JP2009085865A - Substrate inspection device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To miniaturize the device and simplify the structure in a constitution for performing inspection while a substrate is delivered between conveyance devices. <P>SOLUTION: In the substrate inspection device 1, a first conveyance section 12 and a second conveyance section 13 for conveying a glass substrate W floated by a floating stage 11 are installed sequentially in the conveyance direction. The first and second conveyance section 12 and 13 are arranged on the same axis parallel to the conveyance direction. Further, a roller type conveyance section 14 for delivering the glass substrate W between two conveyance sections 12 and 13 is disposed. The roller type conveyance section 14 has a self-propelled roller 41 lifting projectably with respect to the floating stage 11. In delivering the glass substrate W, the suction of the first conveyance section 12 is released, then the roller 41 is butted on the glass substrate W, and the glass substrate W is moved toward the second conveyance section 13. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、ウェハや液晶ガラス基板等の検査に用いられる基板検査装置に関する。   The present invention relates to a substrate inspection apparatus used for inspection of wafers, liquid crystal glass substrates, and the like.

フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）などの製造工程においては、ガラス基板の外観を観察する検査（マクロ検査）が行われている。この検査工程では、搬送装置でガラス基板を搬送しながら検査ヘッドで基板表面の画像を取得する基板検査装置を用いることが知られている。この種の基板検査装置に用いられる搬送装置としては、ガラス基板をエアー浮上させると共に、ガラス基板の側部を保持して移動するステージを備え、ガラス基板を非接触で搬送するように構成したものがある。   In a manufacturing process of a flat panel display (FPD) or the like, an inspection (macro inspection) for observing the appearance of a glass substrate is performed. In this inspection process, it is known to use a substrate inspection apparatus that acquires an image of the substrate surface with an inspection head while conveying a glass substrate with a conveyance apparatus. As a transfer device used for this type of substrate inspection device, a glass substrate is levitated in air and equipped with a stage that moves while holding the side of the glass substrate, and is configured to convey the glass substrate in a non-contact manner. There is.

ここで、近年では、ガラス基板のサイズが大型化し、１辺の長さが例えば３ｍに達することもある。このようなサイズのガラス基板の略全面の画像データを取得するためには、搬送装置はガラス基板を少なくとも１辺の２倍（１辺が３ｍの場合には６ｍ）の距離搬送しなければならない。このため、従来の基板検査装置では、搬送方向に複数の搬送装置を設け、隣り合う搬送装置の間でガラス基板を受け渡しながら、大型のガラス基板の検査を行うようにしている。搬送方向で隣り合う２つの搬送装置は、搬送軸同士や、ステージ同士が干渉しないように、隣り合う２つの搬送装置を搬送方向に直交する幅方向にずらして設置される（例えば、特許文献１参照）。搬送装置ごとに搬送軸を設けることで、１つ１つの搬送軸を短くでき、直線度を確保し易くなっていた。また、設置の際にも水平度の調整が容易になるというメリットもあった。
再公表第ＷＯ２００３／０８６９１７号公報 Here, in recent years, the size of the glass substrate has increased, and the length of one side can reach, for example, 3 m. In order to acquire image data of almost the entire surface of a glass substrate having such a size, the conveying device must convey the glass substrate at a distance of at least twice as long as one side (6 m when one side is 3 m). . For this reason, in a conventional substrate inspection apparatus, a plurality of transfer devices are provided in the transfer direction, and a large glass substrate is inspected while delivering a glass substrate between adjacent transfer devices. Two adjacent conveying devices in the conveying direction are installed by shifting the two adjacent conveying devices in the width direction orthogonal to the conveying direction so that the conveying axes and stages do not interfere with each other (for example, Patent Document 1). reference). By providing a conveyance axis for each conveyance device, each conveyance axis can be shortened, and it is easy to ensure straightness. In addition, there is a merit that the leveling can be easily adjusted during installation.
Republication No. WO2003 / 086917

しかしながら、従来では、ステージの干渉を防止するために隣り合う搬送装置の搬送軸をずらして敷設し、搬送装置が幅方向に互い違いに突出させていたので、基板検査装置の幅が大きくなり、工場の限られたスペースに設置することが困難になっていた。
さらに、従来では、２つの搬送装置の間でガラス基板を受け渡すときに位置ずれが生じないように、受け渡し元となる搬送装置でガラス基板を保持している間に、別の保持手段でガラス基板を保持させ、受け渡し元となる搬送装置の保持を解除した後、受け渡し先となる搬送装置に保持させていた。別の保持手段を設けることで装置構成が複雑化し、装置コストを増大させる原因になっていた。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、搬送装置間で基板を受け渡しながら検査を行う構成において、装置を小型化かつ構造を簡略化することを主な目的とする。 However, in the past, in order to prevent the interference of the stage, the transport axis of the adjacent transport device was shifted and laid, and the transport device protruded alternately in the width direction, so the width of the substrate inspection device increased, and the factory It was difficult to install in a limited space.
Furthermore, conventionally, glass glass is held by another holding means while the glass substrate is held by the transfer device serving as a transfer source so that no positional deviation occurs when the glass substrate is transferred between the two transfer devices. After holding the substrate and releasing the holding of the transfer device as the delivery source, the substrate is held by the transfer device as the delivery destination. Providing another holding means complicates the apparatus configuration and increases the apparatus cost.
The present invention has been made in view of such circumstances, and it is a main object of the present invention to reduce the size of the apparatus and simplify the structure in a configuration in which inspection is performed while delivering a substrate between transfer apparatuses.

上記の課題を解決する本発明は、浮上ステージで浮上させた基板を保持して搬送する基板搬送部を搬送方向に複数設け、複数の前記基板搬送部の間で基板を受け渡しながら基板の検査を行う基板検査装置において、前記複数の基板搬送部が搬送方向に平行な同一のライン上に配置されると共に、基板の底面に当接して搬送方向に隣り合う２つの前記基板搬送部の間で基板を移動させる回転部材を備えることを特徴とする基板検査装置とした。   The present invention that solves the above-mentioned problems is provided with a plurality of substrate transport sections in the transport direction for holding and transporting a substrate levitated on a levitation stage, and inspecting the substrate while delivering the substrate between the plurality of substrate transport sections. In the substrate inspection apparatus to be performed, the plurality of substrate transfer units are arranged on the same line parallel to the transfer direction, and the substrate is in contact with the bottom surface of the substrate between the two substrate transfer units adjacent to each other in the transfer direction. A substrate inspection apparatus comprising a rotating member that moves the substrate.

