JP2009058630A - Photoirradiation device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガラス等の光透過部材よりなるマスク保持部材に遮光マスクが保持される構成を備えた光照射装置に係り、詳しくは、液晶等のフラットパネルディスプレイ(FPD:Flat Panel Display)に用いる2枚の基板の貼り合わせ工程に使用する光照射装置に関する。 The present invention relates to a light irradiation apparatus having a configuration in which a light-shielding mask is held by a mask holding member made of a light transmissive member such as glass, and more specifically, is used for a flat panel display (FPD) such as liquid crystal. The present invention relates to a light irradiation device used in a bonding process of two substrates.
従来、この種の光照射装置において、マスク保持部材の上方に設けられた光源からの光は、該マスク保持部材及びその下面に吸着保持された遮光マスクを介して、遮光マスク下方に配置される貼り合わせ基板に照射されるようになっている(例えば特許文献1参照)。このような光照射装置のマスク保持部材では、光源からの光の通過する部分を確保するために、マスク保持部材周縁部のみがマスクステージにて支持されている。これにより、マスク保持部材下面において遮光マスクを保持する保持面を広くとることができる。
しかしながら、上記のような光照射装置では、マスク保持部材を周縁部で支持しているため、該保持部材が自重によって撓んでしまうという問題が生じる。マスク保持部材が撓むと、その下面に遮光マスクを密着させ難くなり、吸着保持させるのが困難となる。また、遮光マスクはマスク保持部材に倣って撓んだ状態で吸着保持されるため、遮光マスクと貼り合わせ基板との間の間隔(プロキシミティギャップ)を、遮光マスクの撓みを考慮に入れた大きな値に設定する必要がある。このプロキシミティギャップが拡大した状態では、貼り合わせ基板に対するシャープな照射が難しくなり、遮光したい部分にも光が照射されてしまう虞がある。 However, in the light irradiation apparatus as described above, since the mask holding member is supported at the peripheral portion, there arises a problem that the holding member is bent by its own weight. When the mask holding member bends, it becomes difficult to make the light shielding mask adhere to the lower surface of the mask holding member, and it becomes difficult to suck and hold. Further, since the light shielding mask is sucked and held in a state of being bent following the mask holding member, a large gap (proximity gap) between the light shielding mask and the bonded substrate is taken into consideration. Must be set to a value. In a state where the proximity gap is enlarged, it is difficult to sharply irradiate the bonded substrate, and there is a possibility that light is irradiated even on a portion where light shielding is desired.
このようなマスク保持部材の撓みは、近年、大型化傾向にあるフラットパネルディスプレイの貼り合わせに用いる光照射装置において、パネルサイズの大型化に伴って遮光マスク及びマスク保持部材が大型になるため、特に顕著に現れてしまう。 In such a light irradiation apparatus used for laminating a flat panel display that tends to increase in size in recent years, the shading mask and the mask holding member become large with an increase in the panel size. It will appear particularly prominently.
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、マスク保持部材及びそのマスク保持部材に密着保持された遮光マスクを介して被照射物に光を照射する光照射装置において、マスク保持部材を平坦化することにある。 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and its object is to irradiate light to an object to be irradiated through a mask holding member and a light-shielding mask tightly held by the mask holding member. In the apparatus, the mask holding member is flattened.
上記課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、周縁部が支持されたマスク保持部材の下面に遮光マスクを密着保持し、前記遮光マスクの下方に配置される被照射板に対して、前記マスク保持部材の上方に設けられた光源から前記マスク保持部材及び前記遮光マスクを介して光を照射する光照射装置であって、前記マスク保持部材における前記周縁部以外の部分に連結されるとともに、その連結部を吊り上げる吊上部材を備えたことをその要旨とする。 In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 is directed to an irradiated plate disposed under the light shielding mask, wherein the light shielding mask is closely held on the lower surface of the mask holding member whose peripheral edge is supported. A light irradiation device for irradiating light from a light source provided above the mask holding member through the mask holding member and the light shielding mask, and is connected to a portion of the mask holding member other than the peripheral portion. In addition, the gist of the present invention is that a lifting member for lifting the connecting portion is provided.
この発明では、マスク保持部材において自重により下方に撓む虞のある周縁部以外の部分に吊上部材が連結され、その吊上部材により連結部が上方に引き上げられるため、マスク保持部材を平坦化することができる。 In this invention, the lifting member is connected to a portion of the mask holding member other than the peripheral portion that may be bent downward by its own weight, and the connecting member is pulled upward by the lifting member, so that the mask holding member is flattened. can do.
