JP2009110608A - Optical pickup device - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical pickup device equipped with an electromagnetic actuator which can prevent enlarging of the device. <P>SOLUTION: The optical pickup 1 comprises a semiconductor laser 2, a light attenuating filter actuator 100 for attenuating a laser beam from the semiconductor laser 2, a light receiving sensor 17 for detecting return light from an optical disk after the laser beam is radiated to the optical disk, and a current control circuit 19. The light attenuating filter actuator 100 is configured such that two movable sections (a first movable section 105 having the light attenuating filter and a second movable section 108 having a glass plate) move between two positions (position on a light path and position out of the light path) in the optical axis direction and vertical direction of the laser beam (A1 direction and A2 direction). The current control circuit 19 discriminates the position of each movable section of the light attenuating filter actuator 100 based on a change of a light intensity of the light receiving sensor 17 and outputs the result to the light attenuating filter actuator 100. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、光ピックアップ装置に関し、特に光の光路上にある可動物を移動させるアクチュエータを備える光ピックアップ装置に関する。   The present invention relates to an optical pickup device, and more particularly to an optical pickup device including an actuator that moves a movable object on an optical path of light.

従来、光の光路上にある可動物を移動させるアクチュエータを含むデバイスとしては、たとえば、光ピックアップ装置が考えられる。光ピックアップ装置には、対物レンズ、コリメータレンズ、減光フィルタ、及び光路スイッチングミラーなどのアクチュエータによる移動動作が必要な部品が搭載されている。近年、光ピックアップ装置には、ＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤ Ｄｉｓｃ、ＢＤ Ｄｉｓｃなどの多彩な光ディスクに記録・再生する必要性から、光ピックアップ装置に含まれる部品の点数が多くなるので、光ピックアップ装置の体積が大きくなるという問題がある。また、光ディスクドライブは、ポータブルＤＶＤプレーヤーやモバイルＰＣなどにも搭載されており、光ピックアップ装置の小型化および薄型化が望まれている。   Conventionally, as a device including an actuator that moves a movable object on an optical path of light, for example, an optical pickup device can be considered. In the optical pickup device, components that require a moving operation by an actuator such as an objective lens, a collimator lens, a neutral density filter, and an optical path switching mirror are mounted. In recent years, since the optical pickup device needs to be recorded / reproduced on various optical discs such as CD, DVD, HD Disc, and BD Disc, the number of parts included in the optical pickup device is increased. There is a problem that becomes larger. Optical disk drives are also mounted on portable DVD players, mobile PCs, and the like, and it is desired to reduce the size and thickness of optical pickup devices.

このような光ピックアップ装置に搭載されているアクチュエータとしては、従来、エレクトレットを用いた静電気力によるアクチュエータが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。   As an actuator mounted on such an optical pickup device, an actuator based on electrostatic force using an electret has been conventionally proposed (for example, see Patent Document 1).

上記特許文献１に記載の静電気力によるアクチュエータは、第１の光透過性部材と、第２の光透過性部材と、第３の光透過性部材とを備えており、第１の光透過性部材と第２の光透過性部材との間には、赤外光を遮断する特性を有する第１フィルムが配置され、第２の光透過性部材と第３の光透過性部材との間には、可視光の透過量を低減する特性を有する第２フィルムが配置されている。また、第１フィルムと第２フィルムとには、それぞれ、複数のエレクトレット部分が備えられている。また、第１の光透過性部材と第２の光透過性部材とには、それぞれ、第１フィルムと第２フィルムとに設けられた複数のエレクトレット部分に対向する面に複数の電極が設けられている。上記特許文献１に記載の静電気力によるアクチュエータでは、第１の光透過性部材と第２の光透過性部材とに設けられる複数の電極と、第１フィルムと第２フィルムとに設けられる複数のエレクトレット部位との間の静電気力によって、第１フィルムと第２フィルムとを移動することが可能となっている。
特開２００５−９９２０８号公報 The actuator based on electrostatic force described in Patent Document 1 includes a first light transmissive member, a second light transmissive member, and a third light transmissive member. A first film having a property of blocking infrared light is disposed between the member and the second light transmissive member, and between the second light transmissive member and the third light transmissive member. Is arranged with a second film having the characteristic of reducing the amount of visible light transmitted. Each of the first film and the second film is provided with a plurality of electret portions. The first light transmissive member and the second light transmissive member are each provided with a plurality of electrodes on the surfaces facing the plurality of electret portions provided on the first film and the second film, respectively. ing. In the actuator based on electrostatic force described in Patent Document 1, a plurality of electrodes provided on the first light transmitting member and the second light transmitting member, and a plurality of electrodes provided on the first film and the second film. The first film and the second film can be moved by the electrostatic force between the electret parts.
JP-A-2005-99208

上記のようなアクチュエータでは、第1フィルムや第２フィルムが所定の位置に移動したことを保障するためにその位置検知を確実に行う必要がある。しかしながら、こうした第１フィルムや第２フィルムの位置検知を行うセンサとしては、第１フィルムや第２フィルムの移動を受けて検知するスイッチのような機械部品で構成されたものが多く、アクチュエータの部品点数の増加およびそれに伴うアクチュエータの大型化が問題となっている。したがって、こうしたアクチュエータを搭載する光ピックアップ装置の小型化を図ることが困難となっている。   In the actuator as described above, it is necessary to reliably detect the position of the first film or the second film to ensure that the first film or the second film has moved to a predetermined position. However, many of the sensors for detecting the position of the first film and the second film are composed of mechanical parts such as switches that detect the movement of the first film and the second film. The increase in the number of points and the accompanying increase in the size of the actuator are problematic. Therefore, it is difficult to reduce the size of the optical pickup device equipped with such an actuator.

本発明はこうした課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、装置が大型化するのを抑制することが可能なアクチュエータを備える光ピックアップ装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of these problems, and an object thereof is to provide an optical pickup device including an actuator capable of suppressing an increase in size of the device.

上記目的を達成するために、本発明に係る光ピックアップ装置は、光源と、光源から発する光を直接または間接的に検知する光検出部と、光源と光検出部との間の光路上の第１の位置と前記光路から外れた第２の位置との間を移動可能に設けられた第１の可動部を有するアクチュエータと、第１の可動部を移動させる移動手段と、を備える光ピックアップ装置であって、移動手段により第１の可動部を第１の位置または第２の位置に移動させる制御を行ったとき、光検出部で検出される光量の変化に基づいて第１の可動部の位置検出を行うことを特徴とする。   In order to achieve the above object, an optical pickup device according to the present invention includes a light source, a light detection unit that directly or indirectly detects light emitted from the light source, and a first light path between the light source and the light detection unit. An optical pickup device comprising: an actuator having a first movable part movably provided between a position 1 and a second position off the optical path; and a moving means for moving the first movable part. Then, when control is performed to move the first movable part to the first position or the second position by the moving means, the first movable part is controlled based on the change in the amount of light detected by the light detection part. It is characterized by performing position detection.

本発明によれば、装置が大型化するのを抑制することが可能なアクチュエータを備える光ピックアップ装置が提供される。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, an optical pick-up apparatus provided with the actuator which can suppress that an apparatus enlarges is provided.

以下、本発明を具現化した実施形態について図面に基づいて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings, the same reference numerals are given to the same components, and the description will be omitted as appropriate.

（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態による電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ１００）を備えた光ピックアップ装置の構成を示した概略図である。まず、図１を参照して、第１実施形態の光ピックアップ装置１の構成について説明する。 (First embodiment)
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of an optical pickup device including an electromagnetic actuator (a neutral density filter actuator 100) according to a first embodiment of the present invention. First, the configuration of the optical pickup device 1 according to the first embodiment will be described with reference to FIG.

第１実施形態の光ピックアップ装置１は、図１に示すように、半導体レーザ２と、減光フィルタアクチュエータ１００と、偏光ビームスプリッタ７と、コリメータレンズ９と、１／４波長板１１と、対物レンズ１３と、受光レンズ１５と、受光センサ１７と、電流制御回路１９と、を備える。この光ピックアップ装置１は、たとえば、ＢＤ規格の光ディスク３０ａに対して書き込みおよび読み出しを行うことが可能なように構成されている。   As shown in FIG. 1, the optical pickup device 1 of the first embodiment includes a semiconductor laser 2, a neutral density filter actuator 100, a polarization beam splitter 7, a collimator lens 9, a quarter wavelength plate 11, an objective, A lens 13, a light receiving lens 15, a light receiving sensor 17, and a current control circuit 19 are provided. The optical pickup device 1 is configured so as to be able to write to and read from, for example, a BD standard optical disc 30a.

半導体レーザ２は、光源として約４０５ｎｍの波長を有する青紫色のレーザ光を出射するために設けられている。この半導体レーザ２は、光ディスク３０ａに対して書き込みおよび読み出しが行われる際にレーザ光を出射するように構成されている。   The semiconductor laser 2 is provided to emit blue-violet laser light having a wavelength of about 405 nm as a light source. The semiconductor laser 2 is configured to emit laser light when writing to and reading from the optical disk 30a.

