネル基板データ検証用プログラムを提供することが可能である。
また、本発明に係るプログラムは、コンピュータに実行させることにより、前記パネル基板データ検証システムを構築するのに好適なパネル基板データ検証用プログラムを提供することが可能である。
先ず、本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システム及びパネル基板データ検証用プログラムの概要を説明すると、本実施の形態は、作成された第1のパネル基板データがあったとして、その後設計変更が生じたためレチクルデータを変更して第2のパネル基板データを作成した際において、どの部分が変更されたかを知るために、第1のパネル基板データと第2のパネル基板データの差異部を判別するものである。これは、要求仕様に基づいて第1のパネル基板データを変更して得られた第2のパネル基板データの内容が、第1のパネル基板データの内容と正しく異なっているかを知りたいためである。
この際、第1のパネル基板データはパネル基板データとして入力し、第2のパネル基板データは新規なるデータであるから、基となるレチクルデータとレチクルデータにて記述されている繰り返し要素の配置情報を記述した座標情報を入力し、システム内部にて第2のパネル基板データを作成しつつ第1パネル基板データと第2のパネル基板データを比較検証することにより、変更部位を判別するようにしている。これは、新規に作成されたレチクルデータをそのまま利用できるため処理時間の短縮が図れること、及び、多くの場合において差異部は繰り返し要素の境界部にて生じやすいため処理単位を繰り返し要素とすることにより差異部を判別しやすくする効果があるからである。
以下、本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システム及びパネル基板データ検証用プログラムについて詳細に説明する。
尚、詳細は後述するが、本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システムは、1台又は複数台のコンピュータ及び前記コンピュータが実行することによってパネルデータ検証システムを構築するパネルデータ検証用プログラムとによって構成されている。前記コンピュータは、レチクルデータ作成用プログラムを実行することによって、レチクルデータを作成するためのレチクルデータ作成システムとしても機能する。また、各図において、同一部分には同一符号を付している。
尚、詳細は後述するが、本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システムは、1台又は複数台のコンピュータ及び前記コンピュータが実行することによってパネルデータ検証システムを構築するパネルデータ検証用プログラムとによって構成されている。前記コンピュータは、レチクルデータ作成用プログラムを実行することによって、レチクルデータを作成するためのレチクルデータ作成システムとしても機能する。また、各図において、同一部分には同一符号を付している。
図1は、本発明の実施の形態におけるフラットパネルディスプレイ(FPD)用パネル基板とレチクルの関係を示す図で、同図(a)は平面図、同図(b)は側面図である。
図1において、101はパネル基板、102は特性が保証された露光装置(図示せず)の露光領域、103は露光装置の露光可能領域、104は光源系機構、105は遮光系機構、106はレチクル、107は露光面である。ここでパネル基板101の材質は、ガラスやプラスティックフィルム等が使用可能である。
図1において、101はパネル基板、102は特性が保証された露光装置(図示せず)の露光領域、103は露光装置の露光可能領域、104は光源系機構、105は遮光系機構、106はレチクル、107は露光面である。ここでパネル基板101の材質は、ガラスやプラスティックフィルム等が使用可能である。
近年のフラットパネルディスプレイは、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルに見られるように大型化され露光装置がパネル基板101を一括して露光できない(図1(a)の平面図参照)。従って何らかの形で露光領域を分割し、繰り返し露光を行う必要が出てくる。露光装置とパネル基板101の位置関係は、光源から見て光源系機構104、遮光系機構105、レチクル106、露光面107、パネル基板101となり、図1には記載されていないがこれにレンズ系機構が加わる(図1(b)の側面図参照)。
尚、遮光系機構105とは、光源からの光を機械的に遮蔽するための長方形の機械的な機構である。
尚、遮光系機構105とは、光源からの光を機械的に遮蔽するための長方形の機械的な機構である。
図2は、本発明の実施の形態におけるパネル基板上のパネル基板データとレチクル上のレチクルレイアウトデータとの関係を示す図である。
図2において、液晶パネル201は、ディスプレイパネル要素のパネル基板上のレイアウトを表すパネルレイアウトデータであるパネル基板データ211として、一種類の大型パネル基板データA1がパネル基板210上にひとつ存在する例である。液晶パネル201の場合には、パネル基板データA1を分割して、繰り返し構造をもつデータ群をショット枠213に対応付けて抽出し、これをレチクル205上に配置してレチクルレイアウトデータ206とする。
図2において、液晶パネル201は、ディスプレイパネル要素のパネル基板上のレイアウトを表すパネルレイアウトデータであるパネル基板データ211として、一種類の大型パネル基板データA1がパネル基板210上にひとつ存在する例である。液晶パネル201の場合には、パネル基板データA1を分割して、繰り返し構造をもつデータ群をショット枠213に対応付けて抽出し、これをレチクル205上に配置してレチクルレイアウトデータ206とする。
通常この場合には、パネル基板データA1の切断を伴う露光領域の分割が行われることになる。本実施の形態では、パネル基板データの各分割された要素(パネルレイアウト要素)に対応するレチクルレイアウトデータの各要素を、露光要素又は繰り返し要素と称する。レチクルレイアウトデータは、複数の露光要素によって構成されることになる。尚、212は特性が保証された露光領域である。
液晶パネル202は、パネル基板データとして、中型パネル基板データA2とA3が存在する場合である。この場合もパネル基板データA2とA3をパネル基板データの切断を伴う露光領域分割を行い、繰り返し構造をもつデータ群をショット枠213に対応付けて作成するのが通例である。
液晶パネル203は、パネル基板データとして、小型パネル基板データA4とA5がパネル基板上に複数配列された場合である。このような場合には複数のパネル基板データA4と複数のパネル基板データA5を各々ショット枠213に対応付けて生成し、該生成したレチクルレイアウトデータ206をレチクル205上に配置して露光の回数を減らす処理が必要となる。従って、通常この場合には露光領域の分割は必要であるがパネル基板データの切断は伴わない。
液晶パネル203は、パネル基板データとして、小型パネル基板データA4とA5がパネル基板上に複数配列された場合である。このような場合には複数のパネル基板データA4と複数のパネル基板データA5を各々ショット枠213に対応付けて生成し、該生成したレチクルレイアウトデータ206をレチクル205上に配置して露光の回数を減らす処理が必要となる。従って、通常この場合には露光領域の分割は必要であるがパネル基板データの切断は伴わない。
液晶パネル204は、中型パネル基板データA2と小型パネル基板データA4、A5の3種類のパネル基板データがパネル基板上に存在する場合である。このような場合には、中型パネル基板データA2はパネル基板データの切断を伴う露光領域分割を行ってショット枠213に対応付けて生成し、小型レイアウトデータA4、A5はパネル基板データの切断を伴わない露光領域分割を行ってショット枠213に対応付けて生成し、レチクルレイアウトデータ206とする。
このように、レチクルを作成する場合、パネル基板210のパネル基板データ211等から繰り返し構造をもつデータ群を抽出し、これをレチクル205上に複数のショット枠213として配置し、レチクルレイアウトデータを作成する。この際、共通性が高く、より大きなショット枠領域を抽出する。
いずれの場合においても露光装置シミュレーションを行う事により誤データがない事を確認する事が重要である。それはパネル基板データの切断を伴わない場合においても繰り返し配置を行う露光領域の分割は必ず必要であり、この繰り返し配置を指定する際にミスが生じやすいからである。尚、レチクルデータにおけるショット枠データはブラインド枠が設定された図形要素となり、これを露光要素、あるいは、繰り返し要素と称する。
いずれの場合においても露光装置シミュレーションを行う事により誤データがない事を確認する事が重要である。それはパネル基板データの切断を伴わない場合においても繰り返し配置を行う露光領域の分割は必ず必要であり、この繰り返し配置を指定する際にミスが生じやすいからである。尚、レチクルデータにおけるショット枠データはブラインド枠が設定された図形要素となり、これを露光要素、あるいは、繰り返し要素と称する。
本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システムの検証処理について詳説する前に、先ずパネル基板データ検証システムを用いたレチクルデータの作成手順について概略説明する。
図3及び図4は、パネル基板データからレチクルデータを作成する際の一般的な処理手順を示す図であり、図3はパネル基板データ検証システム(レチクルを作成する時点ではレチクル作成システムとして機能させる。)の表示部1の表示内容を示す図、図4はレチクル作成システムを構成するCPU(図示せず)の処理手順を示すフローチャートである。
図3及び図4は、パネル基板データからレチクルデータを作成する際の一般的な処理手順を示す図であり、図3はパネル基板データ検証システム(レチクルを作成する時点ではレチクル作成システムとして機能させる。)の表示部1の表示内容を示す図、図4はレチクル作成システムを構成するCPU(図示せず)の処理手順を示すフローチャートである。
図3(a)にはパネル基板210上のパネル基板データ211を示し、同図(b)にはパネル基板210上へのショット枠213の設定と、レチクル205上へのショット枠213の配置とを示し、同図(c)にはパネル基板210上のパネル基板データ211の切断(例えばショット枠213に沿った切断)を行うことによる抽出、補正パターン(図示せず)生成及びブラインド枠(図示せず)生成を行う際の処理を示している。
また同図(d)にはレチクル設計システムから出力されるレチクルの座標情報を示している。前記座標情報には、露光要素データである各ショット枠に対応するレチクルレイアウトデータ(本実施の形態では露光要素、あるいは、繰り返し要素とも称する。)の幅と高さの情報、繰り返し要素を繰り返して配置する位置の情報(繰り返し配置情報)が含まれている。
図3及び図4を用いてレチクルデータの作成処理について概略説明すると、レチクルデータを作成する場合、先ずCPUは、パネル基板データ211を読み込み(ステップS401)、パネル基板210上でパネル基板データ211に対して複数のショット枠213を設定し、これをレチクル205上にショット枠213を配置してレチクルレイアウトデータ206を作成する(ステップS402)。
次に、ショット枠213に基づいて露光領域の分割を行う。この際、通常指定されたショット枠213の直下には配線データが存在するのでこれを切断しなければならない。ここでデータ切断部分に、前記切断部分よりも幅広のパターン(補正パターン)を生成させる場合(ステップS403、S404)と発生させない場合(ステップS405)がある。
