JP2009093027A - マスクパターンフィルム圧着機の圧着構造及びその圧着方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】皺、残留気泡のないマスクパターンフィルム圧着機の提供。
【解決手段】バキュームローラー12と作業台20を具えると共に、該バキュームローラーは、軸部と真空吸着ローラー作動面を具え、作業台上の被加工物に垂直に移動可能であり、作業台は真空吸着する被加工物載置面21を具えて、水平方向に移動可能に設置される。
マスクパターンフィルム圧着工程は、マスクパターンフィルムを該被加工物載置面に吸着してセットし、バキュームローラーのローラー作動面下方に送ると共にローラーを下降させて該ローラー作動面に該フィルムを吸着し、次いで作業台を復帰させて粘着フィルムを該被加工物載置面に吸着してセットし、同様に該ローラー作動面に該フィルムを粘着させ、再度該被加工物載置面に被加工基板を吸着セットして、該ローラー作動面によりこれら3者を圧着固定する。
【選択図】図1
【解決手段】バキュームローラー12と作業台20を具えると共に、該バキュームローラーは、軸部と真空吸着ローラー作動面を具え、作業台上の被加工物に垂直に移動可能であり、作業台は真空吸着する被加工物載置面21を具えて、水平方向に移動可能に設置される。
マスクパターンフィルム圧着工程は、マスクパターンフィルムを該被加工物載置面に吸着してセットし、バキュームローラーのローラー作動面下方に送ると共にローラーを下降させて該ローラー作動面に該フィルムを吸着し、次いで作業台を復帰させて粘着フィルムを該被加工物載置面に吸着してセットし、同様に該ローラー作動面に該フィルムを粘着させ、再度該被加工物載置面に被加工基板を吸着セットして、該ローラー作動面によりこれら3者を圧着固定する。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧着機の圧着構造及びその圧着工程に関する。特に、フィルム材-ネガティブパターンフィルムと被加工材-基板をスムースに気泡がなく、しわがない状態で圧着する圧着機の圧着構造及びその圧着工程に係る。
フォトリソグラフィーなどのマスクパターン形成工程においては、被加工基板上に原版となるネガティブパターンフィルムを用いて、露光区域に応じて、パターン形状或いは回路などのマスク作用を行う。該被加工基板は、ガラス基板或いは金属基板などで、先にネガティブパターンフィルム上に必要なパターンを設計・形成することにより、フォトプロセスを通して、該設計パターンを被加工基板上に効果的に形成することができ、現代工業において非常に便利な加工手段である。
該フォトプロセス中では露光に伴う加熱作用を伴い、該熱エネルギーはネガティブパターンフィルムを膨張させるため、ネガティブパターンフィルム上の回路或いは図形も膨張し変形してしまい、影像の不正確或いは歪像を招き、パターニング効果に大きな影響を及ぼす。また、もしネガティブパターンフィルムと基板間に粉塵、気泡、しわなどがあれば、これもパターニング効果に影響を及ぼす。よって、いかにして上記問題を克服し作業速度を上げるかは、現代工業にとっての課題である。
中華民国特許申請案号95217826号「露光機のネガティブパターンフィルム垂直接着装置」は、粘着テープを用いてネガティブパターンフィルムと基板の外周を粘着合する。さらに、フォトプロセスを行う時、真空吸引作用を利用して、外周だけが粘着テープによって接着されていたネガティブパターンフィルムを基板上に吸着させ、真空吸引力によりネガティブパターンフィルムと基板を確実に接着させた後に露光加工ステップを行うものである。
しかし、上記公知方式は、露光の熱エネルギーがネガティブパターンフィルムに対して引き起こす熱膨張の問題を克服することはできないため、やはりパターニングの効果に影響を及ぼし、製造工程の精度が劣ってしまう。以下に詳述する。