本発明によれば、基板搬送部が搬送方向に直交する方向に互い違いに突出することがなくなって、複数の基板搬送部を設置するために必要なスペースが少なく済む。このため、装置を小型化できる。回転部材を利用して基板搬送部間で基板を受け渡すことで位置ずれを防止したので、位置調整のための装置を別に設ける必要がなくなって装置構成を簡略化できる。   According to the present invention, the substrate transport portions do not protrude alternately in the direction orthogonal to the transport direction, and the space required for installing the plurality of substrate transport portions can be reduced. For this reason, an apparatus can be reduced in size. Since the positional deviation is prevented by transferring the substrate between the substrate transfer units using the rotating member, it is not necessary to provide a separate device for position adjustment, and the device configuration can be simplified.

本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、各実施の形態で同じ構成要素には同一の符号を付してある。また、各実施の形態で重複する説明は省略する。   The best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that the same reference numerals are given to the same components in each embodiment. In addition, a description overlapping in each embodiment is omitted.

（第１の実施の形態）
図１に示すように、基板検査装置１は、ベース２上にガラス基板Ｗを１軸方向に搬送する基板搬送装置３が敷設され、基板搬送装置３の搬送方向に第１の検査部４と、第２の検査部５とが離間して配設されている。各部の制御は、制御装置６で行われている。制御装置６には、検査者が操作する操作部や検査結果などを表示する表示装置を設けられている。なお、検査対象は、ガラス基板に限定されず、その他の基板でも良い。 (First embodiment)
As shown in FIG. 1, in the substrate inspection apparatus 1, a substrate transfer device 3 that transfers a glass substrate W in a uniaxial direction is laid on a base 2, and a first inspection unit 4 is arranged in the transfer direction of the substrate transfer device 3. The second inspection unit 5 is spaced apart. Control of each part is performed by the control device 6. The control device 6 is provided with an operation unit operated by the inspector and a display device for displaying the inspection result. The inspection target is not limited to the glass substrate, and may be another substrate.

基板搬送装置３は、ガラス基板Ｗをエアー浮上させる浮上ステージ１１と、搬送方向の上流側、つまりガラス基板Ｗの搬入側に敷設された第１の搬送部１２と、搬送方向の下流側、つまりガラス基板Ｗの搬出側に敷設された第２の搬送部１３と、これら２つの搬送部１２，１３の間でガラス基板Ｗを受け渡すために使用されるローラ式搬送部１４とを備える。   The substrate transport device 3 includes a levitation stage 11 that floats the glass substrate W in air, a first transport unit 12 laid on the upstream side in the transport direction, that is, the carry-in side of the glass substrate W, and the downstream side in the transport direction, A second transport unit 13 laid on the carry-out side of the glass substrate W and a roller-type transport unit 14 used for delivering the glass substrate W between the two transport units 12 and 13 are provided.

浮上ステージ１１は、多数の浮上プレート２１を有する。これら浮上プレート２１は、搬送方向に平行に敷設されている。各浮上プレート２１は、上面が水平になるように支持されており、上面にはエアー噴き出し孔２２が多数設けられている。これら浮上プレート２１は、不図示のエアー供給源に接続されており、各浮上プレートの各エアー噴き出し孔２２からエアーを上向きに噴出させることができるようになっている。エアー噴き出し孔２２は、ガラス基板Ｗの略全体を下方から浮上させるのに十分な数及び配置になっている。隣り合う２つの浮上プレート２１の間には、隙間２３が形成されているが、この隙間２３は、エアー浮上に影響を与えない程度の大きさにしてある。この浮上ステージ１１は、搬送方向に複数本の浮上プレート２１を繋ぎ合わせてある。浮上プレート２１を繋ぎ合わせた接合部１１Ａは、第２の搬送部１３内で第２の検査部５より上流側に設けられており、僅かな隙間を有する。   The levitation stage 11 has a large number of levitation plates 21. These levitation plates 21 are laid parallel to the transport direction. Each floating plate 21 is supported so that the upper surface is horizontal, and a number of air ejection holes 22 are provided on the upper surface. The levitation plates 21 are connected to an air supply source (not shown) so that air can be ejected upward from the air ejection holes 22 of the levitation plates. The number and arrangement of air ejection holes 22 are sufficient to allow substantially the entire glass substrate W to float from below. A gap 23 is formed between two adjacent levitation plates 21. The gap 23 is sized so as not to affect air levitation. The levitation stage 11 has a plurality of levitation plates 21 connected in the transport direction. 11 A of joined parts which connected the floating plate 21 are provided in the 2nd conveyance part 13 upstream from the 2nd test | inspection part 5, and have a slight clearance gap.

ここで、浮上プレート２１の接合部１１Ａに合わせて、１列の乗り越し用のローラ２４が設けられている。ローラ２４は、浮上プレート２１の隙間２３に配置され、不図示の支持部に回転自在に支持されたフリーローラである。ローラ２４を有することで、接合部１１Ａでの浮上力低下によるガラス基板Ｗの撓みなどを防止できる。また、ローラ２４があることによって、接合される上流側と下流側の各浮上プレート２１の高さを厳密に一致させなくてもガラス基板Ｗをスムーズに搬送できるようになる。浮上プレート２１の接合位置に合わせてベース２も接合しても良い。なお、浮上ステージ１１が接合部１１Ａを有しない場合には、このローラ２４を設けない。   Here, in line with the joint portion 11 </ b> A of the floating plate 21, a row of rollers 24 for overriding is provided. The roller 24 is a free roller that is disposed in the gap 23 of the floating plate 21 and is rotatably supported by a support portion (not shown). By having the roller 24, it is possible to prevent the glass substrate W from being bent due to a decrease in the flying force at the joint 11A. Further, the presence of the roller 24 enables the glass substrate W to be smoothly transported without the height of the floating plates 21 on the upstream side and the downstream side to be joined exactly matching. The base 2 may be joined in accordance with the joining position of the floating plate 21. Note that this roller 24 is not provided when the levitation stage 11 does not have the joint 11A.