補正パターンを発生させない場合にはショット枠213をオーバラップさせて定義した後、処理ステップS406へ移行する(ステップS405)。このように構成することにより、露光する際に、露光データそのものを多重露光させる事により、微小なズレによるデータの誤切断を防ぐことができる。
補正パターンを発生させない場合にはショット枠213をオーバラップさせて定義した後、処理ステップS406へ移行する(ステップS405)。このように構成することにより、露光する際に、露光データそのものを多重露光させる事により、微小なズレによるデータの誤切断を防ぐことができる。
補正パターンを生成させる場合には補正パターン生成後、処理ステップS406に移行する(ステップS403、S404)。補正パターンを生成した場合、補正パターンそのものが多重露光されるのが一般的であり、結果として微小なズレによる誤切断が防止される。
処理ステップS402において、データの切断を伴わない露光領域の分割の場合には、直ちに、露光領域を囲む所定幅の枠(ブラインド枠)の生成処理(ステップS406)へ移る。
処理ステップS402において、データの切断を伴わない露光領域の分割の場合には、直ちに、露光領域を囲む所定幅の枠(ブラインド枠)の生成処理(ステップS406)へ移る。
処理ステップS406のブラインド枠生成処理では、指定された幅でブラインド枠を生成する。補正パターンは配線パターンよりも幅広のパターンによって構成され、又、ブラインド枠はその内縁が前記補正パターンの外縁に対応するように構成される。
これにより、露光領域のデータとブラインド枠によって構成される露光要素(繰り返し要素)が作成される。露光要素は、ブラインド枠内縁のデータ、即ち、ショット枠213のデータを有している。また、前記露光要素に対応付けられた座標情報が作成される。
これにより、露光領域のデータとブラインド枠によって構成される露光要素(繰り返し要素)が作成される。露光要素は、ブラインド枠内縁のデータ、即ち、ショット枠213のデータを有している。また、前記露光要素に対応付けられた座標情報が作成される。
最後に、レチクルレイアウトデータ及び前記レチクルレイアウトデータに対応付けられた座標情報を出力して処理が終了する(ステップS407)。前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいてパネル基板データが生成されることになる。
ここで、レチクルレイアウトデータとは、露光要素の図形を定義する情報であり、図形データとして長方形図形、一筆書き図形、中心線に幅が定義された図形、及び、これら図形データを構成する中間モジュールから構成されるデータファイルである。レチクルレイアウトデータには、ブラインド枠の図形データ(ブラインド枠内縁の図形データ及びブラインド枠外縁の図形データ)が含まれている。
ここで、レチクルレイアウトデータとは、露光要素の図形を定義する情報であり、図形データとして長方形図形、一筆書き図形、中心線に幅が定義された図形、及び、これら図形データを構成する中間モジュールから構成されるデータファイルである。レチクルレイアウトデータには、ブラインド枠の図形データ(ブラインド枠内縁の図形データ及びブラインド枠外縁の図形データ)が含まれている。
座標情報とは、前述したように、レチクルレイアウトデータに含まれる露光要素の露光位置を定義する情報であり、露光要素の名称と高さと幅と繰り返し配置情報(繰り返し回数と配置座標の情報)が記述されているテキストファイルである。
また、レチクルデータとは、前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報によって構成される情報をいう。
また、レチクルデータとは、前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報によって構成される情報をいう。
図5は、パネル基板に形成されるパネル基板データの構造を示す図である。最上位のモジュールをトップモジュール511と称し、これが1つ存在する。他のモジュールはすべてこのトップモジュール511に隷属する。これがレイアウトデータ下位モジュール512〜515であり、これは階層化されていてもよい。モジュールが有するレイアウトデータとは、例えば液晶パネルの場合には、薄膜トランジスタや液晶ドライバ部の各トランジスタの配置データ516、配線データ517、スルーホール配置データ518がある。
これらのトランジスタ、配線、スルーホールは、名称(配置データはライブラリ名、配線データは配線タイプ名、スルーホールデータはスルーホール名)を持っており、その内容はライブラリファイル(配置モジュールライブラリ、配線タイプライブラリ、スルーホールライブラリ)519に格納されていて、ライブラリとは名称一致にて確認されることになる。
また、トランジスタデータは多用されるため、ライブラリ形式にてパネル基板データとは独立に管理される場合もある。
また、トランジスタデータは多用されるため、ライブラリ形式にてパネル基板データとは独立に管理される場合もある。
図6は、レチクルデータの構造を示す図である。基本的にはパネル基板データと同様な構造である。トップモジュール521は同様に1つ存在する。トップモジュール521の下には複数の繰り返し要素522、523が下位モジュールとして存在し、これがレチクルデータの基本単位となる。
露光要素である繰り返し要素を構成するデータとしては、まずは露光対象データとしてブラインド枠データ524、補正パターンデータ525、切断されたデータ及び切断対象とならなかったデータ526、ショット枠データ527がある。その他、繰り返し要素の幅と高さデータ528、繰り返し要素配置データ529、切断後のショット枠内レイアウト下位モジュールデータ530、配置データ535、スルーホールデータ536がある。
露光要素である繰り返し要素を構成するデータとしては、まずは露光対象データとしてブラインド枠データ524、補正パターンデータ525、切断されたデータ及び切断対象とならなかったデータ526、ショット枠データ527がある。その他、繰り返し要素の幅と高さデータ528、繰り返し要素配置データ529、切断後のショット枠内レイアウト下位モジュールデータ530、配置データ535、スルーホールデータ536がある。
モジュールが有するレイアウトデータとは、パネル基板データと同様に、例えば液晶パネルの場合には、薄膜トランジスタや液晶ドライバ部の各トランジスタの配置データ531、配線データ532、スルーホールデータ533がある。これらのトランジスタ等の配置データ531、配線データ532、スルーホールデータ533は名称を持ち、その内容はライブラリファイル(配置モジュールライブラリ、配線タイプライブラリ、スルーホールライブラリ、アライメントマークライブラリ)534に格納されていて、ライブラリとは名称一致にて確認されることになる。
パネルの場合と同様であり、全てライブラリファイルにて名称一致をもって確定させるデータ構造となっている。また、露光時にはもはや使用しないがショット枠データも保有する。
また、トランジスタデータは多用されるためライブラリ形式にてレチクルデータとは独立に管理される場合もある。
また、トランジスタデータは多用されるためライブラリ形式にてレチクルデータとは独立に管理される場合もある。
図7は、レチクルレイアウトデータの物理層、各データクラス及び層コードの例をメタル1層と2層の場合において示すテーブルである。
例えばメタル1層(アルミ第1層)の場合、ショット枠データは層コード101、ブラインド枠データは層コード102、パターンデータは層コード104、補正パターンは層コード105という具合に、メタル2層(アルミ第2層)についても同様に規定され、各層コードを独立とし、独立に処理可能としている。これらの層コードは、各繰り返し要素において共通に使用される。即ち、物理層とデータクラスが同一であれば、各繰り返し要素間において層コードは共通である。
例えばメタル1層(アルミ第1層)の場合、ショット枠データは層コード101、ブラインド枠データは層コード102、パターンデータは層コード104、補正パターンは層コード105という具合に、メタル2層(アルミ第2層)についても同様に規定され、各層コードを独立とし、独立に処理可能としている。これらの層コードは、各繰り返し要素において共通に使用される。即ち、物理層とデータクラスが同一であれば、各繰り返し要素間において層コードは共通である。
図6及び図7で示したレチクルのデータは最終的にファイル出力されるが、その内容は、長方形図形、一筆書き図形、中心線に幅が定義された図形、及び、これら図形データをまとめたモジュールを中間階層モジュールまたはライブラリモジュールとして有するモジュールから構成される。中間階層モジュールまたはライブラリモジュールとして活用されるのはトランジスタモジュールである。
トランジスタモジュールはその数が多く、展開して保有するとデータ量が膨大となるため、通常はライブラリモジュールとして中間階層定義された形式にて出力される。
ここで、図形データは、本実施の形態に関連する分野におけるデファクトスタンダードとして利用されるGDSフォーマットに対比させれば、長方形図形はレクトアングル、一筆書き図形はバウンダリ、中心線に幅が定義された図形はパス、これら図形データをまとめたモジュールはセルと称されるものである。
ここで、図形データは、本実施の形態に関連する分野におけるデファクトスタンダードとして利用されるGDSフォーマットに対比させれば、長方形図形はレクトアングル、一筆書き図形はバウンダリ、中心線に幅が定義された図形はパス、これら図形データをまとめたモジュールはセルと称されるものである。
図8は、レチクル作成システムが座標情報出力プログラムを実行することによって行う座標情報出力処理示す図であり、パネル基板及びレチクルに対する繰り返し要素の数値表現と配置規定を示している(アライメントマークを含む)。
図8において、801はパネル基板、802はパネル基板データ、803はパネル基板のXY中心座標(本例では、4つのショット枠Aの中心座標に一致している。)(0,0)、804はアライメントマーク(その座標はパネル基板801の中心座標(0,0)を基準とする座標(X0,Y0)である。)である。
図8において、801はパネル基板、802はパネル基板データ、803はパネル基板のXY中心座標(本例では、4つのショット枠Aの中心座標に一致している。)(0,0)、804はアライメントマーク(その座標はパネル基板801の中心座標(0,0)を基準とする座標(X0,Y0)である。)である。
805、808、811はレチクル、807は特性が保証された露光領域である。また、806、809、810、812、813は、各々、ショット枠A、B1、C1、B2、C2に対応する繰り返し要素である。
図8の例では、1つの繰り返し要素806がレチクル805に形成され、2つの繰り返し要素809、810がレチクル808に形成され、2つの繰り返し要素812、813がレチクル811に形成されている。
ブラインド枠まで含めた露光データが繰り返し要素806、809、810、812、813として各々レチクル805、808、811上に作成されることになる。即ち、繰り返し要素とは、ブラインド枠、切断されたデータ、補正パターン及び切断対象とならなかったデータから成る露光データにて構成される。これがショット情報の基本となる。
図8の例では、1つの繰り返し要素806がレチクル805に形成され、2つの繰り返し要素809、810がレチクル808に形成され、2つの繰り返し要素812、813がレチクル811に形成されている。
