JP2009080434A

JP2009080434A - Method of manufacturing optical element and optical element

Info

Publication number: JP2009080434A
Application number: JP2007251363A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Umeki; 和博梅木
Original assignee: Ricoh Optical Industries Co Ltd
Current assignee: Ricoh Optical Industries Co Ltd
Priority date: 2007-09-27
Filing date: 2007-09-27
Publication date: 2009-04-16

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing an optical element having a desired optical function and large design flexibility with a high yield. SOLUTION: This method of manufacturing an optical element has: an application process for applying a polycondensation material with SiO<SB>2</SB>as a skeleton onto a substrate 11 in a liquid state; a prebake process for prebaking an application-formed application layer 120 and turning the application layer into a gel to form a gel layer 121; a transfer process for hardening the gel layer 121 by heat and/or light in a state of pressing a press 200 having a surface shape reversely corresponding to a minute uneven structure to the obtained gel layer 121 to transfer a reversal shape of the surface shape to the gel layer; and die-cut process for die-cutting a hardened layer 122 that is the hardened gel layer by the press 200 after the transfer process. A degree of the gelation in the prebake process is adjusted to a gelation state suitable for the transfer of the surface shape of the press 200. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

この発明は光学素子製造方法およびこの方法により製造される光学素子に関する。 The present invention relates to an optical element manufacturing method and an optical element manufactured by this method.

近来、サブ波長構造を有する光学素子の実用化が進みつつある。サブ波長構造は、その構造に応じて種々の光学機能を実現することができでき、例えば、サブ波長構造の表面構造を持ち、構造複屈折現象を発現させた位相板等が実現されつつある。
サブ波長構造を持つ表面構造を形成する技術として、ナノインプリント法が提案されている（例えば特許文献１、非特許文献１）。
ナノインプリント法は、基本的には、形成するべき所望の表面形状に対応する型形状の面を持った押型（所謂「モールド」）を、軟化状態にある転写層に押圧して上記転写層の表面を変形させ、この状態で転写層に熱や光を作用させて転写層を硬化させ、しかるのちに押型を型抜きすることにより、所望の表面形状を得る方法であり、種々のバリエーションが提案されている。 In recent years, optical elements having a sub-wavelength structure have been put into practical use. The sub-wavelength structure can realize various optical functions according to the structure. For example, a phase plate or the like having a surface structure of the sub-wavelength structure and expressing a structural birefringence phenomenon is being realized.
As a technique for forming a surface structure having a subwavelength structure, a nanoimprint method has been proposed (for example, Patent Document 1 and Non-Patent Document 1).
In the nanoimprint method, basically, a pressing mold (so-called “mold”) having a surface of a mold shape corresponding to a desired surface shape to be formed is pressed against a transfer layer in a softened state to thereby surface the transfer layer. In this state, heat and light are applied to the transfer layer to cure the transfer layer, and then the stamping die is released to obtain the desired surface shape. Various variations have been proposed. ing.

現在用いられている転写層の材料は樹脂であり、樹脂層表面にサブ波長構造を形成して光学素子として用いる場合、樹脂が環境変動で変質したり基板から剥離したりし易く、環境に対する対策が必要である。また、上記位相板のように、表面のサブ波長構造により所望の光学機能を実現しようとする場合、転写層の屈折率も設計条件となるが、条件に適う屈折率を持ち、転写に適した物性をもった樹脂材料が見つかるとは限らず、材料の屈折率に応じて表面形状を設計する必要があり、設計の自由度が小さい。 The transfer layer material currently used is a resin. When a sub-wavelength structure is formed on the surface of the resin layer and used as an optical element, the resin is easily altered or peeled off due to environmental fluctuations. is required. In addition, when the desired optical function is realized by the sub-wavelength structure on the surface like the phase plate, the refractive index of the transfer layer is also a design condition, but it has a refractive index suitable for the condition and is suitable for transfer. A resin material having physical properties is not always found, and it is necessary to design the surface shape according to the refractive index of the material, and the degree of freedom in design is small.

また、転写層の材料として用いられる樹脂は「軟化状態においても流動性が小さい」ため、アスペクト比の高いサブ波長構造の場合、型面の凹凸を正確に転写することが容易ではない。また、一般に、樹脂は硬化した状態でも「硬度」が比較的低く、押型の型抜きの際に、形成された表面形状が崩れたり変形したりする場合もあり、離型剤を用いても型抜きが容易でない場合もあり、このような場合には「光学素子製造の歩留まり」を向上させることが容易でない。 Further, since the resin used as the material of the transfer layer is “low fluidity even in a softened state”, it is not easy to accurately transfer the unevenness of the mold surface in the case of a sub-wavelength structure with a high aspect ratio. In general, the resin has a relatively low “hardness” even in a cured state, and the formed surface shape may be deformed or deformed when the stamping die is released. In some cases, it is not easy to remove. In such a case, it is not easy to improve the “yield of optical element production”.

また、例えば「テトラアルキルオルソシリケートを加水分解と重縮合によって調製された溶液」をゾル溶液として用い、このゾル溶液を、表面に予め「所定の凹凸パターン」を形成した基板の表面に塗布し、乾燥して溶媒を取り除いた後、熱処理を行ってシロキサン結合を完全にすることによりシリカガラスによる三次元骨格構造体を形成する所謂「ゾル−ゲル法」も知られている。 Further, for example, using “a solution prepared by hydrolysis and polycondensation of tetraalkyl orthosilicate” as a sol solution, this sol solution is applied to the surface of a substrate on which a “predetermined uneven pattern” is formed in advance, There is also known a so-called “sol-gel method” in which a three-dimensional skeleton structure is formed by silica glass by drying to remove the solvent and then performing heat treatment to complete the siloxane bond.

このゾル−ゲル法では、塗布したゾル溶液からシリカガラスによる三次元骨格構造を形成する際、加熱により溶剤を除去してゲル化し、その後、高温加熱で三次元骨格構造とする。このため、加熱の際にゲル化した塗布層の体積が僅かに収縮するが、「収縮」は「当初に塗布されたゾル溶液層の厚み」が厚い部分ほど大きい。従って、収縮後の表面形状は下面の凹凸パターンの形状に依存し、形成された三次元骨格構造体の表面形状は、ゾル溶液が塗布された凹凸パターンの形状とは異なるが「凹凸パターンの形状を反映した形状」となる。 In this sol-gel method, when forming a three-dimensional skeleton structure of silica glass from the applied sol solution, the solvent is removed by heating to form a gel, and then the three-dimensional skeleton structure is formed by high-temperature heating. For this reason, the volume of the coating layer that has gelled during heating slightly shrinks, but the “shrinkage” is larger as the “thickness of the initially applied sol solution layer” increases. Therefore, the surface shape after shrinkage depends on the shape of the concavo-convex pattern on the lower surface, and the surface shape of the formed three-dimensional skeleton structure is different from the shape of the concavo-convex pattern to which the sol solution is applied. The shape reflects “.”

このゾル−ゲル法の場合、三次元骨格体の表面形状が凹凸パターンの形状と異なるため「光学機能に応じた所望の形状」を形成するのは必ずしも容易ではない。 In the case of this sol-gel method, since the surface shape of the three-dimensional skeleton is different from the shape of the concavo-convex pattern, it is not always easy to form a “desired shape corresponding to the optical function”.

特開２００７−５０６６３JP2007-50663 KONICA MINOLTA TECHNOLOGY REPORT VOL.2(2005) p97-100 「ナノインプリント技術を利用したサブ波長構造広帯域波長板の作製」KONICA MINOLTA TECHNOLOGY REPORT VOL.2 (2005) p97-100 “Fabrication of subwavelength structured broadband waveplates using nanoimprint technology”

この発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、所望の光学機能を持ちながら耐環境性に優れ、設計自由度が大きい光学素子を高い歩留まりで製造できる光学素子製造方法の実現、およびこの方法により製造される耐環境性に優れた光学素子の提供を課題とする。 The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and realizes an optical element manufacturing method capable of manufacturing an optical element having a desired optical function and excellent environmental resistance and a high degree of design freedom with a high yield, and It is an object of the present invention to provide an optical element excellent in environmental resistance manufactured by this method.

この発明の光学素子製造方法は「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料の層を基板上に有し、上記層の表面形状が微細凹凸構造をなす光学素子」を製造する方法である。
請求項１記載の方法は、以下の如き特徴を有する。
即ち、基板上に「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料」を液状で塗布し、塗布により形成された塗布層に対してプリベークを行って、塗布層をゲル化してゲル層とする塗布・プリベーク工程を１回以上行って基板上に所望厚さのゲル層を形成する。
塗布・プリベーク工程により形成された所望厚さのゲル層に対して「微細凹凸構造に反転的に対応する所定の表面形状を有する押型」の表面形状の形成された面を押圧した状態で、熱および／または光によりゲル層を硬化して、押型の表面形状の反転形状をゲル層に転写し、硬化したゲル層である硬化層から押型を型抜きする。 The optical element manufacturing method of the present invention is a method for manufacturing an “optical element having a layer of polycondensation material having a SiO ₂ skeleton on a substrate and the surface shape of the layer forming a fine concavo-convex structure”.
The method according to claim 1 has the following characteristics.
In other words, “Polycondensation material having SiO ₂ as a skeleton” is applied in a liquid state on a substrate, pre-baked on the coating layer formed by coating, and the coating layer is gelled to form a gel layer. The process is performed once or more to form a gel layer having a desired thickness on the substrate.
In a state where the surface having the surface shape of the “pressing die having a predetermined surface shape corresponding to the fine concavo-convex structure” is pressed against the gel layer having a desired thickness formed by the coating / pre-baking process, The gel layer is cured by light and / or light, and the inverted shape of the surface shape of the mold is transferred to the gel layer, and the mold is released from the cured layer, which is the cured gel layer.

「基板」は、製造された光学素子の一部となる。従って、基板は、製造する光学素子の光学機能に応じて透明な材料や不透明な材料のものを適宜用いることができる。基板の形態は必ずしも「板状」である必要はなく、「プリズム形」等の種々の形態を含みうる。例えばプリズムを基板として、その入射面や射出面あるいは反射面に対して上記の硬化層を形成することもできる。基板はまたレンズであってもよい。この場合には、レンズの表面に「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料」のゲル層が形成され、その表面に押型の表面形状に対応する微細凹凸形状が形成される。 The “substrate” becomes a part of the manufactured optical element. Therefore, the substrate can be appropriately made of a transparent material or an opaque material depending on the optical function of the optical element to be manufactured. The form of the substrate is not necessarily “plate-shaped”, and may include various forms such as “prism-shaped”. For example, using the prism as a substrate, the above hardened layer can be formed on the entrance surface, exit surface or reflection surface. The substrate may also be a lens. In this case, a gel layer of “polycondensation material having SiO ₂ as a skeleton” is formed on the surface of the lens, and a fine concavo-convex shape corresponding to the surface shape of the die is formed on the surface.

「塗布・プリベーク工程」は、基板上に形成されるゲル層の厚さが「所望厚さ」、即ち、設計上必要な厚さになるように１度以上行われる。「ゲル層の所望厚さ」は、製造すべき光学素子の機能に応じた仕様により定まる。例えば数μｍ〜数１０μｍ程度である。 The “coating / prebaking step” is performed once or more so that the gel layer formed on the substrate has a “desired thickness”, that is, a thickness necessary for design. The “desired thickness of the gel layer” is determined by the specification according to the function of the optical element to be manufactured. For example, it is about several μm to several tens of μm.

