JP2009127079A - プラズマ処理容器内部材及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のプラズマ処理容器内部材の製造方法は、複数組のアノード101とカソード102を溶射方向に延びる中心軸aの周囲に配置し、各アノード101とカソード102間に発生するプラズマ流を収束器110で合流させて前記中心軸上の先端に開口する1のノズル120から大気中に放射するプラズマ溶射装置100を用い、該プラズマ溶射装置100の前記中心軸a上で粉末投入パイプ115からY2O3の粉末状素材を供給する。複数のアノードとカソードにより高温のプラズマを生成し、中心軸後方からY2O3の粉末状素材を供給するため、高温で低粘性の溶融粒子となり、基材の表面に気孔率5%未満の溶射皮膜を形成することができる。
【選択図】 図1
Description
〔実施例1〕
出力 100KW/h
粉末供給量 毎分38g
溶射膜厚 220μm
気孔率 1.0%
〔実施例2〕
出力 98KW/h
粉末供給量 毎分38g
溶射膜厚 200μm
気孔率 1.2%
〔実施例3〕
出力 94KW/h
粉末供給量 毎分38g
溶射膜厚 200μm
気孔率 1.8%
〔実施例4〕
出力 85KW/h
粉末供給量 毎分38g
溶射膜厚 200μm
気孔率 4.5%
〔実施例5〕
出力 90KW/h
粉末供給量 毎分38g
溶射膜厚 200μm
気孔率 2.9%
〔実施例6〕
出力 86KW/h
粉末供給量 毎分38g
溶射膜厚 200μm
気孔率 4.5%
図4は、実施例1における溶射膜の断面図を、模式的に示した図である。基材150の表面は、前述したようにサンドブラストなどによって粗面化されている。また、溶射膜160は、溶融粒子が付着して固化するため、表面が平面にならず、凹凸に富んだ形状となっている。図4は、溶射膜160を基材(プラズマ処理容器内部材)150の表面に垂直な面で切断した断面を示している。
を本発明における溶射膜の気孔率とした。
102 カソード
110 収束器
120 ノズル
150 基材
160 Y2O3の溶射膜
a 中心軸
Claims (3)
- 基材の表面が、大気プラズマ溶射によるY2O3溶射皮膜によって被覆され、前記Y2O3溶射皮膜の気孔率が、5%未満であることを特徴とするプラズマ処理容器内部材。
- 前記Y2O3の溶射膜と前記基材表面との間に、中間層を形成したことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理容器内部材。
- 複数組のアノードとカソードを溶射方向に延びる中心軸の周囲に配置し、各アノードとカソード間に発生するプラズマ流を収束器で合流させて前記中心軸上の先端に開口する1のノズルから大気中に放射するプラズマ溶射装置を用い、該プラズマ溶射装置の前記中心軸上で前記ノズルの後方からY2O3の粉末状素材を供給し、基材の表面に気孔率5%未満の溶射皮膜を形成することを特徴とするプラズマ処理容器内部材の製造方法。
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