JP2009055475A - 超音波トランスデューサ、超音波トランスデューサの製造方法、超音波診断装置及び超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波トランスデューサ、超音波トランスデューサの製造方法、超音波診断装置及び超音波顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009055475A JP2009055475A JP2007221690A JP2007221690A JP2009055475A JP 2009055475 A JP2009055475 A JP 2009055475A JP 2007221690 A JP2007221690 A JP 2007221690A JP 2007221690 A JP2007221690 A JP 2007221690A JP 2009055475 A JP2009055475 A JP 2009055475A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- transducer
- electrode
- film
- conductive layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 34
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 16
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 176
- 238000000034 method Methods 0.000 description 46
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 29
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 29
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 29
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 13
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 12
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 8
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- -1 hafnium nitride Chemical class 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000002405 diagnostic procedure Methods 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
【解決手段】基板上に形成された第1の電極と、該第1の電極上に空隙部を隔てて配設された振動膜と、該振動膜に支持された第2の電極とを具備して構成される振動子セルと、電荷を保持し、前記電極間に電位差を与えるエレクトレット膜と、を具備した超音波トランスデューサにおいて、前記エレクトレット膜を、超音波の送信方向から見た場合に前記振動子セルとは離間した領域において、前記第1の電極に電気的に接続された第1の導電層と、該第1の導電層上に対向して配設され前記第2の電極に電気的に接続された第2の導電層との間に介装する。
【選択図】図5
Description
以下、本発明の第1の実施形態を図面1から図9を参照して説明する。なお、以下の説明に用いた各図においては、各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせてある。図1は超音波内視鏡の概略構成を示す説明図である。図2は超音波内視鏡の先端部分の構成を示す斜視図である。図3は振動子アレイの斜視図である。
振動子セル100は、略円柱状の空隙部であるキャビティ107を介して対向する一対の平行平板電極である、下部電極110(第1の電極)及び上部電極120(第2の電極)を有して構成される。そして、該振動子セル100を具備して構成される振動子エレメント33は、振動子セル100の上部電極120を含む弾性を有する膜状の構造体であるメンブレン100a(振動膜)の振動により、超音波を送受信するものである。
本実施形態においては、電荷保持手段であるエレクトレット膜130は、上述の通り、上方から見て細長の形状を有する振動子エレメント33の端部に常温で硬化する接着剤により貼着され配設される。エレクトレット膜130は、極性が正又は負の電荷を永続的に保持する機能を有するものである。
以下、本発明の第2の実施形態について、図11を参照して説明する。図11は、第2の実施形態に係る振動子エレメントの断面図である。
以下、本発明の第3の実施形態について、図12を参照して説明する。図12は、本実施形態の超音波振動子アレイ231の上面図である。
以下、本発明の第4の実施形態について、図13を参照して説明する。第4の実施形態は、上述した本発明の超音波トランスデューサを、超音波顕微鏡に適用したものである。図13は、本実施形態の超音波顕微鏡の構成を説明する図である。
(付記1)
静電容量型の超音波トランスデューサにおいて、
該超音波トランスデューサは、多数の振動子セルから構成され、振動子セルは、
少なくとも上部電極及び絶縁膜からなる振動膜(メンブレン)と、
振動膜に接した空隙部と、
下部電極と、
から構成され、振動子セル群端部には、電荷を保持したエレクトレット膜が存在し、
該エレクトレット膜の上下には振動子セルと電気的に接続された両電極が配置された構成であることを特徴とする静電容量型の超音波トランスデューサ。
上記エレクトレット膜には、複数の対向する電極が配置された構成であることを特徴とする付記1に記載の静電容量型の超音波トランスデューサ。
上記エレクトレット膜は、少なくとも一つの面に空隙部を介して両電極に挟まれたことを特徴とする付記1又は2に記載の静電容量型の超音波トランスデューサ。
上記エレクトレット膜は、有機膜であることを特徴とする付記1から3のいずれか一項に記載の静電容量型の超音波トランスデューサ。
マイクロマシンプロセスを用いた超音波トランスデューサであることを特徴とした超音波トランスデューサ、及び該超音波トランスデューサを具備した超音波内視鏡。
エレクトレット膜を有する静電容量型の超音波トランスデューサにおいて、
エレクトレット膜をディスクリートにシリコンプロセスとは別工程で作成し、(ポストプロセスに数百℃以上の温度になることがない工程で、)エレメント単位で引き出された超音波トランスデューサの外部配線パッド上に載置し、
さらに低温プロセスで、上部接地電極を形成したことを特徴とする静電容量型の超音波トランスデューサの製造方法。
Claims (9)
- 基板上に形成された第1の電極と、該第1の電極上に空隙部を隔てて配設された振動膜と、該振動膜に支持された第2の電極とを具備して構成される振動子セルと、
電荷を保持し、前記第1の電極と前記第2の電極との間に所定の電位差を与えるエレクトレット膜と、
を具備した超音波トランスデューサであって、