ブラインド枠まで含めた露光データが繰り返し要素806、809、810、812、813として各々レチクル805、808、811上に作成されることになる。即ち、繰り返し要素とは、ブラインド枠、切断されたデータ、補正パターン及び切断対象とならなかったデータから成る露光データにて構成される。これがショット情報の基本となる。
本実施の形態では、繰り返しがなくても繰り返し要素と称する。繰り返しがない場合の繰り返し数は0である。図8の例では、ショット枠Aに対応する繰り返し要素806の数は2×2(=4)(繰り返し回数は2×2−1)であり(これにより、繰り返し要素Aの集合である繰り返し集合814が形成される。)、ショット枠B1、C1、B2、C2に対応する繰り返し要素809、810、812、813の繰り返し回数は0である。
各繰り返し要素は名称を持つ。各繰り返し要素は各繰り返し要素自体の座標中心に対して幅(W)と高さ(H)が与えられる。各繰り返し要素は、その繰り返し要素よって構成される繰り返し集合の中心座標を基準として配置される。図の例ではパネル基板801の中心座標(0,0)がこれに当たり、中心座標(0,0)を基準とする位置に配置される。
各繰り返し要素は名称を持つ。各繰り返し要素は各繰り返し要素自体の座標中心に対して幅(W)と高さ(H)が与えられる。各繰り返し要素は、その繰り返し要素よって構成される繰り返し集合の中心座標を基準として配置される。図の例ではパネル基板801の中心座標(0,0)がこれに当たり、中心座標(0,0)を基準とする位置に配置される。
一方、レチクルのレイアウトデータとしては、各繰り返し要素はその中心位置がレチクルの中心座標の位置を基準とする座標に配置される。
アライメントマークについては、パネル基板801についてはパネル基板801の中心座標(0,0)を基準とする位置に配置され、レチクルについてはレチクルの中心座標を基準とする位置に配置される。アライメントマークについてはライブラリファイルにて格納定義されている。
アライメントマークについては、パネル基板801についてはパネル基板801の中心座標(0,0)を基準とする位置に配置され、レチクルについてはレチクルの中心座標を基準とする位置に配置される。アライメントマークについてはライブラリファイルにて格納定義されている。
図9も前記同様に、レチクル作成システムが座標情報出力プログラムを実行することによって行う座標情報出力処理示す図であり、座標情報出力の例を示している。図9に示すように、パネル基板801上のパネル基板データ802から繰り返し要素が配置された3つのレチクル805、808、811を生成する場合の出力結果を示している。
ここでは、露光ショット情報として、パネル基板上でのショット情報として繰り返し要素の名称と繰り返し数と幅と高さと配列指定された配置位置と、レチクル上でのショット情報として同繰り返し要素名称と幅と高さと配置位置とが座標情報としてユーザに提供される例を示している。
ここでは、露光ショット情報として、パネル基板上でのショット情報として繰り返し要素の名称と繰り返し数と幅と高さと配列指定された配置位置と、レチクル上でのショット情報として同繰り返し要素名称と幅と高さと配置位置とが座標情報としてユーザに提供される例を示している。
図10〜図12は、露光領域の分割処理方法を示す図で、2つの分割形態を示しており、図11は図10のパネル基板データ1003を分割して切断する際に補正パターン1004を生成する例、図12は図10のパネル基板データ1003を分割して切断する際に補正パターンを生成しない例を示している。
即ち、補正パターン1004を生成する場合、図10及び図11において、ショット枠1002直下にてデータ(例えば配線データ)1003を切断し、切断部位に所定長Δ分だけ伸張させた補正パターン1004、1004を連続的に生成する。このとき、補正パターン1004は、前記切断部位よりも所定長内側の位置から、前記切断部位よりも所定長だけ幅広に構成してもよい。このようにして、2重露光を行う部位1007に補正パターン1004が形成される。
即ち、補正パターン1004を生成する場合、図10及び図11において、ショット枠1002直下にてデータ(例えば配線データ)1003を切断し、切断部位に所定長Δ分だけ伸張させた補正パターン1004、1004を連続的に生成する。このとき、補正パターン1004は、前記切断部位よりも所定長内側の位置から、前記切断部位よりも所定長だけ幅広に構成してもよい。このようにして、2重露光を行う部位1007に補正パターン1004が形成される。
補正パターン1004の外側位置とブラインド枠1005の内側位置が所定量のオフセットを有して所定量重なるように、所定幅のブラインド枠1005が形成される。以上のようにして、補正パターンを有する露光要素データが作成される。ブラインド枠1005の内縁1006はショット枠1002より所定長Δ分だけ伸張した部位となる。ブラインド枠1005の内縁は露光領域の外縁となる。
このように、補正パターン1004を生成させて切断する場合、データ1003の切断はショット枠1002直下にて行われ、補正パターン1004は隣接する露光要素の双方が露光される2重露光領域となり、隣接する露光要素によって形成されるパネル基板データは補正パターン1004によって接続が確保されることになる。
一方、補正パターンを生成させずに切断する場合には、レイアウトデータをオーバラップさせる。オーバラップさせる場合、図12に示すように、ショット枠1002より所定長Δ分だけ伸張させた部分で切断する。隣接するショット枠1001についても、同様に所定長Δ分だけ伸張させた部分で切断してレチクルが形成される。このようにして、2重露光を行う部位1007にオーバラップ部1008が形成される。
一方、補正パターンを生成させずに切断する場合には、レイアウトデータをオーバラップさせる。オーバラップさせる場合、図12に示すように、ショット枠1002より所定長Δ分だけ伸張させた部分で切断する。隣接するショット枠1001についても、同様に所定長Δ分だけ伸張させた部分で切断してレチクルが形成される。このようにして、2重露光を行う部位1007にオーバラップ部1008が形成される。
オーバラップ部1008の外側位置とブラインド枠1005の内側位置が所定量のオフセットを有して所定量重なるように、所定幅のブラインド枠1005が形成される。以上のようにして、オーバラップ部1008を有する露光要素データが作成される。ブラインド枠1005の内縁1006はショット枠1002よりΔ分だけ伸張した部位となる。ブラインド枠1005の内縁は露光領域の外縁となる。
図13は、斜線部1301を有するショット枠1002において切断した露光要素を示す図で、補正パターン1004を形成した露光要素の例である。
図13において、斜線部1301を有するショット枠1002が設定できると繰り返し構造の抽出が容易に出来る場合があり効果的である。
補正パターン1004、1004は、切断された配線データ1003の長さ方向に沿って内側方向と外側方向について所定の補正値が設定される。また、配線データ1003の幅方向に対する補正パターン1004、1004の値は、配線データ1003を挟む幅方向の両側について、各々、所定の補正値が設定される。ブラインド枠1005の幅は水平方向Whと垂直方向Wvにて指定可能である。
図13において、斜線部1301を有するショット枠1002が設定できると繰り返し構造の抽出が容易に出来る場合があり効果的である。
補正パターン1004、1004は、切断された配線データ1003の長さ方向に沿って内側方向と外側方向について所定の補正値が設定される。また、配線データ1003の幅方向に対する補正パターン1004、1004の値は、配線データ1003を挟む幅方向の両側について、各々、所定の補正値が設定される。ブラインド枠1005の幅は水平方向Whと垂直方向Wvにて指定可能である。
水平に切断した端部に対応する補正パターン1004は矩形であり、斜線部1301に対応する補正パターン1004は平行四辺形である。
図13に示すように、内縁1006に斜線部1301を含むブラインド枠1005を持つような場合には、補正パターン1004、1004による2重露光がデータ切断部位には必要となる。
以上、図1〜図13はレチクルレイアウトデータと座標情報がいかにして作成されるかについて説明しているものである。本実施の形態は、第2のパネル基板データのブラインド枠内縁にて第1のパネル基板データを切断し、これを前記ブラインド枠内縁に含まれるレチクルデータによって作成される第2のパネル基板データと比較してそれらの差異を検証するようにしている。
図13に示すように、内縁1006に斜線部1301を含むブラインド枠1005を持つような場合には、補正パターン1004、1004による2重露光がデータ切断部位には必要となる。
以上、図1〜図13はレチクルレイアウトデータと座標情報がいかにして作成されるかについて説明しているものである。本実施の形態は、第2のパネル基板データのブラインド枠内縁にて第1のパネル基板データを切断し、これを前記ブラインド枠内縁に含まれるレチクルデータによって作成される第2のパネル基板データと比較してそれらの差異を検証するようにしている。
図14は、本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システムの構成を示すブロック図で、コンピュータ及び前記コンピュータに実行させるプログラムによって構成した例である。
本実施の形態に係るパネル基板データ検証システムは、後述する全ての処理を行う中央処理装置(CPU)7と、CPU7上で走行する複数のプログラム群と、磁気ディスク装置や半導体メモリ等によって構成され前記プログラム群やデータを記憶する記憶部8と、キーボード2やマウス3によって構成された操作部16と、液晶ディスプレイパネル等によって構成された表示部1を備えている。
本実施の形態に係るパネル基板データ検証システムは、後述する全ての処理を行う中央処理装置(CPU)7と、CPU7上で走行する複数のプログラム群と、磁気ディスク装置や半導体メモリ等によって構成され前記プログラム群やデータを記憶する記憶部8と、キーボード2やマウス3によって構成された操作部16と、液晶ディスプレイパネル等によって構成された表示部1を備えている。
表示部1上にはパネル基板12上のパネル基板データの表示や操作(操作部16によって操作する。)を行うためのパネル基板ウィンドウ9と、レチクル13上のレチクルレイアウトデータの表示や操作を行うためのレチクルウィンドウ10と、操作部16による操作を指示するメニューウィンドウ11の少なくも3つのウィンドウを表示するように構成される。
第1のパネル基板データを入力し、レチクルウィンドウ10上に表示された第2のパネル基板データ用のレチクルデータ13を座標情報に基づいて配置展開させる際に繰り返し要素のブラインド枠内縁(換言すれば、ショット枠)にて第1のパネル基板データを切断し、これとレチクルデータ13に存在するブラインド枠内縁に含まれるレイアウトデータとの図形比較演算処理を加えて検証を行い、加えてエラー図形を表示する機能を加えればパネル基板データ検証システムとなる。ここでエラー図形を表示するウィンドウはパネル基板ウィンドウ9である。
パネル基板データ検証用プログラムの構成としては、第1ステップとして第1のパネル基板データの入力処理と第2のパネル基板データ作成のためのレチクルデータ及び該レチクルデータの座標情報の入力処理を行う入力処理部、第2ステップとして第1のパネル基板データの図形と第2のパネル基板データの図形のグリッド格子同士の所定演算処理とそれに伴う検証処理(即ち、選択したレチクルデータに含まれる図形のグリッド格子と前記レチクルデータに対応して切り出された第1パネル基板データの繰り返し要素の図形のグリッド格子同士の演算処理による検証処理を行う検証処理部)、第3ステップとして検証結果得られた図形の表示処理を行う検証結果表示部、の3段階の処理ステップを行う構成を備えている。