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の光照射装置において、前記吊上部材は、前記マスク保持部材より上方に設けられた保持部と、該保持部に吊下保持され下端が前記マスク保持部材と連結された吊下部とからなることをその要旨とする。 According to a second aspect of the present invention, in the light irradiation apparatus according to the first aspect, the lifting member includes a holding portion provided above the mask holding member and a holding portion that is suspended from the holding portion and has a lower end. The gist of the present invention is that the mask holding member is connected to a suspended portion.
この発明では、吊上部材は、マスク保持部材より上方に設けられた保持部と、該保持部に吊下保持され下端がマスク保持部材と連結された吊下部とからなるため、マスク保持部材における吊下部との連結部を上方に引き上げてマスク保持部材の平坦化が可能となる。 In the present invention, the lifting member includes a holding portion provided above the mask holding member and a hanging portion that is suspended and held by the holding portion and whose lower end is connected to the mask holding member. The mask holding member can be flattened by pulling upward the connecting portion with the suspended portion.
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の光照射装置において、前記遮光マスクは交換可能であり、前記吊下部は、前記マスク保持部材に保持可能な複数種類の遮光マスクにおいて共通に遮光される領域の上方に設けられたことをその要旨とする。 According to a third aspect of the present invention, in the light irradiation apparatus according to the second aspect, the light shielding mask is replaceable, and the hanging portion is common to a plurality of types of light shielding masks that can be held by the mask holding member. The gist is that it is provided above the light-shielded region.
この発明では、遮光マスクをマスクパターンの異なるものに交換した場合に、光源から出射される光のうち遮光マスクを通過させて被照射物に照射すべき光を、吊下部が遮ってしまうことを防止することができる。 In this invention, when the light shielding mask is replaced with a mask having a different mask pattern, the suspended portion blocks light to be irradiated to the irradiated object through the light shielding mask among the light emitted from the light source. Can be prevented.
請求項4に記載の発明は、請求項2又は3に記載の光照射装置において、前記吊下部は、水平方向に移動可能に設けられたことをその要旨とする。
この発明では、遮光マスクの交換時におけるズレ等によって、光を透過させる領域の上方に吊下部が配置されてまった場合に、吊下部の設置位置を遮光マスクにおいて遮光される領域の上方に移動させることが可能となる。また、マスクパターンが新規な遮光マスクを使用する場合においても、吊下部を遮光される領域の上方に移動させることが可能となる。
The gist of the invention according to
According to the present invention, when the hanging part is disposed above the light transmitting area due to a shift at the time of replacement of the light shielding mask, the installation position of the hanging part is moved above the area shielded by the light shielding mask. It becomes possible to make it. Further, even when a light shielding mask having a new mask pattern is used, the suspended portion can be moved above the light shielded region.
請求項5に記載の発明は、請求項2〜4のいずれか1項に記載の光照射装置において、前記吊下部はワイヤであり、前記吊上部材には、前記ワイヤを上方に向かって付勢する付勢部材が設けられたことをその要旨とする。 According to a fifth aspect of the present invention, in the light irradiation device according to any one of the second to fourth aspects, the hanging portion is a wire, and the wire is attached to the lifting member upward. The gist is that a biasing member is provided.
この発明では、ワイヤの熱伸び等によりマスク保持部材が下方に撓むことが抑制される。
請求項6に記載の発明は、請求項2〜4のいずれか1項に記載の光照射装置において、前記吊下部は、真空吸着により前記マスク保持部材と連結されたことをその要旨とする。
In this invention, it is suppressed that a mask holding member bends downward by the heat | fever elongation etc. of a wire.
The invention according to claim 6 is the light irradiation apparatus according to any one of claims 2 to 4, wherein the suspended portion is connected to the mask holding member by vacuum suction.
この発明では、マスク保持部材を吊下部に容易に着脱させることが可能である。また、マスク保持部材に吊上部材への連結用部材を設ける必要がなくなるため、吊上部材を水平方向に移動可能に構成した場合に、マスク保持部材はそのままのものを用いて連結位置(吸引位置)を変更することができる。 In this invention, the mask holding member can be easily attached to and detached from the suspended portion. Further, since it is not necessary to provide a connecting member to the lifting member on the mask holding member, when the lifting member is configured to be movable in the horizontal direction, the mask holding member is used as it is, and the connection position (suction) Position) can be changed.