前記エレクトレット膜は、前記基板を前記振動膜が振動することにより発生する超音波の送信方向から見た場合に前記振動子セルとは離間した領域において、前記第1の電極に電気的に接続された第1の導電層と、該第1の導電層上に対向して配設され前記第2の電極に電気的に接続された第2の導電層との間に介装されたものであって、
かつ、前記エレクトレット膜は、前記第1の導電層上に貼着されたものであることを特徴とする超音波トランスデューサ。 - 複数の振動子セルのそれぞれに対応して設けられた複数の第1の導電層を具備し、
単一の前記エレクトレット膜が、該複数の第1の導電層上に貼着されることを特徴とする請求項1の記載の超音波トランスデューサ。 - 前記エレクトレット膜と前記第1の導電層との間、又は前記エレクトレット膜と前記第2の導電層との間には、空隙部が介装されることを特徴とする請求項1又は2に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記エレクトレット膜は、樹脂膜からなることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の超音波トランスデューサ。
- 基板上に形成された第1の電極と、該第1の電極上に空隙部を隔てて配設された振動膜と、該振動膜に支持された第2の電極とを具備して構成される振動子セルと、
電荷を保持し、前記第1の電極と前記第2の電極との間に所定の電位差を与える有機膜からなるエレクトレット膜と、
を具備する超音波トランスデューサの製造方法であって、
前記基板上に前記振動子セルを形成する工程と、
前記振動子セルの第1の電極に電気的に接続され、前記基板上において前記振動子セルとは異なる領域に延出した第1の導電層を形成する工程と、
前記振動子セル及び第1の導電層を形成する工程とは別に前記エレクトレット膜を形成する工程と、
前記エレクトレット膜を、前記基板上の前記振動子セルとは異なる領域において前記第1の導電層上に貼着する工程と、
前記エレクトレット膜の前記第1の導電層と対向する面とは反対側の面上に第2の導電層を形成する工程と、
前記第2の導電層を前記第2の電極と電気的に接続する工程と、
を具備することを特徴とする超音波トランスデューサの製造方法。 - 前記エレクトレット膜を、前記第1の導電層上に貼着する工程と、前記第2の導電層を形成する工程と、前記第2の導電層を前記第2の電極と電気的に接続する工程とは、前記エレクトレットの温度が、前記エレクトレットが保持する電荷量の低下が発生する所定の温度以下において実施されることを特徴とする請求項5に記載の超音波トランスデューサの製造方法。
- 前記所定の温度は、100℃以下であることを特徴とする請求項6に記載の超音波トランスデューサの製造方法。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載の超音波トランスデューサを具備することを特徴とする超音波診断装置。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載の超音波トランスデューサを具備することを特徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007221690A JP4774394B2 (ja) | 2007-08-28 | 2007-08-28 | 超音波トランスデューサ、超音波トランスデューサの製造方法、超音波診断装置及び超音波顕微鏡 |
CN 200810134673 CN101378605B (zh) | 2007-08-28 | 2008-08-15 | 超声波换能器及其制造方法、超声波诊断装置及超声波显微镜 |
US12/197,706 US8047995B2 (en) | 2007-08-28 | 2008-08-25 | Ultrasonic transducer, method of manufacturing ultrasonic transducer, ultrasonic diagnostic apparatus, and ultrasonic microscope |
EP08015118A EP2030698B1 (en) | 2007-08-28 | 2008-08-27 | Ultrasonic transducer, method of manufacturing ultrasonic transducer, ultrasonic diagnostic apparatus, and ultrasonic microscope |
DE602008002869T DE602008002869D1 (de) | 2007-08-28 | 2008-08-27 | Ultraschallwandler, Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallwandlers und Ultraschalldiagnosevorrichtung und Ultraschallmikroskop |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007221690A JP4774394B2 (ja) | 2007-08-28 | 2007-08-28 | 超音波トランスデューサ、超音波トランスデューサの製造方法、超音波診断装置及び超音波顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009055475A true JP2009055475A (ja) | 2009-03-12 |
JP4774394B2 JP4774394B2 (ja) | 2011-09-14 |
Family
ID=40506107
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007221690A Active JP4774394B2 (ja) | 2007-08-28 | 2007-08-28 | 超音波トランスデューサ、超音波トランスデューサの製造方法、超音波診断装置及び超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4774394B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010269060A (ja) * | 2009-05-25 | 2010-12-02 | Tohoku Univ | アレイ型超音波脈波測定シート |
WO2012127737A1 (ja) * | 2011-03-24 | 2012-09-27 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 超音波振動子および超音波診断装置 |
WO2013005563A1 (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-10 | オリンパス株式会社 | 超音波ユニットおよび超音波内視鏡 |
JP2015517752A (ja) * | 2012-05-01 | 2015-06-22 | フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド | 超広帯域幅圧電変換器アレイ |