「微細凹凸構造」は典型的にはサブ波長構造であるが、これよりピッチの大きいものでもよい。微細凹凸構造により実現される光学機能は、例えば回折機能や位相板機能、レンズ機能等である。 The “fine concavo-convex structure” is typically a subwavelength structure, but may have a larger pitch than this. The optical functions realized by the fine concavo-convex structure are, for example, a diffraction function, a phase plate function, and a lens function.

「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料」は液状で塗布されるから塗布は極めて容易である。塗布層に対してプリベークを行うと、溶液中の溶媒が除去されるが、完全に除去されない状態では塗布層がゲル化して「ゲル層」となる。ゲル層は基板に密着して流動性が抑えられるため、次工程を行う際の基板の取り扱いが容易になり、スムーズに次工程へ移行することができる。 Since the “polycondensation material having SiO ₂ as a skeleton” is applied in a liquid state, the application is very easy. When pre-baking is performed on the coating layer, the solvent in the solution is removed, but in a state where the solvent is not completely removed, the coating layer gels to become a “gel layer”. Since the gel layer is in close contact with the substrate and its fluidity is suppressed, handling of the substrate during the next step is facilitated, and the process can be smoothly transferred to the next step.

ゲル層に対して、押型の「微細凹凸構造に反転的に対応する所定の表面形状」を有する表面を押圧すると、ゲル層は上記表面形状に「よく倣い」上記表面形状の凹部を良好に満たす。しかし、プリベークされたゲル層の「ゲル化の程度」が強すぎると、押型の表面形状が細かい場合や複雑な場合、凹凸の高低差が大きいような場合に、押型の表面形状に対して「ゲル層が十分に倣わない」状態が発生することが考えられる。 When the surface of the pressing mold having a “predetermined surface shape corresponding to the fine concavo-convex structure” is pressed against the gel layer, the gel layer “follows the surface shape well” and satisfactorily fills the concave portion of the surface shape. . However, if the `` degree of gelation '' of the pre-baked gel layer is too strong, if the surface shape of the mold is fine or complicated, or if the unevenness is large, the surface shape of the mold will be It is conceivable that a state in which the gel layer is not sufficiently imitated occurs.

このような場合には、プリベークの程度を加減することにより、ゲル層における流動性を「微細凹凸構造を転写しやすい程度」に調製すればよい。プリベークは、塗布層に対して熱および／または光を作用させて行うので、加熱時間や光照射時間、照射光強度や加熱温度、硬化真空度条件等を調整することによりゲル化の程度を調整できる。 In such a case, the fluidity in the gel layer may be adjusted to “a degree that allows easy transfer of the fine relief structure” by adjusting the degree of pre-baking. Since pre-baking is performed by applying heat and / or light to the coating layer, the degree of gelation is adjusted by adjusting the heating time, light irradiation time, irradiation light intensity, heating temperature, curing vacuum condition, etc. it can.

上記の如く「基板と押型とで挟まれた状態のゲル層」を、熱および／または光により硬化すると、押型の表面形状の反転形状をゲル層に転写でき、硬化したゲル層である硬化層から押型を型抜きすることにより、所望の光学素子を得ることができる。 As described above, when the “gel layer sandwiched between the substrate and the mold” is cured by heat and / or light, the inverted shape of the surface shape of the mold can be transferred to the gel layer, and the cured layer is a cured gel layer. A desired optical element can be obtained by punching out the pressing die.

即ち、ゲル層に対して熱および／または光を作用させてシロキサン結合を完全にすると「シリカガラスによる３次元骨格構造体」となる。この状態が「硬化層」であり、極めて強固な構造で、型抜きの際に、押型から不用意な機械力が作用しても、形成された微細な凹凸構造が崩れたり変形したりすることがない。また硬化層は基板と強固に一体化する。 That is, when a siloxane bond is completely formed by applying heat and / or light to the gel layer, a “three-dimensional skeleton structure made of silica glass” is obtained. This state is a “hardened layer” and has a very strong structure, and even when an inadvertent mechanical force is applied from the stamping die during die cutting, the formed fine uneven structure may be broken or deformed. There is no. The hardened layer is firmly integrated with the substrate.

上記の如く、押型表面の「形成するべき微細凹凸構造に反転的に対応する所定の表面形状」は、形成するべき微細凹凸構造に対して所謂「雌雄」の関係にあり、押型表面の表面形状は「形成するべき微細凹凸構造における凹凸を反転させたもの」であるが、「反転的に対応する」とは、ゲル層の「硬化の際における収縮」を考慮した対応関係を言う。 As described above, the “predetermined surface shape corresponding to the fine concavo-convex structure to be formed reversibly” on the surface of the mold has a so-called “male / female” relationship with the fine concavo-convex structure to be formed. Is “inverted irregularities in the fine relief structure to be formed”, but “corresponding inversion” means a correspondence relationship in consideration of “shrinkage during curing” of the gel layer.

即ち、ゲル層が硬化した状態においてその表面に形成されるのが所望の光学機能を果たすべき「微細凹凸構造」であり、この微細凹凸構造は、押型表面の凹凸形状の「凹凸を反転させた形状」がさらに収縮した形状である。従って、押型の表面形状は、ゲル層の「硬化の際の収縮率」を考慮して、その大きさが予め決定されるのである。 That is, in the cured state of the gel layer, a “fine concavo-convex structure” that should perform a desired optical function is formed on the surface thereof. The “shape” is a further contracted shape. Therefore, the size of the surface shape of the pressing die is determined in advance in consideration of the “shrinkage rate during curing” of the gel layer.

請求項２記載の方法は、以下の如き特徴を有する。
即ち「微細凹凸構造に反転的に対応する所定の表面形状を有する押型の表面形状の形成された面」にＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料を液状で塗布し、塗布により形成された塗布層に対してプリベークを行って、塗布層をゲル化してゲル層とする塗布・プリベーク工程を１回以上行って押型上に所望厚さのゲル層を形成する。 The method according to claim 2 has the following characteristics.
That is, a coating layer formed by applying a polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ in a liquid state to a “surface on which a surface shape of a pressing die having a predetermined surface shape corresponding to a fine uneven structure is reversed” is applied The coating layer is gelled to form a gel layer, and the coating / prebaking step is performed once or more to form a gel layer having a desired thickness on the die.

この「所望厚さのゲル層」を押型と基板とにより挟み、この状態でゲル層を熱および／または光により上記ゲル層を硬化させ、押型から型抜きすることにより、基板上に「表面が所望の微細凹凸構造をなす硬化層」を一体化した光学素子とする。 The “gel layer having a desired thickness” is sandwiched between the mold and the substrate, and in this state, the gel layer is cured by heat and / or light, and the mold is removed from the mold, whereby the “surface is formed on the substrate”. An optical element in which a “cured layer having a desired fine uneven structure” is integrated.

請求項２記載の方法では、塗布・プリベーク工程は「押型」に対して行われる。塗布されるとき「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料」は液状であるので、請求項１の方法の場合よりも容易且つ確実に重縮合材料を押型の表面形状に「倣わせる」ことができる。即ち、重縮合材料を確実に押型表面形状の凹部に行き渡らせることが容易である。 In the method according to claim 2, the coating / pre-baking step is performed on the “pressing die”. Since the “polycondensation material having SiO ₂ as a skeleton” is in a liquid state when applied, the polycondensation material can be “followed” to the surface shape of the mold more easily and reliably than in the case of the method of claim 1. it can. In other words, it is easy to reliably distribute the polycondensation material to the depressions having the shape of the pressing surface.

一方で「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料」は後述するように、固化の段階で収縮し易く、塗布された重縮合材料はプリベークの段階でも収縮が起こる。このため、最初の塗布・プリベーク工程の際の塗布量が十分でないと、プリベークした状態で、重縮合材料の自由表面（押型に接していない側の面）が平滑にならず、押型表面形状の微細凹凸に応じて、変形した表面になることが考えられる。このような場合には、ゲル層の自由表面が平滑で、且つ、所望の厚さとなるように、塗布・プリベーク工程を繰り返すことができる。 On the other hand, as described later, “polycondensation material having SiO ₂ as a skeleton” tends to shrink at the stage of solidification, and the applied polycondensation material shrinks even at the stage of pre-baking. For this reason, if the coating amount in the first coating / prebaking process is not sufficient, the free surface of the polycondensation material (the surface not in contact with the mold) will not be smooth in the prebaked state, and the surface shape of the mold will be It can be considered that the surface becomes deformed according to the fine irregularities. In such a case, the coating / prebaking process can be repeated so that the free surface of the gel layer is smooth and has a desired thickness.

請求項２記載の方法では、上記の如く、ゲル層の硬化の際に、押型に形成されたゲル層に対して基板表面が押し当てられ、基板と押型とでゲル層が挟持され、固化された硬化層が基板と一体化して押型から型抜きされる。この場合、押型に形成されたゲル層を押型とともに挟持する基板の側の、ゲル層に接触する側の面に「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料によるゲル層を予め所望の厚さで均一に形成」しておくことが好ましい（請求項３）。 In the method according to claim 2, as described above, when the gel layer is cured, the surface of the substrate is pressed against the gel layer formed on the mold, and the gel layer is sandwiched between the substrate and the mold and solidified. The cured layer is integrated with the substrate and punched out of the mold. In this case, “a gel layer made of a polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ is uniformly formed in a desired thickness on the surface on the side of the substrate that holds the gel layer formed in the mold together with the mold and in contact with the gel layer. It is preferable to form it in (Claim 3).

このようにすると、硬化層と基板との一体化がより堅固なものとなる。
上記請求項１〜３の任意の１に記載の光学素子製造方法を、平板状の基板の両面に対して同時的もしくは順次に行って、基板の両面に所望の微細凹凸構造を有する光学素子とすることができる（請求項４）
請求項１〜４の任意の１に記載の光学素子製造方法において用いられる「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料」は水素シルセスキオキサン（ＨＳＱ）やシルセスキオキサン（ＳＱ）を挙げることができる（請求項５）。「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料」としてゾル−ゲル材料を好適に用いることができる（請求項６）。 If it does in this way, integration with a hardened layer and a substrate will become firmer.
An optical element manufacturing method according to any one of claims 1 to 3, wherein the optical element manufacturing method according to any one of claims 1 to 3 is performed simultaneously or sequentially on both surfaces of a flat substrate, and an optical element having a desired fine uneven structure on both surfaces of the substrate; (Claim 4)
The “polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ ” used in the optical element manufacturing method according to any one of claims 1 to 4 includes hydrogen silsesquioxane (HSQ) and silsesquioxane (SQ). (Claim 5). A sol-gel material can be suitably used as the “polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ ” (Claim 6).

「ゾル−ゲル材料」は、ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料としては代表的なものであり、ゾル状（液状）に製造され、これに熱および／または光を作用させることにより、重縮合を進行させてゲル化を行うことが可能であり、さらに、熱および／または光の作用により重縮合を飽和するまで行うことにより硬化させることができる。 “Sol-gel material” is a typical polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ , and is produced in a sol form (liquid), which is subjected to heat and / or light to cause polycondensation. It is possible to carry out gelation by proceeding with the above, and it is possible to cure by carrying out until polycondensation is saturated by the action of heat and / or light.

ゾル−ゲル材料は従来から種々のものが知られているが、例えば「テトラアルキルオルソシリケートを加水分解と重縮合により調整したゾル状態の溶液」を塗布・プリベーク工程における「塗布液」として用いることができる。 Various types of sol-gel materials have been conventionally known. For example, a “sol solution prepared by hydrolysis and polycondensation of tetraalkyl orthosilicate” is used as a “coating solution” in the coating / prebaking process. Can do.