1.公知方式のネガティブパターンフィルムと基板は、周辺においてだけ粘着テープに より接着するため、ネガティブパターンフィルム周囲を固定する効果だけを提供す ることができる。しかし、ネガティブパターンフィルムが露光の熱で膨張する状況 に対して、有効な制御を行うことができず、ネガティブパターンフィルム上の回路 或いは図形は膨張変形し、現像が不正確或いは歪像を招き、パターニング効果に大 きな影響を及ぼす。
2.公知方式はフォトプロセス毎に、毎回真空発生器を起動させる必要がある。しかし 真空発生器の起動後には、真空にするまである程度の時間が必要で、このためパタ ーニング設備全体の構造を複雑にしているばかりか、フォトプロセスの所要時間を 長引かせている。
3.ネガティブパターンフィルムと基板は、周辺だけを粘着テープにより接着するため 、ネガティブパターンフィルムと基板の面積の大部分は真空時に相互に接着状態を 呈し、真空を解除すると分離状態となる。このような接着と分離を繰り返すことで 、相互に衝突し磨耗することは避けられない。さらにネガティブパターンフィルム の材質は比較的軟らかいため、磨耗がもたらす明晰度と完全性への影響はより大き い。このため、ネガティブパターンフィルムを頻繁に交換するなどが必要で、コス トと時間の損失を招いている。
上記のように、公知のフォトプロセスはそのプレ作業において、効果的にネガティブパターンフィルムと基板を圧着する方法がないため、フォトプロセスには非常に多くの不便と面倒を招いている。これに鑑み、本発明はネガティブパターンフィルムと基板を効果的に圧着するメカニズムを提出し、上記の欠点を改善する。
特開2007−157787号公報
該フォトプロセス中では露光に伴う加熱作用を伴い、該熱エネルギーはネガティブパターンフィルムを膨張させるため、ネガティブパターンフィルム上の回路或いは図形も膨張し変形してしまい、影像の不正確或いは歪像を招き、パターニング効果に大きな影響を及ぼす。また、もしネガティブパターンフィルムと基板間に粉塵、気泡、しわなどがあれば、これもパターニング効果に影響を及ぼす。よって、いかにして上記問題を克服し作業速度を上げるかは、現代工業にとっての課題である。
中華民国特許申請案号95217826号「露光機のネガティブパターンフィルム垂直接着装置」は、粘着テープを用いてネガティブパターンフィルムと基板の外周を粘着合する。さらに、フォトプロセスを行う時、真空吸引作用を利用して、外周だけが粘着テープによって接着されていたネガティブパターンフィルムを基板上に吸着させ、真空吸引力によりネガティブパターンフィルムと基板を確実に接着させた後に露光加工ステップを行うものである。
しかし、上記公知方式は、露光の熱エネルギーがネガティブパターンフィルムに対して引き起こす熱膨張の問題を克服することはできないため、やはりパターニングの効果に影響を及ぼし、製造工程の精度が劣ってしまう。以下に詳述する。
1.公知方式のネガティブパターンフィルムと基板は、周辺においてだけ粘着テープに より接着するため、ネガティブパターンフィルム周囲を固定する効果だけを提供す ることができる。しかし、ネガティブパターンフィルムが露光の熱で膨張する状況 に対して、有効な制御を行うことができず、ネガティブパターンフィルム上の回路 或いは図形は膨張変形し、現像が不正確或いは歪像を招き、パターニング効果に大 きな影響を及ぼす。
2.公知方式はフォトプロセス毎に、毎回真空発生器を起動させる必要がある。しかし 真空発生器の起動後には、真空にするまである程度の時間が必要で、このためパタ ーニング設備全体の構造を複雑にしているばかりか、フォトプロセスの所要時間を 長引かせている。