また、浮上プレート２１の搬入端及び搬出端のそれぞれの隙間２３には、ガラス基板Ｗに搬送力を伝える自走式の搬入ローラ２６と搬出ローラ２７が挿入されている。これらローラ２６，２７は、ガラス基板Ｗを他の装置から基板検査装置１に搬入したり、搬出したりする際に使用される。ガラス基板Ｗの搬入出時以外には、ローラ２６，２７を浮上したガラス基板Ｗの裏面に接触しないように浮上プレート２１の上面より下がった位置まで退避できるようにする。   In addition, a self-propelled carry-in roller 26 and a carry-out roller 27 that transmit a carrying force to the glass substrate W are inserted into the gaps 23 at the carry-in end and the carry-out end of the floating plate 21. These rollers 26 and 27 are used when the glass substrate W is carried into or out of the substrate inspection apparatus 1 from another apparatus. Other than when the glass substrate W is carried in and out, the rollers 26 and 27 can be retracted to a position below the upper surface of the floating plate 21 so as not to contact the back surface of the glass substrate W that has floated.

第１の搬送部１２は、浮上ステージ１１の両側に沿って平行に敷設されている。各第１の搬送部１２は、搬送方向に平行に敷設された搬送ガイドレール３１と、搬送ガイドレール３１に沿って移動するスライダ３２と、スライダ３２を駆動させる駆動部であるリニアモータ３３と、スライダ３２に搭載されてガラス基板Ｗを吸着保持する基板保持部３４とを備える。
図１及び図２に示すように、駆動部には、リニアモータ３３が用いられているが、ボールネジとモータを組み合わせた直線移動機構でも良い。搬送ガイドレール３１は、リニアモータ３３を挟むように一対設けられている。リニアモータ３３及び搬送ガイドレール３１の長さは、ガラス基板Ｗの１辺の長さよりは大きいが、１辺の２倍よりは小さい。基板保持部３４は、ガラス基板Ｗの外縁部の裏面に当接させられる吸着パッド３５を昇降自在に備えている。吸着パッド３５の上面には、不図示の吸引孔が開口しており、これを吸引源に接続することで、ガラス基板Ｗを吸着保持することができる。吸着パッド３５は、ガラス基板Ｗを傷付けない程度の硬度と、十分な耐摩耗性を有する材料から製造されている。なお、吸着パッド３５を首振り動作できるようにしておけば、ガラス基板Ｗを吸着し易くなる。 The first transport unit 12 is laid in parallel along both sides of the levitation stage 11. Each first transport unit 12 includes a transport guide rail 31 laid parallel to the transport direction, a slider 32 that moves along the transport guide rail 31, a linear motor 33 that is a drive unit that drives the slider 32, and And a substrate holder 34 that is mounted on the slider 32 and holds the glass substrate W by suction.
As shown in FIGS. 1 and 2, a linear motor 33 is used in the drive unit, but a linear moving mechanism combining a ball screw and a motor may be used. A pair of conveyance guide rails 31 are provided so as to sandwich the linear motor 33. The lengths of the linear motor 33 and the conveyance guide rail 31 are larger than the length of one side of the glass substrate W, but smaller than twice the length of one side. The substrate holding part 34 includes a suction pad 35 that can be brought into contact with the back surface of the outer edge of the glass substrate W so as to be movable up and down. A suction hole (not shown) is opened on the upper surface of the suction pad 35, and the glass substrate W can be sucked and held by connecting it to a suction source. The suction pad 35 is manufactured from a material having a hardness that does not damage the glass substrate W and sufficient wear resistance. If the suction pad 35 can be swung, the glass substrate W can be easily sucked.

図１に示すように、第２の搬送部１３は、第１の搬送部１２と同様の構成になっている。搬送方向に直交する幅方向において、第２の搬送部１３の設置位置は、第１の搬送部１２の設置位置に一致させてある。つまり、同じ側方の２つの搬送部１２，１３のスライダ３２が同軸上に配置されており、２つの搬送部１２，１３が同一ライン上に、幅方向にずれることなく一直線状に設置されている。各搬送部１２，１３の搬送ガイドレール３１及びリニアモータ３３は、独立しているので、スライダ３２及び基板保持部３４が互いに干渉することはない。   As shown in FIG. 1, the second transport unit 13 has the same configuration as the first transport unit 12. In the width direction orthogonal to the conveyance direction, the installation position of the second conveyance unit 13 is matched with the installation position of the first conveyance unit 12. That is, the sliders 32 of the two conveying units 12 and 13 on the same side are arranged on the same axis, and the two conveying units 12 and 13 are installed on the same line in a straight line without shifting in the width direction. Yes. Since the conveyance guide rails 31 and the linear motors 33 of the conveyance units 12 and 13 are independent, the slider 32 and the substrate holding unit 34 do not interfere with each other.

図１及び図２に示すように、ローラ式搬送部１４は、第１の搬送部１３の搬送経路内の下流側で、浮上プレート２１の隙間２３に設置された２列の自走式ローラ機構を備える。自走式ローラ機構は、軸受支持部４３に回転自在に支持された回転軸４２にローラ４１が固定される。回転軸４２及び軸受支持部４３は、モータステージ４４に昇降自在に支持されている。自走式ローラ機構としては、例えば、図３に示すように、回転軸４２に減速機構部４５を介してモータ４６に連結した構成があげられる。シリンダ４７は、矢印に示すように軸受支持部４３、モータ４６、ローラ４１を一体に上下方向に移動させる昇降機構を構成している。この昇降機構によって、ローラ４１を浮上プレート２１の上面に対して突没させることができる。ローラ４１の突出量は、エアー浮上させているガラス基板Ｗの下面にローラ４１を当接させるのに必要な基板浮上高さと同等の大きさである。ローラ４１は、１列でも良く、３列以上でも良い。なお、前記した搬入搬出用のローラ２６，２７を昇降させときの機構も同様のものを使用できる。接合部１１Ａの乗り越し用のローラ２４を昇降させるときも同様である。   As shown in FIGS. 1 and 2, the roller transport unit 14 is a two-row self-propelled roller mechanism installed in the gap 23 of the floating plate 21 on the downstream side in the transport path of the first transport unit 13. Is provided. In the self-propelled roller mechanism, a roller 41 is fixed to a rotating shaft 42 that is rotatably supported by a bearing support portion 43. The rotating shaft 42 and the bearing support portion 43 are supported by the motor stage 44 so as to be movable up and down. As a self-propelled roller mechanism, for example, as shown in FIG. 3, a configuration in which a rotating shaft 42 is connected to a motor 46 via a speed reducing mechanism 45 can be mentioned. The cylinder 47 constitutes an elevating mechanism that moves the bearing support 43, the motor 46, and the roller 41 integrally in the vertical direction as indicated by an arrow. With this lifting mechanism, the roller 41 can protrude and retract with respect to the upper surface of the floating plate 21. The protruding amount of the roller 41 is the same size as the substrate flying height required to bring the roller 41 into contact with the lower surface of the glass substrate W that is air floating. The roller 41 may be one row or three or more rows. The same mechanism can be used for raising and lowering the carry-in and carry-out rollers 26 and 27 described above. The same is true when the roller 24 for passing over the joining portion 11A is raised and lowered.

第１の検査部４は、搬入ローラ２６より下流側、かつローラ式搬送部１４より上流側に配置されており、浮上ステージ１１及び第１の搬送部１２を幅方向で跨ぐようにベース２に固定された門型フレーム（ガントリともいう）５１と、門型フレーム５１の水平梁５１Ａに固定された不図示のライン照明装置と、ラインセンサカメラからなる複数の検査ヘッド５３を備えるマクロ検査装置である。ライン照明装置は、幅方向にスリット状のライン照明光を照射し、下方に設定された検査位置にあるガラス基板Ｗの表面に斜めに入射するように構成されている。検査ヘッド５３は、幅方向に配列されたスリット状の検査領域の画像データを取得する撮像素子を備える。例えば、正反射の画像を取得する場合には、ガラス基板Ｗで正反射した光の光路上に検査ヘッド５３が設置される。なお、検査位置を中心とする検査ヘッド５３の設置角度を変更可能な角度調整機構を設けると、暗視野での画像データや回折光の画像データを取得することも可能になる。   The first inspection unit 4 is disposed on the downstream side of the carry-in roller 26 and on the upstream side of the roller-type conveyance unit 14, and covers the base 2 so as to straddle the floating stage 11 and the first conveyance unit 12 in the width direction. A macro inspection apparatus including a fixed portal frame (also referred to as a gantry) 51, a line illumination device (not shown) fixed to a horizontal beam 51A of the portal frame 51, and a plurality of inspection heads 53 including line sensor cameras. is there. The line illumination device is configured to irradiate slit-like line illumination light in the width direction and to be incident obliquely on the surface of the glass substrate W at the inspection position set below. The inspection head 53 includes an image sensor that acquires image data of slit-shaped inspection regions arranged in the width direction. For example, when acquiring a specularly reflected image, the inspection head 53 is installed on the optical path of the light specularly reflected by the glass substrate W. If an angle adjusting mechanism capable of changing the installation angle of the inspection head 53 centering on the inspection position is provided, it is also possible to acquire dark field image data and diffracted light image data.

第２の検査部５は、ローラ式搬送部１４及び乗り越し用ローラ２４より下流側、かつ搬出用ローラ２７より上流側に配置されており、浮上ステージ１１及び第２の搬送部１３を幅方向で跨ぐようにベース２に固定された門型フレーム（ガントリともいう）６１と、門型フレーム６１の水平梁６１Ａに敷設され、幅方向に敷設された軸に沿って移動可能なスライダ６２と、スライダ６２に搭載された顕微鏡６３とを備え、ミクロ検査装置又はレビュー装置と呼ばれる。顕微鏡６３には、落射照明が用いられており、ガラス基板Ｗの表面の顕微鏡画像を取得して画像データを出力する撮像素子が設けられている。なお、浮上プレート２１の下方にライン状の照明を設け、透過照明によってガラス基板Ｗの表面観察を行っても良い。この場合は、浮上プレートに照明光を通すための狭いスリットが形成される。   The second inspection unit 5 is disposed on the downstream side of the roller-type conveyance unit 14 and the carry-over roller 24 and on the upstream side of the carry-out roller 27, and the floating stage 11 and the second conveyance unit 13 are arranged in the width direction. A portal frame (also referred to as a gantry) 61 fixed to the base 2 so as to straddle, a slider 62 laid on a horizontal beam 61A of the portal frame 61 and movable along an axis laid in the width direction, and a slider A microscope 63 mounted on 62 is called a micro inspection device or a review device. The microscope 63 uses epi-illumination, and is provided with an image sensor that acquires a microscope image of the surface of the glass substrate W and outputs image data. Note that a line-shaped illumination may be provided below the floating plate 21 and the surface of the glass substrate W may be observed by transmission illumination. In this case, a narrow slit for passing illumination light through the floating plate is formed.

次に、この基板検査装置１の動作について説明する。
最初に、第１、第２の搬送部１２，１３のそれぞれのスライダ３２を上流側に移動させ待機させる。各基板保持部３４は、吸着パッドの吸着面がガラス基板Ｗの裏面に接触しない位置まで降下させておく。浮上プレート２１のエアー吹き出し孔２２からはエアーを噴き出させておく。
ラインの上流側でアライメントされたガラス基板Ｗが搬入されると、最初に搬入ローラ２６によってガラス基板Ｗが浮上ステージ１１上に案内される。基板検査装置１に搬入されたガラス基板Ｗは、エアー浮上させられるので、第１の搬送部１２の基板保持部３４を上昇させて、ガラス基板Ｗを吸着パッド３５で吸着保持する。基板保持部３４は、ガラス基板Ｗの下流側の端部を吸着保持する。 Next, the operation of the substrate inspection apparatus 1 will be described.
First, the respective sliders 32 of the first and second transport units 12 and 13 are moved to the upstream side to stand by. Each substrate holding part 34 is lowered to a position where the suction surface of the suction pad does not contact the back surface of the glass substrate W. Air is blown out from the air blowing hole 22 of the floating plate 21.
When the glass substrate W aligned on the upstream side of the line is carried in, the glass substrate W is first guided onto the floating stage 11 by the carry-in roller 26. Since the glass substrate W carried into the substrate inspection apparatus 1 is allowed to float on the air, the substrate holding unit 34 of the first transport unit 12 is raised and the glass substrate W is sucked and held by the suction pad 35. The substrate holding unit 34 sucks and holds the downstream end of the glass substrate W.