また、シロキサン結合が進行する際に溶媒が完全に除去されるので、硬化層を構成する３次元骨格構造体による微細凹凸構造は、押型の表面形状に嵌りあった形状よりも収縮により縮小している。このときの収縮が押型の表面形状からの剥離をもたらすので、型抜きは容易に行われる。
ゾル−ゲル材料としてはほかに、ポリジメチルシロキサン系の無機ハイブリッド材料等、公知の適宜のものを用いることができる。 In addition, since the solvent is completely removed when the siloxane bond proceeds, the fine concavo-convex structure formed by the three-dimensional skeleton structure constituting the cured layer is reduced by contraction rather than the shape fitted to the surface shape of the stamping die. Yes. Since the shrinkage at this time causes peeling from the surface shape of the pressing die, the die cutting is easily performed.
As the sol-gel material, other known appropriate materials such as polydimethylsiloxane inorganic hybrid materials can be used.

光学素子の光学機能によっては、硬化層の屈折率が問題となる。硬化層の屈折率は、材料となる「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料」の構成により基本的には定まるが、この材料中に「屈折率を制御するための微細なフィラー粒子」を分散して所望の屈折率が得られるようにしてもよい（請求項７）。 Depending on the optical function of the optical element, the refractive index of the cured layer becomes a problem. The refractive index of the hardened layer is basically determined by the composition of the “polycondensation material having a SiO ₂ skeleton” as the material, but “fine filler particles for controlling the refractive index” are dispersed in this material. Thus, a desired refractive index may be obtained (claim 7).

「フィラー粒子」としては、例えば「酸化チタン製のフィラー粒子」を好適に用いることができるが、これに限らず従来から知られたものを適宜に用いることができる。フィラー粒子の粒径は、微細凹凸構造の大きさに応じて適宜に定めることができ、例えば、５０ｎｍあるいはそれ以下とすることができる。 As the “filler particles”, for example, “titanium oxide filler particles” can be preferably used, but not limited thereto, conventionally known particles can be used appropriately. The particle size of the filler particles can be appropriately determined according to the size of the fine concavo-convex structure, and can be, for example, 50 nm or less.

なお、上に説明した光学素子の製造方法において用いられる基板は、その表面に予め、上記請求項７で用いられるような、フィラー粒子の混入により屈折率を調整された材料による硬化層を「下地層」として形成されていてもよい。 The substrate used in the method for manufacturing an optical element described above has a hardened layer made of a material whose refractive index is adjusted by mixing filler particles, as used in claim 7, on the surface thereof. It may be formed as a “stratum”.

この発明の光学素子は、上記請求項１〜７の任意の１に記載の光学素子製造方法により製造された光学素子である（請求項８）。この光学素子では、微細凹凸構造を表面構造として持つ硬化層が「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料」という無機材料の３次元骨格体であるので基板との密着性が高く、耐環境性も優れている。
なお、型抜きされた後の微細凹凸構造の上に、所望によりあるいは必要に応じて、反射防止膜や反射膜等、光学素子の光学機能を助長する光学膜を形成することができる。 The optical element of this invention is an optical element manufactured by the optical element manufacturing method according to any one of claims 1 to 7 (invention 8). In this optical element, the hardened layer having a fine concavo-convex structure as a surface structure is a three-dimensional skeleton body of an inorganic material called “polycondensation material having SiO ₂ as a skeleton”, so that the adhesion to the substrate is high and the environment resistance is also high. Are better.
An optical film that promotes the optical function of the optical element, such as an antireflection film or a reflection film, can be formed on the fine concavo-convex structure after being punched, if desired or necessary.

若干補足すると、基板の２面以上に対して微細凹凸構造を持つ硬化層を形成する場合、例えば、平行平板状の基板の両面に「表面が微細凹凸構造を持つ硬化層」を形成する場合に、各面に対して上記請求項１〜７の任意の１に記載の方法を繰り返して硬化層を別個に形成して良いことは勿論であるが、このような場合、同一もしくは異なる転写パターンを持つ押型を複数個用い、基板両面に対して、上記請求項１〜７の任意の１に記載の方法を並行して行って一度に両面に硬化層を形成することもできる。 To supplement a little, when forming a hardened layer having a fine concavo-convex structure on two or more surfaces of a substrate, for example, when forming a “hardened layer having a surface with a fine concavo-convex structure” on both sides of a parallel plate-like substrate Of course, the cured layer may be formed separately by repeating the method according to any one of claims 1 to 7 for each surface. In such a case, the same or different transfer patterns may be formed. It is also possible to use a plurality of pressing dies and perform the method according to any one of claims 1 to 7 in parallel on both sides of the substrate to form a hardened layer on both sides at once.

あるいは、別個の平行平板状基板の、それぞれの片面に「表面が微細凹凸構造を持つ硬化層」を上記請求項１〜７の任意の１に記載の方法で形成したのち、上記別個の平行平板状基板の「硬化層を形成されていない平滑な面同士」を接着等の結合手段で結合させることによって、両面に「表面が微細凹凸構造を持つ硬化層」を有する単一の光学素子を得ることができる。 Alternatively, after forming a “cured layer having a surface with a fine relief structure” on each side of separate parallel plate-like substrates by the method according to any one of claims 1 to 7, the separate parallel plates are formed. A single optical element having a “cured layer with a fine concavo-convex structure on both surfaces” on both surfaces by bonding “smooth surfaces without a cured layer” of the substrate with a bonding means such as adhesion. be able to.

さらに、基板が「押型における表面形状の大きさに比して大きい面積領域」を持つ場合には、基板に対し上記請求項１記載の光学素子製造方法の各工程を「押型による表面形状の転写に必要な量のＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料を用いて逐次に繰り返し、同一基板上に表面形状に従う複数の微細な凹凸構造を形成する」ことができる。 Furthermore, when the substrate has “a large area area compared to the size of the surface shape in the die”, each step of the optical element manufacturing method according to claim 1 is performed on the substrate by “transfer of the surface shape by the die”. It is possible to form a plurality of fine concavo-convex structures in accordance with the surface shape on the same substrate by sequentially and repeatedly using a polycondensation material having a necessary amount of SiO ₂ as a skeleton.

即ち、基板に対して、１個の押型により転写を行うのに必要な量の「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料」を滴下して、塗布層を形成し、この塗布層に対してプリベークと転写・型抜き工程を行って上記１個の押型による微細凹凸構造を形成する。 That is, an amount of “polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ ” required for performing transfer with a single die is dropped onto a substrate to form a coating layer, and this coating layer is pre-baked. Then, a fine concavo-convex structure is formed by the one pressing die by performing a transfer / die cutting process.

その後、基板表面の別の箇所に１個の押型により転写を行うのに必要な量の「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料」を滴下して塗布層を形成し、この塗布層に対してプリベークと転写・型抜き工程を行って上記１個の押型による微細凹凸構造を形成する。このプロセスを、基板表面の場所を代えて繰り返すことにより、基板表面に複数の微細凹凸構造を形成できる。 Thereafter, an amount of “polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ ” required for transferring by one die is dropped on another portion of the substrate surface to form a coating layer. A pre-baking and transfer / die cutting process are performed to form a fine concavo-convex structure by the one die. By repeating this process at different locations on the substrate surface, a plurality of fine relief structures can be formed on the substrate surface.

このとき、１種類の押型を用いて、同一の微細凹凸構造を配列的に形成しても良いが、複数種類の押型を用い、押型ごとに異なる微細凹凸構造を形成し、これら副数種の微細凹凸構造の全体が「レンズ作用等の光学機能」を果たすようにしてもよい。 At this time, the same fine concavo-convex structure may be formed in an array using one type of mold, but different types of fine concavo-convex structures are formed for each mold using a plurality of types of molds. The entire fine concavo-convex structure may perform “optical function such as lens action”.

基板上に形成された複数の微細凹凸構造を個別に切り離すことにより、１度に多数の光学素子を効率よく製造できる。 A large number of optical elements can be efficiently manufactured at a time by individually separating a plurality of fine concavo-convex structures formed on a substrate.

なお、微細凹凸構造としては、構造複屈折を発現させる周期構造や、回折格子として機能させる格子構造、あるいは各種のマイクロレンズやそのアレイ構造等が可能である。回折機能を持つ微細凹凸構造として、例えば、フレネルレンズにおける輪帯レンズの機能を有するものとして、「断面形状が階段状の構造を、輪帯の個々に応じて階段数やピッチの異なる構造としたもの」を例示することができる。
また、押型の表面形状部分に離型剤を塗布して型抜きを容易にすることは好ましい。離型剤としては４フッ化エチレン等のフッ素系のものが好適である。 The fine concavo-convex structure may be a periodic structure that exhibits structural birefringence, a grating structure that functions as a diffraction grating, or various microlenses or an array structure thereof. As a micro uneven structure having a diffractive function, for example, having a function of an annular lens in a Fresnel lens, “a structure having a stepped cross-sectional shape is a structure having a different number of steps and a pitch depending on each annular zone. Things "can be illustrated.
Moreover, it is preferable to apply a mold release agent to the surface shape portion of the die so as to facilitate die cutting. As the release agent, fluorine-based ones such as tetrafluoroethylene are suitable.

以上に説明したように、この発明によれば新規な光学素子製造方法および光学素子を実現できる。この光学素子製造方法はエッチング等の工程を含まないので、製造の効率が良く、また、押型の表面形状が「ゲル層に精度良く反転して写し取られた状態」で熱および／または光による硬化が行われ、その際の収縮で押型の型抜きが容易になる。また、この発明の光学素子は、微細な凹凸構造を形成される硬化層が無機材料であるので耐環境性に優れ、硬化層は強い機械強度を有するので、型抜きの際の崩れや変形の虞が無いため製造の歩留まりが良く、また耐環境性にも優れている。 As described above, according to the present invention, a novel optical element manufacturing method and optical element can be realized. Since this optical element manufacturing method does not include a process such as etching, the manufacturing efficiency is high, and the surface shape of the stamping die is “in a state of being accurately inverted and copied on the gel layer” by heat and / or light. Curing is performed, and the mold can be easily removed by shrinkage. In addition, the optical element of the present invention is excellent in environmental resistance because the hardened layer on which the fine uneven structure is formed is an inorganic material, and the hardened layer has strong mechanical strength. Since there is no fear, the production yield is good and the environment resistance is also excellent.

以下、実施の形態を説明する。
図１（ａ）に示す説明図に従って、光学素子の１例である位相板を説明する。
位相板１０は、平行平板状の基板１１上に硬化層１２が形成されてなり、硬化層１２の表面形状として「構造複屈折を発現させる微細凹凸構造」が形成されている。硬化層１２の表面形状として形成された微細凹凸構造は「断面形状が矩形波状のもの」で図面に直交する方向の断面形状は一様である。説明の具体性のために基板１１は「石英ガラス基板」であるとする。 Hereinafter, embodiments will be described.
A phase plate, which is an example of an optical element, will be described with reference to the explanatory diagram shown in FIG.
In the phase plate 10, a hardened layer 12 is formed on a parallel plate-like substrate 11, and “a fine concavo-convex structure that causes structural birefringence” is formed as a surface shape of the hardened layer 12. The fine concavo-convex structure formed as the surface shape of the hardened layer 12 has a “cross-sectional shape of a rectangular wave”, and the cross-sectional shape in the direction orthogonal to the drawing is uniform. For the sake of concreteness of description, it is assumed that the substrate 11 is a “quartz glass substrate”.