3.ネガティブパターンフィルムと基板は、周辺だけを粘着テープにより接着するため 、ネガティブパターンフィルムと基板の面積の大部分は真空時に相互に接着状態を 呈し、真空を解除すると分離状態となる。このような接着と分離を繰り返すことで 、相互に衝突し磨耗することは避けられない。さらにネガティブパターンフィルム の材質は比較的軟らかいため、磨耗がもたらす明晰度と完全性への影響はより大き い。このため、ネガティブパターンフィルムを頻繁に交換するなどが必要で、コス トと時間の損失を招いている。
上記のように、公知のフォトプロセスはそのプレ作業において、効果的にネガティブパターンフィルムと基板を圧着する方法がないため、フォトプロセスには非常に多くの不便と面倒を招いている。これに鑑み、本発明はネガティブパターンフィルムと基板を効果的に圧着するメカニズムを提出し、上記の欠点を改善する。
本発明が解決しようとする主要な課題は、ネガティブパターンフィルムと被加工基板とを圧着する圧着機の圧着構造及びその圧着工程を提供する。これまでは粘着フィルム材-ネガティブパターンフィルムと被粘着フィルム材-基板を効果的に結合固定する方法が無かったため、パターニング加工ステップ中で不便を招き、しかも歩留りが低かったが、その点を改善する。
本発明は、上記構造の問題点を解決したネガティブパターンフィルム圧着機の圧着構造及びその圧着工程を提供するものである。
本発明は、上記構造の問題点を解決したネガティブパターンフィルム圧着機の圧着構造及びその圧着工程を提供するものである。
上記課題を解決するため、本発明は下記のネガティブパターンフィルム圧着機の圧着構造及びその圧着工程を提供する。
すなわち、バキュームローラーと圧着機設備からなり、該バキュームローラーと作業台を圧着機設備内に設置し、該圧着機設備はクリーンユニット、シート除去ユニット、静電気消去ユニットを設置し、
該クリーンユニットは、ローラー動作により、該作業台と該バキュームローラー上の粉塵を粘着して除去し、
該保護シート除去ユニットは、粘着シート上の保護シートを除去し、
該静電気消去ユニットは、静電気を放電して静電気がもたらす影響を減少させ、
該バキュームローラーは、軸部とローラー作動面を具え、該バキュームローラーは内部の気圧を制御し、これにより該ローラー作動面は吸着と開放作用を生じ、
該作業台は、バキュームローラーローラー作動面位置に相対して設置され、該作業台の該バキュームローラーと相対する面は被加工物のセット用の被加工物載置面であって、該作業台は加工工程に沿った軌道面上に位置して水平移動が可能に配置され、また、該バキュームローラーの軸部は該作業台の載置面に垂直なローラー軌道上に位置して作業台上の被加工物に対して垂直に移動可能に設置される。
これにより該バキュームローラーと該作業台の被加工物載置面の接近、或いは離れる動作を、バキュームローラーローラー作動面の吸着と開放効果に対応させ、ローラー動作による圧着の効果を達成することを特徴とする圧着機の圧着構造及びその圧着工程である。
すなわち、バキュームローラーと圧着機設備からなり、該バキュームローラーと作業台を圧着機設備内に設置し、該圧着機設備はクリーンユニット、シート除去ユニット、静電気消去ユニットを設置し、
該クリーンユニットは、ローラー動作により、該作業台と該バキュームローラー上の粉塵を粘着して除去し、
該保護シート除去ユニットは、粘着シート上の保護シートを除去し、
該静電気消去ユニットは、静電気を放電して静電気がもたらす影響を減少させ、
該バキュームローラーは、軸部とローラー作動面を具え、該バキュームローラーは内部の気圧を制御し、これにより該ローラー作動面は吸着と開放作用を生じ、
該作業台は、バキュームローラーローラー作動面位置に相対して設置され、該作業台の該バキュームローラーと相対する面は被加工物のセット用の被加工物載置面であって、該作業台は加工工程に沿った軌道面上に位置して水平移動が可能に配置され、また、該バキュームローラーの軸部は該作業台の載置面に垂直なローラー軌道上に位置して作業台上の被加工物に対して垂直に移動可能に設置される。
これにより該バキュームローラーと該作業台の被加工物載置面の接近、或いは離れる動作を、バキュームローラーローラー作動面の吸着と開放効果に対応させ、ローラー動作による圧着の効果を達成することを特徴とする圧着機の圧着構造及びその圧着工程である。
上記のように、本発明の回転圧着方式は、フィルム材、粘着フィルム材、被加工材の三者を気泡、しわ、粉塵のない結合体とすることができ、粘着フィルム材が提供する大面積の粘着力により、フィルム材の熱を受け膨張或いは変形する程度を効果的に低下させることができる。こうして影像の正確性を保持し、後続のパターニング加工工程の便を図る。
図1に示すように、本発明の圧着機の圧着構造は、バキュームローラー10、作業台20を具える。該バキュームローラー10と該作業台20は、該圧着機設備1内に設置され、該圧着機設備1はクリーンユニット31、保護シート除去ユニット32、静電気消去ユニット33を設置する。
該クリーンユニット31は、ローラー動作により該作業台20と該バキュームローラー10上の粉塵を粘着して除去する。
該保護シート除去ユニット32は、保護シートを除去し、該静電気消去ユニット33は静電気を放電させて静電気がもたらす影響を減少させる。該クリーンユニット31、該シート除去ユニット32、該静電気消去ユニット33は公知技術の転用であるため、ここでは詳述しない。
該クリーンユニット31は、ローラー動作により該作業台20と該バキュームローラー10上の粉塵を粘着して除去する。
該保護シート除去ユニット32は、保護シートを除去し、該静電気消去ユニット33は静電気を放電させて静電気がもたらす影響を減少させる。該クリーンユニット31、該シート除去ユニット32、該静電気消去ユニット33は公知技術の転用であるため、ここでは詳述しない。
該バキュームローラー10は、軸部11とローラー作動面12を具え、該軸部11は該圧着機設備1のローラー軌道13上に設置され、該ローラー軌道13に沿って移動して、該バキュームローラー10を該作業台に近接、或いは離間する。該バキュームローラー10は、負圧ローラーで、吸気動作を行うことができ、気圧を制御し、負圧或いは真空の気圧差によって該ローラー作動面12上に物体を吸着する作用を生じる。また気圧差を解除して、物体を解放することもできる。
該作業台20は、平面状を呈し、該バキュームローラー10に対応する面は被加工物載置面21で、該被加工物載置面21は物体を設置可能である。該作業台20は同様に負圧台で、気圧差によりバキューム効果を生じ、該作業台20は軌道面22上に位置し、該軌道面22に沿って移動する。
該バキュームローラー10のローラー軌道13方向は、該作業台20軌道面22の法線方向に平行である。本実施例中では、該バキュームローラー10のローラー軌道13は垂直方向を呈し、該作業台20の軌道面22は水平方向を呈する。こうして該バキュームローラー10は回転動し、該ローラー軌道13に沿って移動する時、該作業台20は該軌道面22に沿って移動し、該バキュームローラー10と相互に接する。該ローラー作動面12は回転し、該被加工物載置面21とローラー圧着効果を生じる。
該作業台20は、平面状を呈し、該バキュームローラー10に対応する面は被加工物載置面21で、該被加工物載置面21は物体を設置可能である。該作業台20は同様に負圧台で、気圧差によりバキューム効果を生じ、該作業台20は軌道面22上に位置し、該軌道面22に沿って移動する。
該バキュームローラー10のローラー軌道13方向は、該作業台20軌道面22の法線方向に平行である。本実施例中では、該バキュームローラー10のローラー軌道13は垂直方向を呈し、該作業台20の軌道面22は水平方向を呈する。こうして該バキュームローラー10は回転動し、該ローラー軌道13に沿って移動する時、該作業台20は該軌道面22に沿って移動し、該バキュームローラー10と相互に接する。該ローラー作動面12は回転し、該被加工物載置面21とローラー圧着効果を生じる。
本発明の実際の作動は、図2から図9の連続作動図に示す。本実施例は、1個のバキュームローラー10に1組の作業台20を組み合わせる。