リニアモータ３３でスライダ３２を下流に向かって移動させる。スライダ３２に搭載されている基板保持部３４に吸着保持されているガラス基板Ｗが下流に向かって搬送される。
このとき、ガラス基板Ｗの先端が第１の検査部４の検査位置に達したら、マクロ検査が開始される。すなわち、照明装置で照明されたガラス基板Ｗの表面の画像が検査ヘッド５３によって取得される。制御装置６は、各検査ヘッド５３が出力する画像データからガラス基板Ｗの表面画像を作成する。この画像は、ライン状の画像になるので、第１の搬送部１２でガラス基板Ｗを搬送しながら撮像を繰り返し、画像データを足し合わせることでガラス基板Ｗの略全面についての表面画像のデータが得られる。このようにして得られた画像データに基づいて検査者が目視で欠陥の有無を調べたり、予め制御装置６に登録しておいた欠陥の無い画像データとパターンマッチングして欠陥の抽出をしたりする。欠陥の位置や種類を調べたデータは、欠陥データとして制御装置６の記憶装置に保存される。 The slider 32 is moved downstream by the linear motor 33. The glass substrate W sucked and held by the substrate holding portion 34 mounted on the slider 32 is transported downstream.
At this time, when the tip of the glass substrate W reaches the inspection position of the first inspection unit 4, the macro inspection is started. That is, an image of the surface of the glass substrate W illuminated by the illumination device is acquired by the inspection head 53. The control device 6 creates a surface image of the glass substrate W from the image data output from each inspection head 53. Since this image becomes a line-like image, imaging is repeated while the glass substrate W is being transported by the first transport unit 12, and the image data is added to obtain the surface image data for substantially the entire surface of the glass substrate W. can get. The inspector visually examines the presence or absence of defects based on the image data obtained in this way, or extracts defects by pattern matching with image data having no defects registered in the control device 6 in advance. To do. Data obtained by examining the position and type of the defect is stored in the storage device of the control device 6 as defect data.

第１の搬送部１２が基板保持部３４を最も下流側まで移動させてから停止させると、ガラス基板Ｗの下流側の端部がローラ式搬送部１４の２列のローラ４１の上方に案内される。モータステージ４４でローラ４１を上昇させ、ガラス基板Ｗの裏面に当接させる。吸着パッド３５の吸着を解除してからモータ４６を駆動させてローラ４１を回転させると、ガラス基板Ｗが下流に向かって搬送される。第２の搬送部１３の基板保持部３４が吸着パッド３５でガラス基板Ｗを吸着保持するのに十分な量だけガラス基板Ｗが第２の搬送部１３に送り込まれたところでローラ４１の回転を停止させる。ローラ式搬送部１４によるガラス基板Ｗの送り量Ｌは、図１に示す受け渡し時の基板保持部３４間の距離に相当する。   When the first transport unit 12 moves the substrate holding unit 34 to the most downstream side and then stops it, the downstream end of the glass substrate W is guided above the two rows of rollers 41 of the roller-type transport unit 14. The The roller 41 is raised by the motor stage 44 and brought into contact with the back surface of the glass substrate W. When the suction of the suction pad 35 is released and then the motor 46 is driven to rotate the roller 41, the glass substrate W is transported downstream. The rotation of the roller 41 is stopped when the glass substrate W is fed into the second transport unit 13 by an amount sufficient for the substrate holding unit 34 of the second transport unit 13 to suck and hold the glass substrate W by the suction pad 35. Let The feeding amount L of the glass substrate W by the roller type conveyance unit 14 corresponds to the distance between the substrate holding units 34 at the time of delivery shown in FIG.

第２の搬送部１３は、基板保持部３４を上昇させて吸着パッド３５でガラス基板Ｗの端部を吸着保持する。吸着を確認したら、ローラ式搬送部１４のローラ４１を浮上プレート２１より下方まで下げる。これによって、２つの搬送部１２，１３間でのガラス基板Ｗの受け渡しが完了する。この間、ガラス基板Ｗのはりつきを防止するために、エアー浮上は継続して行われる。また、エアー浮上を継続させることで、少ない力でガラス基板Ｗを第２の搬送部１３に向けて搬送することができ、ローラ４１の数を少なくできる。   The second transport unit 13 raises the substrate holding unit 34 and sucks and holds the end portion of the glass substrate W with the suction pad 35. When the suction is confirmed, the roller 41 of the roller type transport unit 14 is lowered below the floating plate 21. Thereby, the delivery of the glass substrate W between the two transport units 12 and 13 is completed. During this time, in order to prevent the glass substrate W from sticking, the air levitation is continuously performed. Further, by continuing the air levitation, the glass substrate W can be transported toward the second transport unit 13 with a small force, and the number of rollers 41 can be reduced.

第２の搬送部１３でガラス基板Ｗを吸着保持したら、スライダ３２を下流に向かって移動させる。ガラス基板Ｗが浮上プレート２１上を搬送される。ガラス基板Ｗが第２の検査部５の検査位置に達したら、ミクロ検査が開始される。すなわち、顕微鏡６３が幅方向に移動しながら、ガラス基板Ｗの表面の顕微鏡画像を取得し、制御装置６に出力する。顕微鏡観察を行うポイントは、第１の検査部４におけるマクロ検査で欠陥として抽出された位置である。制御装置６は、第２の搬送部１３でのガラス基板Ｗの送り量と、顕微鏡６３の幅方向の移動量から欠陥データとして登録されている位置に顕微鏡６３を合わせさせる。顕微鏡画像は、制御装置６の記憶装置に記憶させたり、画面表示させたりされる。検査者は、画面表示された顕微鏡画像から欠陥を評価し、必要な処置を講じる。   When the glass substrate W is sucked and held by the second transport unit 13, the slider 32 is moved downstream. The glass substrate W is conveyed on the floating plate 21. When the glass substrate W reaches the inspection position of the second inspection section 5, the micro inspection is started. That is, while the microscope 63 moves in the width direction, a microscope image of the surface of the glass substrate W is acquired and output to the control device 6. The point at which the microscope is observed is a position extracted as a defect in the macro inspection in the first inspection unit 4. The control device 6 causes the microscope 63 to be aligned at a position registered as defect data based on the feed amount of the glass substrate W in the second transport unit 13 and the movement amount in the width direction of the microscope 63. The microscope image is stored in the storage device of the control device 6 or displayed on the screen. The inspector evaluates the defect from the microscopic image displayed on the screen and takes necessary measures.

