JP2009075090A - 波面収差計測装置および方法、並びに波面収差調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被検光学系(20)の波面収差を計測する波面収差計測装置は、計測光を供給する点光源(3a:1〜3)と、点光源と光学的に共役な位置に配置された検出面を有する光検出器(7)と、点光源と光検出器との間の光路中に配置されて被検光学系を経た光に波面の変化を付与する波面変化付与部(5)と、光検出器の出力と波面変化付与部において付与される波面の変化とに基づいて、被検光学系の波面収差を計測する計測部(6)とを備える。
【選択図】 図1
Description
計測光を供給する点光源と、
前記点光源と光学的に共役な位置に配置された検出面を有する光検出器と、
前記点光源と前記光検出器との間の光路中に配置されて前記被検光学系を経た光に波面の変化を付与する波面変化付与部と、
前記光検出器の出力と前記波面変化付与部において付与される波面の変化とに基づいて、前記被検光学系の波面収差を計測する計測部とを備えている波面収差計測装置が提供される。
点光源から放射されて前記被検光学系を経た光に波面の変化を付与し、
前記波面の変化が付与された光が前記点光源と光学的に共役な所定面に形成するスポット光を検出し、
前記スポット光の光強度が最大になるように付与される波面の変化に基づいて、前記被検光学系の波面収差を計測する波面収差計測方法が提供される。
2 集光レンズ
3 ピンホール部材
3a ピンホール
4,10 ビームスプリッター
5 可変形ミラー(デフォーマブルミラー)
6 制御処理系
7 光検出器
8 レンズ
9 コリメータレンズ
11 集光レンズ
20,21,22 被検光学系
Claims (14)
- 被検光学系の波面収差を計測する波面収差計測装置であって、
計測光を供給する点光源と、
前記点光源と光学的に共役な位置に配置された検出面を有する光検出器と、
前記点光源と前記光検出器との間の光路中に配置されて前記被検光学系を経た光に波面の変化を付与する波面変化付与部と、
前記光検出器の出力と前記波面変化付与部において付与される波面の変化とに基づいて、前記被検光学系の波面収差を計測する計測部とを備えている波面収差計測装置。 - 前記計測部は、前記検出面に形成されるスポット光の光強度が最大になるように付与される波面の変化に基づいて、前記被検光学系の波面収差を計測する請求項1に記載の波面収差計測装置。
- 前記計測部は、前記検出面に形成されるスポット光の位置が所定位置へ移動するように付与される波面の変化の傾斜成分に基づいて、前記被検光学系の偏心成分を計測する請求項1または2に記載の波面収差計測装置。
- 前記計測部は、前記検出面に形成されるスポット光の位置情報に基づいて、前記被検光学系の偏心成分を計測する請求項1または2に記載の波面収差計測装置。
- 前記波面変化付与部は、変形可能な反射面とそれを駆動する駆動素子を有する請求項1乃至4のいずれか1項に記載の波面収差計測装置。
- 前記波面変化付与部は、二次元的に並列配置されて独立に姿勢を変化させる複数のミラー要素とそれらを駆動する駆動素子を有する請求項1乃至4のいずれか1項に記載の波面収差計測装置。
- 上記光源は、非コヒーレント光源である請求項1乃至6のいずれか1項に記載の波面収差計測装置。
- さらに、前記駆動素子を制御する制御部を備え、制御部は、前記検出面に形成されるスポット光の光強度が最大になるように前記駆動素子を制御する請求項1に記載の波面収差計測装置。
- 被検光学系の波面収差を計測する波面収差計測方法であって、
点光源から放射されて前記被検光学系を経た光に波面の変化を付与し、
前記波面の変化が付与された光が前記点光源と光学的に共役な所定面に形成するスポット光を検出し、
前記スポット光の光強度が最大になるように付与される波面の変化に基づいて、前記被検光学系の波面収差を計測する波面収差計測方法。 - 前記スポット光の位置が所定位置へ移動するように付与される波面の変化に基づいて、前記被検光学系の偏心成分を計測することを特徴とする請求項9に記載の波面収差計測方法。
- 前記スポット光の位置情報に基づいて、前記被検光学系の偏心成分を計測する請求項9に記載の波面収差計測方法。
- 可変ミラーを用いて前記被検光学系を経た光に波面の変化を付与する請求項9に記載の波面収差計測方法。
- 請求項12に記載の波面収差計測方法において得られた波面収差を用いて前記被検光学系の波面収差を調整する方法。
- 設計値の波面収差を有する被検光学系に対して所望の波面収差を発生する状態に前記可変ミラーを固定し、次いで前記スポット光の光強度が最大になるように前記被検光学系の波面収差を調整する請求項13に記載の被検光学系の波面収差を調整する方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015087198A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | キヤノン株式会社 | 計測装置及び計測方法 |
JP2017090327A (ja) * | 2015-11-13 | 2017-05-25 | 三菱電機株式会社 | 波面センサ及び波面処理方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102109413B (zh) * | 2009-12-23 | 2012-06-13 | 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司 | 均匀度测量***与方法 |
JP5582188B2 (ja) * | 2010-04-13 | 2014-09-03 | コニカミノルタ株式会社 | 偏心量測定方法 |
CN102564731A (zh) * | 2010-12-16 | 2012-07-11 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种透镜焦距及波前畸变测量装置 |
CN102607719B (zh) * | 2011-06-24 | 2013-07-17 | 北京理工大学 | 基于横向剪切干涉的扩束准直***波面像差检测装置 |
CN102297759B (zh) * | 2011-06-24 | 2013-03-27 | 北京理工大学 | 基于横向剪切干涉的扩束准直***波面像差检测方法 |
JP6181084B2 (ja) * | 2012-02-10 | 2017-08-16 | ジョンソン・アンド・ジョンソン・ビジョン・ケア・インコーポレイテッドJohnson & Johnson Vision Care, Inc. | 眼用デバイスの波面を測定するための方法及び装置 |
CN107430046B (zh) * | 2015-03-27 | 2019-08-30 | 奥林巴斯株式会社 | 波面计测装置和波面计测方法 |
RU2623702C1 (ru) * | 2016-07-19 | 2017-06-28 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)" (МГТУ им. Н.Э. Баумана) | Устройство и способ определения радиуса кривизны крупногабаритных оптических деталей на основе датчика волнового фронта |