JP2018504165A (ja) * | 2014-12-11 | 2018-02-15 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | マイクロマシン超音波トランスデューサの互い違いの列を有するカテーテルトランスデューサ |
-
2007
- 2007-08-28 JP JP2007221690A patent/JP4774394B2/ja active Active
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010269060A (ja) * | 2009-05-25 | 2010-12-02 | Tohoku Univ | アレイ型超音波脈波測定シート |
WO2012127737A1 (ja) * | 2011-03-24 | 2012-09-27 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 超音波振動子および超音波診断装置 |
JP5153972B2 (ja) * | 2011-03-24 | 2013-02-27 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 超音波振動子および超音波診断装置 |
US8512251B2 (en) | 2011-03-24 | 2013-08-20 | Olympus Medical Systems Corp. | Ultrasound transducer and ultrasound diagnostic apparatus |
WO2013005563A1 (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-10 | オリンパス株式会社 | 超音波ユニットおよび超音波内視鏡 |
JP2013013570A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Olympus Corp | 超音波ユニットおよび超音波内視鏡 |
EP2730230A4 (en) * | 2011-07-04 | 2015-05-27 | Olympus Corp | ULTRASOUND UNIT AND ULTRASOUND ENDOSCOPE |
US10517571B2 (en) | 2011-07-04 | 2019-12-31 | Olympus Corporation | Ultrasound unit and ultrasound endoscope |
JP2015517752A (ja) * | 2012-05-01 | 2015-06-22 | フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド | 超広帯域幅圧電変換器アレイ |
JP2018504165A (ja) * | 2014-12-11 | 2018-02-15 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | マイクロマシン超音波トランスデューサの互い違いの列を有するカテーテルトランスデューサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4774394B2 (ja) | 2011-09-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4774393B2 (ja) | 超音波トランスデューサ、超音波診断装置及び超音波顕微鏡 | |
EP2030698B1 (en) | Ultrasonic transducer, method of manufacturing ultrasonic transducer, ultrasonic diagnostic apparatus, and ultrasonic microscope | |
JP4271252B2 (ja) | 超音波振動子セル、超音波振動子エレメント、超音波振動子アレイ及び超音波診断装置 | |
JP5019997B2 (ja) | 超音波トランスデューサ、超音波診断装置及び超音波顕微鏡 | |
JP4839176B2 (ja) | 超音波トランスデューサ及び超音波診断装置 | |
US8740800B2 (en) | Ultrasonic transducer, method for manufacturing ultrasonic transducer, and ultrasonic endoscope | |
EP2110186B1 (en) | Ultrasound transducer and electronic device | |
US20080089180A1 (en) | Ultrasonic transducer, ultrasonic probe, and ultrasonic diagnostic apparatus | |
JP4891182B2 (ja) | 超音波トランスデューサ、超音波診断装置及び超音波顕微鏡 | |
JP4774394B2 (ja) | 超音波トランスデューサ、超音波トランスデューサの製造方法、超音波診断装置及び超音波顕微鏡 | |
US9629609B2 (en) | Ultrasound element and ultrasound endoscope | |
JP2009272824A (ja) | 超音波振動子セル、超音波振動子および超音波内視鏡 | |
JP2013021510A (ja) | 超音波エレメントおよび超音波内視鏡 | |
JP5008946B2 (ja) | 超音波トランスデューサ、超音波トランスデューサの製造方法、及び超音波内視鏡 | |
JP2013098581A (ja) | 超音波ユニット、超音波内視鏡、および超音波ユニットの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091020 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110531 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110607 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110627 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140701 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4774394 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140701 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313114 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140701 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140701 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |