JP2009094284A - 圧電アクチュエータ駆動装置およびこれを用いた露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数枚の圧電素子によって形成される積層体ブロック複数個を直列に配置し、積層体ブロックごとに陽極と陰極となる線路を持ち、各積層体ブロックを電気的に並列接続することで独立に電圧を印加することを可能とした。また、圧電アクチュエータに流れる電流を、正常値と比較することで絶縁不良や短絡を検出することを可能とした。さらに、絶縁不良や短絡を検出した積層体ブロックのみを駆動回路から切り離すことを可能とした。
【選択図】図1
Description
まず、露光装置には、多くの圧電アクチュエータが搭載されているが、精密な機構のため、使用される圧電アクチュエータに冗長性を持たせることが困難である。
また、各積層体ブロックの導通と切断を選択するためのスイッチ手段は、各積層体ブロックと同じ数だけ接続されている。そして、各積層体ブロックの電極層間または線路間の絶縁不良や短絡を検出する短絡検出手段を有することにより、絶縁不良や短絡を生じた場合、該当する積層体ブロックのみを前記スイッチ手段を用いて駆動回路から切り離す。そのため、該積層型圧電アクチュエータの圧電作用は継続して利用することができる。
短絡または絶縁不良を生じた積層体ブロックの駆動回路からの切り離しは、そのブロックに接続されたスイッチ手段のみをオフにするだけでよく、他の正常な積層体ブロックの動作には影響を及ぼさない。また、スイッチ手段は、積層体ブロックと同じ数だけ用意すればよく、駆動回路の構成が簡単である。
以下、本発明の実施の形態を実施例に基づき更に詳しく説明する。
図1は、本発明の一実施例に係る積層型圧電アクチュエータの構造を示す。積層型圧電アクチュエータ100は、薄板状の圧電セラミックス2と電極層3を交互に多数積み重ねて一体化させており、電極層3に接続されたリード線(線路)4(4−1、4−2、4−3)、5によって充放電がなされる。
積層型圧電アクチュエータ100は、3つの積層体ブロック1(1−1、1−2、1−3)に分割されている。各積層体ブロック1は陽極となる電極層3に接続されたリード線4−1、4−2、4−3をそれぞれ具備し、陰極となる電極層3に接続されたリード線5は共通のリード線として1本具備する。そして、各積層体ブロックを電気的に並列に接続することを可能とし、各積層体ブロックの充放電を独立に扱うことを可能としている。なお、3つの積層体ブロック1−1、1−2、1−3は機械的には、積層体ブロックの伸縮方向に直列に配置した構成、すなわち各積層体ブロックの伸縮が加算される構成となっている。
図4は、本発明を適用した露光装置内のレンズ駆動装置構成の一例である。レンズ7を光軸に対して平行駆動およびチルト駆動させるため、3本の積層型圧電アクチュエータ8a、8b、8cが具備されている。ここでは、2つの積層体ブロックを直列に配列した構造を持つ積層型圧電アクチュエータを使用する。各積層型圧電アクチュエータには、積層体ブロックごとにスイッチ素子300をひとつずつ接続されており、コントローラ(制御装置)400の制御信号によりスイッチ素子のON、OFFを切り替えることができる。また、各積層型圧電アクチュエータの電流値を測定するために電流検出装置500と接続されており、積層型圧電アクチュエータの電流値がCPU700へ送られる。また、積層型圧電アクチュエータの変位量を測定するために3個の変位センサ9a、9b、9cが具備されており、変位検出装置600により各積層型圧電アクチュエータの変位量を測定することができ、測定した変位量がCPU700へ送られる。CPU700は、電流検出装置500および変位検出装置600から送られる信号を受け取り、図3の手順に従い各積層型圧電アクチュエータの積層体ブロックの導通と切断の選択を行い、コントローラ400に対して信号を送る。コントローラ400は、CPUから受け取った信号に従い、各積層型圧電ピエゾアクチュエータに接続されたスイッチ素子300のON、OFFの信号を出力する。
例えば、上述の実施例1および2では積層型圧電アクチュエータを2つおよび3つの積層体ブロックを直列に配置した構造としたが、当然任意の積層体ブロックを直列に配置してもよい。また、陰極および陽極のリード線4、5の配線方法は、電気的に並列接続可能であるならば、本数や形態にとらわれないものとする。また、本発明の駆動装置は、露光装置内のレンズ駆動装置に限定されるものではなく、ウエハ搭載ステージやマスク搭載ステージといった積層型圧電アクチュエータによって駆動されうるものであればいかなる駆動装置でも適用可能である。