請求項7に記載の発明は、請求項2〜6のいずれか1項に記載の光照射装置において、前記光源は、前記保持部の上方において水平方向に移動可能に設けられるものであり、前記光源とともに移動し前記保持部下方の箇所を照射する補助光源を備えたことをその要旨とする。 Invention of Claim 7 is the light irradiation apparatus of any one of Claims 2-6, WHEREIN: The said light source is provided so that a movement in a horizontal direction is possible above the said holding | maintenance part, The gist is that an auxiliary light source that moves together with the light source and irradiates a position below the holding portion is provided.
この発明では、主となる光源の下方に設けられた保持部によって照射されにくい箇所に対し補助光源が補完的に照射するため、その主光源からの光の不足分を補うことができ、その結果、照射ムラを抑えることができる。 In the present invention, the auxiliary light source complementarily irradiates the portion that is difficult to be irradiated by the holding portion provided below the main light source, so that the shortage of light from the main light source can be compensated for, and as a result Irradiation unevenness can be suppressed.
従って、上記記載の発明によれば、マスク保持部材及びそのマスク保持部材に密着保持された遮光マスクを介して被照射物に光を照射する光照射装置において、マスク保持部材を平坦化することができる。 Therefore, according to the above-described invention, the mask holding member can be flattened in the light irradiating apparatus that irradiates the irradiated object with light through the mask holding member and the light-shielding mask tightly held by the mask holding member. it can.
(第1実施形態)
以下、液晶ディスプレイ(LCD)のパネルを製造するパネル製造装置に用いられる紫外線照射装置に本発明を具体化した第1実施形態を図面に従って説明する。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment in which the present invention is embodied in an ultraviolet irradiation device used in a panel manufacturing apparatus for manufacturing a liquid crystal display (LCD) panel will be described with reference to the drawings.
図1に示す紫外線照射装置は、液晶パネルを構成する貼り合わせ基板W(図中、中央上部)の間に介在された紫外線硬化性樹脂よりなるシール材(図示略)に紫外線を照射することで、そのシール材を硬化させるためのものである。尚、シール材が介在された貼り合わせ基板Wは、パネル製造装置におけるシール材塗布工程、液晶滴下工程及びプレス工程にて成形されるものである。これらの工程により、貼り合わせ基板W間にはシール材が板面に沿って枠状に形成され、そのシール材の枠中には滴下された液晶(図示略)が存在している。 The ultraviolet irradiation device shown in FIG. 1 irradiates ultraviolet rays onto a sealing material (not shown) made of an ultraviolet curable resin interposed between bonded substrates W (upper center in the drawing) constituting the liquid crystal panel. In order to cure the sealing material. The bonded substrate W with the sealing material interposed is formed by a sealing material application process, a liquid crystal dropping process, and a pressing process in the panel manufacturing apparatus. By these steps, a sealing material is formed in a frame shape between the bonded substrates W along the plate surface, and dropped liquid crystal (not shown) exists in the frame of the sealing material.
