JP2009054615A - 圧粉コア及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 特に、粒径の頻度及び累積のパラメータを導入して、非晶質軟磁性合金粉末の充填率を増大させ、コア特性を向上させた圧粉コア及びその製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 例えば、Ｆｅを主成分とし、少なくともＰ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉのうちの２種以上を含む非晶質軟磁性合金粉末の基準粉末（Ｄ５０＝１２．２５μｍ）に４μｍ分級粉を、５質量％〜５０質量％混合することで、１０％〜９０％の累積範囲での粒径の頻度を、８％以下に抑えることができ、その結果、圧粉コアに占める非晶質軟磁性合金粉末の充填率を基準粉末のみ含む圧粉コアに比べて増大させることができ、コア損失を低減でき、さらには透磁率を上昇させることが可能になる。
【選択図】 図５

Description

本発明は、非晶質軟磁性合金粉末が結着材によって固化成形されてなる圧粉コアに係り、特に、前記非晶質軟磁性合金粉末の充填率を増大させてコア特性を向上させた圧粉コア及びその製造方法に関する。

下記の特許文献１に示された非晶質軟磁性合金粉末を用いた圧粉コアでは、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金（センダスト（登録商標））に比べて低温での熱処理で構造緩和によるプレス成形時の歪を開放することが可能なため、粉末の十分な磁気特性の回復と、粉末間の絶縁を維持することにより、コア損失を適切に低減できる。

圧粉コアでは、コア損失の低減や透磁率の増大を図りコア特性を向上させることが極めて重要である。

前記コア特性の向上を図るには、圧粉コア中に占める前記非晶質軟磁性合金粉末の充填率を向上させることが重要であった。
特開２００５−３０７２９１号公報 特開２００４−３４９５８５号公報 特開２０００−１１４０２２号公報 特開２００４−２７３５６４号公報 特開平５−２９９２３２号公報 特開平４−３４３２０７号公報 特開２００１−１９６２１６号公報

上記特許文献２〜特許文献７に示すように、平均粒径の異なる磁性粉末どうしを混合することで、大径の磁性粉末間の隙間に小径の磁性粉末を介在させて充填率を向上させるという考えは従来から多々存在する。

しかしながら、特許文献２〜特許文献７に記載されている従来の充填率を向上させる方法では、粒度分布の頻度及び累積というパラメータを考慮していなかった。

そこで本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、特に、粒度分布の頻度及び累積のパラメータを導入して、非晶質軟磁性合金粉末の充填率を増大させ、コア特性を向上させた圧粉コア及びその製造方法を提供することを目的としている。

本発明は、非晶質軟磁性合金粉末が結着材によって固化成形されてなる圧粉コアにおいて、
前記非晶質磁性合金粉末は、Ｆｅを主成分とし、少なくともＰ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉのうちの２種以上を含み、
前記非晶質磁性合金粉末の粒度分布の頻度が、１０％〜９０％の累積範囲で、８％以下であることを特徴とするものである。

これにより効果的に非晶質軟磁性合金粉末の充填率を向上させることができ、コア損失の低減や透磁率の増大を図りコア特性を向上させることができる。

また本発明では、前記粒度分布の最大頻度と最小頻度との差が、４％以下であることが好ましい。前記粒度分布の最大頻度と最小頻度との差が大きくなると、非晶質軟磁性合金粉末の充填率を十分に向上できないので、前記粒径の最大頻度と最小頻度との差を小さくすることが好適である。

また本発明では、前記粒度分布の頻度が６％以下であることがより好ましく、前記粒度分布の頻度が、４％以下で、且つ前記粒径の最大頻度と最小頻度の差が２％以下であることがさらに好ましい。これにより、より効果的に非晶質軟磁性合金粉末の充填率を向上させることができ、より適切に、コア損失を低減できるとともに、透磁率を高めることが可能である。

また本発明では、前記非晶質軟磁性合金粉末は、下記の組成式で表されることが好ましい。

Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ}Ｃｏ_ａＮｉ_ｂＭ_ｘＰ_ｙＣ_ｚＢ_ｗＳｉ_ｔ
ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎ、Ａｌより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０原子％≦ｘ≦５原子％、０原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１５原子％、０原子％≦ｔ≦１２原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦(１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ)≦８３原子％を示す。上記組成において、Ｐの添加量ｙは２原子％以上であることがより好ましく、Ｂの添加量ｗは１２原子％以下であることがより好ましい。また、Ｓｉの添加量ｔは０．５原子％≦ｔ≦８原子％であることがより好ましい。