減光フィルタアクチュエータ１００（図２および図３参照）は、具体的な構成および動作は後述するが、２つの可動部（減光フィルタを有する第１の可動部１０５およびガラス板を有する第２の可動部１０８）がそれぞれレーザ光の光軸方向と垂直な方向（Ａ１方向およびＡ２方向）に２つの位置（光路上の位置および光路から外れた位置）間を移動可能に構成されている。また、２つの可動部は、互いに連動して移動するとともに、２つの位置を入れ替わるように構成されている。具体的には、第１の可動部１０５は、読み出し時に光路上の位置に配置されるとともに、書き込み時に光路から外れた位置に配置されるように構成されている。そして、第２の可動部１０８は、第１の可動部１０５の移動に連動して第１の可動部１０５と反対方向へ移動し、読み出し時に光路から外れた位置に配置されるとともに、書き込み時に光路上の位置に配置される。なお、減光フィルタを有する第１の可動部１０５は読み出し時にのみ半導体レーザ２から出射されたレーザ光の強度を小さくするために設けられ、ガラス板を有する第２の可動部１０８は第１の可動部１０５の有無により生じる光路長の変化、すなわちレーザ光の位相変化を抑制するために設けられている。   Although the specific configuration and operation of the neutral density filter actuator 100 (see FIGS. 2 and 3) will be described later, two movable parts (a first movable part 105 having a neutral density filter and a second movable part having a glass plate). The movable portion 108) is configured to be movable between two positions (a position on the optical path and a position off the optical path) in directions perpendicular to the optical axis direction of the laser light (A1 direction and A2 direction). In addition, the two movable parts are configured to move in conjunction with each other and interchange two positions. Specifically, the first movable unit 105 is arranged at a position on the optical path at the time of reading and at a position off the optical path at the time of writing. The second movable unit 108 moves in the opposite direction to the first movable unit 105 in conjunction with the movement of the first movable unit 105, and is disposed at a position out of the optical path at the time of reading and at the time of writing. It is arranged at a position on the optical path. The first movable part 105 having a neutral density filter is provided to reduce the intensity of the laser light emitted from the semiconductor laser 2 only during reading, and the second movable part 108 having a glass plate is the first movable part 108. It is provided to suppress a change in the optical path length caused by the presence or absence of the movable portion 105, that is, a phase change of the laser beam.

偏光ビームスプリッタ７は、光ディスク３０ａに向かうＢ１方向のレーザ光を透過するとともに、光ディスク３０ａから戻ってくるＢ２方向のレーザ光を反射するために設けられている。   The polarization beam splitter 7 is provided to transmit the laser beam in the B1 direction toward the optical disc 30a and reflect the laser beam in the B2 direction returning from the optical disc 30a.

コリメータレンズ９は、光軸方向（Ｂ１方向およびＢ２方向）に移動可能に構成されている。また、コリメータレンズ９は、レーザ光を所定のビーム径を有する平行光とするとともに、レーザ光の焦点位置を調整するために設けられている。   The collimator lens 9 is configured to be movable in the optical axis direction (B1 direction and B2 direction). The collimator lens 9 is provided to make the laser light parallel light having a predetermined beam diameter and adjust the focal position of the laser light.

１／４波長板１１は、光ディスク３０ａに向かうＢ１方向のレーザ光を直線偏光から円偏光に変換するとともに、光ディスク３０ａから戻ってくるＢ２方向のレーザ光を、円偏光から光ディスク３０ａに向かうＢ１方向のレーザ光とは直交する直線偏光に変換するために設けられている。   The quarter-wave plate 11 converts the laser light in the B1 direction toward the optical disk 30a from linearly polarized light to circularly polarized light, and converts the B2 direction laser light returned from the optical disk 30a into the B1 direction from the circularly polarized light toward the optical disk 30a. Is provided for conversion into linearly polarized light orthogonal to the laser beam.

対物レンズ１３は、光軸方向（Ｂ１方向およびＢ２方向）および光軸方向と垂直な方向（Ａ１方向およびＡ２方向）に移動可能に構成されている。また、対物レンズ１３は、レーザ光の焦点位置を調整するために設けられている。   The objective lens 13 is configured to be movable in the optical axis direction (B1 direction and B2 direction) and in the direction perpendicular to the optical axis direction (A1 direction and A2 direction). The objective lens 13 is provided to adjust the focal position of the laser light.

受光レンズ１５は、偏光ビームスプリッタ７により反射されたレーザ光を受光センサ１７に集光するために設けられている。   The light receiving lens 15 is provided for condensing the laser light reflected by the polarization beam splitter 7 on the light receiving sensor 17.

受光センサ１７は、集光されたレーザ光を検知し、その光量を電荷（電気信号）に変換して出力するために設けられている。   The light receiving sensor 17 is provided for detecting the condensed laser light, converting the light amount into an electric charge (electric signal), and outputting it.

電流制御回路１９は、アナログ／デジタルコンバータ（Ａ／Ｄ）、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、及びサーボ制御ＬＳＩなどから構成されている。また、電流制御回路１９では、受光センサ１７から入力される光量情報（特に各可動部の移動前後の光量変化）に基づいて減光フィルタアクチュエータ１００の各可動部（第１の可動部１０５および第２の可動部１０８）の位置を判別した後、こうした判別結果を減光フィルタアクチュエータ１００に出力するために設けられている。   The current control circuit 19 includes an analog / digital converter (A / D), a central processing unit (CPU), a servo control LSI, and the like. Further, in the current control circuit 19, each movable portion (the first movable portion 105 and the first movable portion 105) of the neutral density filter actuator 100 is based on the light amount information input from the light receiving sensor 17 (particularly, the light amount change before and after each movable portion is moved). After the position of the second movable portion 108) is determined, the determination result is provided to output the determination result to the neutral density filter actuator 100.

（減光フィルタアクチュエータ）
図２は第１実施形態の光ピックアップ装置に搭載の電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ１００）の主要な構成を示した模式図である。図３（Ａ）は減光フィルタアクチュエータの概略側面図、図３（Ｂ）は減光フィルタアクチュエータの概略上面図である。なお、図３（Ａ）は図２のＢ１方向を見た状態、図３（Ｂ）は図３（Ａ）の第２の支持部１０９がない状態で示している。 (Light attenuation filter actuator)
FIG. 2 is a schematic diagram showing the main configuration of the electromagnetic actuator (the dimming filter actuator 100) mounted on the optical pickup device of the first embodiment. 3A is a schematic side view of the neutral density filter actuator, and FIG. 3B is a schematic top view of the neutral density filter actuator. 3A shows a state in which the direction B1 in FIG. 2 is viewed, and FIG. 3B shows a state in which the second support portion 109 in FIG. 3A is not provided.

減光フィルタアクチュエータ１００は、図２に示すように、主として２つの磁石部（磁石部１０４ａおよび１０４ｂ）を有する第１の支持部１０１と、こうした第１の支持部１０１の上の２つの位置（光路上の位置および光路から外れた位置）間を移動可能に保持され、且つ、互いに平行に移動する２つの可動部（第１の可動部１０５および第２の可動部１０８）と、から構成されている。   As shown in FIG. 2, the neutral density filter actuator 100 includes a first support part 101 mainly having two magnet parts (magnet parts 104 a and 104 b) and two positions on the first support part 101 ( Two movable parts (a first movable part 105 and a second movable part 108) which are held so as to be movable between a position on the optical path and a position off the optical path) and which move in parallel with each other. ing.

具体的には以下の通りである。   Specifically, it is as follows.

第１の支持部１０１には、図３（Ａ）に示すように、第１の可動部１０５および第２の可動部１０８の移動方向（Ａ１方向またはＡ２方向）に沿って２つの磁石部（磁石部１０４ａおよび１０４ｂ）が極性を反転して配置されている。ここで、各磁石部には、単極磁石（ネオジウムボロン磁石）が採用され、磁石部１０４ａの上面がＳ極、磁石部１０４ｂの上面がＮ極となっている。磁石部１０４ａと磁石部１０４ｂの寸法・規格は同一のものが採用される。なお、第１の支持部１０１はアクチュエータ内で固定されている。   As shown in FIG. 3A, the first support portion 101 includes two magnet portions (along the A1 direction or the A2 direction) of the first movable portion 105 and the second movable portion 108 (A1 direction or A2 direction). Magnet portions 104a and 104b) are arranged with the polarity reversed. Here, a monopolar magnet (neodymium boron magnet) is adopted for each magnet portion, and the upper surface of the magnet portion 104a is an S pole and the upper surface of the magnet portion 104b is an N pole. The same size and standard are adopted for the magnet portion 104a and the magnet portion 104b. The first support portion 101 is fixed in the actuator.

第１の可動部１０５は、図３に示すように、第１の基板１１２ａと、この第１の基板１１２ａの下面に設けられた第１のコイル１０２と、上面上に設けられた減光フィルタ１０３と、から構成されている。   As shown in FIG. 3, the first movable part 105 includes a first substrate 112a, a first coil 102 provided on the lower surface of the first substrate 112a, and a neutral density filter provided on the upper surface. 103.

第１のコイル１０２は、銅からなる１層の平面コイルにより構成されている。第１のコイル１０２は、各磁石部（磁石部１０４ａおよび１０４ｂ）と対向して設けられ、電流を流すことにより磁石部１０４ａまたは磁石部１０４ｂの磁極面に対して第１の可動部１０５を移動させる磁界を発生する。   The first coil 102 is composed of a single-layer planar coil made of copper. The first coil 102 is provided to face each magnet part (magnet parts 104a and 104b), and moves the first movable part 105 with respect to the magnetic pole surface of the magnet part 104a or the magnet part 104b by passing an electric current. To generate a magnetic field.

減光フィルタ１０３は、第１のコイル１０２と各磁石部との対向面と垂直な方向（Ｃ１方向およびＣ２方向）に延在し、第１の可動部１０５が光路上の位置（第１の位置Ｐ１）に移動した際に、光路を横切るように配置されている。減光フィルタ１０３には、ガラス板をベース基板として、その表面にフッ素（Ｆ）、マグネシウム（Ｍｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、及びクロム（Ｃｒ）を含むレーザ光吸収材料からなる遮光領域（図示せず）が形成されている。この遮光領域が減光フィルタアクチュエータにおける減光フィルタとして機能し、第１の可動部１０５に入射されるレーザ光を所定の光量にまで減光する。   The neutral density filter 103 extends in a direction (C1 direction and C2 direction) perpendicular to the facing surface of the first coil 102 and each magnet unit, and the first movable unit 105 is positioned on the optical path (first When moving to the position P1), it is arranged so as to cross the optical path. The neutral density filter 103 includes a glass plate as a base substrate, and a light shielding region (not shown) made of a laser light absorbing material containing fluorine (F), magnesium (Mg), nickel (Ni), and chromium (Cr) on the surface thereof. ) Is formed. This light shielding region functions as a neutral density filter in the neutral density filter actuator, and attenuates the laser light incident on the first movable portion 105 to a predetermined light quantity.