図に示すように、凹凸構造の周期：Ｐを「ピッチ」、凸部の幅：ｗを「ランド幅」、凹部の幅：Ｐ−ｗを「スペース幅」と呼ぶ。また、凹部の深さ（凸部の高さに等しい）をＤとする。
このとき、「ｗ／Ｐ」をフィリングファクタ、「Ｄ／（Ｐ−Ｗ）」をアスペクト比と呼ぶ。「フィリングファクタが大きい」ほどピッチ：Ｐに占めるランド幅：ｗが大きく、「アスペクト比が大きい」ほど開口部寸法：Ｐ−Ｗに対する凹部の深さ：Ｄが大きい。アスペクト比は、高い方が光学設計シミュレーションでは性能が高いが、製作技術の観点からは、微細な凹凸構造形成の容易さの観点から「１０よりも小さい」こと、より好ましくは、５程度以下が良い。 As shown in the drawing, the period of the concavo-convex structure: P is called “pitch”, the width of the convex part: w is called “land width”, and the width of the concave part: P−w is called “space width”. The depth of the concave portion (equal to the height of the convex portion) is D.
At this time, “w / P” is called a filling factor, and “D / (P−W)” is called an aspect ratio. The greater the “filling factor”, the greater the land width w occupied in the pitch: P, and the greater the “aspect ratio”, the greater the opening dimension: the depth of the recess with respect to PW: D. The higher the aspect ratio, the higher the performance in optical design simulation, but from the viewpoint of manufacturing technology, it is “less than 10”, more preferably about 5 or less, from the viewpoint of the ease of forming a fine concavo-convex structure. good.

非特許文献１等により知られたように、微細な凹凸構造が光の波長より小さい「サブ波長構造」であると、そのピッチ：Ｐよりも大きい波長の光は回折せず「０次光」としてそのまま透過する（このときの透過率を「０次透過率」と呼ぶ。）が、入射光に対して複屈折性を示す。 As is known from Non-Patent Document 1 or the like, if the fine uneven structure is a “sub-wavelength structure” smaller than the wavelength of light, light having a wavelength larger than the pitch: P is not diffracted and is “0th-order light”. (The transmittance at this time is referred to as “0th-order transmittance”), but exhibits birefringence with respect to incident light.

即ち、図１に示すように、微細な凹凸構造へ「空気領域（図の上方の領域）から入射」する入射光において、微細な凹凸構造の周期方向（図の左右方向）に平行に振動する偏光成分：ＴＭ、凸部の長手方向（図面に直交する方向）に平行に振動する偏光成分：ＴＥに対し、微細な凹凸構造は「屈折率が異なる媒質」のように作用する。 That is, as shown in FIG. 1, in the incident light “incident from the air region (upper region in the figure)” to the fine concavo-convex structure, the light oscillates in parallel to the periodic direction (left-right direction in the figure) of the fine concavo-convex structure. The fine concavo-convex structure acts like a “medium having a different refractive index” with respect to the polarization component: TM and the polarization component: TE oscillating parallel to the longitudinal direction (direction orthogonal to the drawing) of the convex portion.

微細な凹凸構造の部分における有効屈折率を、偏光成分：ＴＭにつきｎ(ＴＭ)、偏光成分：ＴＥについてｎ(ＴＥ)とすると、これらの有効屈折率は、微細凹凸構造が形成された硬化層１２の材料の屈折率：ｎ、凹凸構造のフィリングファクタ：ｆを用いて以下のように表される。
ｎ(ＴＥ)＝√{ｆｎ^２＋(１−ｆ)} （１）
ｎ(ＴＭ)＝√［ｎ^２／｛ｆ＋(１−ｆ)ｎ^２｝］（２）
このため、透過光における偏光成分：ＴＭに対し、偏光成分：ＴＥは位相が遅れることになる。 Assuming that the effective refractive index in the fine concavo-convex structure portion is n (TM) for the polarization component: TM and n (TE) for the polarization component: TE, these effective refractive indexes are the cured layer on which the fine concavo-convex structure is formed. It is expressed as follows using the refractive index n of 12 materials and the filling factor f of the concavo-convex structure.
n (TE) = √ {fn ² + (1−f)} (1)
n (TM) = √ [n ² / {f + (1−f) n ² }] (2)
For this reason, the polarization component: TE is delayed in phase with respect to the polarization component: TM in the transmitted light.

凹部の深さ：Ｄを用いると、微細な凹凸構造の「光学的厚さ」は、偏光成分：ＴＭに対して「Ｄ・ｎ(ＴＭ)」、偏光成分：ＴＥに対して「Ｄ・ｎ(ＴＥ)」であるので、これら光学的厚さの差：Ｄ｛ｎ(ＴＥ)−ｎ(ＴＭ)｝に応じて「位相遅れ（リタデーション）：δ」が生ずる。 When the depth of the recess: D is used, the “optical thickness” of the fine concavo-convex structure is “D · n (TM)” for the polarization component: TM and “D · n” for the polarization component: TE. (TE) "," phase retardation (retardation): δ "is generated according to the difference in optical thickness: D {n (TE) -n (TM)}.

上記光学的厚さの差：Ｄ｛ｎ(ＴＥ)−ｎ(ＴＭ)｝をＨとし、光の波長をλとすると、δ＝２πＨ／λであるが、微細な凹凸構造においては「波長：λの広い領域にわたって、略一定のリタデーション」が得られることが知られている。 Difference in optical thickness: where D {n (TE) -n (TM)} is H and the wavelength of light is λ, δ = 2πH / λ. It is known that a substantially constant retardation is obtained over a wide region of λ.

ｎ(ＴＥ)、ｎ(ＴＭ)は、硬化層１２の材料の屈折率：ｎと、フィリングファクタ：ｆにより決定され、リタデーション：δは、屈折率：ｎ、フィリングファクタ：ｆ、凹部の深さ：Ｄにより定まるから、結局、リタデーションは硬化層１２の材料（ｎが定まる。）と微細な凹凸構造の形態（フィリングファクタ：ｆと凹部の深さ：Ｄが定まる。）を調整することにより所望のものを得ることができる。 n (TE) and n (TM) are determined by the refractive index of the material of the cured layer 12: n and the filling factor: f. Retardation: δ is the refractive index: n, the filling factor: f, the depth of the recess. : D is determined by D, so that retardation is desired by adjusting the material of the hardened layer 12 (n is determined) and the form of the fine uneven structure (filling factor: f and depth of the recess: D are determined). You can get things.

前述のように、硬化層１２の屈折率は、材料として用いる「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料」が定まれば、それに応じて定まるが、請求項７に記載したように「屈折率を制御するための微細なフィラー粒子」をゾル状態の材料中に均一に分散し、分散量を調整することにより所望の屈折率を得るようにすることができる。 As described above, the refractive index of the hardened layer 12 is determined according to the “polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ ” used as a material. It is possible to obtain a desired refractive index by uniformly dispersing “fine filler particles for control” in the sol-state material and adjusting the amount of dispersion.

従って、位相板１０におけるリタデーション：δを調整することにより、偏光成分：ＴＭ、ＴＥに対する位相差を、例えば「πやπ／２」に設定でき、各種波長板を実現することができる。 Therefore, by adjusting the retardation δ in the phase plate 10, the phase difference with respect to the polarization components TM and TE can be set to “π or π / 2”, for example, and various wavelength plates can be realized.

図１（ｂ）は、光学素子の別の実施の形態を示す図である。
この実施の形態の光学素子２０では、基板２１上に形成された硬化層２２の表面形状は、図に直交する方向へ均一で、図の左右方向においては表面形状が変化している。即ち、矩形波状の断面形状において、ピッチ：Ｐは一定であるが、上述のフィリングファクタ：ｆは変化し、光学素子２０の中央部から図の左右方向の周辺部へ行くに従って、フィリングファクタが次第に小さくなっている。 FIG.1 (b) is a figure which shows another embodiment of an optical element.
In the optical element 20 of this embodiment, the surface shape of the hardened layer 22 formed on the substrate 21 is uniform in the direction orthogonal to the drawing, and the surface shape changes in the horizontal direction of the drawing. That is, in the rectangular wave-shaped cross-sectional shape, the pitch: P is constant, but the above-described filling factor: f is changed, and the filling factor gradually increases from the central portion of the optical element 20 to the peripheral portion in the horizontal direction in the figure. It is getting smaller.

前述の如く、偏光成分：ＴＭに対する有効屈折率：ｎ(ＴＭ)、偏光成分：ＴＥに対する有効屈折率：ｎ(ＴＥ)は、上記の式（１）、（２）でそれぞれ表せるが、これらの式からあきらかなように、有効屈折率：ｎ(ＴＭ)、ｎ(ＴＥ)は何れも、フィリングファクタが大きくなるほど大きくなる。 As described above, the effective refractive index: n (TM) for the polarization component: TM and the effective refractive index: n (TE) for the polarization component: TE can be expressed by the above formulas (1) and (2), respectively. As is clear from the equation, the effective refractive indexes: n (TM) and n (TE) both increase as the filling factor increases.

従って、図１（ｂ）に示す光学素子２０では、偏光成分：ＴＭ、ＴＥの光に対する屈折率は、中央部から図の左右方向の周辺部へ向かって漸減することになり、光学素子２０は、偏光成分：ＴＭもしくはＴＥの光に対して「凸のシリンダレンズ」としての光学機能を有することになる。 Accordingly, in the optical element 20 shown in FIG. 1B, the refractive index of the polarized components TM and TE with respect to the light gradually decreases from the central part toward the peripheral part in the left-right direction in the figure. , Polarization component: It has an optical function as a “convex cylinder lens” for TM or TE light.

図１（ｂ）におけるとは逆に、フィリングファクタが中央部から周辺部へ向かって漸増するように微細な表面形状を形成すれば、偏光成分：ＴＭもしくはＴＥの光に対して「凹のシリンダレンズ」としての光学機能を有する光学素子を実現できる。
また、硬化層表面に形成する微細凹凸構造を２次元的な形状とし、凸や凹の球面レンズや非球面レンズのような光学作用を付与することもできる。また、微細凹凸構造の形状として、断面形状が矩形波状である場合を説明したが、これに限らず、断面形状として「２以上のステップを有する階段状のもの」を用いることもできる。 Contrary to the case of FIG. 1B, if a fine surface shape is formed so that the filling factor gradually increases from the central portion toward the peripheral portion, the “concave cylinder” is applied to the light of the polarization component: TM or TE. An optical element having an optical function as a “lens” can be realized.
Further, the fine concavo-convex structure formed on the surface of the hardened layer can be formed into a two-dimensional shape, and an optical action like a convex or concave spherical lens or aspherical lens can be imparted. In addition, although the case where the cross-sectional shape is a rectangular wave shape has been described as the shape of the fine concavo-convex structure, the present invention is not limited to this, and a “stepped shape having two or more steps” can be used as the cross-sectional shape.

例えば、球面レンズの光学作用を持つフレネルレンズは、同心円状に輪帯レンズを配列した形状をなし、各輪帯レンズは「その位置（光軸からの距離）に応じた傾斜」を持つレンズ面となっている。このようなフレネルレンズにおける各輪帯レンズのレンズ面の傾斜を、上記「階段状の断面形状を持つ微細凹凸構造」で構成することができる。 For example, a Fresnel lens with an optical action of a spherical lens has a shape in which annular lenses are arranged concentrically, and each annular lens has a “slope according to its position (distance from the optical axis)”. It has become. The inclination of the lens surface of each annular lens in such a Fresnel lens can be configured by the “fine concavo-convex structure having a stepped cross-sectional shape”.