ミクロ検査が完了し、第２の搬送部１３がガラス基板Ｗを浮上ステージ１１の下流側の端部まで搬送したら、吸着を解除する。搬出用のローラ２７を上昇させ、ローラ搬送によってガラス基板Ｗを搬出させる。ミクロ検査を実施している間、第１の搬送部１２は基板保持部３４を上流側に戻して、次のガラス基板Ｗの搬入に備える。このため、マクロ検査やミクロ検査が完了したら直ぐに次のガラス基板Ｗのマクロ検査やミクロ検査を開始できるようになってタクトタイムを短くできる。   When the micro inspection is completed and the second transport unit 13 transports the glass substrate W to the end portion on the downstream side of the floating stage 11, the suction is released. The carry-out roller 27 is raised, and the glass substrate W is carried out by roller conveyance. While performing the micro inspection, the first transport unit 12 returns the substrate holding unit 34 to the upstream side, and prepares for the next loading of the glass substrate W. For this reason, as soon as the macro inspection and the micro inspection are completed, the macro inspection and the micro inspection of the next glass substrate W can be started, and the tact time can be shortened.

この実施の形態によれば、第１の搬送部１２から第２の搬送部１３にガラス基板Ｗを受け渡すときに、自走式のローラ４１でガラス基板Ｗを第２の搬送部１３に向けて搬送するようにしたので、搬送部１２，１３の位置を幅方向にずらす必要がなくなる。このため、装置の幅を従来の比べて小さくできる。ローラ４１がガラス基板Ｗに接触することで発生する抵抗によってガラス基板Ｗの位置ずれが防止されるので、搬送部１２，１３間の受け渡し時に位置ずれを防止するための新たな機構を設ける必要がなくなって装置構成を簡略化できる。   According to this embodiment, when the glass substrate W is transferred from the first transport unit 12 to the second transport unit 13, the self-propelled roller 41 directs the glass substrate W toward the second transport unit 13. Therefore, it is not necessary to shift the positions of the transport units 12 and 13 in the width direction. For this reason, the width | variety of an apparatus can be made small compared with the past. Since the displacement of the glass substrate W is prevented by the resistance generated by the roller 41 coming into contact with the glass substrate W, it is necessary to provide a new mechanism for preventing the displacement during the transfer between the transport units 12 and 13. This eliminates the need to simplify the device configuration.

なお、第１の搬送部１２がガラス基板Ｗを吸着保持する場所を端部より中央寄りにすれば、基板保持部３４を最も下流側に移動させたときに、ガラス基板Ｗの一部が第２の搬送部１３に進入するようになるので、ローラ式搬送部１４の送り量を少なくできる。   If the place where the first transport unit 12 holds the glass substrate W by suction is located closer to the center than the end portion, when the substrate holding unit 34 is moved to the most downstream side, a part of the glass substrate W may be Since the second transport unit 13 is entered, the feed amount of the roller transport unit 14 can be reduced.

（第２の実施の形態）
図４及び図５に示すように、この基板検査装置８０は、ベース２上に基板搬送装置８１として、浮上ステージ１１を有し、さらに幅方向の略中央で浮上ステージ１１に重なるように第１の搬送部８２と第２の搬送部８３が同一ライン上に設けられている。
第１の搬送部８２は、搬送方向に沿って架設されたフレーム部９１に敷設された搬送ガイドレール３１及び駆動部であるリニアモータ３３と、リニアモータ３３によって移動するスライダ３２に搭載された基板保持部９２とを備える。 (Second Embodiment)
As shown in FIGS. 4 and 5, the substrate inspection apparatus 80 includes a levitation stage 11 as a substrate transfer apparatus 81 on the base 2, and further overlaps the levitation stage 11 at a substantially center in the width direction. The transport unit 82 and the second transport unit 83 are provided on the same line.
The first conveyance unit 82 includes a conveyance guide rail 31 laid on a frame unit 91 laid along the conveyance direction, a linear motor 33 that is a drive unit, and a substrate mounted on a slider 32 that is moved by the linear motor 33. A holding unit 92.

図６に示すように、基板保持部９２は、スライダ３２上に固定されたテーブル９３を有する。テーブル９３には、シリンダ９４を介してベース９５が昇降自在に支持されている。ベース９５には細長のステージ９６が取り付けられている。ステージ９６には吸着パッド３５が長手方向に沿って３つ搭載されている。吸着パッド３５は、ステージ９６の幅方向の中心位置と、これを挟んで対称な位置のそれぞれに１つずつ配置されている。吸着パッド３５は、浮上プレート２１の隙間２３に１つずつ挿入可能で、浮上プレート２１の上面から突没させることができるように配置されている。   As shown in FIG. 6, the substrate holding portion 92 has a table 93 fixed on the slider 32. A base 95 is supported on the table 93 through a cylinder 94 so as to be movable up and down. An elongated stage 96 is attached to the base 95. Three suction pads 35 are mounted on the stage 96 along the longitudinal direction. One suction pad 35 is arranged at each of the center position in the width direction of the stage 96 and the symmetrical position with the suction pad 35 interposed therebetween. The suction pads 35 can be inserted one by one into the gap 23 of the floating plate 21 and are arranged so as to protrude from the upper surface of the floating plate 21.