第２の可動部１０８は、図３に示すように、第２の基板１１２ｂと、この第２の基板１１２ｂの下面に設けられた第２のコイル１１０と、上面上に設けられたガラス板１０６と、から構成されている。   As shown in FIG. 3, the second movable portion 108 includes a second substrate 112b, a second coil 110 provided on the lower surface of the second substrate 112b, and a glass plate 106 provided on the upper surface. And is composed of.

第２のコイル１１０は、第１のコイル１０２と同様、銅からなる１層の平面コイルにより構成されている。ここでは、両コイルには同一の寸法・規格のものが採用されている。第２のコイル１１０は、各磁石部（磁石部１０４ａおよび１０４ｂ）と対向して設けられ、電流を流すことにより磁石部１０４ａまたは磁石部１０４ｂの磁極面に対して第２の可動部１０８を移動させる磁界を発生する。この際、第１のコイル１０２と反対方向の電流を流すことにより、第２の可動部１０８は第１の可動部１０５の移動と反対方向へ移動する。   Similar to the first coil 102, the second coil 110 is composed of a single layer planar coil made of copper. Here, the same dimensions and standards are adopted for both coils. The second coil 110 is provided to face each magnet part (magnet parts 104a and 104b), and moves the second movable part 108 with respect to the magnetic pole surface of the magnet part 104a or the magnet part 104b by passing an electric current. To generate a magnetic field. At this time, the second movable portion 108 moves in the direction opposite to the movement of the first movable portion 105 by passing a current in the opposite direction to the first coil 102.

ガラス板１０６は、第２のコイル１１０と各磁石部との対向面と垂直な方向（Ｃ１方向およびＣ２方向）に延在し、第２の可動部１０８が光路上の位置（第１の位置Ｐ１）に移動した際に、光路を横切るように配置されている。ガラス板１０６は、第２の可動部１０８に入射されるレーザ光をそのまま透過する。   The glass plate 106 extends in a direction (C1 direction and C2 direction) perpendicular to the facing surface of the second coil 110 and each magnet unit, and the second movable unit 108 is positioned on the optical path (first position). When moving to P1), it is arranged so as to cross the optical path. The glass plate 106 transmits the laser light incident on the second movable portion 108 as it is.

第１の可動部１０５および第２の可動部１０８は、第２の支持部１０９に設けられたガイド枠として機能する凹部にそれぞれはめ込まれ、互いに平行に設置されている。   The first movable portion 105 and the second movable portion 108 are fitted into recesses that function as guide frames provided in the second support portion 109, and are installed in parallel to each other.

そして、本発明の光ピックアップ装置に搭載される減光フィルタアクチュエータ１００では、各コイル（第１のコイル１０２および第２のコイル１１０）への印加電流を制御することにより、各可動部（第１の可動部１０５および第２の可動部１０８）が凹部に沿って２つの位置（光路上の位置および光路から外れた位置）間を入れ替わるように移動するようになっている。たとえば、第２の可動部１０８は、第１の可動部１０５が光路上の位置（第１の位置Ｐ１）から光路から外れた位置（第２の位置Ｐ２）に移動する際、第１の可動部１０５の移動に連動して第１の可動部１０５と反対方向に移動（第２の位置Ｐ２から第１の位置Ｐ１に移動）する。   And in the neutral density filter actuator 100 mounted in the optical pick-up apparatus of this invention, by controlling the electric current applied to each coil (the 1st coil 102 and the 2nd coil 110), each movable part (1st The movable portion 105 and the second movable portion 108) move so as to switch between two positions (a position on the optical path and a position off the optical path) along the recess. For example, when the first movable unit 108 moves from a position on the optical path (first position P1) to a position (second position P2) that is out of the optical path, the first movable unit 108 In conjunction with the movement of the part 105, it moves in the opposite direction to the first movable part 105 (moves from the second position P2 to the first position P1).

以上のように、電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ１００）が構成される。   As described above, the electromagnetic actuator (the dimming filter actuator 100) is configured.

なお、半導体レーザ２は本発明の「光源」、受光センサ１７は本発明の「光検出部」、第１の位置Ｐ１は本発明の「第１の位置」、第２の位置Ｐ２は本発明の「第２の位置」、第１の可動部１０５は本発明の「第１の可動部」、第２の可動部１０８は本発明の「第２の可動部」、第１の支持部１０１は本発明の「支持部」、第１のコイル１０２は本発明の「電流線」、磁石部１０４ａおよび１０４ｂは本発明の「磁石部」、及び減光フィルタアクチュエータ１００は本発明の「アクチュエータ」の一例である。   The semiconductor laser 2 is the “light source” of the present invention, the light receiving sensor 17 is the “photodetector” of the present invention, the first position P1 is the “first position” of the present invention, and the second position P2 is the present invention. "Second position", the first movable part 105 is the "first movable part" of the present invention, the second movable part 108 is the "second movable part" of the present invention, and the first support part 101. Is the “support part” of the present invention, the first coil 102 is the “current line” of the present invention, the magnet parts 104a and 104b are the “magnet part” of the present invention, and the neutral density filter actuator 100 is the “actuator” of the present invention. It is an example.

次に、減光フィルタアクチュエータ１００における可動部の位置検出方法について説明する。   Next, a method for detecting the position of the movable part in the neutral density filter actuator 100 will be described.

第１実施形態の減光フィルタアクチュエータ１００では、受光センサ１７から入力される光量情報に基づいて減光フィルタアクチュエータ１００の各可動部（第１の可動部１０５および第２の可動部１０８）の位置を判別する。   In the neutral density filter actuator 100 of the first embodiment, the position of each movable part (the first movable part 105 and the second movable part 108) of the neutral density filter actuator 100 based on the light amount information input from the light receiving sensor 17. Is determined.

たとえば、第１の可動部１０５が駆動して光路上の位置から光路から外れる位置に移動する場合には、第１の可動部１０５の移動前後で、第１の可動部１０５の減光フィルタ１０３を介して受光センサ１７に集光されるレーザ光の光量が、光路上に入れ替わる第２の可動部１０８のガラス板１０６を介して受光センサに集光されるレーザ光の光量に変化する。すなわち、第１の可動部１０５の移動前後で受光センサ１７に集光されるレーザ光の光量が増加することになる。こうした光量の変化を電流制御回路１９で検出することで、第１の可動部１０５が光路から外れた位置に移動したかどうかを判別することができる。   For example, when the first movable unit 105 is driven to move from a position on the optical path to a position deviating from the optical path, the neutral density filter 103 of the first movable unit 105 is before and after the movement of the first movable unit 105. The amount of the laser light condensed on the light receiving sensor 17 via the light changes to the amount of the laser light condensed on the light receiving sensor via the glass plate 106 of the second movable part 108 that is switched on the optical path. That is, the light amount of the laser beam condensed on the light receiving sensor 17 before and after the movement of the first movable part 105 is increased. By detecting such a change in the amount of light by the current control circuit 19, it is possible to determine whether or not the first movable unit 105 has moved to a position out of the optical path.

また、第１の可動部１０５が駆動して光路上の位置に移動する場合には、受光センサ１７における光量が減少するので、これを検出することで第１の可動部１０５の位置が光路上の位置に移動しているかどうかを判別することができる。   In addition, when the first movable unit 105 is driven and moved to a position on the optical path, the light amount in the light receiving sensor 17 is reduced, so that the position of the first movable unit 105 is detected on the optical path by detecting this. It can be determined whether or not it has moved to the position.

一方、第２の可動部１０８に関しては、第１の可動部１０５に連動して第１の可動部１０５の移動と反対方向へ移動することから、第１の可動部１０５の位置検出と同時に判別することができる。   On the other hand, the second movable part 108 moves in the opposite direction to the movement of the first movable part 105 in conjunction with the first movable part 105, so that it is determined simultaneously with the position detection of the first movable part 105. can do.

次に、減光フィルタアクチュエータ１００の動作（第１の可動部の第１の位置Ｐ１側から第２の位置Ｐ２側への移動）について説明する。なお、第１の位置Ｐ１側は、減光フィルタアクチュエータ１００のＡ１方向に寄った状態、すなわち光路上の位置に相当し、第２の位置Ｐ２側は、減光フィルタアクチュエータ１００のＡ２方向に寄った状態、すなわち光路から外れた位置に相当する。   Next, the operation of the neutral density filter actuator 100 (movement of the first movable part from the first position P1 side to the second position P2 side) will be described. The first position P1 side corresponds to the state of the neutral density filter actuator 100 in the A1 direction, that is, the position on the optical path, and the second position P2 side approximates to the A2 direction of the neutral density filter actuator 100. This corresponds to the state of being out of the optical path.