RU2695085C2 (ru) * | 2017-10-24 | 2019-07-19 | Некоммерческое партнерство "Научный центр "Лазерные информационные технологии" НП НЦ "ЛИТ" | Способ определения радиуса кривизны вогнутой оптической сферической поверхности с центральным осевым отверстием методом оптической дальнометрии |
CN108827595B (zh) * | 2018-03-12 | 2020-07-14 | 西安应用光学研究所 | 基于自适应理论光学***加工误差的检测装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6134430A (ja) * | 1984-04-13 | 1986-02-18 | テイ ア−ル ダブリユ− インコ−ポレ−テツド | アクテイブミラ−波面センサ |
JPH11304641A (ja) * | 1998-04-23 | 1999-11-05 | Canon Inc | 波面収差測定方法及び波面収差測定装置 |
JP2001235373A (ja) * | 2001-01-17 | 2001-08-31 | Mitsubishi Electric Corp | 波面センサ |
JP2007078434A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Canon Inc | 三次元位置測定装置、波面収差測定装置および三次元形状測定装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4033696A (en) * | 1975-02-03 | 1977-07-05 | Nippon Kogaku K.K. | Lens meter |
US4682025A (en) | 1984-04-13 | 1987-07-21 | Trw Inc. | Active mirror wavefront sensor |
JPS61118639A (ja) * | 1984-11-15 | 1986-06-05 | Olympus Optical Co Ltd | 偏心量測定装置 |
JPH0812127B2 (ja) * | 1988-11-11 | 1996-02-07 | オリンパス光学工業株式会社 | 曲率半径測定装置及び方法 |
CA2169141A1 (en) * | 1995-04-07 | 1996-10-08 | Ivan Prikryl | Interferometer having a micromirror |
US5777719A (en) * | 1996-12-23 | 1998-07-07 | University Of Rochester | Method and apparatus for improving vision and the resolution of retinal images |
US20060238710A1 (en) * | 1999-12-03 | 2006-10-26 | Manfred Dick | Method for determining vision defects and for collecting data for correcting vision defects of the eye by interaction of a patient with an examiner and apparatus therefor |
EP1427328B1 (en) * | 2001-08-30 | 2014-07-02 | University Of Rochester | Adaptive optics in a scanning lase ophtalmoscope |
JP4266673B2 (ja) * | 2003-03-05 | 2009-05-20 | キヤノン株式会社 | 収差測定装置 |
DE10360570B4 (de) * | 2003-12-22 | 2006-01-12 | Carl Zeiss | Optisches Meßsystem und optisches Meßverfahren |
JP2005311296A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-11-04 | Nikon Corp | 波面収差測定方法、波面収差測定系の校正方法、波面収差測定装置、及び投影露光装置 |
JP4600047B2 (ja) * | 2005-01-13 | 2010-12-15 | 株式会社ニコン | 波面収差測定方法、波面収差測定装置、投影露光装置、投影光学系の製造方法 |
US7445335B2 (en) * | 2006-01-20 | 2008-11-04 | Clarity Medical Systems, Inc. | Sequential wavefront sensor |
US7402785B2 (en) * | 2006-01-30 | 2008-07-22 | Science Applications International Corporation | System and method for correction of turbulence effects on laser or other transmission |
US7443514B2 (en) * | 2006-10-02 | 2008-10-28 | Asml Holding N.V. | Diffractive null corrector employing a spatial light modulator |
-
2008
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-
2010
- 2010-02-26 US US12/713,598 patent/US8797520B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6134430A (ja) * | 1984-04-13 | 1986-02-18 | テイ ア−ル ダブリユ− インコ−ポレ−テツド | アクテイブミラ−波面センサ |
JPH11304641A (ja) * | 1998-04-23 | 1999-11-05 | Canon Inc | 波面収差測定方法及び波面収差測定装置 |
JP2001235373A (ja) * | 2001-01-17 | 2001-08-31 | Mitsubishi Electric Corp | 波面センサ |
JP2007078434A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Canon Inc | 三次元位置測定装置、波面収差測定装置および三次元形状測定装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015087198A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | キヤノン株式会社 | 計測装置及び計測方法 |
JP2017090327A (ja) * | 2015-11-13 | 2017-05-25 | 三菱電機株式会社 | 波面センサ及び波面処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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CN101772696A (zh) | 2010-07-07 |
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