図2には本発明のスタート時の状態を示す。本ステップは、フィルム材51を作業台20の被加工物載置面21にセットする。該作業台20の被加工物載置面21は物体を置くことができる。
次に図3に示すように、該被加工物載置面21上に先ずフィルム材51を置く。該フィルム材51はネガティブパターンフィルムで、該フィルム材51は、後工程のパターニング加工ステップにおいて使用するフィルム材51である。該フィルム材51をセットする時、該作業台20の気圧差効果により、暫時これを吸着する。
図4に示すステップでは、該バキュームローラー10は回転動し、該フィルム材51を該バキュームローラー10のローラー作動面12において吸着する。該バキュームローラー10は、該ローラー軌道13に沿って下方へと移動し、該ローラー作動面12を回転させ、該作業台20は該軌道面22に沿って横方向に移動する。これにより該被加工物載置面21と該ローラー作動面12は相互に接し、該バキュームローラー10は負圧の気圧差により該フィルム材51を吸着する。図5に示すように、該バキュームローラー10は該フィルム材51を吸着後、上昇し、該作業台20はスタート状態の位置に戻る。
図2には本発明のスタート時の状態を示す。本ステップは、フィルム材51を作業台20の被加工物載置面21にセットする。該作業台20の被加工物載置面21は物体を置くことができる。
次に図3に示すように、該被加工物載置面21上に先ずフィルム材51を置く。該フィルム材51はネガティブパターンフィルムで、該フィルム材51は、後工程のパターニング加工ステップにおいて使用するフィルム材51である。該フィルム材51をセットする時、該作業台20の気圧差効果により、暫時これを吸着する。
図4に示すステップでは、該バキュームローラー10は回転動し、該フィルム材51を該バキュームローラー10のローラー作動面12において吸着する。該バキュームローラー10は、該ローラー軌道13に沿って下方へと移動し、該ローラー作動面12を回転させ、該作業台20は該軌道面22に沿って横方向に移動する。これにより該被加工物載置面21と該ローラー作動面12は相互に接し、該バキュームローラー10は負圧の気圧差により該フィルム材51を吸着する。図5に示すように、該バキュームローラー10は該フィルム材51を吸着後、上昇し、該作業台20はスタート状態の位置に戻る。
続いて図6に示すように、本ステップでは該粘着フィルム材52を該作業台20の被加工物載置面21にセットする。該被加工物載置面21上には高光透過性の粘着フィルム材52を置くが、該粘着フィルム材52は両面テープであって、該作業台20の気圧差効果によりこれを吸着する。さらに、該シート除去ユニット32を作動させ、該粘着フィルム材52上層の保護シートを除去する。
図7に示すステップでは、該バキュームローラー10は回転動し、該バキュームローラー10のローラー作動面12において該粘着フィルム材52を粘着する。該バキュームローラー10は、該ローラー軌道13に沿って下方へと移動し、該ローラー作動面12を回転させ、該作業台20は該軌道面22に沿って横方向に移動する。こうして該被加工物載置面21と該ローラー作動面12は相互に接し、該ローラー作動面12は回転動し該被加工物載置面21を圧着する。該粘着フィルム材52それ自身の粘着性により該バキュームローラー10のフィルム材51に粘着接合し、続いて該粘着フィルム材52反対面の保護シートを除去する。
図7に示すステップでは、該バキュームローラー10は回転動し、該バキュームローラー10のローラー作動面12において該粘着フィルム材52を粘着する。該バキュームローラー10は、該ローラー軌道13に沿って下方へと移動し、該ローラー作動面12を回転させ、該作業台20は該軌道面22に沿って横方向に移動する。こうして該被加工物載置面21と該ローラー作動面12は相互に接し、該ローラー作動面12は回転動し該被加工物載置面21を圧着する。該粘着フィルム材52それ自身の粘着性により該バキュームローラー10のフィルム材51に粘着接合し、続いて該粘着フィルム材52反対面の保護シートを除去する。