図４及び図５に示すように、第１の搬送部８２の搬送ガイドレール３１及びリニアモータ３３は、第１の検査部４の下流側で、第２の検査部５の手前まで延びている。第１の搬送部８２の搬送経路内で、下流側の位置には、ローラ式搬送部１０１が設けられている。ローラ式搬送部１０１は、第１の搬送部８２の敷設位置を避けるように左右に振り分けて配置されている。その構成は、第１の実施の形態と同様であって、モータステージ４４によってローラ４１を浮上プレート２１の隙間２３に突没させることができ、さらにモータ４６によってローラ４１を回転させることができる。なお、搬入側のローラ２６と、搬出側のローラ２７も搬送部８２，８３を避けて左右に振り分けて設置されている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the conveyance guide rail 31 and the linear motor 33 of the first conveyance unit 82 extend downstream of the first inspection unit 4 and before the second inspection unit 5. . A roller-type transport unit 101 is provided at a downstream position in the transport path of the first transport unit 82. The roller-type conveyance unit 101 is arranged so as to be distributed to the left and right so as to avoid the laying position of the first conveyance unit 82. The configuration is the same as in the first embodiment, and the roller 41 can be protruded and submerged in the gap 23 of the floating plate 21 by the motor stage 44, and the roller 41 can be rotated by the motor 46. Note that the carry-in roller 26 and the carry-out roller 27 are also arranged so as to be separated to the left and right, avoiding the conveyance portions 82 and 83.

第２の搬送部８３は、第１の搬送部８２と同様の構成になっている。第２の搬送部８３の搬送ガイドレール３１及びリニアモータ３３は、上流側では第２の検査部５で使用するライン照明１０２よりも下流側から搬出端に至るまで敷設されている。各搬送部８２，８３の搬送ガイドレール３１及びリニアモータ３３は、独立しているので、スライダ３２及び基板保持部９２が互いに干渉することはない。   The second transport unit 83 has the same configuration as the first transport unit 82. The conveyance guide rail 31 and the linear motor 33 of the second conveyance unit 83 are laid on the upstream side from the line illumination 102 used in the second inspection unit 5 to the carry-out end. Since the conveyance guide rails 31 and the linear motors 33 of the conveyance units 82 and 83 are independent, the slider 32 and the substrate holding unit 92 do not interfere with each other.

図４に示すように、第２の検査部５は、門型フレーム６１の水平梁６１Ａに移動自在に取り付けられた顕微鏡６３と、顕微鏡６３の下方に配置されたライン照明１０２とを有する。ライン照明１０２は、光源１０３と、光源１０３の光を伝達すると共に上方に向けて光をライン状に放射する細長のライトガイド部材１０４とを有する。浮上ステージ１１は、ライン照明１０２の照明光を通過させるために、浮上プレート２１にスリット１０６を設けて照明光が通過できるようにしてある。   As shown in FIG. 4, the second inspection unit 5 includes a microscope 63 movably attached to the horizontal beam 61 </ b> A of the portal frame 61 and a line illumination 102 disposed below the microscope 63. The line illumination 102 includes a light source 103 and an elongated light guide member 104 that transmits light from the light source 103 and emits light upward in a line shape. The levitation stage 11 is provided with a slit 106 in the levitation plate 21 so that the illumination light can pass in order to pass the illumination light of the line illumination 102.

この基板検査装置８０の動作について説明する。
最初にエアーの噴き出しを開始する。各搬送部８２，８３の基板保持部９２を上流側に移動させ、吸着パッド３５を浮上プレート２１よりも下げておく。
ガラス基板Ｗが搬入されたら、基板保持部９２のシリンダ９４を伸長させてベース９５を上昇させる。３つの吸着パッド３５が浮上プレート２１の隙間２３から突出してガラス基板Ｗの裏面に当接するので、吸引を開始するとガラス基板Ｗが吸着保持される。スライダ３２を搬送ガイドレール３１に沿って移動させると、基板保持部９２に吸着されたガラス基板Ｗが下流に向かって搬送される。基板搬送を行いながら第１の検査部５で第１の実施の形態と同様にマクロ検査を行う。 The operation of the substrate inspection apparatus 80 will be described.
First, the air blowout is started. The substrate holding unit 92 of each of the transfer units 82 and 83 is moved to the upstream side, and the suction pad 35 is lowered below the floating plate 21.
When the glass substrate W is carried in, the cylinder 94 of the substrate holder 92 is extended to raise the base 95. Since the three suction pads 35 protrude from the gap 23 of the floating plate 21 and come into contact with the back surface of the glass substrate W, the glass substrate W is sucked and held when suction is started. When the slider 32 is moved along the transport guide rail 31, the glass substrate W adsorbed by the substrate holder 92 is transported downstream. The macro inspection is performed in the first inspection section 5 in the same manner as in the first embodiment while carrying the substrate.

マクロ検査が終了し、ガラス基板Ｗを第１の搬送部８２の最も下流側の部分まで搬送する。ローラ式搬送部１０１のローラ４１を上昇させ、ガラス基板Ｗの裏面に当接させる。吸着パッド３５の吸着を解除させ、シリンダ９４を収縮させてベース９５を下降させ、吸着パッド３５をガラス基板Ｗから離す。
ローラ４１を回転させると、ガラス基板Ｗが下流側に向かって搬送される。ローラ式搬送部１０１は、ガラス基板Ｗの端部が第２の搬送部８３の吸着パッド３５の上方に到達するまで搬送を行う。つまり、このときの送り量は、受け渡し時で最も近接状態にある基板保持部９２間の距離に相当する。 The macro inspection is completed, and the glass substrate W is transported to the most downstream portion of the first transport unit 82. The roller 41 of the roller-type transport unit 101 is raised and brought into contact with the back surface of the glass substrate W. The suction of the suction pad 35 is released, the cylinder 94 is contracted, the base 95 is lowered, and the suction pad 35 is separated from the glass substrate W.
When the roller 41 is rotated, the glass substrate W is transported toward the downstream side. The roller-type transport unit 101 performs transport until the end of the glass substrate W reaches above the suction pad 35 of the second transport unit 83. That is, the feed amount at this time corresponds to the distance between the substrate holders 92 that are in the closest state at the time of delivery.

ローラ搬送が完了したら、第２の搬送部８３の基板保持部９２がガラス基板Ｗを吸着保持する。吸着保持の手順は、第１の搬送部８２と同じであり、移載はガラス基板Ｗをエアー浮上させた状態で実施する。スライダ３２を搬送ガイドレール３１に沿って移動させると、基板保持部９２に吸着されたガラス基板Ｗが下流に向けて搬送される。基板搬送を行いながら第２の検査部５でミクロ検査を行う。ミクロ検査は、透過照明を使用する以外は、第１の実施の形態と同様である。   When the roller conveyance is completed, the substrate holding unit 92 of the second conveyance unit 83 holds the glass substrate W by suction. The suction holding procedure is the same as that of the first transport unit 82, and the transfer is performed in a state where the glass substrate W is floated on the air. When the slider 32 is moved along the transport guide rail 31, the glass substrate W adsorbed by the substrate holder 92 is transported downstream. The micro inspection is performed by the second inspection unit 5 while carrying the substrate. The micro inspection is the same as that of the first embodiment except that transmitted illumination is used.