まず、図３に示すように、第１の可動部１０５が減光フィルタアクチュエータ１００のＡ１方向に寄った状態（第１の位置Ｐ１に隣接する状態）、且つ、第２の可動部１０８が減光フィルタアクチュエータ１００のＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）において、第１のコイル１０２にＣ１方向にＳ極からＮ極への磁界が発生する電流を流すとともに、第２のコイル１１０にＣ１方向にＮ極からＳ極への磁界が発生する電流を流す。これにより、第１の可動部１０５に対しては、第１のコイル１０２に発生するＳ極と磁石部１０４ａのＳ極との間で斥力が働くとともに、磁石部１０４ｂのＮ極との間で引力が働く。この結果、第１の可動部１０５に作用する引力および斥力により、第１の可動部１０５は減光フィルタアクチュエータ１００のＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）にまで移動する。また、第２の可動部１０８に対しては、第２のコイル１１０に発生するＮ極と磁石部１０４ｂのＮ極との間で斥力が働くとともに、磁石部１０４ａのＳ極との間で引力が働く。この結果、第２の可動部１０８に作用する引力および斥力により、第１の可動部１０５の移動と連動して第２の可動部１０８は減光フィルタアクチュエータ１００のＡ１方向に寄った状態（第１の位置Ｐ１に隣接する状態）にまで移動する。   First, as shown in FIG. 3, the state in which the first movable portion 105 is close to the A1 direction of the neutral density filter actuator 100 (the state adjacent to the first position P1) and the second movable portion 108 is reduced. In a state where the optical filter actuator 100 is close to the A2 direction (a state adjacent to the second position P2), a current that generates a magnetic field from the S pole to the N pole in the C1 direction is passed through the first coil 102, and the first A current for generating a magnetic field from the N pole to the S pole is passed through the second coil 110 in the C1 direction. Thereby, with respect to the 1st movable part 105, while the repulsive force acts between the S pole which generate | occur | produces in the 1st coil 102, and the S pole of the magnet part 104a, between the N pole of the magnet part 104b Attraction works. As a result, due to the attractive and repulsive forces acting on the first movable part 105, the first movable part 105 moves to a state close to the A2 direction of the neutral density filter actuator 100 (a state adjacent to the second position P2). To do. Further, a repulsive force acts on the second movable part 108 between the N pole generated in the second coil 110 and the N pole of the magnet part 104b, and attraction between the S pole of the magnet part 104a. Work. As a result, due to the attractive force and repulsive force acting on the second movable portion 108, the second movable portion 108 is moved toward the A1 direction of the neutral density filter actuator 100 in conjunction with the movement of the first movable portion 105 (first 1 to a position adjacent to the position P1).

このようにして、減光フィルタアクチュエータ１００は、それぞれのコイルと磁石部との間に発生する電磁力（引力および斥力）により、レーザ光の光路上の位置（第１の位置Ｐ１側）あるいはレーザ光の光路から外れた位置（第２の位置Ｐ２側）に対して第１の可動部１０５（減光フィルタ１０３）と第２の可動部１０８（ガラス板１０６）の切り替え（入れ替え）を行う。そして、入れ替えの際の各可動部の位置検出を確実に行うことができる。   In this way, the neutral density filter actuator 100 is positioned on the optical path of the laser beam (on the first position P1 side) or the laser beam by the electromagnetic force (attraction and repulsive force) generated between each coil and the magnet portion. The first movable part 105 (the neutral density filter 103) and the second movable part 108 (the glass plate 106) are switched (replaced) with respect to a position deviated from the optical path of the light (second position P2 side). And the position detection of each movable part in the case of replacement | exchange can be performed reliably.

ところで、上述の動作説明では、第１の可動部１０５が減光フィルタアクチュエータ１００のＡ１方向に寄った状態（第１の位置Ｐ１に隣接する状態）からの移動を示したが、光ピックアップ装置１に著しく大きな外力が作用した場合には、第１の可動部１０５が所定の位置から移動してしまい、第１の可動部１０５の位置が分からなくなってしまうことがある。また、第１の可動部１０５が減光フィルタアクチュエータ１００のＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）で、Ａ２方向に移動させるように電流を流した場合には、第１の可動部１０５がすでに第２の位置Ｐ２に隣接して存在するため受光センサ１７に光量変化が生じず、第１の可動部１０５の位置検知ができない。このため、第１の可動部１０５がＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）で存在しているのか、動作不良等で移動していないかを区別することができなくなる。こうした状況を踏まえ、本発明では、第１の可動部１０５をＡ２方向（第２の位置Ｐ２側）に移動させる場合、第１の可動部１０５の初期位置に関係なく、一旦第１の可動部１０５をＡ１方向（第１の位置Ｐ１側）に移動させるように電流を流した後、Ａ２方向（第２の位置Ｐ２側）へ移動させる電流を流すように電流制御している。   By the way, in the above description of the operation, the movement of the first movable unit 105 from the state where the first filter unit 100 is close to the A1 direction (the state adjacent to the first position P1) is shown. When a significantly large external force is applied to the first movable portion 105, the first movable portion 105 may move from a predetermined position, and the position of the first movable portion 105 may not be known. In the state where the first movable portion 105 is close to the A2 direction of the neutral density filter actuator 100 (a state adjacent to the second position P2), when a current is applied to move in the A2 direction, Since one movable part 105 already exists adjacent to the second position P2, the light quantity change does not occur in the light receiving sensor 17, and the position of the first movable part 105 cannot be detected. For this reason, it cannot be distinguished whether the first movable part 105 exists in a state close to the A2 direction (a state adjacent to the second position P2) or does not move due to malfunction or the like. . In view of such a situation, in the present invention, when the first movable part 105 is moved in the A2 direction (second position P2 side), the first movable part is temporarily set regardless of the initial position of the first movable part 105. The current is controlled so as to flow the current moving in the A2 direction (second position P2 side) after flowing the current so as to move 105 in the A1 direction (first position P1 side).

具体的には、第１の可動部１０５を減光フィルタアクチュエータ１００のＡ２方向（第２の位置Ｐ２側）へ移動させるための電流を流す前に、第１のコイル１０２にＣ１方向にＮ極からＳ極への磁界が発生する電流を流すとともに、第２のコイル１１０にＣ１方向にＳ極からＮ極への磁界が発生する電流を流す。これにより、第１の可動部１０５に対しては、第１のコイル１０２に発生するＮ極と磁石部１０４ａのＳ極との間で引力が働くとともに、磁石部１０４ｂのＳ極との間で斥力が働く。この結果、第１の可動部１０５に作用する引力および斥力により、第１の可動部１０５は減光フィルタアクチュエータ１００のＡ１方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）に移動する。また、第２の可動部１０８に対しては、第２のコイル１１０に発生するＳ極と磁石部１０４ｂのＮ極との間で引力が働くとともに、磁石部１０４ａのＳ極との間で斥力が働く。この結果、第２の可動部１０８に作用する引力および斥力により、第１の可動部１０５の移動と連動して第２の可動部１０８は減光フィルタアクチュエータ１００のＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）に移動する。   Specifically, before supplying a current for moving the first movable part 105 in the A2 direction (second position P2 side) of the neutral density filter actuator 100, the first coil 102 has N poles in the C1 direction. And a current that generates a magnetic field from the S pole to the N pole is supplied to the second coil 110 in the C1 direction. Thereby, with respect to the 1st movable part 105, while attraction works between the N pole which generate | occur | produces in the 1st coil 102, and the S pole of the magnet part 104a, between the S pole of the magnet part 104b Repulsion works. As a result, due to the attractive force and repulsive force acting on the first movable portion 105, the first movable portion 105 moves to a state close to the A1 direction of the neutral density filter actuator 100 (a state adjacent to the second position P2). . In addition, an attractive force acts on the second movable portion 108 between the south pole generated in the second coil 110 and the north pole of the magnet portion 104b, and repulsive force between the south pole of the magnet portion 104a. Work. As a result, due to the attractive force and repulsive force acting on the second movable portion 108, the second movable portion 108 is moved toward the A2 direction of the neutral density filter actuator 100 in conjunction with the movement of the first movable portion 105 (first 2) (a state adjacent to position P2).

このようにすることで、第１の可動部１０５をＡ２方向（第２の位置Ｐ２側）に移動させる場合、第１の可動部１０５の初期位置（たとえば、第１の可動部１０５が第２の位置Ｐ２に隣接した状態）に関係なく、受光センサ１７に光量変化を生じさせることができ、第１の可動部１０５がＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）に移動した際の第１の可動部１０５の位置検知を確実に行うことができる。この結果、（ａ）確実に駆動が行われたことの保証、（ｂ）万一電流を流しても駆動しなかった場合にリトライを行う制御、（ｃ）リトライしても駆動されなかった場合にエラーを出力して処理を停止させる制御、などを容易に行うことが可能となる。   In this way, when the first movable part 105 is moved in the A2 direction (second position P2 side), the initial position of the first movable part 105 (for example, the first movable part 105 is the second position). Regardless of the position adjacent to the position P2), the light receiving sensor 17 can change the amount of light, and the first movable portion 105 is close to the A2 direction (the state adjacent to the second position P2). It is possible to reliably detect the position of the first movable unit 105 when it moves. As a result, (a) guarantee that the drive has been performed reliably, (b) control to perform a retry if the drive is not performed even if a current is supplied, and (c) if the drive is not performed even after a retry. It is possible to easily perform control to stop the process by outputting an error.

一方、上記とは反対方向への移動（第１の可動部１０５の第２の位置Ｐ２側から第１の位置Ｐ１側への移動）に関しても対応する同様の電流制御により行うことができる。   On the other hand, the movement in the direction opposite to the above (movement of the first movable part 105 from the second position P2 side to the first position P1 side) can be performed by the corresponding current control.

本発明の減光フィルタアクチュエータおよびこれを備えた光ピックアップ装置によれば、以下の効果を得ることができる。   According to the neutral density filter actuator of the present invention and the optical pickup device including the same, the following effects can be obtained.

（１）第１の可動部１０５を光路上の位置（第１の位置Ｐ１側）と光路から外れる位置（第２の位置Ｐ２側）との間で移動する際、受光センサ１７の移動前後の光量変化に基づいて第１の可動部１０５の位置検出を行うようにしたことで、第１の可動部１０５の位置検出のための機械部品を別途設ける必要がないので、減光フィルタアクチュエータ１００が大型化することを抑制することができる。   (1) When the first movable portion 105 is moved between a position on the optical path (first position P1 side) and a position deviating from the optical path (second position P2 side), before and after the movement of the light receiving sensor 17 Since the position of the first movable part 105 is detected based on the change in the amount of light, there is no need to separately provide a mechanical part for detecting the position of the first movable part 105. An increase in size can be suppressed.