図２は、図１（ａ）に説明図的に示した位相板（光学素子）１０を製造するプロセスを説明するための図である。
図２（ａ）は、基板としての石英ガラス基板１１の上に「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料」として前述の「テトラアルキルオルソシリケートを加水分解と重縮合により調整したゾル状態の溶液（必要に応じ、フィラー粒子を分散させて屈折率を調整してもよい。）」を塗布して塗布層１２０を形成した状態を示している。
塗布層１２０の形成は、ゾル状態の溶液を滴下して塗布層としてもよいし、スピンコート等の塗布方法で形成しても良い。このとき形成される塗布層１２０の厚さは数μｍ〜数１０μｍである。 FIG. 2 is a diagram for explaining a process for manufacturing the phase plate (optical element) 10 illustrated in FIG.
FIG. 2A shows a sol state solution prepared by hydrolysis and polycondensation of a tetraalkylorthosilicate as a “polycondensation material having a SiO ₂ skeleton” on a quartz glass substrate 11 as a substrate. If necessary, the filler particles may be dispersed to adjust the refractive index.) ”Is applied to form the coating layer 120.
The coating layer 120 may be formed by dropping a sol solution to form a coating layer, or by a coating method such as spin coating. The thickness of the coating layer 120 formed at this time is several μm to several tens of μm.

塗布層１２０に対して熱および／または光を作用させて「プリベーク」を行い、塗布層１２０をゲル化し、図２（ｂ）に示すようにゲル層１２１を得る。
即ち、図２（ａ）、（ｂ）は、塗布・プリベーク工程を示している。 “Prebaking” is performed by applying heat and / or light to the coating layer 120 to gel the coating layer 120 to obtain a gel layer 121 as shown in FIG.
That is, FIGS. 2A and 2B show the coating / prebaking process.

図２（ｃ）、（ｄ）は「押型の転写」を説明図的に示している。図２（ｃ）は、「形成すべき微細な凹凸構造に反転的に対応する表面形状」を有する押型２００の、表面形状を形成された面を「プリベークによりゲル化されたゲル層１２１に押圧」した状態を示している。 FIGS. 2C and 2D illustrate “transfer of the pressing mold” in an explanatory manner. FIG. 2 (c) shows that the surface formed with the surface shape of the pressing die 200 having the “surface shape corresponding to the fine concavo-convex structure to be formed” is pressed against the gel layer 121 gelled by pre-baking. Is shown.

押圧されたゲル層１２１は、押型２００の表面形状に従って変形し、上記表面形状に倣う形状となる。即ち、プリベークによるゲル化の程度は「押型の表面形状の転写に適したゲル化状態」に調整され、ゲル層１２１の表面は、押型２００の表面形状と「ぴったりと整合」しあう。 The pressed gel layer 121 is deformed in accordance with the surface shape of the pressing die 200 and becomes a shape that follows the surface shape. That is, the degree of gelation by pre-baking is adjusted to “a gelation state suitable for the transfer of the surface shape of the pressing mold”, and the surface of the gel layer 121 “matches exactly” with the surface shape of the pressing mold 200.

続いて、ゲル層１２１に対してさらに熱および／または光を作用させて、ゲル層１２１を硬化すると、図２（ｄ）に示すように、ゲル層１２１が硬化した硬化層１２２が得られる。ゲル層１２１が硬化して硬化層１２２となる途上でゲル層が収縮し、図２（ｄ）に示されたように、硬化層１２２の表面は押型２００の表面形状から剥離した状態となる。 Subsequently, when the gel layer 121 is further cured by applying heat and / or light to the gel layer 121, a cured layer 122 obtained by curing the gel layer 121 is obtained as shown in FIG. As the gel layer 121 hardens and becomes the hardened layer 122, the gel layer contracts, and the surface of the hardened layer 122 is peeled off from the surface shape of the die 200 as shown in FIG.

このとき、押型２００の表面形状を形成された面に、型押し以前に、予め「４フッ化エチレン等のフッ素系の離型剤」を塗布しておくと、上記剥離がより良好に行われる。 At this time, if a “fluorine mold release agent such as tetrafluoroethylene” is applied in advance to the surface of the die 200 on which the surface shape is formed before the die-pressing, the above-described peeling is performed better. .

続いて、硬化層１２２から押型２００が型抜きされる。図２（ｄ）に示したように、転写工程におけるゲル層の収縮により、硬化層１２２の表面形状は、押型２００の表面形状から剥離しているので型抜きは容易に行われ、型抜きの際に、硬化層１２２に余計な機械力が作用しにくい。また、硬化層１２２は「シリカガラスによる３次元骨格構造体」であって十分な機械強度を持つので、たとえ、型抜きの際に不用意な機械力が作用しても、硬化層１２２の表面形状が崩れたり変形したりする虞は少ない。 Subsequently, the stamp 200 is removed from the hardened layer 122. As shown in FIG. 2D, the surface shape of the hardened layer 122 is peeled off from the surface shape of the stamping die 200 due to the shrinkage of the gel layer in the transfer process, so that the die cutting is easily performed. At this time, it is difficult for extra mechanical force to act on the hardened layer 122. Further, since the hardened layer 122 is a “three-dimensional skeleton structure made of silica glass” and has sufficient mechanical strength, even if an inadvertent mechanical force is applied during die cutting, the surface of the hardened layer 122 There is little risk of shape collapse or deformation.

図１（ｂ）に即して説明した光学素子２０も、上記と同様にして製造可能である。 The optical element 20 described with reference to FIG. 1B can also be manufactured in the same manner as described above.

また、例えば基板１１として、比較的サイズの大きいもの（例えば数百ｍｍ四方）のものを用い、その上に例えば５ｍｍ×５ｍｍ程度の大きさで、図１（ａ）や図１（ｂ）の如き硬化層を、順次に形成して大面積のものを形成したのちに、個々の光学素子に分割することもできる。 Further, for example, a substrate having a relatively large size (for example, several hundred mm square) is used as the substrate 11 and has a size of about 5 mm × 5 mm, for example, as shown in FIGS. 1A and 1B. Such a hardened layer can be formed sequentially to form a large area and then divided into individual optical elements.

上には、ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料がゾル−ゲル材料である場合を説明したが、勿論、ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料としてＨＳＱやＳＱを用いても同様にして所望の光学素子を実現できる。 In the above description, the case where the polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ is a sol-gel material has been described. Of course, even if HSQ or SQ is used as the polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ , a desired material can be obtained. An optical element can be realized.

ここで、押型２００について簡単に説明すると、押型の表面形状は、フォトリソグラフィとエッチングとを組合せることにより形成することができる。例えば、押型を「Ｓｉ基板」を用いて図２（ｄ）に示すような断面矩形状の表面形状を形成する場合であると、シリコン結晶基板の（１１０）軸の面を平面的に研磨し、その表面にフォトレジストを塗布し、電子ビーム描画等の手法で、押型の表面形状に対応するパターンを描画し、現像して、上記パターンの「凹部に対応する部分」のレジストを除去する。 Here, the die 200 will be briefly described. The surface shape of the die 200 can be formed by combining photolithography and etching. For example, in the case of forming a surface shape having a rectangular cross section as shown in FIG. 2D by using a “Si substrate” as a mold, the surface of the (110) axis of the silicon crystal substrate is planarly polished. Then, a photoresist is applied to the surface, and a pattern corresponding to the surface shape of the die is drawn by a technique such as electron beam drawing and developed, and the resist in the “part corresponding to the concave portion” of the pattern is removed.

その後、ＫＯＨ（水酸化カリウム）のエッチング液中で、ウエットエッチングを行い、侵刻を（１１１）面に平行に進行させることにより、断面形状が矩形波状の押型２００を実現できる。 After that, wet etching is performed in an etching solution of KOH (potassium hydroxide), and the etching proceeds in parallel with the (111) plane, whereby the die 200 having a rectangular wave cross section can be realized.

押型の表面形状が複雑である場合（例えば、凹凸が２以上の階段状の段差を持ち、平面的パターンも複雑な形状、たとえば、前述のフレネルレンズの輪帯レンズを実現する階段状の断面形状）には、例えば、平面的パターンを予めデータ化し、デジタルミラーデバイスにレーザ光を照射し、デジタルミラーデバイスにより平面的パターンに対応する露光光束を生成し、この露光光束を縮小光学系で縮小像として、基板上に塗布されたフォトレジスト上に結像させてパターンの露光を行い、現像・リンス後にエッチングを行って、所望の表面形状を実現することができる。 When the surface shape of the die is complex (for example, a stepped cross-sectional shape that realizes a ring-shaped lens of the Fresnel lens described above having a stepped step with two or more irregularities and a complicated planar pattern, for example, ) For example, a planar pattern is converted into data in advance, the digital mirror device is irradiated with laser light, an exposure light beam corresponding to the planar pattern is generated by the digital mirror device, and this exposure light beam is reduced by a reduction optical system. As described above, a desired surface shape can be realized by forming an image on a photoresist coated on a substrate, exposing the pattern, and performing etching after development and rinsing.

以下、実施の別形態を説明する。
図３（ａ）に示す光学素子３０は、光ピックアップ装置における対物レンズの収差補正を行うものであり、以下、収差補正素子３０と呼ぶ。
収差補正素子３０を用いる光ピックアップ装置の概略を図５に示す。
図５において、符号５００は光ディスクを示し、光ピックアップ装置は光ディスク５００に対して記録・再生・消去の１以上の動作を行う。
この光ピックアップ装置は、半導体レーザ光源５０１、５０２、５０３を有している。これら半導体レーザ光源５０１、５０２、５０３は互いに発光波長が異なるものである。
即ち、図５の光ピックアップ装置は、光ディスク５００として「動作波長の異なる複数種類の光ディスク」を使用可能な装置である。
説明の具体性のため、図５の光ピックアップ装置に使用できる光ディスクは、ＢＤ（ブルーレイディスク、基板厚：０．１ｍｍ）、ＨＤ（ＨＤ−ＤＶＤ、基板厚：０．６ｍｍ）、ＤＶＤ（基板厚：０．６ｍｍ）およびＣＤ（基板厚：１．２ｍｍ）の４種であるとする。 Hereinafter, another embodiment will be described.
The optical element 30 shown in FIG. 3A performs aberration correction of the objective lens in the optical pickup device, and is hereinafter referred to as the aberration correction element 30.
An outline of an optical pickup device using the aberration correction element 30 is shown in FIG.
In FIG. 5, reference numeral 500 indicates an optical disk, and the optical pickup device performs one or more operations of recording / reproducing / erasing with respect to the optical disk 500.
This optical pickup device has semiconductor laser light sources 501, 502, and 503. These semiconductor laser light sources 501, 502, and 503 have different emission wavelengths.
That is, the optical pickup apparatus of FIG. 5 is an apparatus that can use “a plurality of types of optical disks having different operating wavelengths” as the optical disk 500.
For the purpose of explanation, optical disks that can be used in the optical pickup apparatus of FIG. 5 are BD (Blu-ray Disc, substrate thickness: 0.1 mm), HD (HD-DVD, substrate thickness: 0.6 mm), DVD (substrate thickness). : 0.6 mm) and CD (substrate thickness: 1.2 mm).

半導体レーザ光源５０１はＣＤ用の光源であって発光波長：７８５ｎｍである。半導体レーザ光源５０２はＤＶＤ用の光源であって発光波長：６６０ｎｍ、半導体レーザ光源５０３はＢＤおよびＨＤ用の光源であって発光波長：４０５ｎｍである。 The semiconductor laser light source 501 is a light source for CD and has an emission wavelength of 785 nm. The semiconductor laser light source 502 is a DVD light source with an emission wavelength of 660 nm, and the semiconductor laser light source 503 is a BD and HD light source with an emission wavelength of 405 nm.

