JP2009133782A - 水素センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水素脆性材料からなるナノワイヤーWを有し、このナノワイヤーWが水素と反応して断線することを検出することにより水素を検知する。これにより、水素を常温で検知可能とする共に、その応答速度を高めることが可能である。
【選択図】図2
Description
この水素センサでは、水素脆性材料からなるナノワイヤーが水素と反応して断線することを水素検知に用いることによって、水素を常温で検知可能とする共に、その応答速度を高めることが可能である。
これにより、水素検知の応答速度を高めることができる。なお、ナノワイヤーの太さの下限については、物理的に形成可能な太さの限界値であればよい。
これにより、支持部材の開口部を通過する水素が、この開口部に臨む位置に架橋されたナノワイヤーに接触した場合に、ナノワイヤーが水素と反応して断線しやすくなる。したがって、水素の検出精度を高めることが可能である。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
本発明を適用した水素センサ1は、図1及び図2に示すように、水素脆性材料からなるナノワイヤーWを有し、このナノワイヤーWが水素と反応して断線したことを検出することにより水素を検知することを特徴としている。
支持部材2は、例えばガラス等の剛性を有する絶縁部材からなる。この支持部材2は、その形状について特に限定されないものの、例えば、開口部2aが形成された枠部4と、この枠部4を支持する一対の脚部5a,5bとを有している。
例えば、上記水素センサ1では、上記リードフレーム6a,6bの先端部の間にナノワイヤーWが配置された構成となっているが、このような構成に限らず、ナノワイヤーWは、支持部材2の開口部2aに臨む位置に架橋した状態で、少なくとも1本以上配置されていればよい。これにより、上記支持部材2の開口部2aを通過する水素が、この開口部2aに臨む位置に架橋されたナノワイヤーWに接触した場合に、ナノワイヤーWが水素と反応して断線しやすくなる。したがって、水素の検出精度を高めることが可能である。また、ナノワイヤーWを複数本配置した場合には、何れかのナノワイヤーWが断線したことを検出することによって、水素検知に対する応答速度を更に高めることが可能である。
Claims (3)
- 水素脆性材料からなるナノワイヤーを有し、このナノワイヤーが水素と反応して断線したことを検出することにより水素を検知することを特徴とする水素センサ。
- 前記ナノワイヤーの太さが100nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の水素センサ。
- 開口部が設けられた支持部材を備え、
前記ナノワイヤーは、前記支持部材の開口部に臨む位置に架橋した状態で、少なくとも1本以上配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の水素センサ。
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