次に図8に示すステップでは、該バキュームローラー10は回転動し、該フィルム材51と該粘着フィルム材52を該作業台20の被加工物載置面21の被加工材53に圧着する。該被加工物載置面21上に被加工材53を置き、該被加工材53はガラス或いは金属基板で、さらに該バキュームローラー10を制御して下方へと移動させ、回転動させる。該作業台20はさらに横方向に移動しこれと相互に接し、該ローラー作動面12により該被加工物載置面21において回転動し、圧着する。
図9に示すように、該バキュームローラー10と該被加工物載置面21が相互に接した後、該フィルム材51は該粘着フィルム材52を通して該被加工材53上に粘着する。
本発明は、上記ステップを通して、回転圧着の方式により、該フィルム材51、該粘着フィルム材52、該被加工材53の三者は気泡、しわ、粉塵のない結合体を呈し、該粘着フィルム材52が提供する大面積の粘着力により、該フィルム材51が熱を受けて膨張或いは変形する程度を効果的に低下させることができる。さらに、影像の正確性を保持し、後続のパターニング加工工程の便を図る。
図9に示すように、該バキュームローラー10と該被加工物載置面21が相互に接した後、該フィルム材51は該粘着フィルム材52を通して該被加工材53上に粘着する。
本発明は、上記ステップを通して、回転圧着の方式により、該フィルム材51、該粘着フィルム材52、該被加工材53の三者は気泡、しわ、粉塵のない結合体を呈し、該粘着フィルム材52が提供する大面積の粘着力により、該フィルム材51が熱を受けて膨張或いは変形する程度を効果的に低下させることができる。さらに、影像の正確性を保持し、後続のパターニング加工工程の便を図る。
さらに図10〜17に示すように、本発明の第二実施例はバキュームローラー10に2組の作業台を組み合わせる。その主な部品は第一実施例と相同であるため、詳述しない。差異点について以下に説明する。
本実施例では、上端の作業台201により比較的軽く軟らかいフィルム材51と粘着フィルム材52をセットし、下端の作業台202により比較的重量のある被加工材53をセットする。こうして異なる性質物質の設置に適応し、該上端の作業台201は負圧台で、気圧差を利用し、比較的軽く軟らかいフィルム材51、粘着フィルム材52を吸着固定する。
本実施例では、上端の作業台201により比較的軽く軟らかいフィルム材51と粘着フィルム材52をセットし、下端の作業台202により比較的重量のある被加工材53をセットする。こうして異なる性質物質の設置に適応し、該上端の作業台201は負圧台で、気圧差を利用し、比較的軽く軟らかいフィルム材51、粘着フィルム材52を吸着固定する。
図10〜15は本実施例のバキュームローラー10がフィルム材51、粘着フィルム材52を吸着するステップの指示図である。ここでは下端の作業台202を利用しないため、作動方式は第一実施例と同様であるため、再度説明することはしない。
次に図16に示すように、該バキュームローラー10はフィルム材51と粘着フィルム材52の吸着ステップを完了後、下端の作業台202に被加工材53をセットし、該バキュームローラー体を下方へと移動させ及び回転動させる。該作業台202はさらに横方向に移動し、これと相互に接し、こうしてローラー作動面12は回転動し、被加工物載置面21を圧合する。
図17に示すように、バキュームローラー10と被加工物載置面21が相互に接した後、該フィルム材51は該粘着フィルム材52を通して該被加工材53上に粘着される。
本実施例は主に上端の作業台201と下端の作業台202を利用し、それぞれ異なる性質の物体をセットし、セット時の安定性を増強することができる。