光ディスク５００がＣＤであるときには、半導体レーザ光源５０１を点灯制御し、放射される波長：７８５ｎｍのレーザ光をコリメートレンズ５０４で平行光束化し、波長選択性ビームスプリッタ５０８、５０９、偏光ビームスプリッタ５１０を介して偏向ミラー５１１に入射させて光路を図の上方へ屈曲させ、１／４波長板５１２と収差補正素子３０と対物レンズ５１３とを介して、光ディスク５００の記録面に集光して光スポットを形成する。 When the optical disc 500 is a CD, the lighting of the semiconductor laser light source 501 is controlled, and the emitted laser beam having a wavelength of 785 nm is converted into a parallel beam by the collimator lens 504, via the wavelength selective beam splitters 508 and 509 and the polarization beam splitter 510. Is incident on the deflecting mirror 511 to bend the optical path upward in the figure, and is condensed on the recording surface of the optical disc 500 via the quarter-wave plate 512, the aberration correction element 30, and the objective lens 513, thereby forming a light spot. Form.

光ディスク５００からの戻り光束は、偏光ビームスプリッタ５１０で反射させて、集光レンズ５０７を介して受光素子５０１３に導き、公知の適宜の処理で再生信号や、トラッキング信号・フォーカシング信号の制御信号を生成し、得られる制御信号により対物レンズ５１３を駆動してトラッキング・フォーカシングの各制御を行う。 The return light beam from the optical disk 500 is reflected by the polarization beam splitter 510 and guided to the light receiving element 5013 through the condenser lens 507, and a reproduction signal and a control signal of the tracking signal / focusing signal are generated by known appropriate processing. Then, the objective lens 513 is driven by the obtained control signal to perform each control of tracking and focusing.

光ディスク５００がＤＶＤであるときには、半導体レーザ光源５０２を点灯制御し、放射される波長：６６０ｎｍのレーザ光を、ホログラム５０２１を介してコリメートレンズ５０５で平行光束化し、波長選択性ビームスプリッタ５０８で反射させ、波長選択性ビームスプリッタ５０９、偏光ビームスプリッタ５１０を透過させて偏向ミラー５１１に入射させ、光路を図の上方へ屈曲させ、１／４波長板５１２と収差補正素子３０と対物レンズ５１３とを介して、光ディスク５００の記録面に集光して光スポットを形成する。 When the optical disk 500 is a DVD, the semiconductor laser light source 502 is controlled to be turned on, and the emitted laser beam having a wavelength of 660 nm is converted into a parallel beam by the collimator lens 505 via the hologram 5021 and reflected by the wavelength selective beam splitter 508. Then, the light is transmitted through the wavelength selective beam splitter 509 and the polarization beam splitter 510 and is incident on the deflecting mirror 511, the optical path is bent upward in the figure, and the quarter wavelength plate 512, the aberration correction element 30, and the objective lens 513 are passed through. Thus, a light spot is formed by condensing on the recording surface of the optical disc 500.

光ディスク５００からの戻り光束は、偏光ビームスプリッタ５１０、波長選択性ビームスプリッタ５０９を透過させ、波長選択性ビームスプリッタ５０８で反射させ、コリメートレンズ５０５で集光させ、ホログラム５０２１で偏向させて受光部５０２２に導き、公知の適宜の処理で再生信号や制御信号を生成し、得られる制御信号により対物レンズ５１３を駆動してトラッキング・フォーカシングの各制御を行う。 The return light beam from the optical disk 500 is transmitted through the polarization beam splitter 510 and the wavelength selective beam splitter 509, reflected by the wavelength selective beam splitter 508, condensed by the collimator lens 505, deflected by the hologram 5021, and received by the light receiving unit 5022. Then, a reproduction signal and a control signal are generated by a known appropriate process, and the objective lens 513 is driven by the obtained control signal to perform each control of tracking and focusing.

光ディスク５００がＢＤまたはＨＤである場合には、半導体レーザ光源５０３を点灯制御し、放射される波長：４０５ｎｍのレーザ光を、ホログラム５０３１を介してコリメートレンズ５０６で平行光束化し、波長選択性ビームスプリッタ５０９で反射させ、偏光ビームスプリッタ５１０を透過させて偏向ミラー５１１に入射させ、光路を図の上方へ屈曲させ、１／４波長板５１２と収差補正素子３０と対物レンズ５１３とを介して、光ディスク５００の記録面に集光して光スポットを形成する。 When the optical disc 500 is BD or HD, the semiconductor laser light source 503 is controlled to be turned on, and the emitted laser beam having a wavelength of 405 nm is converted into a parallel beam by the collimator lens 506 via the hologram 5031, and the wavelength selective beam splitter. Reflected by 509, transmitted through the polarizing beam splitter 510 and incident on the deflecting mirror 511, the optical path is bent upward in the figure, and the optical disk is passed through the quarter-wave plate 512, the aberration correcting element 30, and the objective lens 513. A light spot is formed by focusing on 500 recording surfaces.

光ディスク５００からの戻り光束は、偏光ビームスプリッタ５１０を透過させ、波長選択性ビームスプリッタ５０９で反射させ、コリメートレンズ５０６で集光させ、ホログラム５０３１で偏向させて受光部５０３２に導き、公知の適宜の処理で再生信号や制御信号を生成し、得られる制御信号により対物レンズ５１３を駆動してトラッキング・フォーカシングの各制御を行う。 The return light beam from the optical disk 500 is transmitted through the polarization beam splitter 510, reflected by the wavelength selective beam splitter 509, condensed by the collimator lens 506, deflected by the hologram 5031, and guided to the light receiving unit 5032. A reproduction signal and a control signal are generated by the processing, and the objective lens 513 is driven by the obtained control signal to perform each control of tracking and focusing.

上記のトラッキング・フォーカシングの各制御に際し、収差補正素子３０は対物レンズ５１３と一体的に変位駆動される。
図５の光ピックアップ装置は上記の如く、４種の光ディスクに対して動作可能であるが、光ディスクの動作波長や基板の厚さは光ディスクの種類に応じて異なる。
一方、各光源からの光を光ディスクの記録面上に集光させる対物レンズ５１３は、４種の光ディスクに対して共通化されているので、対物レンズ５１３の光学性能を何れか１種類の光ディスクに対して最適化すると、他の種類の光ディスクに対しては、色収差や基板厚の差に起因する球面収差の増大により良好な光スポットを形成することができない。 In each control of the tracking and focusing described above, the aberration correction element 30 is driven to be displaced integrally with the objective lens 513.
The optical pickup device of FIG. 5 can operate on four types of optical discs as described above, but the operating wavelength of the optical disc and the thickness of the substrate vary depending on the type of the optical disc.
On the other hand, since the objective lens 513 for condensing the light from each light source on the recording surface of the optical disc is shared by the four types of optical discs, the optical performance of the objective lens 513 is changed to any one type of optical disc. On the other hand, when optimizing for other types of optical discs, a good light spot cannot be formed due to an increase in spherical aberration due to chromatic aberration and substrate thickness difference.

収差補正素子３０は、共通化された対物レンズ５１３のレンズ作用の収差（色収差や基板厚の差に起因する球面収差）を補正し、各光源からのレーザ光が、４種の光ディスクのうちで対応するものの記録面に適正な光スポットを形成できるように作製されている。 The aberration correction element 30 corrects the aberration of the lens function of the common objective lens 513 (spherical aberration due to chromatic aberration or difference in substrate thickness), and the laser light from each light source is among the four types of optical disks. It is manufactured so that an appropriate light spot can be formed on the recording surface of the corresponding one.

この収差補正は主として回折により行われるものであり、光ディスクの種類に応じて対物レンズ５１３に対するＮＡを切換え、あるいは、対物レンズ５１３に入射するレーザ光を「所定の発散角を持った光束に変換」するなどして、所望の光ディスクの記録面に「この光ディスクの動作波長をもったレーザ光束」が良好に集光するように、対物レンズ５１３の光学特性と合わせて設計されている。 This aberration correction is mainly performed by diffraction. The NA for the objective lens 513 is switched according to the type of the optical disk, or the laser light incident on the objective lens 513 is “converted into a light beam having a predetermined divergence angle”. For example, the optical characteristics of the objective lens 513 are designed so that the “laser beam having the operating wavelength of the optical disk” is well focused on the recording surface of the desired optical disk.

図３に戻ると、収差補正素子３０は、（ａ）に示すように、透明な平行平板である基板３１の両面に、硬化層３２、３３が形成されている。硬化層３２、３３は「ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料の硬化した層」であり、層の表面形状が微細凹凸構造をなしている。 Returning to FIG. 3, the aberration correction element 30 has hardened layers 32 and 33 formed on both surfaces of a substrate 31 that is a transparent parallel plate, as shown in FIG. The cured layers 32 and 33 are “cured layers of a polycondensation material having SiO ₂ as a skeleton”, and the surface shape of the layers has a fine uneven structure.

硬化層３２、３３の表面形状をなす微細凹凸構造は、何れも、フレネルレンズの輪帯レンズの機能を有する「断面形状が階段状（図の例では２ステップもしくは３ステップ）の構造」を、輪帯に応じて「階段数（ステップ数）やピッチの異なる構造」として形成されている。これらの各「輪帯レンズの機能を有する微細凹凸構造」は、図の上下方向から見ると同心円状であり、隣接する輪帯レンズの間隔は中央部分から周辺部へ向かって小さくなっている。 Each of the fine concavo-convex structures forming the surface shapes of the hardened layers 32 and 33 has a “structure having a step-like cross-sectional shape (2 steps or 3 steps in the example in the figure)” having a function of an annular lens of a Fresnel lens. It is formed as “a structure with different number of steps (number of steps) and pitch” according to the ring zone. Each of these “fine concavo-convex structures having the function of an annular lens” is concentric when viewed in the vertical direction in the figure, and the interval between adjacent annular lenses decreases from the central portion toward the peripheral portion.

図３（ａ）は説明図であり、微細凹凸構造や基板相互の大小関係等は実際のものとは異なる。図３（ａ）には、微細凹凸構造が形成する輪帯レンズの中央部のものと、周辺部へ向かう領域における４つの輪帯部分の「階段状の断面形状」を説明的に示している。
上述のように、各輪帯レンズの断面形状をなす階段形状はステップ幅やステップ数、あるいは高さが輪帯レンズの位置（光軸からの距離）に応じて異なる。 FIG. 3A is an explanatory diagram, and the fine concavo-convex structure and the size relationship between the substrates are different from the actual ones. FIG. 3 (a) illustrates the “stepped cross-sectional shape” of the central part of the annular lens formed by the fine concavo-convex structure and the four annular parts in the region toward the peripheral part. .
As described above, the step shape, the number of steps, or the height of the step shape forming the cross-sectional shape of each annular lens differs depending on the position (distance from the optical axis) of the annular lens.

図３（ｂ）、（ｃ）は、図３（ａ）に示す収差補正素子３０の製造を説明するための図であり、図３（ｂ）では、基板３１の両面に塗布・プリベーク工程により形成されたゲル層３２Ａ、３３Ａに対してそれぞれ押型３０１、３０２が押圧され、ゲル層３２Ａ、３３Ａの表面形状が、それぞれ押型３０１、３０２の表面形状に倣って変形した状態を示している。この状態で、ゲル層３２Ａ、３３Ａを硬化し、図３（ｃ）のように型抜きを行えば、基板３１に対して一体化された硬化層３２、３３の表面に、所望の微細凹凸構造の形成された収差補正素子３０が光学素子として得られる。 3B and 3C are diagrams for explaining the manufacture of the aberration correction element 30 shown in FIG. 3A. In FIG. 3B, both surfaces of the substrate 31 are coated and prebaked. The pressing dies 301 and 302 are pressed against the formed gel layers 32A and 33A, respectively, and the surface shapes of the gel layers 32A and 33A are deformed following the surface shapes of the pressing dies 301 and 302, respectively. In this state, if the gel layers 32A and 33A are cured and die-cut as shown in FIG. 3C, a desired fine uneven structure is formed on the surfaces of the cured layers 32 and 33 integrated with the substrate 31. Thus, the aberration correction element 30 formed as described above is obtained as an optical element.