次に、図5および図6を参照して、図4のレンズ駆動装置を適用した露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。図5は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(マスク製作)では設計した回路パターンに基づいてマスク(原版またはレチクルともいう)を製作する。ステップ3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハ(基板ともいう)を製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、マスクとウエハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウエハ上に実際の回路を形成する。ステップ5(組立)は、後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組立工程を含む。ステップ6(検査)では、ステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷(ステップ7)される。
2 圧電セラミックス
3 電極層(陽極、陰極)
4(4-1、4-2、4-3) 陽極側リード線
5 陰極側リード線
6 レンズ駆動装置
7 レンズ(制御対象)
8a〜8c 積層型圧電アクチュエータ
9a〜9c 変位センサ
100 積層型圧電アクチュエータ
200 充放電装置
300 スイッチ(スイッチ素子)
400 制御装置(コントローラ)
500 電流検出装置
600 変位検出装置
700 CPU
800 駆動対象
Claims (7)
- 圧電素子層と電極層とを交互に積層して形成される積層体ブロックであって前記各圧電素子層の充放電を並列になすべく前記電極層に陽極の線路と陰極の線路を接続した積層体ブロックを、前記積層体ブロックの伸縮方向に直列に配置した積層型圧電アクチュエータと、
前記積層型圧電アクチュエータへ充放電電流を供給するための駆動回路と、
前記各積層体ブロックの前記駆動回路との接続と切断を選択するスイッチ手段と、
前記各積層体ブロックの電極層間または線路間の短絡または絶縁不良を検出する短絡検出手段と、
前記電極層間または線路間の短絡または絶縁不良を検出した場合、前記スイッチ手段を用いて、短絡または絶縁不良を生じた積層体ブロックのみを前記駆動回路から切断する制御手段と、
を有することを特徴とする積層型圧電アクチュエータ駆動装置。 - 前記短絡検出手段は、前記線路に供給される電流値または前記線路間の電圧値を検出する検出手段と、該電流値または電圧値を予め設定された基準値と比較する比較手段とを有し、前記圧電素子層の充電または放電中の前記比較結果に基づいて前記短絡または絶縁不良の有無を検出することを特徴とする請求項1に記載の積層型圧電アクチュエータ駆動装置。
- 前記短絡検出手段は、前記積層型圧電アクチュエータの変位量を測定する変位センサと、該変位センサの出力を予め設定された第2の基準値と比較する第2の比較手段とを有し、該第2の比較手段の比較結果に基づいて短絡または絶縁不良の有無を検出することを特徴とする請求項1または2に記載の積層型圧電アクチュエータ駆動装置。
- 前記制御手段は、前記積層型圧電アクチュエータに短絡または絶縁不良が生じた場合、前記スイッチ手段により前記積層体ブロックを1つずつ順に接続し、前記短絡検出手段により短絡または絶縁不良を検出し、短絡または絶縁不良が生じた積層体ブロックを検出することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の積層型圧電アクチュエータ駆動装置。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の積層型圧電アクチュエータ駆動装置を搭載したことを特徴とするレンズ駆動装置。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の積層型圧電アクチュエータ駆動装置を搭載したことを特徴とする露光装置。
- 請求項6に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、露光した前記基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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