これらのプログラム機能は、すべてメニューウィンドウ11上に表示されたコマンドを操作部16によって操作することにより実行される。図形の表示ウィンドウとしては検証結果図形の表示であるパネル基板ウィンドウ9が少なくとも必要であり、入力部分と演算部分に関しては必ずしも図形表示機能は必要とはいえないが、操作確認上レチクルデータ図形表示機能はあった方が便利である。
ファイル構成としては、入力ファイルとして、第1のパネル基板データを格納したデータファイル、第2のパネル基板データ作成用のレチクルデータ及び該レチクルデータを格納した座標情報ファイルを備えている。また、出力ファイルとして検証結果えられた図形のデータを格納した検証結果図形ファイルを備えている。また、これらの他に、参照ファイルとしてライブラリファイルとルールファイルを備えている。
記憶部8は、CPU7が実行する前記パネル基板データ検証用プログラム等のプログラムが記憶されのプログラム記憶部4、前記入出力データや処理途中の中間データ等のデータファイルを記憶するデータファイル記憶部5、前記ルールファイルやライブラリファイルといった参照ファイルを記憶する参照ファイル記憶部6を備えている。
このようにパネル基板データ検証システムが構成されている。
このようにパネル基板データ検証システムが構成されている。
ここで、表示部1は表示手段を構成し、操作部16は操作手段を構成し、記憶部8は記憶手段を構成している。また、CPU7は、パネル基板データ生成手段、抽出手段、検証手段を構成している。
記憶手段は、第1のパネル基板データと、第2のパネル基板データ用のレチクルレイアウトデータ及び前記レチクルレイアウトデータの座標情報とを記憶することができる。
記憶手段は、第1のパネル基板データと、第2のパネル基板データ用のレチクルレイアウトデータ及び前記レチクルレイアウトデータの座標情報とを記憶することができる。
パネル基板データ生成手段は、レチクルレイアウトデータ及びその座標情報に基づいて、第2のパネル基板データを生成することができる。
抽出手段は、レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、第1のパネル基板データ中の第2のパネル基板データに対応する領域のパネル基板データを抽出することができる。
抽出手段は、レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、第1のパネル基板データ中の第2のパネル基板データに対応する領域のパネル基板データを抽出することができる。
検証手段は、抽出した第1のパネル基板データと第2パネル基板データとの差異を検証することができる。
また、第1のパネル基板データと第2のパネル基板データは、線情報に幅が定義付けられた線データと長方形データと各頂点を記述した多角形データの少なくとも3種類から構成されると共にグリッド格子点の座標によって表わすことができ、この場合、検証手段は、抽出した第1のパネル基板データと第2のパネル基板データのグリッド格子点同士の演算処理を施して差異を検証することにより、検証結果としての図形を生成することができる。
また、第1のパネル基板データと第2のパネル基板データは、線情報に幅が定義付けられた線データと長方形データと各頂点を記述した多角形データの少なくとも3種類から構成されると共にグリッド格子点の座標によって表わすことができ、この場合、検証手段は、抽出した第1のパネル基板データと第2のパネル基板データのグリッド格子点同士の演算処理を施して差異を検証することにより、検証結果としての図形を生成することができる。
また、第1のパネル基板データとレチクルデータは、トランジスタ図形を定義する中間階層を有するか又は中間階層に対応する外部ライブラリとしてトランジスタ図形が定義されるように構成することができ、この場合、検証手段は、トランジスタ図形を展開することなく、抽出した第1のパネル基板データと第2のパネル基板データとの差異を検証することができる。
また、検証手段は、抽出した第1のパネル基板データと第2のパネル基板データの差異を検証する場合、論理XOR処理または差分処理を行うことによって両パネル基板データ間における図形データの差異を抽出することができる。
また、検証手段は、抽出した第1パネル基板データと第2のパネル基板データ間の差異検証をレイヤー単位に行うことができる。
また、検証手段は、抽出した第1のパネル基板データと第2のパネル基板データの差異を検証する場合、差異検証の対象とならなかった第1のパネル基板データ上の領域を算出することができる。
また、検証手段は、抽出した第1パネル基板データと第2のパネル基板データ間の差異検証をレイヤー単位に行うことができる。
また、検証手段は、抽出した第1のパネル基板データと第2のパネル基板データの差異を検証する場合、差異検証の対象とならなかった第1のパネル基板データ上の領域を算出することができる。
表示手段は、検証手段が検証した結果を表示することができる。また、表示手段は、検証結果としての図形を表示することができる。また、表示手段は、検証結果を表示する検証結果ウインドウとダイアログボックスとを有し、前記ダイアログボックス上にてエラー個数を表示すると共に、操作手段によるエラーレイヤの指定に応答して当該レイヤのエラー図形情報を前記検証結果ウィンドウ上に表示することができる。
操作手段は、ダイアログボックス上にてエラーレイヤを指定することができる。
操作手段は、ダイアログボックス上にてエラーレイヤを指定することができる。
また、図14に示したシステムは、記憶部8にレチクル作成システム用のプログラムを記憶して該プログラムをCPU7に実行させることにより、前述したレチクル作成システムとして機能させることができる。
レチクル作成システムとして機能する場合、前記表示手段、操作手段、記憶手段は次のように機能することができる。
例えば、表示手段は、少なくとも、パネル基板のパネル基板データを表示するパネル基板ウインドウ、レチクルレイアウトデータを表示するレチクルウインドウ及び前記操作手段のコマンドを表示するメニューウインドウを表示することができる。
レチクル作成システムとして機能する場合、前記表示手段、操作手段、記憶手段は次のように機能することができる。
例えば、表示手段は、少なくとも、パネル基板のパネル基板データを表示するパネル基板ウインドウ、レチクルレイアウトデータを表示するレチクルウインドウ及び前記操作手段のコマンドを表示するメニューウインドウを表示することができる。
操作手段は、メニューウインドウに表示されるコマンドを選択して入力する。これにより、パネル基板のパネル基板データ上に設定されたショット枠に対して繰り返し配列を指定する等の操作を行うことができる。
記憶手段は、主記憶装置及び外部記憶装置として機能することができる。記憶手段には、パネル基板データを切断可能な条件、補正パターンの幅及びブラインド枠間の最小距離を含む生成条件を記憶することができる。また、記憶手段には、操作手段によって設定した生成条件を記憶することができる。
記憶手段は、主記憶装置及び外部記憶装置として機能することができる。記憶手段には、パネル基板データを切断可能な条件、補正パターンの幅及びブラインド枠間の最小距離を含む生成条件を記憶することができる。また、記憶手段には、操作手段によって設定した生成条件を記憶することができる。
また、CPU7は、レチクル作成システムの場合、レチクルデータ生成手段、繰り返し検証手段、ブラインド枠間隔検証手段を構成している。レチクルデータ生成手段は、前記操作手段によって前記パネル基板ウィンドウ上に設定されたショット枠に対応するパネル基板データを切り取って部分パネル基板データとして抽出し、前記部分パネル基板データに切断データが含まれる場合には該切断データの端部に補正パターンを形成すると共に、内縁が前記補正パターンの外縁に対応するブラインド枠を形成することにより、前記部分パネル基板データに対応する露光要素データを前記レチクルウインドウ上に生成することができる。また、レチクルデータ生成手段は、前記生成条件を満足するように前記露光要素データを生成することができる。
前記レチクルデータ生成手段は、前記操作手段によって前記パネル基板ウィンドウ上に設定されたショット枠に対応するパネル基板データを切り取って部分パネル基板データとして抽出する抽出手段、前記部分パネル基板データに切断データが含まれる場合には該切断データの端部に補正パターンを形成する補正パターン生成手段、及び、内縁が前記補正パターンの外縁に対応するブラインド枠を形成するブラインド枠生成手段を有し、前記部分パネル基板データに対応する露光要素データを前記レチクルウインドウ上に生成することができる。
図15は、2つのパネル基板データの差異、即ち、2つのパネル基板の露光データの差異を検証する処理手順を示す説明図である。
図15において、記憶部8のデータファイル記憶部5に記憶した第1のパネル基板データ151はCPU7にそのまま入力される。
一方、第2パネル基板データ154については、データファイル記憶部5に記憶したレチクルレイアウトデータ152とその座標情報153をCPU7入力し、CPU7がレチクルレイアウトデータ152と座標情報153に基づいて第2のパネル基板データ154を生成する。レチクルレイアウトデータ152は複数の露光要素(繰り返し要素)155を有している。
図15において、記憶部8のデータファイル記憶部5に記憶した第1のパネル基板データ151はCPU7にそのまま入力される。
一方、第2パネル基板データ154については、データファイル記憶部5に記憶したレチクルレイアウトデータ152とその座標情報153をCPU7入力し、CPU7がレチクルレイアウトデータ152と座標情報153に基づいて第2のパネル基板データ154を生成する。レチクルレイアウトデータ152は複数の露光要素(繰り返し要素)155を有している。
CPU7による第1、第2パネル基板データ151、154の比較検証処理は、第2のパネル基板データ154を完全に作成してから行うことも可能であるが、第2のパネル基板データ154を部分的に作成しながら当該作成した部分について順次比較検証するようにすることも可能である。後者の方法によって比較検証する場合には、第2のパネル基板データ154中の1つの繰り返し要素(例えば12/A1_1)を読み込む毎に、該第2のパネル基板データ154に対応する第1のパネル基板データ151の部分(例えば12/A1_1)を切断して抽出し、比較検証する。処理内容としては、いずれの処理方法も図15によって示す処理と等価である。
即ち、CPU7は、入力された第1のパネル基板データ151と、レチクルレイアウトデータ152及び座標情報153に基づいて生成した第2のパネル基板データ154について、第2のパネル基板データ154において配置された繰り返し要素のブラインド枠内縁にて第1のパネル基板データ151を切り出すことによって抽出し、抽出した両者のパネル基板データ(露光データ)について比較検証処理を行う(処理ステップS151)。
ここで、比較検証は、第1パネル基板データ151と第2パネル基板データ154の排他的論理和(XOR)処理の結果と第1又は第2のパネルデータとのAND処理、又は、第1、第2パネル基板データ151、154間の差分算出の演算処理を行う。これらの論理処理または差分処理はすべてグリッド格子点同士の演算処理である。これにより、第1、第2パネル基板データ151、154の片側にしか存在しないデータ(片側露光データ)が検出された場合には、両データが一致していないということであるためエラーデータとして表示処理する。