（２）第１の可動部１０５を光路から外れる位置（Ａ２方向）に移動させる場合、一旦第１の可動部１０５を光路上の位置（Ａ１方向）に移動させるように電流を流した後、当初のＡ２方向へ移動させる電流を流すように電流制御したことで、第１の可動部１０５の初期位置に関わらず、受光センサ１７に光量変化を生じさせることができ、光路から外れる位置に移動した際の第１の可動部１０５の位置検知を確実に行うことができる。この結果、装置の大型化が抑制された減光フィルタアクチュエータ１００の駆動信頼性を向上させることができる。   (2) When the first movable part 105 is moved to a position (A2 direction) that deviates from the optical path, after passing a current so as to move the first movable part 105 to a position (A1 direction) on the optical path, By controlling the current so that the current to be moved in the initial A2 direction flows, regardless of the initial position of the first movable portion 105, the light receiving sensor 17 can change the amount of light and move to a position outside the optical path. Thus, the position of the first movable portion 105 can be reliably detected. As a result, it is possible to improve the driving reliability of the neutral density filter actuator 100 in which the enlargement of the apparatus is suppressed.

（３）第１のコイル１０２に電流を流すことで発生する磁界と各磁石部（磁石部１０４ａおよび１０４ｂ）との間に働く電磁力（引力または斥力）により第１の可動部１０５を移動させるように構成したことで、第１のコイル１０２に流す電流の方向を変化させるだけで、第１のコイル１０２に発生する磁界の方向を変化させることができ、第１の可動部１０５の移動する方向を容易に変化させることができる。   (3) The first movable part 105 is moved by an electromagnetic force (attraction or repulsive force) acting between a magnetic field generated by passing a current through the first coil 102 and each magnet part (magnet parts 104a and 104b). With this configuration, it is possible to change the direction of the magnetic field generated in the first coil 102 only by changing the direction of the current flowing through the first coil 102, and the first movable unit 105 moves. The direction can be easily changed.

（４）第１の可動部１０５と第２の可動部１０８の移動前後（入れ替え前後）における受光センサ１７の光量変化に基づいて、光路上の位置（第１の位置Ｐ１側）あるいは光路から外れた位置（第２の位置Ｐ２側）における各可動部の位置検知を行うようにしたことで、各可動部の位置検知のための機械部品を別途設ける必要がないので、減光フィルタアクチュエータ１００が大型化することを抑制することができる。   (4) Based on the change in the light quantity of the light receiving sensor 17 before and after the movement of the first movable part 105 and the second movable part 108 (before and after the replacement), the position on the optical path (the first position P1 side) or the optical path deviates. By detecting the position of each movable part at the position (the second position P2 side), there is no need to separately provide mechanical parts for detecting the position of each movable part. An increase in size can be suppressed.

（５）第１の支持部１０１の各磁石部（磁石部１０４ａおよび１０４ｂ）と対向する第１の可動部１０５および第２の可動部１０８の下面（詳細には、第１の基板１１２ａおよび第２の基板１１２ｂの下面）に、電磁石として機能し、互いに異なる磁極を発生するようにしたコイル（第１のコイル１０２および第２のコイル１１０）を配置したことによって、第１のコイル１０２および第２のコイル１１０に電流を流すことで発生する磁界と各磁石部との間に電磁力（引力または斥力）を引き起こし、第１の可動部１０５と第２の可動部１０８とを相反する方向に連動して移動させることができる。こうした駆動では、従来の静電気力を用いて第１の可動部１０５および第２の可動部１０８を移動する場合と異なり、第１の可動部１０５の第１のコイル１０２および第２の可動部１０８の第２のコイル１１０に流す電圧を昇圧する必要がないので、特別な昇圧回路を別途設ける必要がない。これにより、減光フィルタアクチュエータ１００が大型化するのを抑制することができる。   (5) The lower surfaces of the first movable unit 105 and the second movable unit 108 facing the respective magnet units (magnet units 104a and 104b) of the first support unit 101 (specifically, the first substrate 112a and the first substrate 112a). The coils (the first coil 102 and the second coil 110) functioning as electromagnets and generating different magnetic poles are disposed on the lower surface of the second substrate 112b). Electromagnetic force (attraction or repulsive force) is caused between each magnetic part and the magnetic field generated by passing a current through the second coil 110, and the first movable part 105 and the second movable part 108 are in opposite directions. Can be moved in conjunction. In such driving, unlike the case where the first movable unit 105 and the second movable unit 108 are moved using conventional electrostatic force, the first coil 102 and the second movable unit 108 of the first movable unit 105 are used. Since there is no need to boost the voltage flowing through the second coil 110, it is not necessary to provide a special booster circuit. Thereby, it can suppress that the dimming filter actuator 100 enlarges.

（６）第２の可動部１０８を、第１の可動部１０５の移動方向に沿って第１の可動部１０５と対向して配置し、第１の可動部１０５と連動して第１の可動部１０５の移動方向と相反する方向に移動するようにしたことで、レーザ光の光路を横切る位置（第１の位置Ｐ１側）あるいはレーザ光の光路から外れた位置（第２の位置Ｐ２側）への第１の可動部１０５と第２の可動部１０８の入れ替え動作の応答性が向上する。   (6) The second movable portion 108 is disposed to face the first movable portion 105 along the moving direction of the first movable portion 105, and the first movable portion 105 is interlocked with the first movable portion 105. By moving in the direction opposite to the moving direction of the portion 105, a position crossing the optical path of the laser beam (first position P1 side) or a position deviating from the optical path of the laser beam (second position P2 side) Responsiveness of the replacement operation of the first movable part 105 and the second movable part 108 to the head is improved.

（７）各磁石部（磁石部１０４ａおよび１０４ｂ）に単極磁石（ネオジウムボロン磁石）を用いたことで、コイルに生じる磁界との間に電磁力（引力または斥力）を生じさせる磁力を同一とすると、多極着磁された複数の永久磁石（多極磁石）を用いる場合に比べて磁石部の小面積化（小型化）を容易に図ることができる。このため、装置の大型化が抑制された減光フィルタアクチュエータ１００のさらなる小型化を実現することができる。これは、多極磁石を小型化・薄型化する場合には、多極着磁する永久磁石の個々を小型化・薄型化する必要があり、これにより個々の永久磁石の磁力が急激に減少し、多極磁石全体としてもコイルに生じる磁界との間に推力を生じさせる磁力を得ることが困難となるためである。   (7) By using a monopolar magnet (neodymium boron magnet) for each magnet part (magnet parts 104a and 104b), the same magnetic force that generates an electromagnetic force (attraction or repulsion) with the magnetic field generated in the coil is the same. Then, compared with the case where a plurality of multi-pole magnetized permanent magnets (multi-pole magnets) are used, it is possible to easily reduce the area (miniaturization) of the magnet portion. For this reason, further miniaturization of the neutral density filter actuator 100 in which the enlargement of the apparatus is suppressed can be realized. In order to reduce the size and thickness of a multipole magnet, it is necessary to reduce the size and thickness of each permanent magnet that is magnetized in a multipolar manner, and this significantly reduces the magnetic force of each permanent magnet. This is because it is difficult to obtain a magnetic force that generates a thrust between the multipolar magnet and the magnetic field generated in the coil as a whole.

（８）各可動部を駆動するためのコイルと磁石部との対向面に対し、垂直な方向（Ｃ１
方向）に減光フィルタ１０３およびガラス板１０６を設けたことで、各可動部の駆動力を増加するためにコイルや磁石部の占有面積を増加する場合でも、アクチュエータの高さが増大するのを抑制することができる。 (8) A direction (C1) perpendicular to the opposing surface of the coil and the magnet for driving each movable part
By providing the neutral density filter 103 and the glass plate 106 in the direction), the height of the actuator is increased even when the area occupied by the coil or magnet is increased to increase the driving force of each movable part. Can be suppressed.

（９）減光フィルタアクチュエータ１００において各可動部（第１の可動部１０５および第２の可動部１０８）の位置検知を確実に行うことができるので、こうしたアクチュエータを用いた光ピックアップ装置１の駆動信頼性を向上させることができる。   (9) Since the position of each movable part (the first movable part 105 and the second movable part 108) can be reliably detected in the neutral density filter actuator 100, the optical pickup device 1 using such an actuator is driven. Reliability can be improved.

（１０）各可動部（第１の可動部１０５および第２の可動部１０８）の位置検知を確実に行うことができる減光フィルタアクチュエータ１００が大型化するのを抑制することができるので、こうしたアクチュエータを用いた光ピックアップ装置１が大型化することを抑制することができる。   (10) Since it is possible to suppress an increase in the size of the neutral density filter actuator 100 that can reliably detect the position of each movable part (the first movable part 105 and the second movable part 108), An increase in the size of the optical pickup device 1 using the actuator can be suppressed.

（第２実施形態）
図４は本発明の第２実施形態における電磁アクチュエータ（光路スイッチミラーアクチュエータ２００）を備えた光ピックアップ装置の構成を示す概略図である。図４を参照して光ピックアップ装置１ａの構成について説明する。なお、第１実施形態との共通部分には同様の符号を付している。 (Second Embodiment)
FIG. 4 is a schematic diagram showing a configuration of an optical pickup device provided with an electromagnetic actuator (optical path switch mirror actuator 200) in the second embodiment of the present invention. The configuration of the optical pickup device 1a will be described with reference to FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the common part with 1st Embodiment.