図４は、図３（ａ）の収差補正素子３０と同様の収差補正素子の製造方法を説明するための図である。
図４（ａ）は、平行平板状の基板３１Ａの上にゲル層３２Ａを形成し、その表面を押型３０１の表面形状により変形させた状態を示している。図４（ｂ）は、平行平板状の基板３１Ｂの上にゲル層３３Ａを形成し、その表面を押型３０２の表面形状により変形させた状態を示している。 FIG. 4 is a diagram for explaining a method of manufacturing an aberration correction element similar to the aberration correction element 30 of FIG.
FIG. 4A shows a state in which a gel layer 32A is formed on a parallel plate-shaped substrate 31A and the surface thereof is deformed by the surface shape of the pressing die 301. FIG. 4B shows a state in which the gel layer 33A is formed on the parallel plate-like substrate 31B and the surface thereof is deformed by the surface shape of the pressing die 302.

図４（ａ）の状態で、ゲル層３２Ａを硬化させて型抜きを行うと基板３１Ａに一体化して「押型３０１の表面形状を転写された所望の微細凹凸構造」を有する硬化層３２が得られ、図４（ｂ）の状態で、ゲル層３３Ａを硬化させて型抜きを行うと基板３１Ｂに一体化して「押型３０２の表面形状を転写された所望の微細凹凸構造」を有する硬化層３３が得られる。このように硬化層３２を形成された基板３１Ａと、硬化層３３を形成された基板３１Ｂとを、図４（ｂ）に示すように、平滑な面同士で接着等により互いに接合させて一体化することにより、図３（ａ）に示した収差補正素子３０と同様の収差補正素子３０Ａを得ることができる。 When the gel layer 32A is cured and die-cut in the state shown in FIG. 4A, the cured layer 32 is obtained which is integrated with the substrate 31A and has the “desired fine concavo-convex structure to which the surface shape of the die 301 is transferred”. In the state of FIG. 4B, when the gel layer 33A is cured and die-cut, the cured layer 33 is integrated with the substrate 31B and has the “desired fine concavo-convex structure to which the surface shape of the stamp 302 is transferred”. Is obtained. As shown in FIG. 4B, the substrate 31A on which the hardened layer 32 is formed and the substrate 31B on which the hardened layer 33 are formed are joined together by bonding or the like between smooth surfaces. By doing so, an aberration correction element 30A similar to the aberration correction element 30 shown in FIG. 3A can be obtained.

図２に即して説明した例の具体的な実施例を説明する。 A specific example of the example described with reference to FIG. 2 will be described.

「実施例１」
石英ガラス基板１１の上に塗布層１２０として「シリコーン含有ゾル−ゲル材料である有機無機・複合コーティング材である米国Ｓｉｌｅｃｓ社の製品ＸＣシリーズのうちの「ＸＣ−１００」に、粒径：１０ｎｍ以下のＴａ_２Ｏ_５（屈折率：２．３５）を分散させて混合し、屈折率：１．９０、粘度：６ｍＰａ・ｓに調製した溶液」をスピンコートにより塗布し、９０度Ｃの温度で５分間のプリベークを行ってゲル化を完了し、ゲル層１２１とした。 "Example 1"
As a coating layer 120 on the quartz glass substrate 11, “XC-100” in the product XC series of US Silecs, which is an organic inorganic / composite coating material that is a silicone-containing sol-gel material, has a particle size of 10 nm or less Of Ta ₂ O ₅ (refractive index: 2.35) is dispersed and mixed, and a solution prepared to have a refractive index of 1.90 and a viscosity of 6 mPa · s ”is applied by spin coating, at a temperature of 90 ° C. Gelation was completed by pre-baking for 5 minutes, and the gel layer 121 was obtained.

続いて、ゲル層１２１に押型２００を押圧し、型を押し当てたまま、２５０度Ｃの温度で１０分間加熱して「本硬化」し、ゾルーゲル材料に含まれる有機成分を完全に除去し、無機材料のみによる３次元骨格体による硬化層１２２を石英ガラス基板１１上に残し、その後、型抜きを行って所望の位相板を得た。 Subsequently, the pressing die 200 is pressed against the gel layer 121, and is heated for 10 minutes at a temperature of 250 ° C. with the die pressed, to “main cure” to completely remove organic components contained in the sol-gel material, A cured layer 122 made of a three-dimensional skeleton made of only an inorganic material was left on the quartz glass substrate 11, and thereafter, die cutting was performed to obtain a desired phase plate.

上記「有機無機・複合コーティング材」としては、上記のもののほかに上記「ＸＣシリーズのＸＣ−２００、ＸＣ−３００、ＸＣ−４００等」を用いることもできる。 As the “organic inorganic / composite coating material”, in addition to the above-mentioned materials, the above “XC series XC-200, XC-300, XC-400, etc.” can also be used.

同じく、図２に即して説明した例の具体的な別実施例を説明する。 Similarly, another specific example of the example described with reference to FIG. 2 will be described.

「実施例２」
石英ガラス基板１１の上に塗布層１２０を、石英ガラス基板表面に塗布できる程度の低い粘度に調整した「水素シルセスキオキサンを含む液体」のスピンコートで形成した。水素シルセスキオキサンは、市販の東レ・ダウコーニング・シリコ−ン（株）社製ＨＳＱ材料を用いた。 "Example 2"
The coating layer 120 was formed on the quartz glass substrate 11 by spin coating with “liquid containing hydrogen silsesquioxane” adjusted to a viscosity low enough to be coated on the surface of the quartz glass substrate. As the hydrogen silsesquioxane, a commercially available HSQ material manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd. was used.

次に、塗布層１２０に対して、５０度Ｃ程度の低い温度で加熱して、塗布層１２０内の溶剤の一部を除去するプリベーク工程を行った。プリベークにより、水素シルセスキオキサンを含む液体の粘度を高くし、平坦な表面を持つゲル層１２１を形成した。プリベークは、形成されるゲル層１２１の粘度が「型押しにより、押型２００の表面形状に従いうる程度」となるように調整した。 Next, the pre-baking process which removes a part of solvent in the coating layer 120 was performed by heating the coating layer 120 at a temperature as low as about 50 ° C. By pre-baking, the viscosity of the liquid containing hydrogen silsesquioxane was increased, and the gel layer 121 having a flat surface was formed. The pre-baking was adjusted so that the viscosity of the gel layer 121 to be formed would be “to the extent that it can follow the surface shape of the stamping die 200 by stamping”.

押型２００を押し当てた状態で、石英ガラス基板１１とゲル層１２１とを、５０度Ｃ以上１５０度Ｃ以下の温度で加熱することにより「本硬化」を行い、ゲル層１２１から「残りの溶剤」を除去し、押型２００の表面形状が転写された硬化層１２２を得たのち、型を剥離して、所望の位相板を得た。 The quartz glass substrate 11 and the gel layer 121 are heated at a temperature of 50 ° C. or more and 150 ° C. or less while the pressing die 200 is pressed, and the “main solvent” is removed from the gel layer 121. ”Was removed to obtain a cured layer 122 to which the surface shape of the die 200 was transferred, and then the mold was peeled off to obtain a desired phase plate.

押型２００の材料としてはシリコン材料や石英材料を用いることができるが、実施例１、２においてはシリコン材料による平行平板の片面に転写面形状を表面形状として形成されたものであり、この表面形状は「ライン／スペース」の形状であり、「電子線描画装置等を使用してフォトリソグラフィ工程とドライエッチング工程」により形成した。 A silicon material or a quartz material can be used as the material of the stamping die 200. In the first and second embodiments, the transfer surface shape is formed as a surface shape on one side of a parallel plate made of a silicon material. Is a “line / space” shape, and was formed by “a photolithography process and a dry etching process using an electron beam drawing apparatus”.

次に、図３に即して実施の形態を説明した収差補正素子３０の、製造の具体例を２例説明する。 Next, two specific examples of manufacturing the aberration correction element 30 whose embodiment has been described with reference to FIG. 3 will be described.

「実施例３」
厚さ：０．５ｍｍの平行平板状石英ガラスの片面に、ゾルーゲル材料としてナノコンポジット材料（ＪＳＲ社製型番：Ｚ−７５０３）を用い、この材料中に「屈折率：１．９０のＴａ_２Ｏ_５の無機超微粒子（粒径：１０ｎｍ以下）」を混入し、粘度：１０ｍＰａ・ｓに調製した塗布液をスピンコートにより塗布し、エネルギ密度：４００ｍＪ／ｃｍ^２の光を１２０秒間照射して硬化させ、高屈折率薄層とした。 "Example 3"
A nanocomposite material (model number: Z-7503, manufactured by JSR Corporation) was used as a sol-gel material on one side of a parallel flat plate-like quartz glass having a thickness of 0.5 mm. In this material, “Ta ₂ O having a refractive index of 1.90” was used. No. ₅ inorganic ultrafine particles (particle size: 10 nm or less) ”, a coating solution prepared with a viscosity of 10 mPa · s is applied by spin coating, and cured by irradiating light with an energy density of 400 mJ / cm ² for 120 seconds. Thus, a high refractive index thin layer was obtained.

この高屈折率薄層の上に、上記ナノコンポジット材料に「屈折率：１．４５以下の無機超微粒子（粒径：１０ｎｍ以下）」を混入し、粘度：１０ｍＰａ・ｓに調製した塗布液をスピンコートにより塗布し、エネルギ密度：４００ｍＪ／ｃｍ^２の光を１２０秒間照射して硬化させ、高屈折率薄層とした。 On this high refractive index thin layer, a coating liquid prepared by mixing “inorganic ultrafine particles with a refractive index of 1.45 or less (particle size: 10 nm or less)” into the nanocomposite material and adjusting the viscosity to 10 mPa · s. The film was applied by spin coating, and cured by irradiation with light having an energy density of 400 mJ / cm ² for 120 seconds to form a high refractive index thin layer.

上記石英ガラスの他方の面に、上記と全く同様にして、高屈折率層と低屈折率層を形成した。そして、このように「石英ガラスの両面に高屈折率層と低屈折率層とを積層」したものを基板３１とし、その両面にゾルーゲル材料として上記ナノコンポジット材料をスピンコートにより塗布した後、エネルギ密度：４００ｍＪ／ｃｍ^２の光を３０秒間照射してゲル化させ、基板両面にゲル層３２Ａ、３３Ａを形成した。 A high refractive index layer and a low refractive index layer were formed on the other surface of the quartz glass in the same manner as described above. Then, the substrate 31 is formed by “lamination of a high refractive index layer and a low refractive index layer on both sides of quartz glass” as described above, and the nanocomposite material as a sol-gel material is applied on both sides by spin coating, and then energy is applied. Density: Gelled by irradiation with light of 400 mJ / cm ² for 30 seconds to form gel layers 32A and 33A on both surfaces of the substrate.