第1、第2パネル基板データ151、154のいずれにデータが存在するのかについては、XORの場合には続いてAND処理を施し、差分演算の場合にはプラスマイナスの符号により判断できる。これらの結果はエラーデータとして表示されることになる。
第1のパネル基板データ151をA、第2のパネル基板データ154をBとして、第1、第2パネル基板データ151、154の差分データ(A−B)を表示する場合(前述したように、XORを用いて差分と等価なことをするには、XORの結果と、第1又は第2パネル基板データ151、154とのANDをとればよい。)、前記差分が正のときには、第1パネル基板データ151にあるが第2パネル基板データ154には存在しない露光データとして表示する。前記差分が負のときには、第2パネル基板データ154にあるが第1パネル基板データ151には存在しない露光データとして表示する(ステップ152)。
第1のパネル基板データ151をA、第2のパネル基板データ154をBとして、第1、第2パネル基板データ151、154の差分データ(A−B)を表示する場合(前述したように、XORを用いて差分と等価なことをするには、XORの結果と、第1又は第2パネル基板データ151、154とのANDをとればよい。)、前記差分が正のときには、第1パネル基板データ151にあるが第2パネル基板データ154には存在しない露光データとして表示する。前記差分が負のときには、第2パネル基板データ154にあるが第1パネル基板データ151には存在しない露光データとして表示する(ステップ152)。
図16は、2つのパネル基板データ中の露光データの差異を検証するフローチャートであり、CPU7が記憶部8のプログラム記憶部4に記憶されたパネル基板データ検証用プログラムを実行することによって行う処理を示している。
図16において、記憶部8のデータファイル部5から入力される第1のパネル基板データ161及び第2のパネル基板用のレチクルレイアウトデータ162は所謂GDSフォーマットによるデータ表現でグリッド格子による表現形式であり中間階層構造を許す形式である。即ち、第1のパネル基板データ161及びレチクルレイアウトデータ162の図形データは、座標値が既知の点であり所定間隔に位置する複数のグリッド格子点の座標によって表現されたデータである。レチクルレイアウトデータには、フラットパネルディスプレイ露光用レチクルに含まれる露光要素の図形データやブラインド枠内縁の図形データが含まれている。
図16において、記憶部8のデータファイル部5から入力される第1のパネル基板データ161及び第2のパネル基板用のレチクルレイアウトデータ162は所謂GDSフォーマットによるデータ表現でグリッド格子による表現形式であり中間階層構造を許す形式である。即ち、第1のパネル基板データ161及びレチクルレイアウトデータ162の図形データは、座標値が既知の点であり所定間隔に位置する複数のグリッド格子点の座標によって表現されたデータである。レチクルレイアウトデータには、フラットパネルディスプレイ露光用レチクルに含まれる露光要素の図形データやブラインド枠内縁の図形データが含まれている。
通常中間階層としてはトランジスタ階層が取られる。場合によってはトランジスタ階層は外部ライブラリとしてパネル基板データやレチクルデータファイルとは別途装着される場合もある。しかしながら別途装着されていても実質的には中間階層と同等である。レチクルデータファイルに記載されている繰り返し要素の繰り返し配置を記述した座標情報データは、通常テキストファイルである。
また、入力データである第2のパネル基板データ用の座標情報データ163は、レチクルレイアウトデータ162の繰り返し要素の繰り返し配置位置を記述したデータであり、テキストファイルによって構成されている。前記座標情報には、グリッド格子点の座標によって表され、ディスプレイパネル上の露光要素の露光位置やブラインド枠内縁の位置を表す情報が含まれている。
また、入力データである第2のパネル基板データ用の座標情報データ163は、レチクルレイアウトデータ162の繰り返し要素の繰り返し配置位置を記述したデータであり、テキストファイルによって構成されている。前記座標情報には、グリッド格子点の座標によって表され、ディスプレイパネル上の露光要素の露光位置やブラインド枠内縁の位置を表す情報が含まれている。
CPU7の処理は、プログラム記憶部4に記憶した入力処理プログラムを実行することによってデータファイル記憶部5からデータ161〜163を読み込んで所定のテーブルを作成する入力処理部(ステップS161)、検証処理プログラムを実行することによって図形と図形のグリッド格子同士の比較演算処理による検証を行う検証処理部(ステップS162〜S165)、及び、検証結果を表示する表示処理部(ステップS166)の3部にて構成される。
入力処理部(ステップS161)では、入力データとして第1パネル基板データ161、第2パネル基板データ用のレチクルデータ162及び該レチクルレイアウトデータ162の座標情報データ163があり、この際パネル基板データ161とレチクルレイアウトデータ162にトランジスタ中間階層があればこれは展開しないで中間階層を保持したままとする。
ここで、座標情報163をスキャンして、配置された第2パネル基板データの繰り返し要素のブラインド枠内縁に基づいて、前記繰り返し要素と空間的に接するパネル基板データ161が容易にピックアップ出来るテーブル(後述する図22のテーブル1)を、第1のパネル基板データ161に対して作成する。また、第1のパネル基板データ161についてはトランジスタ中間階層を有している場合には、比較演算時間削減のため中間階層を維持しながら最下層まで容易にピックアップ出来るテーブル(後述する図24のテーブル2)を持った形態にて作成する。これはレチクルレイアウトデータ162についても同様な構造がとられる。これにより、比較演算処理を高速化することが可能であるばかりでなくデータ量削減等も可能になる。
これ以降、図形の演算処理による検証処理部その1(ステップS164)に入る。演算処理は論理演算または差分演算である。論理演算の場合はXORとANDであり(前述したように、第1のパネル基板データと第2のパネル基板データのXORをとった結果と、第1のパネル基板データ又は第2のパネル基板データとのANDをとる。)、代わりに差分演算を適用してもよい。この論理演算処理または差分処理はすべてグリッド格子同士の演算処理である。
第2のパネル基板データの配置された繰り返し要素のブラインド枠内縁にて第1のパネル基板データ161を切断して抽出し、これと前記配置された繰り返し要素ブラインド枠内縁内に存在する前記第2のパネル基板データとの比較演算処理を行う。
この際、切断線上にトランジスタ階層が存在すればこれを展開する。また、トランジスタ階層が両者に存在すればトランジスタ同士にて比較演算処理を行い、一致すればそのトランジスタライブラリについてはエラーが無いのでそれ以降の検証は行わない。勿論、エラーがあった場合でもそのトランジスタライブラリについては存在するエラーが確認されたので、やはりそれ以降の検証を行う必要はない。
この際、切断線上にトランジスタ階層が存在すればこれを展開する。また、トランジスタ階層が両者に存在すればトランジスタ同士にて比較演算処理を行い、一致すればそのトランジスタライブラリについてはエラーが無いのでそれ以降の検証は行わない。勿論、エラーがあった場合でもそのトランジスタライブラリについては存在するエラーが確認されたので、やはりそれ以降の検証を行う必要はない。
これにより検証時間の大幅な短縮が得られる。これは、液晶パネル等に見られるようなトランジスタアレイが前提となるレイアウトにおいては極めて効果大であるといえる。片側(第1パネル基板161側又は第2パネル基板側)にのみデータが存在する結果はエラーデータ(片側露光エラー図形データ)として認識されて、記憶部8のデータファイル記憶部5に格納される。
次の検証処理その2(ステップS165)は、すべての配置された繰り返し要素にて比較演算処理が終えたあと(ステップS163)、比較演算対象とならなかった第1のパネル基板データ161領域が存在するかを検証するものである。そのような領域が存在し且つそこに第1のパネル基板データ161が存在すれば、それは第1のパネル基板データ161側に存在するエラーデータ(非対象領域エラー図形データ)としてデータファイル部5に格納される。このように、抽出した第1のパネル基板データと第2のパネル基板データの差異を検証する場合、差異検証の対象とならなかった第1のパネル基板データ上の領域を算出することにより、エラーデータを検出する。
ここで重要なのは、処理ステップS163〜S165の論理処理または差分処理の演算処理部はレイヤ単位にて処理され(ステップS162)、作成されるエラーデータもデータファイル記憶部5にレイヤ単位にて格納されて行くということである。これは、露光はフラットパネルディスプレイのレイヤ単位において行われるのでレイヤ単位にて検証しなければならないからである。加えて、表示の際にもレイヤ単位となるからエラーデータをレイヤ単位にて格納させておいた方がアクセス時間が早くなるからである。
最後に演算処理した結果の図形を表示する表示処理部があり、CPU7は表示部1に、片側露光エラー図形や検証対象とならなかった非対象領域エラー図形の表示(エラー表示)を行う(ステップS166)。CPU7は表示部1のパネル基板ウインドウ9に前記エラー表示を行わせる。
最後に演算処理した結果の図形を表示する表示処理部があり、CPU7は表示部1に、片側露光エラー図形や検証対象とならなかった非対象領域エラー図形の表示(エラー表示)を行う(ステップS166)。CPU7は表示部1のパネル基板ウインドウ9に前記エラー表示を行わせる。
尚、CPU7は、処理結果を表示部1に表示させる場合、エラーか否かの判定基準が記憶部8に設定されているときにはエラー表示データのみを表示させ、エラーか否かの判定基準が設定されていないときには単純に処理結果を表示させるように構成してもよい。また、CPU7は、処理結果を表示部1に表示させる場合、必ずしも図形を表示する必要はなく、文字等によってエラー内容、あるいは、エラーか否かの判断を行わない場合には単に処理結果を表示するように構成してもよい。
図17及び図18は、第1のパネル基板データを、第2のパネル基板データの基となるレチクルレイアウトデータの繰り返し要素内縁によって切り出して抽出する処理を示す説明図である。
図17及び図18において、171は第2のパネル基板データ用のレチクルレイアウトデータ、172はブラインド枠、173はブラインド枠内縁である。第2のパネル基板データの繰り返し要素内には、レチクル作成時にブラインド枠172によって既に切り出されたデータがレチクルレイアウトデータ171として存在している。
図17及び図18において、171は第2のパネル基板データ用のレチクルレイアウトデータ、172はブラインド枠、173はブラインド枠内縁である。第2のパネル基板データの繰り返し要素内には、レチクル作成時にブラインド枠172によって既に切り出されたデータがレチクルレイアウトデータ171として存在している。
図18に示すように、第2パネル基板データ用の座標情報に基づいて、第2パネル基板データのブラインド枠内縁173を、第2パネル基板データ用の座標情報に対応する第1のパネル基板データ181の位置に重ねて配置し、ブラインド枠内縁173を超えるデータがあれば切断する。尚、図18において、ラインデータ183は中心線と幅によって定まる図形データであり、前記中心線と幅が定義されている。レクトデータ184は対角線上の2点の座標によって定まる四角形の図形データであり、一方の対角線上の2点の座標が定義されている。また、バウンダリデータ185は複数の頂点の座標によって定義され、前記定義された各頂点を通る直線によって囲まれた多角形の図形データであり、図18の例では4点の座標を指定することによって台形状の多角形が規定されている。