図1に示すように、平面をなす基部1上には上記プレス工程後に搬送される貼り合わせ基板Wを載置するためのワークステージ部11が設けられている。ワークステージ部11下段のワーク移動機構12は、基部1上面に沿う方向に移動可能に設けられるとともに、基部1上面に対し水平方向に回転可能に設けられている。ワーク移動機構12の上段にはワークステージ部11の上下動作を行うための駆動部13が設けられている。駆動部13には一対のリフトピン14が立設されるとともに、リフトピン14の上下方向中間位置には各リフトピン14に跨る支持台15が固定されている。駆動部13における各リフトピン14の間には、支持台15に挿通された柱状の可動部16が上下方向に移動可能となるように設けられている。
As shown in FIG. 1, a
可動部16の上端には載置台としてのワークステージ本体17が固定されるとともに、そのワークステージ本体17の上面には平面状をなす載置面17aが形成されている。ワークステージ本体17は、上記ワーク移動機構12の動作に伴って平面移動及び回転するとともに、可動部16の動作に伴って上下移動するようになっている。ワークステージ本体17にはリフトピン14がそれぞれ挿通される挿通孔17bが貫通形成されるとともに、挿通孔17bの両側位置には貫通孔17cがそれぞれ形成されている。尚、貫通孔17cの開口下端は透明板17dによって閉塞されている。また、貫通孔17c下端と透明板17dとの間、及び挿通孔17bとリフトピン14との間はそれぞれ封止されている。照射加工時において、このようなワークステージ本体17の載置面17aに上記貼り合わせ基板Wが載置される。
A work stage
ワークステージ部11の周囲において基部1に立設されたマスクステージ21は、その上端部が内側に屈曲されるとともに、該上端部には矩形状の開口21aが形成されている。マスクステージ21は、その側方から上記貼り合わせ基板Wを挿入してワークステージ本体17に載置可能となるように設けられている。また、マスクステージ21の上下方向中間位置において内側に延出するように設けられた一対の支持部21bにはそれぞれ、前記ワークステージ部11の位置合わせを行うためのアライメントカメラ21cが前記貫通孔17cの真下位置で固定されている。
The
マスクステージ21の上部には、矩形板状の高透過ガラスよりなるマスク保持部材22が開口21aを覆うように着脱可能に固定されている。このマスク保持部材22は、水平方向において開口21aよりも若干大きなサイズに形成されるとともに、その周縁部22a全体に亘ってマスクステージ21により支持されている。尚、本実施形態では、マスク保持部材22は平面視において、一辺長さが2000mm以上に形成されるとともに、その板厚は15mm〜20mmに形成されている。図1では、説明の便宜のため、マスク保持部材22の板厚を誇張して図示している。
On the upper part of the
マスク保持部材22の下面22bには枠状をなす吸着溝23が形成されるとともに、マスク保持部材22には吸着溝23内を減圧可能に接続された真空ポンプ(図示略)が接続されている。マスク保持部材22の下面22bには、吸着溝23全体を覆うように配置された板状の遮光マスク24が、その吸着溝23の減圧により吸着保持されている。尚、遮光マスク24は光透過性の板状部材の下面に所定のマスクパターンが形成されてなる。このような遮光マスク24は、貼り合わせ基板Wの種類に応じた複数種類のものが用意され、貼り合わせ基板Wの種類の変更に応じて交換可能となっている。
A
マスク保持部材22の上方には、図示しない筐体に支持固定されたランプハウス25が配置されるとともに、そのランプハウス25内には光源(紫外線源)としてのランプ26が取り付けられている。ランプ26から下方に出射された紫外線は、遮光マスク24によって一部遮光され、前記貼り合わせ基板Wのシール材のみに紫外線が照射されるようになっている。
A
ランプハウス25の上方において前記筐体に支持された保持部としての固定ベース31には、吊下部としてのワイヤ40を固定するための固定部32が設けられている。尚、固定部32はマスク保持部材22の上方において2×3の6つ(図1においては2つのみ図示)が設けられている。固定部32には、下端が固定ベース31に当接する付勢部材としての圧縮コイルバネ33が設けられるとともに、そのバネ33の上端は上下方向に移動可能に設けられた係合部34と当接している。この圧縮コイルバネ33は固定ベース31と係合部34との間において圧縮状態で介在されている。
A fixed
各固定部32の係合部34にはそれぞれワイヤ40の上端が固定されるとともに、各ワイヤ40は固定ベース31及びランプハウス25を貫通して吊り下げられている。そして、各ワイヤ40の下端はそれぞれ、マスク保持部材22上面に接着固定された連結部35に対し、リング36を介して着脱可能に固定されている。尚、固定ベース31及びワイヤ40が吊上部材を構成している。各連結部35はそれぞれ各固定部32の真下位置に設けられるとともに、マスク保持部材22の周縁部22a以外の部分に設けられている。また、各連結部35はマスク保持部材22の水平方向中心に対して対称的に設けられている。尚、ワイヤ40の長さは固定部32及び連結部35間の距離を考慮して設定されるとともに、このワイヤ40による引っ張り力は、マスク保持部材22の水平状態を保つような大きさに設定されている。
The upper ends of the
また、ワイヤ40及び連結部35は、マスク保持部材22に保持可能な前記複数種類の遮光マスクにおいて共通に遮光される領域の上方に設けられている。これにより、遮光マスク24をマスクパターンの異なるものに交換した場合に、ランプ26から出射される光のうち遮光マスク24を通過させて貼り合わせ基板Wのシール材に照射すべき紫外線を、ワイヤ40及び連結部35が遮ってしまうことが防止される。
Further, the
上記のように、遮光マスク24を保持するマスク保持部材22は、その周縁部22aがマスクステージ21にて支持されるとともに、連結部35には固定部32から吊り下げられたワイヤ40により上方への引っ張り力が付与されている。これにより、周縁部22a以外の部分が自重により下方に撓むことなく、マスク保持部材22は平坦化されている。また、係合部34に固定されたワイヤ40は、前記圧縮コイルバネ33によって上方への引っ張り力が付与されている。これにより、ワイヤ40が熱膨張等により上下方向に伸びてしまった場合に、バネ33がワイヤ40を上方に引き上げるため、マスク保持部材22が下方に撓んでしまうことが防止されている。
As described above, the
図2(a)(b)はそれぞれ、従来の紫外線照射装置と本実施形態の紫外線照射装置とにおけるマスク保持部材の下方への撓みの分布を示す模式図である。尚、図2(a)と図2(b)とにおいて、撓みの様子を同様な階調で示しているが、それらのスケールは異なるものである。図2(a)に示すように、マスク保持部材41の周縁部41aのみが支持された従来の紫外線照射装置では、マスク保持部材41の下方への撓み量(周縁部41aを基準とする変形量)が周縁部41aから中央にかけて徐々に大きくなっており、マスク保持部材41の中心部で撓み量が最大となっている。本実施形態のような平面サイズに対して板厚が薄いマスク保持部材(1辺2000mm以上、板厚15mm〜20mm)を支持する場合、その最大撓み量は6〜7mm程度に及ぶ。
FIGS. 2A and 2B are schematic views showing the distribution of the downward deflection of the mask holding member in the conventional ultraviolet irradiation device and the ultraviolet irradiation device of the present embodiment, respectively. In FIG. 2A and FIG. 2B, the state of bending is shown with the same gradation, but their scales are different. As shown in FIG. 2 (a), in the conventional ultraviolet irradiation device in which only the
一方、図2(b)に示すように、本実施形態の紫外線照射装置では、マスク保持部材22の周縁部22aからやや内側にかけて微少ながら撓んでいるが、その撓み量はワイヤ連結部分35aに近づくにつれて減少し、該連結部分35aは周縁部22aと同じ高さ(撓み量0mm)となっている。図2(b)において、最も濃い階調で示す部分が最も撓み量が大きい部分であるが、その撓み量は0.1〜0.2mm程度であり、マスク保持部材22は略水平な状態が保たれている。
On the other hand, as shown in FIG. 2B, in the ultraviolet irradiation apparatus of the present embodiment, although it is slightly bent from the
尚、このようなマスク保持部材22に遮光マスク24を吸着保持させる際には、遮光マスク24を載置したワークステージ本体17を上昇させて、遮光マスク24をマスク保持部材22の下面22bに当接させた後、吸着溝23内を前記真空ポンプにより減圧する。これにより、遮光マスク24とマスク保持部材22との間に残存する空気が吸着溝23に吸い込まれ、遮光マスク24が吸着保持される。このとき、上記したように、マスク保持部材22はワイヤ40の吊り上げによって撓みが抑制されているため、マスク保持部材22の下面22bに遮光マスク24が密着し易くなり、その結果、遮光マスク24を吸着保持させ易くなっている。
When the
尚、マスク保持部材22の着脱の際には、ワークステージ本体17を上昇させ、その載置面17aとマスク保持部材22の下面22bとを当接させることで、ワークステージ本体17がマスク保持部材22を下方から支持するようになっている。
When the
次に、本実施形態の特徴的な作用効果を記載する。
(1)マスク保持部材22における周縁部22a以外の部分に固定された連結部35には吊下部としてのワイヤ40が連結され、その連結部35はワイヤ40により吊り上げられる。これにより、マスク保持部材22における連結部35がワイヤ40によって上方へ引き上げられるため、マスク保持部材22を平坦化することができる。
Next, characteristic effects of the present embodiment will be described.
(1) A
(2)遮光マスク24は交換可能であり、ワイヤ40及び連結部35はマスク保持部材22に保持可能な複数種類の遮光マスクにおいて共通に遮光される領域の上方に設けられる。このため、遮光マスク24をマスクパターンの異なるものに交換した場合に、ランプ26から出射される光のうち遮光マスク24を通過させて貼り合わせ基板Wのシール材に照射すべき紫外線を、ワイヤ40及び連結部35が遮ってしまうことを防止することができる。
(2) The
(3)固定部32にはワイヤ40を上方に向かって付勢する付勢部材としての圧縮コイルバネ33が設けられるため、ワイヤの熱伸び等によってマスク保持部材22が下方に撓むことが防止される。
(3) Since the fixed
(4)ワイヤ40を保持するための固定ベース31はランプ26の上方に設けられるため、固定ベース31がランプ26から出射される紫外線を遮ってしまうことが防止される。
(4) Since the fixed
(5)マスク保持部材22はワイヤ40に着脱可能に連結されるため、マスク保持部材22が劣化した場合等に、マスク保持部材22を容易に交換することができる。
尚、上記第1実施形態は、以下のように変更してもよい。
(5) Since the
In addition, you may change the said 1st Embodiment as follows.
・上記実施形態では、吊下部としてワイヤ40を用いたが、これ以外に例えば、図3に示すような構成としてもよい。図3に示すように、保持部としての固定ベース31上の所定位置において水平方向に移動可能に設けられた固定部51には、真空管52が保持されている。真空管52はその上端が図示しない真空ポンプに接続されるとともに、下端が真空パッド53に連通されている。尚、真空管52及び真空パッド53が吊下部を構成している。また、固定部51(昇降手段)は真空管52及び真空パッド53を昇降可能に構成されている。真空パッド53はマスク保持部材22の上面と当接された状態でその内部が真空ポンプにより減圧され、これにより、マスク保持部材22を吸着保持している。尚、昇降手段としての固定部51が真空管52及び真空パッド53を昇降させることで、真空パッド53とマスク保持部材22との連結部に上下方向への力を付与することが可能となっている。この構成によれば、吊下部を構成する真空管52及び真空パッド53は、真空吸引によりマスク保持部材22と連結されるため、マスク保持部材22の着脱を容易にすることが可能である。また、真空管52を保持する固定部51が水平方向に移動可能に設けられるため、遮光マスク24の交換時におけるズレ等によって、光を透過させる領域の上方に真空管52及び真空パッド53が配置されてまった場合に、それらの設置位置を遮光マスク24において遮光される領域の上方に移動させることが可能となる。また、マスクパターンが新規な遮光マスクを使用する場合においても、真空管52及び真空パッド53を遮光される領域の上方に移動させることが可能となる。さらに、マスク保持部材22の上面に吊上部材への連結用部材を設ける必要がなくなる。尚、上記実施形態おいて、固定部32を水平方向に移動可能に設けるとともに、連結部35をマスク保持部材22の上面に真空吸着により着脱可能に設けても、上記と同様な作用効果が得られる。また、例えば、マスク保持部材22に吸着保持された遮光マスク24を取り外す際に、マスク保持部材22を上下方向に敢えて撓ませることで、遮光マスク24を剥離させやすくすることが可能である。
In the above-described embodiment, the
(第2実施形態)
以下、本発明を具体化した第2実施形態を図面に従って説明する。
本実施形態の紫外線照射装置は、光源を水平方向に走査させるランプスキャン方式のものであり、前記第1実施形態の紫外線照射装置と比べて、光源及び保持部の構成を中心として変更されている。従って、以下には、その光源及び保持部を中心に説明し、前記第1実施形態と同様の構成については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
(Second Embodiment)
Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
The ultraviolet irradiation device of the present embodiment is of a lamp scan type that scans the light source in the horizontal direction, and is changed with a focus on the configuration of the light source and the holding unit as compared with the ultraviolet irradiation device of the first embodiment. . Therefore, hereinafter, the light source and the holding unit will be mainly described, and the same components as those in the first embodiment will be denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.