次に図16に示すように、該バキュームローラー10はフィルム材51と粘着フィルム材52の吸着ステップを完了後、下端の作業台202に被加工材53をセットし、該バキュームローラー体を下方へと移動させ及び回転動させる。該作業台202はさらに横方向に移動し、これと相互に接し、こうしてローラー作動面12は回転動し、被加工物載置面21を圧合する。
図17に示すように、バキュームローラー10と被加工物載置面21が相互に接した後、該フィルム材51は該粘着フィルム材52を通して該被加工材53上に粘着される。
本実施例は主に上端の作業台201と下端の作業台202を利用し、それぞれ異なる性質の物体をセットし、セット時の安定性を増強することができる。
1 圧着機設備
10 バキュームローラー
11 軸部
12 作動綿
13 ローラー軌道
20 作業台
201 作業台
202 作業台
21 被加工物載置面
22 軌道面
31 クリーンユニット
32 シート除去ユニット
33 静電気消去ユニット
51 フィルム材
52 粘着フィルム材
53 被加工材
10 バキュームローラー
11 軸部
12 作動綿
13 ローラー軌道
20 作業台
201 作業台
202 作業台
21 被加工物載置面
22 軌道面
31 クリーンユニット
32 シート除去ユニット
33 静電気消去ユニット
51 フィルム材
52 粘着フィルム材
53 被加工材
Claims (8)
- 圧着機設備内に設置された、バキュームローラーと少なくとも1個の作業台を具え、
該バキュームローラーは、軸部とローラー作動面を具え、該バキュームローラーは気圧を制御して、該ローラー作動面の吸着と開放作用を行い、
該作業台は、バキュームローラーローラー作動面位置に相対して設置され、該作業台の該バキュームローラーと相対する面は、被加工物載置面であり、
該バキュームローラーと該作業台の被加工物載置面との接近、離間動作と、バキュームローラーのローラー作動面の吸着と開放動作により、
バキュームローラーのローラー作動面上に吸着されたフィルム状素材と被加工物載置面上の被加工物とを圧着接合することを特徴とするマスクパターンフィルム圧着機。 - 前記バキュームローラーに対して、上記作業台を2以上組合せたことを特徴とする請求項1記載のマスクパターンフィルム圧着機。
- 前記作業台は、圧着工程に沿った軌道面上に位置して圧着工程に沿って移動可能であり、該バキュームローラーの軸部は該作業台の被加工物載置面に対して垂直方向に設けられたローラー軌道上に設置されたことを特徴とする請求項1記載のマスクパターンフィルム圧着機。
- 前記軌道面は、水平方向で、該ローラー軌道は垂直方向であることを特徴とする請求項1記載のマスクパターンフィルム圧着機。
- 前記バキュームローラーは、負圧ローラーで、該作業台は負圧台であることを特徴とする請求項1記載のマスクパターンフィルム圧着機。
- 前記圧着機設備の該作業台に隣接する位置には粘着フィルム材の保護シート除去ユニットを設置することを特徴とする請求項1記載のマスクパターンフィルム圧着機。
- 前記圧着機設備の該作業台に隣接する位置にはクリーンユニットと静電気消去ユニットを設置したことを特徴とする請求項1記載のマスクパターンフィルム圧着機。
- マスクパターンフィルム圧着機の圧着工程であって、
a.フィルム材を作業台の被加工物載置面に置きく、
b.バキュームローラーのローラー動作により、該フィルム材を該ローラーのローラー 作動面に吸着させ、
c.粘着フィルム材を該作業台の被加工物載置面に置き、
d.バキュームローラーのローラー動作により、該粘着フィルム材を該ローラーのロー ラー作動面に粘着させ、
e.バキュームローラーのローラー動作により、該フィルム材と該粘着フィルム材を該 作業台の被加工物載置面の被加工材に圧着させることを特徴とする請求項1記載の マスクパターンフィルム圧着機による圧着方法。
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