通常、比較対象となる第1パネル基板データ181も何らかのレチクルデータにて作成されたのであるから、第1パネル基板データ181は繰り返し要素にて切断されている。従って本実施の形態では、大幅に異なったパネル基板データ同士を比較するのではなく、主として元のパネル基板データをマイナーチェンジするような場合の検証により好適であり、基本的に同等であり多少異なる部分の差異を検出して検証する場合により好適である。即ち、第1のパネル基板データ181の繰り返し要素と、第2のパネル基板データの繰り返し要素のブラインド枠内縁173の位置及び形状が同じで、各ブラインド枠172内のレイアウトデータが少し異なるような場合に、第1、第2パネル基板の各繰り返し要素同士を単純に比較演算処理すればよいため、比較演算処理が簡単になり、より好適である。
しかしながら、第1のパネル基板データが第2のパネル基板データの基となるレチクルデータに記述されている繰り返し要素にて切断されて作成された保証は勿論無く、必要に応じて、第2パネル基板データの繰り返し要素に対応するように第1のパネル基板データの切断が必要となる。図19、図20は、第1パネル基板データを、第2パネル基板用ブラインド枠によって切り出す際の処理を示す説明図である。
図19及び図20において、第2パネル基板データ用の座標情報に基づいて、第2パネル基板データのブラインド枠内縁173を、第2パネル基板データ用の座標情報に対応する第1のパネル基板データ191の位置に重ねて配置し、ブラインド枠内縁173を超えるデータがあれば切断する。図19の例では、ラインデータ183がブラインド枠内縁173によって切断されるが、レクトデータ194及び場生んだりデータ195は切断されない。これにより、図20に示すように第1パネル基板データを、ブラインド枠内縁173に沿って切り出したレイアウトデータが得られる。
尚、比較すべき領域はブラインド枠内縁にて切り出された領域であり、これは図11、図12に示すごとく周辺部には、2重露光を行う領域を含んでいる。従って、この周辺部の2重露光領域については複数回比較検証されることになる。たとえ複数回比較検証処理されるとしても、第2のパネル基板データの基となるレチクルデータは既に作成されており、これを利用する方が処理時間上有利である。
図21は、比較演算を高速に処理するためのテーブル1(詳細は図22参照)を作成する際のデータの関係を示している。即ち、第1のパネル基板データの各データ(レクトアングル等の各図形データ)からは各データを規定するXY座標の最大値及び最小値(Min/Max)(図形データを囲む符号2100、2101で示す四角形の角)を算出しておき、第2のパネル基板データの配置された繰り返し要素のブラインド枠内縁2105のXY座標の最大値及び最小値(Min/Max)と重なるデータ領域があれば両者は関連する可能性があるので、これを利用して両者の関係を高速に索引できるようにするためのテーブル1にデータを登録する処理を例示している。
尚、図21の例では、(X,Y)座標のX値及びY値の双方が最大となる点を最大値(Max)とし、X値及びY値の双方が最小となる点を最小値(Min)としている。バウンダリデータ2102の場合、点Aの座標が最小値で点Bの座標が最大値である。
尚、図21の例では、(X,Y)座標のX値及びY値の双方が最大となる点を最大値(Max)とし、X値及びY値の双方が最小となる点を最小値(Min)としている。バウンダリデータ2102の場合、点Aの座標が最小値で点Bの座標が最大値である。
各第1パネル基板データの露光データからMin/Maxを算出して領域を決定し、第2パネル基板データの配置された繰り返し要素のブラインド枠内縁2105より作成された領域のMin/Maxによって定まる領域と重なる可能性があるか否かを判別する。
露光データがレクトアングル2104やパス2103での場合これらの図形の角がMax/Minに相当するためMin/Maxは簡単に求まり、バウンダリデータ2102の場合には各角のデータからMin、Maxを求めることになる。ブラインド枠は通常バウンダリで記述されるから、やはりこれも各角のデータ関係を計算してブラインド枠内側のMin/Maxを算出することになる。
露光データがレクトアングル2104やパス2103での場合これらの図形の角がMax/Minに相当するためMin/Maxは簡単に求まり、バウンダリデータ2102の場合には各角のデータからMin、Maxを求めることになる。ブラインド枠は通常バウンダリで記述されるから、やはりこれも各角のデータ関係を計算してブラインド枠内側のMin/Maxを算出することになる。
図22は、第2のパネル基板データの配置された繰り返し要素データと第1のパネル基板データに存在する露光データとの関係を示すポインタテーブル(テーブル1)2201である。即ち、第2のパネル基板データの配置された繰り返し要素のブラインド枠内縁HとWより作成された領域に重なる可能性のある第1パネル基板データの露光データを示すテーブルである。
アドレス、インスタンス名(各データ要素の固有名称)、繰り返し要素名は、すべて第2のパネル基板データの配置された繰り返し要素に関するものである。算出された関連するデータ数とは、図21で算出されたMin/Maxによって関連する可能性のある第1のパネル基板データの図形データの数である。第2データへのポインタとは、第2パネル基板データの配置された繰り返し要素2202へのポインタである(即ち、これは配置されたレチクル単位にデータが纏まっている。)。
アドレス、インスタンス名(各データ要素の固有名称)、繰り返し要素名は、すべて第2のパネル基板データの配置された繰り返し要素に関するものである。算出された関連するデータ数とは、図21で算出されたMin/Maxによって関連する可能性のある第1のパネル基板データの図形データの数である。第2データへのポインタとは、第2パネル基板データの配置された繰り返し要素2202へのポインタである(即ち、これは配置されたレチクル単位にデータが纏まっている。)。
チェインへのポインタとは、図21で述べた比較参照の結果2つのMin/Maxがオーバラップしている第1の露光データへのポインタであり、これは纏まっている保証はないのでチェインポインタとなっている。チェインポインタとは、データがメモリ上に離散的に存在している時に、データそのものへのポインタと次のデータへのポインタを示す2重構造を利用する一般的なやり方である。図22の例では、チェインのポインタは次のチェインのポインタ2203に連結され、第1の露光データへのポインタ2204はMax/Min2205で示す第1の露光データより作成されたバウンダリデータに連結されている。次のチェインポインタ2203は、算出された関連するデータ数に相当して繋がるように構成される。全く同一構造のテーブルが新しいパネル基板データに対しても作成される。
このように、あらかじめ比較対照となりうる第1のパネル基板データの対照を絞っておくことにより、各レイヤー単位での処理において比較対照が絞られるので処理時間が短縮される。このようなテーブル1を両パネル基板データに対して作成することも可能であるが、第2のパネル基板データの場合には読み込んだレチクルデータ単位にて処理すれば充分なので、纏まっている保証のない第1の露光データに対して多少複雑なチェインポインタのテーブル1をひとつ作っておけばよい。これは本実施の形態の特徴の1つでもある。
即ち、本発明はふたつのパネル基板データの比較検証に特化しており、第2のパネル基板データはレチクルからその場で展開作成されるものであるから、レチクル単位にて比較検証を行ってゆけばよい特徴を有する。第1のパネル基板データも、もちろん作成されたときはレチクルから展開作成されたものであるが、製造上の比較検証の意味からすれば、実際にパネルを製造した第1のパネル基板データそのものと新たに作成されたレチクルとの比較検証を行うことが重要である。
図23は、第1パネル基板データのデータ構造を示す図である。レチクルレイアウトデータと座標情報から作成される第2パネル基板データや前記第2パネル基板データ作成用のレチクルレイアウトデータも同様のデータ構造を有している。また、図24は、図23のデータ構造に対応するテーブル2を示す図で、階層化構造を維持したテーブル構造を示している。
先ず、図23及び図24の概要を説明すると、繰り返し要素は中間階層を有する場合があり多くの場合これはトランジスタ階層である。このトランジスタ階層を展開してしまうとデータ量が膨大となるため、本実施の形態では中間階層をあらかじめ展開するのではなく中間階層のままポインタ構造にてデータをライブラリとして保持し、必要に応じて展開する動的な処理を行っている。これにより、比較すべきトランジスタ同士が一旦比較されてしまえば、それ以降の処理において比較する必要がなくなるので処理時間の大幅な短縮が図れる。
尚、2つの異なる中間階層に同一のより下位なる中間階層が出現したとしても、これは共通化しない手法を採用している。これは、着目している繰り返し要素に出現したトランジスタが他の繰り返し要素に出現したとしても着目した要素のみにて完全に展開できるようにした為である。図23及び図24の例では、TR1とTR2が異なる繰り返し要素に出現しているが独立にテーブル登録されている例が示してある。
次に図23、図24に沿って説明すると、図23において、階層構造の最上位に唯一位置するトップモジュール181の下層には、配置された繰り返し要素182、188が設けられている。配置された繰り返し要素182、188は、例えば、トランジスタ階層である。
配置された繰り返し要素182の下層には、図形データ183、トランジスタ(TR1)184及び図形データ185から成る直列階層構造、及び、トランジスタ(TR2)186及び図形データ187から成る直列階層構造が並列に設けられている。
配置された繰り返し要素188の下層には、図形データ189、トランジスタ(TR1)190及び図形データ191から成る直列階層構造、及び、トランジスタ(TR2)192及び図形データ193から成る直列階層構造が並列に設けられている。
配置された繰り返し要素182の下層には、図形データ183、トランジスタ(TR1)184及び図形データ185から成る直列階層構造、及び、トランジスタ(TR2)186及び図形データ187から成る直列階層構造が並列に設けられている。
配置された繰り返し要素188の下層には、図形データ189、トランジスタ(TR1)190及び図形データ191から成る直列階層構造、及び、トランジスタ(TR2)192及び図形データ193から成る直列階層構造が並列に設けられている。
また、図24において、前記テーブルは、アドレス、インスタンス名、繰り返し要素名又はライブラリ名、図形データへのポインタ、中間階層モジュールインスタンス名、中間階層モジュールライブラリ名、及び、中間階層モジュールライブラリへのポインタを有している。
繰り返し要素は中間階層を有する場合があり、多くの場合これはトランジスタ階層である。このトランジスタ階層を展開してしまうとデータ量が膨大となるため、本実施の形態では中間階層を予め展開するのではなく中間階層のままポインタ構造にてデータをライブラリとして保持し、必要に応じて展開する動的(ダイナミック)な処理を行っている。
繰り返し要素は中間階層を有する場合があり、多くの場合これはトランジスタ階層である。このトランジスタ階層を展開してしまうとデータ量が膨大となるため、本実施の形態では中間階層を予め展開するのではなく中間階層のままポインタ構造にてデータをライブラリとして保持し、必要に応じて展開する動的(ダイナミック)な処理を行っている。