図4(a)(b)に示すように、マスクステージ21の上面に設けられた一対の支持部61には、保持部としての柱状の保持梁62が掛け渡されて固定されている。保持梁62上面の所定位置には固定部63が固定されるとともに、該固定部63には保持梁62を貫通して吊り下げられた吊下部としてのワイヤ64の上端が固定されている。ワイヤ64の下端は、第1実施形態と同様に、マスク保持部材22上面に接着固定された連結部35に対し、リング36を介して着脱可能に固定されている。マスク保持部材22は、前記第1実施形態と同様に、その周縁部22aがマスクステージ21にて支持されるとともに、連結部35にはワイヤ64によって上方への引っ張り力が付与されている。これにより、マスク保持部材22の自重による撓みが抑制されている。
As shown in FIGS. 4A and 4B, a
図4(b)は、図4(a)の紫外線照射装置を水平方向に90°反転させた概略図である。図4(b)に示すように、マスクステージ21の上面に設けられた一対の走査ステージ71には、保持梁62の上方及び側方を覆うようにランプハウス72が掛け渡されている。ランプハウス72の掛け渡し方向は、保持梁62の掛け渡し方向と直交するとともに、該ランプハウス72は、図4(b)において紙面直交方向(図4(a)において左右方向)に移動可能に構成されている。ランプハウス72内には、光源(紫外線源)としてのランプ73が設けられており、該ランプ73から出射された紫外線はマスク保持部材22及び遮光マスク24を介してその下方に配置された貼り合わせ基板W(図1参照)に照射されるようになっている。また、ランプハウス72には下方に延びる支持部74が固定されるとともに、その下端には補助光源としての補助ランプ75が設けられている。この補助ランプ75は、保持梁62の下方の箇所を照射するように設けられている。
FIG. 4B is a schematic diagram in which the ultraviolet irradiation device of FIG. 4A is inverted by 90 ° in the horizontal direction. As shown in FIG. 4B, a
貼り合わせ基板Wへの紫外線照射加工時において、ランプハウス72は水平方向(図4(a)において右から左)に走査しつつ、ランプ73及び補助ランプ75から紫外線を出射する。尚、ランプ73とともに補助ランプ75も水平方向に移動する。このとき、補助ランプ75は、保持梁62によってランプ73から出射された紫外線が照射されにくい箇所に対して補完的に照射するため、そのランプ73からの光の不足分を補うことができ、その結果、照射ムラを抑えることができる。
At the time of ultraviolet irradiation processing on the bonded substrate W, the
本実施形態の紫外線照射装置は、前記第1実施形態の紫外線照射装置と比べて若干の変更点はあるが、前記第1実施形態で記載した作用効果を有している。
尚、上記各実施形態は、以下のように変更してもよい。
Although the ultraviolet irradiation device of the present embodiment is slightly different from the ultraviolet irradiation device of the first embodiment, it has the effects described in the first embodiment.
In addition, you may change each said embodiment as follows.
・上記第1実施形態では、ワイヤ40を上方に向かって付勢する付勢部材として圧縮コイルバネ33が設けられたが、これに限定されるものではない。
・上記第1実施形態では、6つの吊上部材(ワイヤ40)が設けられたが、これに限定されるものではなく、例えば1つ〜5つ、又は7つ以上設けてもよい。
In the first embodiment, the
-In the said 1st Embodiment, although six lifting members (wire 40) were provided, it is not limited to this, For example, you may provide 1-5, or 7 or more.
・上記第2実施形態では、固定部63は保持梁62に固定されたが、水平方向に移動可能に設けてもよい。
・上記第2実施形態では、吊下部としてワイヤ64が用いられたが、上記したような真空管52及び真空パッド53(図3参照)を用いてもよい。
-In above-mentioned 2nd Embodiment, although the fixing | fixed
In the second embodiment, the
・上記各実施形態では、連結部35はマスク保持部材22の上面に接着固定されたが、これに限定されるものではなく、例えば吸着固定でもよい。この構成によれば、マスク保持部材22上面における連結部35の設置位置を容易に変更可能となる。
In each of the above embodiments, the connecting
・上記各実施形態では、マスクステージ21は、その上部に開口21aが形成され、マスク保持部材22の周縁部22a全体に亘って支持したが、特にこれに限定されるものではなく、例えば、マスクステージ21をマスク保持部材22の周囲四方に設け、マスク保持部材22の周縁部22aを部分的に支持してもよい。
In each of the above embodiments, the
・上記各実施形態では、マスク保持部材22の周縁部22aはマスクステージ21により支持されたが、これに限定されるものではなく、例えば吊下支持でもよい。
・上記各実施形態では、マスク保持部材22は板状矩形をなしたが、これ以外に例えば、板状円形でもよい。また、マスク保持部材22の大きさに関しても上記各実施形態に限定されるものではない。
In each of the above embodiments, the
In each of the above embodiments, the
・上記各実施形態では、液晶ディスプレイのパネルを製造するパネル製造装置に用いられる紫外線照射装置に本発明を適用したが、これに限らず、液晶以外のフラットパネルディスプレイのパネル製造装置でもよく、また、紫外線以外の例えば可視光を照射する光照射装置に本発明を適用してもよい。 In each of the above embodiments, the present invention is applied to an ultraviolet irradiation device used in a panel manufacturing apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel. However, the present invention is not limited to this, and a panel manufacturing apparatus for a flat panel display other than liquid crystal may be used. The present invention may be applied to a light irradiation device that emits, for example, visible light other than ultraviolet rays.