光ピックアップ装置１ａは、図４に示すように、半導体レーザ２および３と、減光フィルタ４と、光路スイッチミラーアクチュエータ２００と、ダイクロイックビームスプリッタ６と、偏光ビームスプリッタ７および８と、コリメータレンズ９および１０と、１／４波長板１１および１２と、対物レンズ１３および１４と、受光レンズ１５および１６と、受光センサ１７および１８と、電流制御回路１９および２０と、を備えている。この光ピックアップ装置１ａは、ＢＤ規格の光ディスク３０ａと、ＨＤ ＤＶＤ規格（ＣＤ規格およびＤＶＤ規格）の光ディスク３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）とに対して書き込みおよび読み出しを行うことが可能なように構成されている。   As shown in FIG. 4, the optical pickup device 1 a includes semiconductor lasers 2 and 3, a neutral density filter 4, an optical path switch mirror actuator 200, a dichroic beam splitter 6, polarization beam splitters 7 and 8, and a collimator lens 9. , 10, quarter wave plates 11 and 12, objective lenses 13 and 14, light receiving lenses 15 and 16, light receiving sensors 17 and 18, and current control circuits 19 and 20. This optical pickup device 1a is configured to be able to write to and read from a BD standard optical disc 30a and a HD DVD standard (CD standard and DVD standard) optical disc 30b (30c and 30d). Yes.

半導体レーザ２は光源として約４０５ｎｍの波長を有する青紫色のレーザ光を出射するために設けられている。この半導体レーザ２は、ＢＤ規格の光ディスク３０ａおよびＨＤ
ＤＶＤ規格の光ディスク３０ｂに対して書き込みおよび読み出しが行われる際にレーザ光を出射するように構成されている。 The semiconductor laser 2 is provided to emit blue-violet laser light having a wavelength of about 405 nm as a light source. The semiconductor laser 2 includes a BD standard optical disc 30a and an HD.
A laser beam is emitted when writing to and reading from the DVD standard optical disc 30b.

半導体レーザ３は光源として約６５０ｎｍの波長を有する赤色のレーザ光および約７８５ｎｍの波長を有する近赤外領域のレーザ光の２波長のレーザ光を出射するために設けられている。この半導体レーザ３は、ＣＤ規格の光ディスク３０ｃに対して書き込みおよび読み出しが行われる際に、約７８５ｎｍの波長を有するレーザ光を出射するとともに、ＤＶＤ規格のディスク３０ｄに対して書き込みおよび読み出しが行われる際に、約６５０ｎｍの波長を有するレーザ光を出射するように構成されている。   The semiconductor laser 3 is provided to emit two-wavelength laser light as a light source, ie, red laser light having a wavelength of about 650 nm and near-infrared laser light having a wavelength of about 785 nm. The semiconductor laser 3 emits a laser beam having a wavelength of about 785 nm when writing to and reading from the CD standard optical disk 30 c and also performs writing and reading from the DVD standard disk 30 d. In this case, a laser beam having a wavelength of about 650 nm is emitted.

減光フィルタ４は、従来型の減光フィルタアクチュエータ（内部に位置検出手段を有するアクチュエータ）により駆動され、レーザ光の光軸方向と垂直な方向（Ａ１方向およびＡ２方向）に２つの位置（光路上の位置および光路から外れた位置）間を移動可能に構成されている。   The neutral density filter 4 is driven by a conventional neutral density filter actuator (actuator having a position detection means inside), and has two positions (light directions A1 and A2) perpendicular to the optical axis direction of the laser light (light direction A1). It is configured to be movable between a position on the road and a position off the optical path.

光路スイッチミラーアクチュエータ２００は、具体的な構成および動作は後述するが、２つの可動部がそれぞれレーザ光の光軸方向と垂直な方向（Ａ１方向およびＡ２方向）に２つの位置（光路上の位置および光路から外れた位置）間を入れ替わるように移動可能に構成されている。そして、半導体レーザ２から出射されたレーザ光を対物レンズ１３または１４のいずれか一方に選択的に入射させるために設けられている。   Although the optical path switch mirror actuator 200 will be described in detail later, the two movable parts are each at two positions (positions on the optical path) in the directions (A1 direction and A2 direction) perpendicular to the optical axis direction of the laser light. And a position that deviates from the optical path). A laser beam emitted from the semiconductor laser 2 is provided to selectively enter one of the objective lenses 13 and 14.

ダイクロイックビームスプリッタ６は、半導体レーザ２から出射されたレーザ光を透過するとともに、半導体レーザ３から出射されたレーザ光を反射するために設けられている。これにより、半導体レーザ２から出射したレーザ光を対物レンズ１４に入射させることが可能であるとともに、半導体レーザ３から出射したレーザ光を対物レンズ１４に入射させることが可能である。   The dichroic beam splitter 6 is provided to transmit the laser light emitted from the semiconductor laser 2 and reflect the laser light emitted from the semiconductor laser 3. As a result, the laser light emitted from the semiconductor laser 2 can be incident on the objective lens 14, and the laser light emitted from the semiconductor laser 3 can be incident on the objective lens 14.

偏光ビームスプリッタ７および８は、それぞれ光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）に向かうＡ１方向のレーザ光を透過するとともに、光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）から戻ってくるＡ２方向のレーザ光を反射するために設けられている。   The polarizing beam splitters 7 and 8 transmit the laser light in the A1 direction toward the optical disks 30a and 30b (30c and 30d), respectively, and reflect the laser light in the A2 direction returning from the optical disks 30a and 30b (30c and 30d). Is provided to do.

コリメータレンズ９および１０は光軸方向（Ａ１方向およびＡ２方向）に移動可能に構成されている。また、コリメータレンズ９および１０は、レーザ光を所定のビーム径を有する平行光とするとともに、レーザ光の焦点位置を調整するために設けられている。   The collimator lenses 9 and 10 are configured to be movable in the optical axis direction (A1 direction and A2 direction). The collimator lenses 9 and 10 are provided to make the laser light parallel light having a predetermined beam diameter and adjust the focal position of the laser light.

１／４波長板１１および１２は、光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）に向かうＡ１方向のレーザ光を直線偏光から円偏光に変換するとともに、光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）から戻ってくるＡ２方向のレーザ光を、円偏光から光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）に向かうＡ１方向のレーザ光とは直交する直線偏光に変換するために設けられている。   The quarter-wave plates 11 and 12 convert the laser light in the A1 direction toward the optical disks 30a and 30b (30c and 30d) from linearly polarized light to circularly polarized light, and return from the optical disks 30a and 30b (30c and 30d). It is provided to convert the laser light in the A2 direction into linearly polarized light orthogonal to the laser light in the A1 direction from the circularly polarized light toward the optical discs 30a and 30b (30c and 30d).

対物レンズ１３および１４は光軸方向（Ａ１方向およびＡ２方向）および光軸方向と垂直な方向（Ｂ１方向およびＢ２方向）に移動可能に構成されている。また、対物レンズ１３および１４はレーザ光の焦点位置を調整するために設けられている。   The objective lenses 13 and 14 are configured to be movable in the optical axis direction (A1 direction and A2 direction) and in the direction perpendicular to the optical axis direction (B1 direction and B2 direction). The objective lenses 13 and 14 are provided for adjusting the focal position of the laser light.

受光レンズ１５および１６は、それぞれ偏光ビームスプリッタ７および８により反射されたレーザ光を受光センサ１７および１８に集光するために設けられている。   The light receiving lenses 15 and 16 are provided for condensing the laser beams reflected by the polarization beam splitters 7 and 8 on the light receiving sensors 17 and 18, respectively.

受光センサ１７および１８は、集光されたレーザ光を検知し、その光量を電気信号に変換して出力するために設けられている。   The light receiving sensors 17 and 18 are provided to detect the condensed laser light, convert the light amount into an electric signal, and output the electric signal.

電流制御回路１９および２０は、第１実施形態と同様に構成され、受光センサ１７および１８から入力される光量情報（各可動部の移動前後の光量変化）に基づいて光路スイッチミラーアクチュエータ２００の各可動部（第１の可動部２０５および第２の可動部２０８）の位置を判別した後、こうした判別結果を光路スイッチミラーアクチュエータ２００に出力するために設けられている。   The current control circuits 19 and 20 are configured in the same manner as in the first embodiment, and each of the optical path switch mirror actuators 200 is based on light amount information (light amount change before and after movement of each movable part) input from the light receiving sensors 17 and 18. After determining the position of the movable part (the first movable part 205 and the second movable part 208), it is provided to output such a determination result to the optical path switch mirror actuator 200.

（光路スイッチミラーアクチュエータ）
図５は第１実施形態の光ピックアップ装置に搭載の電磁アクチュエータ（光路スイッチミラーアクチュエータ２００）の主要な構成図である。 (Optical path switch mirror actuator)
FIG. 5 is a main configuration diagram of an electromagnetic actuator (optical path switch mirror actuator 200) mounted on the optical pickup device of the first embodiment.

光路スイッチミラーアクチュエータ２００は、図５に示すように、主として、２つの可動部（第１の可動部２０５および第２の可動部２０８）を有する半波長板切替部２１０と、偏光ビームスプリッタ２２０と、全反射ミラー２３０と、を備えている。   As shown in FIG. 5, the optical path switch mirror actuator 200 mainly includes a half-wave plate switching unit 210 having two movable parts (a first movable part 205 and a second movable part 208), a polarization beam splitter 220, , A total reflection mirror 230.

半波長板切替部２１０は、第１実施形態と同様のアクチュエータ機構が採用され、所定の位置（光路上）に対して２つの可動部（第１の可動部２０５および第２の可動部２０８）の切り替えを行うために設けられている。   The half-wave plate switching unit 210 employs the same actuator mechanism as in the first embodiment, and has two movable parts (a first movable part 205 and a second movable part 208) with respect to a predetermined position (on the optical path). It is provided to switch between.