但し、ふたつの異なる中間階層に同一のより下位なる中間階層が出現したとしても、これは共通化しない手法を採用している。これは、着目している繰り返し要素に出現したトランジスタが他の繰り返し要素に出現したとしても、着目した要素のみにて完全に展開できるようにした為である。図19では、トランジスタTR1とTR2が異なる繰り返し要素に出現しているが、独立にテーブル登録されている例が示してある。
次に、図形の論理処理または差分処理と検証処理について説明する。
図25は、第2パネル基板データのブラインド枠内縁によって第1パネル基板データを切り出し、前記切り出した第1パネル基板データと前記ブラインド枠に対応する第2パネル基板データとを比較検証する処理の説明図である。本例では片側露光領域検出のための図形論理処理または図形差分処理を示している。
図25は、第2パネル基板データのブラインド枠内縁によって第1パネル基板データを切り出し、前記切り出した第1パネル基板データと前記ブラインド枠に対応する第2パネル基板データとを比較検証する処理の説明図である。本例では片側露光領域検出のための図形論理処理または図形差分処理を示している。
第1のパネル基板データ2501のレクトアングルデータ2504と第2のパネル基板データ2502のレクトアングルデータ2505は同一であるが、両者のパスデータ2506、2507には差異がある場合の例である。
第1のパネル基板データ2501と第2のパネル基板データ2502の比較演算証(XOR処理又は差分処理)を行うことにより、検証結果図形データ2503が得られる。
第1のパネル基板データ2501と第2のパネル基板データ2502の比較演算証(XOR処理又は差分処理)を行うことにより、検証結果図形データ2503が得られる。
検証結果図形データ2503には、第1のパネル基板データ2501と第2のパネル基板データ2502の一方に存在する図形領域2508、2509が含まれることになる。尚、このときの比較演算処理は、前述したように、各図形データに対応するグリッド格子点同士の比較演算処理によって行われる。
検証結果である検証結果図形データ2503は、そのまま表示部1のパネル基板ウインドウ9に表示される。
検証結果である検証結果図形データ2503は、そのまま表示部1のパネル基板ウインドウ9に表示される。
図26は図25と同様の処理をグリッド格子点2600によって表現した図であり、パスデータをグリッド格子点によって表現している。また、図27は比較演算検証した場合の論理値表である。
図26において、第1のパネル基板データ2601のパスデータ2604と第2のパネル基板データ2602のパスデータ2605に差異がある場合の例である。
図26において、第1のパネル基板データ2601のパスデータ2604と第2のパネル基板データ2602のパスデータ2605に差異がある場合の例である。
第1のパネル基板データ2601と第2のパネル基板データ2602の比較演算証(XOR処理又は差分処理)を行うことにより、グリッド格子点によって表した検証結果図形データ2603が得られる。検証結果図形データ2603には、第1のパネル基板データ2601と第2のパネル基板データ2602の一方に存在する図形領域2606、2607が含まれることになる。尚、このときの比較演算処理は、前述したように、グリッド格子点同士の比較演算処理によって行われる。
検証結果である検証結果図形データ2603は、そのまま表示部1のパネル基板ウインドウ9に表示される。
検証結果である検証結果図形データ2603は、そのまま表示部1のパネル基板ウインドウ9に表示される。
差分処理では符号によりデータが第1パネル基板データ(L)にあるのか第2パネル基板データ(R)にあるのかが判定できる。論理処理の場合にはXORをとることにより差異があることは確認できるが、LにあるのかRにあるのかは判別できない。図には示していないが、XORの結果をL、R各々とAND処理し、LとのAND処理結果に“1”が存在すればL側に存在するエラーデータであり、RとのAND処理結果に“1”が存在すればR側に存在するエラーデータである。
差分結果は符号を有しており単なる論理処理より情報量が多く、XOR結果にて差分処理と完全に同等な情報を得ようとすれば、XOR処理の後にAND処理が必要ということになる。纏めれば、論理処理の場合であればXORとAND処理、差分処理の場合には差分処理によって情報として完全等価な検証結果が得られる。
差分結果は符号を有しており単なる論理処理より情報量が多く、XOR結果にて差分処理と完全に同等な情報を得ようとすれば、XOR処理の後にAND処理が必要ということになる。纏めれば、論理処理の場合であればXORとAND処理、差分処理の場合には差分処理によって情報として完全等価な検証結果が得られる。
第1、第2パネル基板データL、Rの各グリッド格子点に対するXOR処理の定義を図27(b)に示し、第1、第2パネル基板データL、Rの各グリッド格子点を用いた(L−R)差分処理の定義を同図(b)に示す。
○は論理値0であり、パネル基板データL、Rの両方に露光するデータが存在するか、あるいは、パネル基板データL、Rの両方に露光するデータが存在しないグリッド格子点を表している。また、●は論理値1であり、パネル基板データL、Rのいずれか片側に露光するデータが存在するグリッド格子点を表している。また、正●はパネル基板データLに露光するデータが存在する場合を表し、負●はパネル基板データRに露光するデータが存在する場合を表している。
○は論理値0であり、パネル基板データL、Rの両方に露光するデータが存在するか、あるいは、パネル基板データL、Rの両方に露光するデータが存在しないグリッド格子点を表している。また、●は論理値1であり、パネル基板データL、Rのいずれか片側に露光するデータが存在するグリッド格子点を表している。また、正●はパネル基板データLに露光するデータが存在する場合を表し、負●はパネル基板データRに露光するデータが存在する場合を表している。
このようにして、片側領域にのみ存在する露光されるグリッド格子点が検出される。差分処理の場合は、正負の符号によって、露光される格子点がどちら側に存在していたのかの情報も付加されることになる。このように、XORの場合には結果は差異があることのみが判明するが、差分の場合には正負の符号によりどちらの領域に露光データが片側存在していたかの情報まで付加できるので便利である。
XORまたは差分処理をした結果、論理1の場合そのグリッド格子点は露光データが片側にのみ存在する図形データを示し、論理0の場合は露光データは両側に存在するかもしくは両側に存在しないグリッド格子点を示す。
XORまたは差分処理をした結果、論理1の場合そのグリッド格子点は露光データが片側にのみ存在する図形データを示し、論理0の場合は露光データは両側に存在するかもしくは両側に存在しないグリッド格子点を示す。
図28及び図29は、検証結果のグラフィック表示について説明する説明図で、図28は表示部1に表示されるダイアログボックス431を示す図、図29は表示部1のパネル基板ウインドウ9に表示されるグラフィックデータ形式のエラー表示を示す図で、グリッド格子点形式の表示である。
検証条件等の設定は、操作部16によってダイアログボックス431内の操作ボタンを操作することによって設定する。例えば、検証はすべてレイヤ単位に行われるので、操作部16から、ダイアログボック431にて表示したいレイヤの指定をおこない、続いて表示したいエラータイプを指定して検索を指示する。
検証条件等の設定は、操作部16によってダイアログボックス431内の操作ボタンを操作することによって設定する。例えば、検証はすべてレイヤ単位に行われるので、操作部16から、ダイアログボック431にて表示したいレイヤの指定をおこない、続いて表示したいエラータイプを指定して検索を指示する。
ここで、表示したいエラータイプとは、第1パネル基板データ又は第2パネル基板データの一方のみに露光データが存在する片側露光領域、比較検証しなかった非対象領域が存在する場合の非対象領域の2種類である。各エラータイプは操作部16によって表示する色を指定することが可能である。図29では、●は前記5種類のエラー中のいずれかのエラーを有するグリッド格子点(エラーグリッド格子点)を表し、○は前記エラーを有しないグリッド格子点を表している。
CPU7は操作部16によってエラータイプ等が指定されると、設定された条件に基づいて、エラー箇所が何箇所あるかを表示部1に表示する。
続いて、ユーザが操作部16によって表示操作領域432内の各操作ボタンを操作して、エラーの箇所を次、前、最初、最後、と指示すればその際にパネル基板ウィンドウ9に表示されているエラー領域に対して、指示された内容が表示される。
エラー箇所は何箇所も表示されることが通例であり、例えば、その次を指定すれば、そこで表示されている解像度において上方左側を始点とし右側に移動し右側に領域が無いようであれば下方左側にジャンプして表示を行う。また拡大、縮小が指示されればその時に表示されている中心座標に対して拡大または縮小したグラフィックデータを表示する。
続いて、ユーザが操作部16によって表示操作領域432内の各操作ボタンを操作して、エラーの箇所を次、前、最初、最後、と指示すればその際にパネル基板ウィンドウ9に表示されているエラー領域に対して、指示された内容が表示される。
エラー箇所は何箇所も表示されることが通例であり、例えば、その次を指定すれば、そこで表示されている解像度において上方左側を始点とし右側に移動し右側に領域が無いようであれば下方左側にジャンプして表示を行う。また拡大、縮小が指示されればその時に表示されている中心座標に対して拡大または縮小したグラフィックデータを表示する。
図30は、検出されたエラー図形のデータ構造を示す図である。エラーデータは、トップモジュール451に、エラーモジュール452、454、456、458のモジュール名を自動生成されてリンクされる。エラーとなる図形データ453、455、457、459は、各エラーモジュール452、454、456、458の直下にリンクされる。エラーモジュール452、454、456、458はインスタンス名もライブラリ名も同一であり、従って、同じ形状をしたエラーデータであっても共有化はされない。これはエラーはパネル基板において基本的には独立に発生するからである。
以上述べたように、本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システムは、CPU7は、データファイル記憶部5に記憶したレチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて第2のパネル基板データを生成し、前記レチクルレイアウトデータに含まれるブラインド枠内縁の情報及び前記座標情報に基づいて第1のパネル基板データ中の前記第2のパネル基板データに対応する領域のパネル基板データを抽出し、前記抽出した第1のパネル基板データと前記第2パネル基板データとの差異を検証し、表示部1のパネル基板ウインドウ9に前記検証した結果をグラフィック表示するようにしている。
したがって、第1のパネル基板データと新規に作成される第2のパネル基板データとの比較検証を、第2のパネル基板データを作成するレチクルレイアウトデータと座標情報を用いて行うことができる。
これにより、設計変更したレチクルによって作成される第2のパネル基板データ内容が既存の第1のパネル基板データに対してどのように異なるかの差異がグラフィックにて検証できるので、第1、第2のパネル基板データの差異や、第1のパネル基板データ用のレチクルデータと第1のパネル基板データ用のレチクルデータとの差異を簡単な構成で容易に把握できるという効果を奏する。