この実施の形態によれば、幅方向の中央部分に２つの搬送部８２，８３を同軸に配置したので、装置の幅を小さくできる。第１の搬送部８２と第２の搬送部８３に分割されるので、各検査部４，５の検査軸に対して搬送ガイドレール３１の直角度の調整などが容易になる。２つの搬送部８２，８３で独立に基板搬送もできるので、検査のタクトタイムを減少できる。ローラ式搬送部１０１を有する効果は、第１の実施の形態と同様である。   According to this embodiment, since the two conveying portions 82 and 83 are coaxially arranged at the center portion in the width direction, the width of the apparatus can be reduced. Since the first conveyance unit 82 and the second conveyance unit 83 are divided, adjustment of the perpendicularity of the conveyance guide rail 31 with respect to the inspection axes of the inspection units 4 and 5 is facilitated. Since the substrate can be conveyed independently by the two conveyance units 82 and 83, the tact time of the inspection can be reduced. The effect of having the roller-type transport unit 101 is the same as that of the first embodiment.

なお、本発明は、前記の各実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、基板搬送装置は、搬送部１２，１３，８２，８３を３つ以上有しても良い。
検査部４，５は、１つでも良く、３つ以上でも良い。搬送経路中に欠陥の修正を行うリペア装置などの処理装置を設けても良い。
第２の実施の形態において、ガラス基板Ｗの位置を補正する必要があるときは、スライダ３２に対してテーブル９３を幅方向に移動させる機構と、ステージ９６を中央の吸着パッド３５を中心に回動させる機構を設けたりすると良い。 The present invention can be widely applied without being limited to the above-described embodiments.
For example, the substrate transfer apparatus may have three or more transfer units 12, 13, 82, 83.
The number of inspection units 4 and 5 may be one, or three or more. You may provide processing apparatuses, such as a repair apparatus which corrects a defect in a conveyance path | route.
In the second embodiment, when it is necessary to correct the position of the glass substrate W, a mechanism for moving the table 93 in the width direction with respect to the slider 32 and the stage 96 are rotated around the central suction pad 35. It is good to provide a mechanism to move.

基板検査装置の構成を示す平面図であって、側部に搬送部を有する図である。It is a top view which shows the structure of a board | substrate inspection apparatus, Comprising: It is a figure which has a conveyance part in a side part. 図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the AA line of FIG. 図１のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the BB line of FIG. 基板検査装置の構成を示す平面図であって、中央に搬送部を有する図である。It is a top view which shows the structure of a board | substrate inspection apparatus, Comprising: It is a figure which has a conveyance part in the center. 図４に基板検査装置で搬送部の構成を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the configuration of the transport unit in the substrate inspection apparatus. 図４のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。It is sectional drawing along CC line of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１，８０ 基板検査装置
３，８１ 基板搬送装置
４ 第１の検査部
５ 第２の検査部
１１ 浮上ステージ
１２，８２ 第１の搬送部（基板搬送部）
１３，８３ 第２の搬送部（基板搬送部）
１４，１０１ ローラ式搬送部
２１ 浮上プレート
２４ 乗り越し用のローラ
４１ ローラ（回転部材）
３４，９２ 基板保持部
Ｗ ガラス基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,80 Board | substrate inspection apparatus 3,81 Board | substrate conveyance apparatus 4 1st test | inspection part 5 2nd test | inspection part 11 Floating stage 12,82 1st conveyance part (board | substrate conveyance part)
13, 83 Second transport unit (substrate transport unit)
14, 101 Roller-type transport unit 21 Floating plate 24 Roll-over roller 41 Roller (rotating member)
34,92 Substrate holding part W Glass substrate

Claims (5)

浮上ステージで浮上させた基板を保持して搬送する基板搬送部を搬送方向に複数設け、複数の前記基板搬送部の間で基板を受け渡しながら基板の検査を行う基板検査装置において、
前記複数の基板搬送部が搬送方向に平行な同一のライン上に配置されると共に、基板の底面に当接して搬送方向に隣り合う２つの前記基板搬送部の間で基板を移動させる回転部材を備えることを特徴とする基板検査装置。 In a substrate inspection apparatus for inspecting a substrate while providing a plurality of substrate conveyance units in the conveyance direction for holding and conveying the substrate lifted by a levitation stage, and delivering the substrate between the plurality of substrate conveyance units,
The plurality of substrate transport units are arranged on the same line parallel to the transport direction, and a rotating member that contacts the bottom surface of the substrate and moves the substrate between the two substrate transport units adjacent in the transport direction. A board inspection apparatus comprising: 前記浮上ステージは、搬送方向に平行に敷設され、空気を噴き出す孔が設けられた浮上プレートを有し、前記回転部材は、前記浮上プレートの間の隙間に突没自在に設けられた自走式のローラであることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。   The levitation stage has a levitation plate laid parallel to the transport direction and provided with holes for blowing out air, and the rotating member is provided so as to protrude and retract in a gap between the levitation plates. The substrate inspection apparatus according to claim 1, wherein the substrate inspection apparatus is a roller. 前記浮上ステージは、前記浮上プレートを搬送方向に継ぎ合わせて形成されており、前記浮上プレートの接合部分を基板が乗り越えられるように、フリーローラが設けられていることを特徴とする請求項２に記載の基板検査装置。   3. The levitation stage is formed by splicing the levitation plate in a transport direction, and a free roller is provided so that the substrate can get over a joint portion of the levitation plate. The board | substrate inspection apparatus of description. 前記基板搬送部は、搬送方向に直交する幅方向の中央に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。   The substrate inspection apparatus according to claim 1, wherein the substrate transfer unit is provided at a center in a width direction orthogonal to the transfer direction. 前記複数の基板搬送部のそれぞれの搬送経路中に基板の検査を行うための検査部が少なくとも１つずつ配置されていることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。   The substrate inspection apparatus according to claim 1, wherein at least one inspection unit for inspecting the substrate is disposed in each of the plurality of substrate transfer units.
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