第１の可動部２０５には、Ｓ波（偏光板の入射面に垂直な電場成分を有する光）をその
まま透過し、Ｐ波（偏光板の入射面に平行な電場成分を有する光）を、半波長位相をずらしてＳ波に変換する第１の半波長板（図示せず）が取り付けられている。また、第２の可動部２０８には、Ｐ波をそのまま透過し、Ｓ波をＰ波に変換する第２の半波長板（図示せず）が取り付けられている。第１の半波長板および第２の半波長板は、結晶軸を板面に対して９０°回転したものと、回転しないものとでそれぞれ構成される。なお、各可動部の具体的な構成は、第１実施形態における減光フィルタとガラス板の組み合わせを、第１の半波長板と第２の半波長板の組み合わせに置換した構成となっている。 S wave (light having an electric field component perpendicular to the incident surface of the polarizing plate) is transmitted as it is to the first movable portion 205, and P wave (light having an electric field component parallel to the incident surface of the polarizing plate) is directly transmitted to A first half-wave plate (not shown) that shifts the half-wave phase and converts it to an S wave is attached. The second movable portion 208 is attached with a second half-wave plate (not shown) that transmits the P wave as it is and converts the S wave into the P wave. The first half-wave plate and the second half-wave plate are respectively composed of a crystal axis rotated by 90 ° with respect to the plate surface and a non-rotated one. In addition, the specific structure of each movable part becomes a structure which replaced the combination of the neutral density filter and glass plate in 1st Embodiment with the combination of the 1st half wave plate and the 2nd half wave plate. .

半波長板切替部２１０では、図５に示すように、第１の半波長板を有する第１の可動部２０５が光路上に位置する場合には、半導体レーザ２から出射されたレーザ光（Ｓ波とＰ波の両方の成分を有する光）のＳ波のみが透過して、偏光ビームスプリッタ２２０に入射される。一方、第２の半波長板を有する第２の可動部２０８が光路上に位置する場合には、半導体レーザ２から出射されたレーザ光のＰ波のみが透過して、偏光ビームスプリッタ２２０に入射される。   In the half-wave plate switching unit 210, as shown in FIG. 5, when the first movable unit 205 having the first half-wave plate is located on the optical path, the laser beam (S Only the S wave (light having both wave and P wave components) is transmitted and incident on the polarization beam splitter 220. On the other hand, when the second movable portion 208 having the second half-wave plate is positioned on the optical path, only the P wave of the laser beam emitted from the semiconductor laser 2 is transmitted and incident on the polarization beam splitter 220. Is done.

偏光ビームスプリッタ２２０は、入射された光に対して、Ｓ波を透過し、Ｐ波を反射する素子である。したがって、Ｓ波のみが入射された場合には入射光は全て透過し、全反射ミラー２３０に入射される。一方、Ｐ波のみが入射された場合には入射光は全て反射し、全反射ミラー２３０には光は入射されない。なお、偏光ビームスプリッタ２２０で反射された光（レーザ光）はＢＤ規格用光ディスクの光路のレーザ光源となる。   The polarization beam splitter 220 is an element that transmits S wave and reflects P wave with respect to incident light. Therefore, when only the S wave is incident, all incident light is transmitted and incident on the total reflection mirror 230. On the other hand, when only the P wave is incident, all incident light is reflected, and no light is incident on the total reflection mirror 230. The light (laser light) reflected by the polarization beam splitter 220 becomes a laser light source in the optical path of the BD standard optical disc.

全反射ミラー２３０は、入射された光に対して、その光を全反射するミラーである。なお、ここで反射された光（レーザ光）はＨＤ ＤＶＤ規格用光ディスクの光路のレーザ光源となる。   The total reflection mirror 230 is a mirror that totally reflects the incident light. The light (laser light) reflected here becomes a laser light source for the optical path of the HD DVD standard optical disc.

光路スイッチミラーアクチュエータ２００では、このようにアクチュエータ（半波長板切替部２００）が構成され、用途（ＢＤ規格用とＨＤ ＤＶＤ規格用）に合わせて光路を２つに切り替えている。   In the optical path switch mirror actuator 200, the actuator (half-wave plate switching unit 200) is configured in this way, and the optical path is switched between two according to the application (for BD standard and HD DVD standard).

光路スイッチミラーアクチュエータ２００における各可動部の動作、制御方法、位置検出方法に関しては、第１実施形態の減光フィルタアクチュエータの各可動部の場合と同様である。   The operation, control method, and position detection method of each movable part in the optical path switch mirror actuator 200 are the same as those in each movable part of the neutral density filter actuator of the first embodiment.

本発明の光路スイッチミラーアクチュエータおよびこれを備えた光ピックアップ装置によれば、第１実施形態の上記（１）〜（８）に対応する効果に加え、以下の効果を得ることができる。   According to the optical path switch mirror actuator of the present invention and the optical pickup device including the same, the following effects can be obtained in addition to the effects corresponding to the above (1) to (8) of the first embodiment.

（１１）光路スイッチミラーアクチュエータ２００が大型化するのを抑制することができるので、こうしたアクチュエータを備える光ピックアップ装置１ａが大型化することを抑制することができる。   (11) Since the optical path switch mirror actuator 200 can be prevented from increasing in size, the optical pickup device 1a including such an actuator can be prevented from increasing in size.

（１２）光路スイッチミラーアクチュエータ２００において各可動部（第１の可動部２０５および第２の可動部２０８）の位置検知を確実に行うことができるので、こうしたアクチュエータを用いた光ピックアップ装置１ａの駆動信頼性を向上させることができる。   (12) Since the position detection of each movable part (the first movable part 205 and the second movable part 208) can be performed reliably in the optical path switch mirror actuator 200, the optical pickup device 1a using such an actuator is driven. Reliability can be improved.

（１３）各可動部（第１の可動部２０５および第２の可動部２０８）の位置検知を確実に行うことができる光路スイッチミラーアクチュエータ２００が大型化するのを抑制することができるので、こうしたアクチュエータを用いた光ピックアップ装置１ａが大型化することを抑制することができる。   (13) Since the optical path switch mirror actuator 200 that can reliably detect the position of each movable part (the first movable part 205 and the second movable part 208) can be prevented from increasing in size, An increase in the size of the optical pickup device 1a using the actuator can be suppressed.

なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて各種の設計変更等の変形を加えることも可能であり、そのような変形が加えられた実施形態も本発明の範囲に含まれうるものである。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications such as design changes can be added based on the knowledge of those skilled in the art, and the embodiment to which such a modification is added. Can also be included in the scope of the present invention.

上記実施形態では、第１の支持部に磁石部を設け、第１の可動部および第２の可動部に第１のコイルを設けた例を示したが、本発明はこれに限らない。第１の支持部に第１のコイルを設け、第１の可動部および第２の可動部に磁石部を設けるようにしてもよい。こうした場合にも上記効果を享受することができる。   In the said embodiment, although the magnet part was provided in the 1st support part and the 1st coil was provided in the 1st movable part and the 2nd movable part, the present invention was not limited to this. A first coil may be provided in the first support part, and a magnet part may be provided in the first movable part and the second movable part. Even in such a case, the above-mentioned effect can be enjoyed.

上記実施形態では、２つの可動部を入れ替える際、各可動部が光路上に位置する際の光量の変化に基づいて可動部の位置検出を行う例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、単独の可動部であってもよい。この場合には、可動部の移動の際、光路上の可動部の有無による光量の変化により可動部の位置を検出することができる。   In the above-described embodiment, the example in which the position of the movable part is detected based on the change in the amount of light when each movable part is positioned on the optical path when the two movable parts are replaced has been described, but the present invention is not limited thereto. . For example, a single movable part may be used. In this case, when the movable part moves, the position of the movable part can be detected by a change in the amount of light depending on the presence or absence of the movable part on the optical path.

上記実施形態では、受光センサは、電磁アクチュエータを透過したレーザ光が光ディスクに照射された後、この光ディスクからの戻り光（反射光）を検出しているが、本発明はこれに限らない。受光センサは、電磁アクチュエータを透過したレーザ光を直接または間接的に検知すればよく、たとえば、光ディスクに照射される前に検出するように別途配置してもよい。   In the above embodiment, the light receiving sensor detects the return light (reflected light) from the optical disk after the laser light transmitted through the electromagnetic actuator is irradiated on the optical disk, but the present invention is not limited to this. The light receiving sensor may detect the laser light transmitted through the electromagnetic actuator directly or indirectly. For example, the light receiving sensor may be separately arranged so as to detect it before being irradiated onto the optical disk.

上記実施形態において、第２の支持部に形成したガイド枠として機能する凹部の表面に対して低摩擦材料を形成しておいてもよい。こうした低摩擦材料としては、炭素系材料であるダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）やフラーレンなど、フッ素樹脂であるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）など、ポリオレフィン樹脂であるポリエチレン、ポリプロピレンなど、チタン系材料であるチタン、窒化チタン、酸化チタンなど、が挙げられる。このような構成とした場合には、各可動部と壁部１１１とが接触した際の摩擦抵抗がさらに低減されるために、上記効果をより顕著に享受することができる。   In the above embodiment, a low friction material may be formed on the surface of the concave portion functioning as a guide frame formed on the second support portion. Such low friction materials include carbon-based materials such as diamond-like carbon (DLC) and fullerene such as polytetrafluoroethylene (PTFE), tetrafluoroethylene / perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), tetra Examples thereof include polyethylene, which is a polyolefin resin such as fluoroethylene / hexafluoropropylene copolymer (FEP), and polypropylene, titanium, titanium nitride and titanium oxide which are titanium-based materials. In the case of such a configuration, the frictional resistance when each movable part and the wall part 111 come into contact with each other is further reduced, so that the above effect can be enjoyed more remarkably.

上記実施形態では、単極磁石としてネオジウムボロン磁石を採用した例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、ネオジウムボロン磁石の代わりに磁性材料または電流線を採用してもよい。この場合にも上記効果を享受することができる。   Although the example which employ | adopted the neodymium boron magnet as a monopolar magnet was shown in the said embodiment, this invention is not limited to this. For example, a magnetic material or a current line may be employed instead of the neodymium boron magnet. Also in this case, the above effect can be enjoyed.

上記実施形態では、可動部を構成する各基板に１層の平面コイルからなるコイルを設けた例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、２層以上の平面コイルからなるコイルを各基板上あるいは内に設けてもよい。この場合にも上記効果を享受することができるとともに、さらに、可動部に対して低電流または小面積でも所定の駆動力を得ることが可能となる。   In the above-described embodiment, an example in which a coil composed of a single layer of planar coil is provided on each substrate constituting the movable portion is described, but the present invention is not limited to this. For example, a coil composed of two or more planar coils may be provided on or in each substrate. In this case as well, the above-described effects can be enjoyed, and a predetermined driving force can be obtained even with a low current or a small area with respect to the movable part.

上記第２実施形態では、レーザ光が、半波長板切替部の表面の法線方向に入射する例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、半波長板切替部の表面の法線方向に対してずらして入射させてもよい。これにより、半波長板切替部によって反射されたレーザ光により、光源の光の強度が揺らぐことを低減することができる。   In the said 2nd Embodiment, although the laser beam showed the example which injects into the normal line direction of the surface of a half-wave plate switching part, this invention is not limited to this. For example, the incident light may be shifted from the normal direction of the surface of the half-wave plate switching unit. Thereby, it can reduce that the intensity | strength of the light of a light source fluctuates with the laser beam reflected by the half-wave plate switching part.

上記実施形態では、装置が大型化することを抑制可能な電磁アクチュエータとして減光フィルタアクチュエータや光路スイッチミラーを採用した例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、コリメータレンズを移動させるアクチュエータに適用してもよい。この場合には、コリメータレンズ位置が変化することでディスク上のレーザ焦点位置が変化し、ディスクからの戻り光（反射光）の光量が変化する。この光量変化に基づいて位置
検出を行うことで、コリメータレンズの位置検出のための機械部品を別途設ける必要がないので、コリメータレンズのアクチュエータが大型化することを抑制することができる。 In the said embodiment, although the example which employ | adopted the neutral density filter actuator and the optical path switch mirror was shown as an electromagnetic actuator which can suppress that an apparatus enlarges, this invention is not limited to this. For example, the present invention may be applied to an actuator that moves a collimator lens. In this case, the laser focus position on the disk changes as the collimator lens position changes, and the amount of return light (reflected light) from the disk changes. By performing position detection based on this change in the amount of light, it is not necessary to separately provide a mechanical part for detecting the position of the collimator lens, and therefore it is possible to suppress an increase in the size of the actuator of the collimator lens.

上記光ピックアップ装置では、装置が大型化することを抑制可能な電磁アクチュエータとして減光フィルタアクチュエータと光路スイッチミラーのいずれか一方を採用した例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、減光フィルタアクチュエータと光路スイッチミラーの両方を採用してもよい。この場合、光ピックアップ装置が大型化することがさらに抑制される。また、２つのアクチュエータが同一のアクチュエータ機構（駆動機構）となり、各可動部に取り付ける光学素子（減光フィルタとガラス板、他）のみを変更した構成とすることで、両者の駆動制御を同一の制御回路で実現することが可能となる。このため、こうした電磁アクチュエータを搭載した光ピックアップ装置における制御回路が簡素化され、装置の低コスト化を図ることができる。   In the above optical pickup device, an example has been shown in which either a neutral density filter actuator or an optical path switch mirror is employed as an electromagnetic actuator capable of suppressing an increase in size of the device, but the present invention is not limited to this. For example, both a neutral density filter actuator and an optical path switch mirror may be employed. In this case, the increase in size of the optical pickup device is further suppressed. Also, the two actuators become the same actuator mechanism (drive mechanism), and only the optical elements (the neutral density filter and the glass plate, etc.) attached to each movable part are changed, so that the drive control of both is the same. This can be realized by a control circuit. For this reason, the control circuit in the optical pickup device equipped with such an electromagnetic actuator is simplified, and the cost of the device can be reduced.

本発明の電磁アクチュエータは、光ピックアップ装置に限らず、半導体製造装置、液晶製造装置、工作機械などの精密装置の駆動機構に適用することで、位置検知を確実に行え、大型化が抑制された精密装置を容易に実現することができる。   The electromagnetic actuator of the present invention is not limited to an optical pickup device, but can be applied to a driving mechanism of a precision device such as a semiconductor manufacturing device, a liquid crystal manufacturing device, or a machine tool, thereby reliably detecting a position and suppressing an increase in size. A precision device can be easily realized.

本発明の第１実施形態に係る減光フィルタアクチュエータを備えた光ピックアップ装置の構成を示した概略図。Schematic which showed the structure of the optical pick-up apparatus provided with the neutral density filter actuator which concerns on 1st Embodiment of this invention. 第１実施形態の減光フィルタアクチュエータの主要な構成を示した模式図。The schematic diagram which showed the main structures of the neutral density filter actuator of 1st Embodiment. （Ａ）図７の減光フィルタアクチュエータの概略側面図、（Ｂ）図７の減光フィルタアクチュエータの概略上面図。(A) Schematic side view of the neutral density filter actuator of FIG. 7, (B) Schematic top view of the neutral density filter actuator of FIG. 本発明の第２実施形態に係る光路スイッチミラーアクチュエータを備えた光ピックアップ装置の構成を示した概略図。Schematic which showed the structure of the optical pick-up apparatus provided with the optical path switch mirror actuator which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 第２実施形態の光路スイッチミラーアクチュエータの主要な構成図。The main lineblock diagram of the optical path switch mirror actuator of a 2nd embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１ 光ピックアップ装置、２ 半導体レーザ、７ 偏光ビームスプリッタ、９ コリメータレンズ、１１ １／４波長板、１３ 対物レンズ、１５ 受光レンズ、１７ 受光センサ、１９ 電流制御回路、３０ａ 光ディスク、１００ 減光フィルタアクチュエータ、１０５ 第１の可動部、１０８ 第２の可動部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical pick-up apparatus, 2 Semiconductor laser, 7 Polarization beam splitter, 9 Collimator lens, 11 1/4 wavelength plate, 13 Objective lens, 15 Light receiving lens, 17 Light receiving sensor, 19 Current control circuit, 30a Optical disk, 100 Light attenuation filter actuator , 105 1st movable part, 108 2nd movable part.

Claims (5)

光源と、
前記光源から発する光を直接または間接的に検知する光検出部と、
前記光源と前記光検出部との間の光路上の第１の位置と前記光路から外れた第２の位置との間を移動可能に設けられた第１の可動部を有するアクチュエータと、
前記第１の可動部を移動させる移動手段と、
を備える光ピックアップ装置であって、
前記移動手段により前記第１の可動部を前記第１の位置または前記第２の位置に移動させる制御を行ったとき、前記光検出部で検出される光量の変化に基づいて前記第１の可動部の位置検出を行うことを特徴とする光ピックアップ装置。 A light source;
A light detection unit that directly or indirectly detects light emitted from the light source;
An actuator having a first movable part movably provided between a first position on an optical path between the light source and the light detection unit and a second position off the optical path;
Moving means for moving the first movable part;
An optical pickup device comprising:
The first movable portion is controlled based on a change in the amount of light detected by the light detecting portion when the moving means performs control to move the first movable portion to the first position or the second position. An optical pickup device that detects the position of a part. 前記第１の可動部を、前記第１の位置と前記第２の位置の一方に移動させる際、一旦前記第１の可動部に対し前記第１の位置と前記第２の位置の他方へ変移する方向の力を加えることを特徴とする請求項１に記載の光ピックアップ装置。   When the first movable part is moved to one of the first position and the second position, the first movable part is temporarily shifted to the other of the first position and the second position with respect to the first movable part. The optical pickup device according to claim 1, wherein a force in a direction to be applied is applied. 前記アクチュエータは、前記アクチュエータに固定された支持部と、前記支持部と前記第１の可動部の一方に設けられた電流線と、前記支持部と前記第１の可動部の他方に設けられた磁石部と、を有し、
前記移動手段は、前記電流線に電流を流すことで発生する磁界と前記磁石部の磁極との間に働く引力または斥力により、前記第１の可動部を移動させることを特徴とする請求項１または２に記載の光ピックアップ装置。 The actuator is provided on a support portion fixed to the actuator, a current line provided on one of the support portion and the first movable portion, and on the other of the support portion and the first movable portion. A magnet portion,
The moving means moves the first movable part by an attractive force or a repulsive force acting between a magnetic field generated by passing a current through the current line and a magnetic pole of the magnet part. Or the optical pick-up apparatus of 2. 前記アクチュエータは、前記第１の可動部の移動方向に沿って互いに対向して設けられた第２の可動部をさらに有し、
前記第２の可動部は、前記第１の可動部の移動に連動して前記第１の可動部とは反対方向へ移動するように設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光ピックアップ装置。 The actuator further includes a second movable part provided to face each other along the moving direction of the first movable part,
The said 2nd movable part is provided so that it may move in the opposite direction to the said 1st movable part in conjunction with the movement of the said 1st movable part. The optical pick-up apparatus as described in any one. 前記第１の可動部は第１の光透過量を有する第１の材料を有し、
前記第２の可動部は前記第１の光透過量と異なる第２の光透過量を有する第２の材料を有し、
前記位置検出は、前記第１の可動部が前記第１の位置に位置する際に前記光検出部で検出される光量と、前記第２の可動部が前記第１の位置に位置する際に前記光検出部で検出される光量との間に生じる光量変化に基づいて行うことを特徴とする請求項４に記載の光ピックアップ装置。 The first movable part includes a first material having a first light transmission amount,
The second movable part has a second material having a second light transmission amount different from the first light transmission amount,
The position detection is performed when the light amount detected by the light detection unit when the first movable unit is positioned at the first position and when the second movable unit is positioned at the first position. The optical pickup device according to claim 4, wherein the optical pickup device is performed based on a change in light amount generated between the light amount detected by the light detection unit.

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