これにより、設計変更したレチクルによって作成される第2のパネル基板データ内容が既存の第1のパネル基板データに対してどのように異なるかの差異がグラフィックにて検証できるので、第1、第2のパネル基板データの差異や、第1のパネル基板データ用のレチクルデータと第1のパネル基板データ用のレチクルデータとの差異を簡単な構成で容易に把握できるという効果を奏する。
また、設計変更の内容が容易に確認できるので、製造前等において変更内容を容易に確認でき、極めて有効である。。
また、フィールド障害においても、すなわち製造後においても、第1の既存パネル基板のデータが第2のレチクルデータと座標情報から作成されたのか否かを検証することができるので、問題切り分けが重要となるフィールド障害解析に欠かせない機能が実現できる。即ち、製造前後において極めて有効な検証機能を実現することができる。
また、フィールド障害においても、すなわち製造後においても、第1の既存パネル基板のデータが第2のレチクルデータと座標情報から作成されたのか否かを検証することができるので、問題切り分けが重要となるフィールド障害解析に欠かせない機能が実現できる。即ち、製造前後において極めて有効な検証機能を実現することができる。
また、本実施の形態によれば、表示部1、操作部16、CPU7及び記憶部8を有するコンピュータに実行させることによって前記パネル基板データ検証システムを構築するパネル基板データ検証用プログラムを提供することが可能になる。また、前記効果を奏するパネル基板データ検証方法が提供される。
尚、前記実施の形態では、1つのコンピュータを用いてパネル基板データ検証システムを構築するようにしたが、複数のコンピュータを用いて構築するようにしてもよい。この場合、前記各プログラムは、システム構成に応じて適宜分割した構成とすることができる。
尚、前記実施の形態では、1つのコンピュータを用いてパネル基板データ検証システムを構築するようにしたが、複数のコンピュータを用いて構築するようにしてもよい。この場合、前記各プログラムは、システム構成に応じて適宜分割した構成とすることができる。
液晶ディスプレイをはじめとしてELディスプレイ等の各種ディスプレイのパネル基板データの検証を行うパネル基板データ検証システムに利用可能である。また、コンピュータを、各種ディスプレイのパネル基板データの検証を行うパネル基板データ検証システムとして機能させるプログラムに利用可能である。
1・・・表示部
2・・・キーボード
3・・・マウス
4・・・プログラム記憶部
5・・・データファイル記憶部
6・・・ファイル記憶部
7・・・CPU
8・・・記憶部
9・・・パネル基板ウインドウ
10・・・レチクルウインドウ
11・・・メニューウインドウ
12、101、210、801・・・パネル基板
13、205、805、808、811・・・レチクル
16・・・操作部
102、212・・・露光領域
103・・・露光可能領域
104・・・光源系機構
105・・・遮光系機構
107・・・露光面
151、154・・・パネル基板データ
152、162、206・・・レチクルレイアウトデータ
153・・・座標情報
155、806、809、810、812、813・・・繰り返し要素(露光要素)
201〜204・・・液晶パネル
161、211、802、1003・・・パネル基板データ
163・・・座標情報
213、1002・・・ショット枠
431・ダイアログボックス
432・・・表示操作領域
804・・・アライメントマーク
1004・・・補正パターン
1005・・・ブラインド枠
1006・・・ブラインド枠内縁
1007・・・2重露光を行う部位
1008・・・オーバラップ部
1301・・・斜線部
2600・・・グリッド格子点
2・・・キーボード
3・・・マウス
4・・・プログラム記憶部
5・・・データファイル記憶部
6・・・ファイル記憶部
7・・・CPU
8・・・記憶部
9・・・パネル基板ウインドウ
10・・・レチクルウインドウ
11・・・メニューウインドウ
12、101、210、801・・・パネル基板
13、205、805、808、811・・・レチクル
16・・・操作部
102、212・・・露光領域
103・・・露光可能領域
104・・・光源系機構
105・・・遮光系機構
107・・・露光面
151、154・・・パネル基板データ
152、162、206・・・レチクルレイアウトデータ
153・・・座標情報
155、806、809、810、812、813・・・繰り返し要素(露光要素)
201〜204・・・液晶パネル
161、211、802、1003・・・パネル基板データ
163・・・座標情報
213、1002・・・ショット枠
431・ダイアログボックス
432・・・表示操作領域
804・・・アライメントマーク
1004・・・補正パターン
1005・・・ブラインド枠
1006・・・ブラインド枠内縁
1007・・・2重露光を行う部位
1008・・・オーバラップ部
1301・・・斜線部
2600・・・グリッド格子点
Claims (8)
- 第1のパネル基板データと、第2のパネル基板データ用のレチクルレイアウトデータ及び前記レチクルレイアウトデータの座標情報とを記憶する記憶手段と、
前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、前記第2のパネル基板データを生成するパネル基板データ生成手段と、
前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、前記第1のパネル基板データ中の前記第2のパネル基板データに対応する領域のパネル基板データを抽出する抽出手段と、
前記抽出した第1のパネル基板データと前記第2パネル基板データとの差異を検証する検証手段と、
前記検証手段が検証した結果を表示する表示手段とを備えて成ることを特徴とするパネル基板データ検証システム。 - 前記第1のパネル基板データと第2のパネル基板データは、線情報に幅が定義付けられた線データと長方形データと各頂点を記述した多角形データの少なくとも3種類から構成されると共にグリッド格子点の座標によって表わされたデータであり、
前記検証手段は、前記抽出した第1のパネル基板データと前記第2のパネル基板データの前記グリッド格子点同士の演算処理を施して差異を検証することにより、検証結果としての図形を生成し、
前記表示手段は前記図形を表示することを特徴とする請求項1記載のパネル基板データ検証システム。 - 前記第1のパネル基板データと前記レチクルデータは、トランジスタ図形を定義する中間階層を有するか又は中間階層に対応する外部ライブラリとしてトランジスタ図形が定義され、
前記検証手段は、前記トランジスタ図形を展開することなく、前記抽出した第1のパネル基板データと前記第2のパネル基板データとの差異を検証することを特徴とする請求項1又は2記載のパネル基板データ検証システム。 - 前記検証手段は、前記抽出した第1のパネル基板データと前記第2のパネル基板データの差異を検証する場合、論理XOR処理または差分処理を行うことによって両パネル基板データ間における図形データの差異を抽出することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載のパネル基板データ検証システム。
- 前記検証手段は、前記抽出した第1パネル基板データと前記第2のパネル基板データ間の差異検証をレイヤー単位に行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一に記載のパネル基板データ検証システム。
- 前記検証手段は、前記抽出した第1のパネル基板データと前記第2のパネル基板データの差異を検証する場合、差異検証の対象とならなかった前記第1のパネル基板データ上の領域を算出することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一に記載のパネル基板データ検証システム。
- 前記表示手段は前記検証結果を表示する検証結果ウインドウとダイアログボックスとを有すると共に、前記ダイアログボックス上にて前記エラーレイヤを指定する操作手段を有し、
前記表示手段は、前記ダイアログボックス上にてエラー個数を表示すると共に、前記指定手段によるエラーレイヤの指定に応答して当該レイヤのエラー図形情報を前記検証結果ウィンドウ上に表示することを特徴とする請求項6記載のパネル基板データ検証システム。 - コンピュータを、請求項1乃至7のいずれか一に記載のパネル基板データ検証システムとして機能させるためのプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007307555A JP2009134335A (ja) | 2007-11-28 | 2007-11-28 | パネル基板データ検証システム及びプログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007307555A JP2009134335A (ja) | 2007-11-28 | 2007-11-28 | パネル基板データ検証システム及びプログラム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009134335A true JP2009134335A (ja) | 2009-06-18 |
Family
ID=40866189
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007307555A Pending JP2009134335A (ja) | 2007-11-28 | 2007-11-28 | パネル基板データ検証システム及びプログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009134335A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006023649A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Toshiba Corp | 半導体集積回路パターンの検証方法、フォトマスクの作成方法、半導体集積回路装置の製造方法、及び半導体集積回路パターンの検証方法を実現するためのプログラム |
JP2006053248A (ja) * | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Toshiba Corp | 設計パターンデータ作成方法、マスクパターンデータ作成方法、マスク製造方法、半導体装置の方法およびプログラム |
-
2007
- 2007-11-28 JP JP2007307555A patent/JP2009134335A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006023649A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Toshiba Corp | 半導体集積回路パターンの検証方法、フォトマスクの作成方法、半導体集積回路装置の製造方法、及び半導体集積回路パターンの検証方法を実現するためのプログラム |
JP2006053248A (ja) * | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Toshiba Corp | 設計パターンデータ作成方法、マスクパターンデータ作成方法、マスク製造方法、半導体装置の方法およびプログラム |
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