基板両面のこれらゲル層に対し、所定の表面形状を持つ押型３０１、３０２の表面形状を押圧して、ゲル層３２Ａ、３３Ａの表面を押型の表面形状に倣わせ、硬化処理を行い、押型を型抜きした。 The surface shapes of the pressing dies 301 and 302 having a predetermined surface shape are pressed against these gel layers on both sides of the substrate, the surfaces of the gel layers 32A and 33A are made to follow the surface shape of the pressing dies, a curing process is performed, and the pressing dies are Die cut.

このようにして、所望の回折機能を果たす微細凹凸構造を両面にもった収差補正素子を得ることができた。 In this way, an aberration correction element having a fine concavo-convex structure that achieves a desired diffraction function on both sides could be obtained.

「実施例４」
表面に密着性処理を施した石英ガラス基板３１の両面に、ＨＳＱ材料による塗布層を形成した。
即ち、ＨＳＱ材料：東レ・ダウコーニング・シリコ−ン（株）社製ＨＳＱを、希釈剤：メチル＝イソブチル＝ケトン（ＭＩＢＫ）に溶解させてＨＳＱ材料による塗布液を調製した。この塗布液を石英ガラス基板３１の各表面にスピンナーで塗布（スピンコート）して塗布層とした。 Example 4
A coating layer made of HSQ material was formed on both surfaces of the quartz glass substrate 31 whose surface was subjected to adhesion treatment.
That is, HSQ material: HSQ manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd. was dissolved in diluent: methyl isobutyl ketone (MIBK) to prepare a coating solution using HSQ material. This coating solution was applied to each surface of the quartz glass substrate 31 with a spinner (spin coating) to form a coating layer.

これらと塗布層を形成された石英ガラス基板３１を５０度Ｃの温度下に１０分間放置してプリベーク工程を行い、塗布相中の希釈剤を揮発させてゲル層３２Ａ、３３Ａとした。ゲル層３２Ａ、３３Ａの粘度を、押型による型押しが可能な粘度に調整した。 These and the quartz glass substrate 31 on which the coating layer was formed were allowed to stand at a temperature of 50 ° C. for 10 minutes to perform a prebaking process, and the diluent in the coating phase was volatilized to form gel layers 32A and 33A. The viscosity of the gel layers 32 A and 33 A was adjusted to a viscosity that enables embossing with a pressing die.

次に、ゲル層３２Ａ，３３Ａに、押型３０１、３０２を押し当てて、ゲル層３２Ａ、３３Ａ中の気泡を除去し、さらに加圧して、石英ガラス基板３１上の余分なゲル材料を基板外周から除去した。 Next, the pressing dies 301 and 302 are pressed against the gel layers 32A and 33A to remove bubbles in the gel layers 32A and 33A, and further pressurized to remove excess gel material on the quartz glass substrate 31 from the outer periphery of the substrate. Removed.

この状態のものを、真空チャンバー内にセットし、１ｍＴｏｒｒ〜１０ｍＴｏｒｒ程度の圧力及び１３０度Ｃの温度で１０分間加熱して本硬化を行い、ゲル層３２Ａ、３３Ａを硬化させて硬化層３２、３３とした。 The material in this state is set in a vacuum chamber, heated at a pressure of about 1 mTorr to about 10 mTorr and a temperature of 130 ° C. for 10 minutes to perform main curing, and the gel layers 32A and 33A are cured to cure the cured layers 32 and 33. It was.

次いで、硬化層３２、３３から型抜きを行った。硬化層３２、３３は、表面を密着処理した石英ガラス基板上に固着して残り、このようにして硬化層３２、３３を有する収差補正素子３０を得た。 Subsequently, die cutting was performed from the cured layers 32 and 33. The hardened layers 32 and 33 remain fixed on the quartz glass substrate whose surface has been subjected to close contact treatment, and thus the aberration correction element 30 having the hardened layers 32 and 33 is obtained.

実施例３、４において用いた押型３０１、３０２は、平行平板状のシリコン基板の片面に転写すべき表面形状を形成したものである。この表面形状は、押型３０１では「段差：４レベル（３ステップ）」で輪帯レンズ面に対応する転写面を同心円状に形成したものであり、４レベルの段差の形成は「電子線描画装置等を使用してフォトリソグラフィ工程とドライエッチング工程を繰り返し実施することで作製した。押型３０２の表面形状は「段差：３レベル（２ステップ）」で輪帯レンズ面に対応する転写面を同心円状に形成したものであり、３レベルの段差の形成は「電子線描画装置等を使用してフォトリソグラフィ工程とドライエッチング工程を繰り返し実施することで作製した。 The pressing dies 301 and 302 used in Examples 3 and 4 are formed by forming a surface shape to be transferred on one side of a parallel plate-like silicon substrate. This surface shape is obtained by forming the transfer surface corresponding to the annular lens surface concentrically with “step difference: 4 levels (3 steps)” in the pressing die 301. The surface shape of the die 302 is “step: 3 levels (2 steps)” and the transfer surface corresponding to the annular lens surface is concentric. The three-level step was formed by repeatedly performing a photolithography process and a dry etching process using an electron beam drawing apparatus or the like.

実施例４では、硬化層３２、３３における３レベル、４レベルの凸部は、本硬化の際の収縮により０．２μｍのピッチになった。
押型には上記シリコン材料の他、石英材料を用いることもできる。 In Example 4, the three-level and four-level convex portions in the hardened layers 32 and 33 had a pitch of 0.2 μm due to shrinkage during the main curing.
In addition to the silicon material described above, a quartz material can also be used for the die.

光学素子を２例説明するための図である。It is a figure for demonstrating two examples of an optical element. 光学素子製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the optical element manufacturing method. 光学素子としての収差補正素子の１例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating one example of the aberration correction element as an optical element. 光学素子としての収差補正素子の別例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating another example of the aberration correction element as an optical element. 収差補正素子が用いられる光ピックアップ装置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the optical pick-up apparatus in which an aberration correction element is used.

符号の説明Explanation of symbols

１０光学素子（位相板）
１１基板
１２硬化層
３０光学素子（収差補正素子）
３１基板
３２Ａゲル層
３３Ａゲル層
３２硬化層
３３硬化層
３０１押型
３０２押型 10 Optical elements (phase plates)
11 Substrate
12 Hardened layer
30 Optical elements (aberration correction elements)
31 substrates
32A gel layer
33A Gel layer
32 Hardened layer
33 Hardened layer
301 Stamping die
302 Stamping die

Claims

ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料の層を基板上に有し、上記層の表面形状が微細凹凸構造をなす光学素子を製造する光学素子製造方法において、
基板上に、ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料を液状で塗布し、塗布により形成された塗布層に対してプリベークを行って、塗布層をゲル化してゲル層とする塗布・プリベーク工程を１回以上行って基板上に所望厚さのゲル層を形成し、
上記塗布・プリベーク工程により形成された所望厚さのゲル層に対して、上記微細凹凸構造に反転的に対応する所定の表面形状を有する押型の上記表面形状の形成された面を押圧した状態で、熱および／または光により上記ゲル層を硬化して、上記表面形状の反転形状を上記ゲル層に転写し、硬化したゲル層である硬化層から上記押型を型抜きすることを特徴とする光学素子製造方法。 In an optical element manufacturing method for manufacturing an optical element having a layer of a polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ on a substrate, and the surface shape of the layer having a fine uneven structure,
A coating / prebaking process is performed by applying a polycondensation material having a SiO ₂ skeleton on a substrate in a liquid state, pre-baking the coating layer formed by coating, and gelling the coating layer to form a gel layer. Form a gel layer of desired thickness on the substrate by performing more than once,
In a state where the surface on which the surface shape of the pressing mold having a predetermined surface shape corresponding to the fine concavo-convex structure is reversed is pressed against the gel layer having a desired thickness formed by the coating / prebaking process. The gel layer is cured by heat and / or light, the inverted shape of the surface shape is transferred to the gel layer, and the die is removed from the cured layer which is the cured gel layer. Element manufacturing method.

ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料の層を基板上に有し、上記層の表面形状が微細凹凸構造をなす光学素子を製造する光学素子製造方法において、
上記微細凹凸構造に反転的に対応する所定の表面形状を有する押型の上記表面形状の形成された面に、ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料を液状で塗布し、塗布により形成された塗布層に対してプリベークを行って、塗布層をゲル化してゲル層とする塗布・プリベーク工程を１回以上行って押型上に所望厚さのゲル層を形成し、
上記所望厚さのゲル層を上記押型と基板とにより挟み、この状態で熱および／または光により上記ゲル層を硬化させ、上記押型から型抜きすることにより、基板上に、表面が所望の微細凹凸構造をなす硬化層を一体化した光学素子とすることを特徴とする光学素子製造方法。 In an optical element manufacturing method for manufacturing an optical element having a layer of a polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ on a substrate, and the surface shape of the layer having a fine uneven structure,
An application layer formed by applying a polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ in a liquid state to the surface of the pressing die having a predetermined surface shape corresponding to the fine concavo-convex structure in a reversal manner and applying the liquid. Pre-baking is performed to form a gel layer with a desired thickness on the die by performing the coating / pre-baking process once or more to gel the coating layer to form a gel layer,
The gel layer having the desired thickness is sandwiched between the mold and the substrate, and in this state, the gel layer is cured by heat and / or light, and the mold is removed from the mold so that the surface has a desired fineness on the substrate. An optical element manufacturing method, wherein an optical element is formed by integrating a cured layer having a concavo-convex structure.

請求項２記載の光学素子製造方法において、
所望厚さのゲル層を押型とともに挟む基板の、上記ゲル層に接触する側の面に、ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料によるゲル層が、所望の厚さで均一に形成されていることを特徴とする光学素子製造方法。 In the optical element manufacturing method according to claim 2,
A gel layer made of a polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ is uniformly formed with a desired thickness on the surface of the substrate that sandwiches the gel layer with a desired thickness together with the mold on the side in contact with the gel layer. An optical element manufacturing method characterized by the above.

請求項１〜３の任意の１に記載の光学素子製造方法を、平板状の基板の両面に対して同時的もしくは順次に行って、上記基板の両面に所望の微細凹凸構造を有する光学素子とすることを特徴とする光学素子製造方法。 An optical element manufacturing method according to any one of claims 1 to 3, wherein the optical element manufacturing method is performed simultaneously or sequentially on both surfaces of a flat substrate, and an optical element having a desired fine uneven structure on both surfaces of the substrate; An optical element manufacturing method comprising:

請求項１〜４の任意の１に記載の光学素子製造方法において、
ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料が水素シルセスキオキサンもしくはシルセスキオキサンであることを特徴とする光学素子製造方法。 In the optical element manufacturing method according to any one of claims 1 to 4,
A method for producing an optical element, wherein the polycondensation material having SiO ₂ as a skeleton is hydrogen silsesquioxane or silsesquioxane.

請求項１〜４の任意の１に記載の光学素子製造方法において、
ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料がゾルーゲル材料であることを特徴とする光学素子製造方法。 In the optical element manufacturing method according to any one of claims 1 to 4,
A method for producing an optical element, wherein the polycondensation material having a skeleton of SiO ₂ is a sol-gel material.

請求項１〜６の任意の１に記載の光学素子製造方法において、
ＳｉＯ₂を骨格とする重縮合材料中に、屈折率を制御するための微細なフィラー粒子が分散されていることを特徴とする光学素子製造方法。 In the optical element manufacturing method according to any one of claims 1 to 6,
A method for producing an optical element, characterized in that fine filler particles for controlling the refractive index are dispersed in a polycondensation material having a SiO ₂ skeleton.

請求項１〜７の任意の１に記載の光学素子製造方法により製造された光学素子。 The optical element manufactured by the optical element manufacturing method of any one of Claims 1-7.