次に、上記各実施形態及び別例から把握できる技術的思想を以下に追記する。
(イ) 吊上部材を昇降させてマスク保持部材に上下方向への力を付与する昇降手段を備える。
Next, technical ideas that can be grasped from the above embodiments and other examples will be described below.
(A) Elevating means for elevating the lifting member to apply a vertical force to the mask holding member is provided.
この構成によれば、例えばマスク保持部材に吸着保持された遮光マスクを取り外す際に、マスク保持部材を上下方向に敢えて撓ませることで、遮光マスクを剥離させやすくすることが可能である。 According to this configuration, for example, when removing the light shielding mask attracted and held by the mask holding member, the light shielding mask can be easily peeled by flexing the mask holding member in the vertical direction.
W…被照射板としての貼り合わせ基板、22…マスク保持部材、22a…周縁部、24…遮光マスク、26,73…光源としてのランプ、31…吊上部材を構成する保持部としての固定ベース、32…固定部、33…付勢部材としての圧縮コイルバネ、35…連結部、40,64…吊下部としてのワイヤ、51…固定部、52…吊下部を構成する真空管、53…吊下部を構成する真空パッド、62…吊上部材を構成する保持部としての保持梁、75…補助光源としての補助ランプ。 W: Bonded substrate as irradiated plate, 22: Mask holding member, 22a: Peripheral part, 24: Light shielding mask, 26, 73 ... Lamp as light source, 31 ... Fixed base as holding part constituting lifting member , 32 ... fixing part, 33 ... compression coil spring as urging member, 35 ... connecting part, 40, 64 ... wire as suspension part, 51 ... fixing part, 52 ... vacuum tube constituting suspension part, 53 ... suspension part A vacuum pad constituting 62, a holding beam as a holding part constituting the lifting member, 75 ... an auxiliary lamp as an auxiliary light source.
Claims (7)
前記マスク保持部材における前記周縁部以外の部分に連結されるとともに、その連結部を吊り上げる吊上部材を備えたことを特徴とする光照射装置。 A light-shielding mask is held in close contact with the lower surface of the mask-holding member whose peripheral edge is supported. A light irradiation device for irradiating light through a member and the light shielding mask,
A light irradiation apparatus comprising: a lifting member that is connected to a portion of the mask holding member other than the peripheral portion and lifts the connection portion.
前記吊上部材は、前記マスク保持部材より上方に設けられた保持部と、該保持部に吊下保持され下端が前記マスク保持部材と連結された吊下部とからなることを特徴とする光照射装置。 In the light irradiation apparatus of Claim 1,
The lifting member comprises a holding portion provided above the mask holding member, and a hanging portion which is suspended and held by the holding portion and whose lower end is connected to the mask holding member. apparatus.
前記遮光マスクは交換可能であり、
前記吊下部は、前記マスク保持部材に保持可能な複数種類の遮光マスクにおいて共通に遮光される領域の上方に設けられたことを特徴とする光照射装置。 In the light irradiation apparatus of Claim 2,
The shading mask is replaceable,
The light irradiating apparatus according to claim 1, wherein the hanging portion is provided above a region that is commonly shielded from light by a plurality of types of light shielding masks that can be held by the mask holding member.
前記吊下部は、水平方向に移動可能に設けられたことを特徴とする光照射装置。 In the light irradiation apparatus of Claim 2 or 3,
The hanging portion is provided so as to be movable in the horizontal direction.
前記吊下部はワイヤであり、
前記吊上部材には、前記ワイヤを上方に向かって付勢する付勢部材が設けられたことを特徴とする光照射装置。 In the light irradiation apparatus of any one of Claims 2-4,
The hanging portion is a wire;
The light irradiation apparatus according to claim 1, wherein the lifting member is provided with a biasing member that biases the wire upward.
前記吊下部は、真空吸着により前記マスク保持部材と連結されたことを特徴とする光照射装置。 In the light irradiation apparatus of any one of Claims 2-4,
The light irradiation apparatus, wherein the suspended portion is connected to the mask holding member by vacuum suction.
前記光源は、前記保持部の上方において水平方向に移動可能に設けられるものであり、
前記光源とともに移動し前記保持部下方の箇所を照射する補助光源を備えたことを特徴とする光照射装置。 In the light irradiation apparatus of any one of Claims 2-6,
The light source is provided so as to be movable in the horizontal direction above the holding portion,
A light irradiation apparatus comprising an auxiliary light source that moves together with the light source and irradiates a position below the holding unit.
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