また本発明は、非晶質軟磁性合金粉末を結着材によって固化成形してなる圧粉コアの製造方法において、
Ｆｅを主成分とし、少なくともＰ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉのうちの２種以上を含む前記非晶質軟磁性合金粉末をアトマイズ法により形成する第１工程、
前記第１工程中、あるいは、前記第１工程の後に、前記非晶質磁性合金粉末の粒度分布の頻度を、１０％〜９０％の累積範囲で、８％以下に調整する第２工程、
前記非晶質軟磁性合金粉末と、結着材及び潤滑材を含む添加材とを混合、造粒して造粒粉を形成する第３工程、
前記造粒粉末を圧縮成形して所定形状のコア前駆体を形成する第４工程、
前記コア前駆体を熱処理し、圧縮成形により前記非晶質軟磁性合金粉末に生じた歪を除去する第５工程、
を有することを特徴とするものである。

これにより非晶質軟磁性合金粉末の充填率が高く、コア特性に優れた圧粉コアを簡単且つ適切に製造できる。

本発明では、前記第１工程で得られた非晶質軟磁性合金粉末を基準粉末としたとき、前記基準粉末の平均粒径（Ｄ５０）より小さい平均粒径（Ｄ５０）を有し、Ｆｅを主成分とし、少なくともＰ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉのうちの２種以上を含むアトマイズ法により形成された非晶質軟磁性合金粉末（調整粉末）を用意し、
前記第２工程では、前記非晶質磁性合金粉末の粒度分布の頻度が、１０％〜９０％の累積範囲で、８％以下となるように、前記基準粉末と適量の前記調整粉末とを混合することが好ましい。これにより、前記基準粉末に比べて容易に、非晶質軟磁性合金粉末の充填率を高めることができる。

また前記調整粉末を５質量％〜５０質量％の範囲内で混合することが、非晶質軟磁性合金粉末の充填率を、基準粉末に比べて効果的に高めることができ、好適である。

また、前記調整粉末を１０質量％〜２０質量％の範囲内で混合することがより好ましい。

また本発明では、前記第１工程で得られた非晶質軟磁性合金粉末を基準粉末としたとき、前記基準粉末の平均粒径（Ｄ５０）より大きい平均粒径（Ｄ５０）を有し、Ｆｅを主成分とし、少なくともＰ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉのうちの２種以上を含むアトマイズ法により形成された非晶質軟磁性合金粉末（調整粉末）を用意し、
前記第２工程では、前記非晶質磁性合金粉末の粒度分布の頻度が、１０％〜９０％の累積範囲で、８％以下となるように、前記基準粉末と適量の前記調整粉末とを混合してもよい。かかる場合、前記調整粉末を５質量％〜２０質量％の範囲内で混合することが好ましい。

また本発明では、前記第２工程では、前記粒径の最大頻度と最小頻度との差を、４％以下に調整することが好ましい。

また本発明では、前記第２工程では、前記粒度分布の頻度を６％以下とすることがより好ましく、前記粒度分布の頻度を、４％以下で、且つ前記粒度分布の最大頻度と最小頻度の差を２％以下に調整することがより好ましい。

また本発明では、下記の組成式で表される前記非晶質磁性合金粉末を形成することが好ましい。

Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ}Ｃｏ_ａＮｉ_ｂＭ_ｘＰ_ｙＣ_ｚＢ_ｗＳｉ_ｔ
ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎ、Ａｌより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０原子％≦ｘ≦５原子％、０原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１５原子％、０原子％≦ｔ≦１２原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦(１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ)≦８３原子％を示す。

本発明の圧粉コアによれば、効果的に非晶質軟磁性合金粉末の充填率を向上させることができ、コア損失の低減や透磁率の増大を図りコア特性を向上させることができる。

また本発明の圧粉コアの製造方法によれば、非晶質軟磁性合金粉末の充填率が高く、コア特性に優れた圧粉コアを簡単且つ適切に製造できる。

（非晶質軟磁性合金粉末及び圧粉コアの形態）
本発明における圧粉コアは、非晶質軟磁性合金粉末が結着材によって固化成形されてなるものである。

前記非晶質軟磁性合金粉末は、略球状あるいは楕円体状からなる。前記非晶質軟磁性合金粉末は、組織中に多数個存在し、各非晶質軟磁性合金粉末間が前記結着材にて絶縁された状態となっている。

前記非晶質磁性合金粉末は、Ｆｅを主成分とし、少なくともＰ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉを含む。前記非晶質軟磁性合金粉末は、下記の組成式で表されることが好適である。

Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ}Ｃｏ_ａＮｉ_ｂＭ_ｘＰ_ｙＣ_ｚＢ_ｗＳｉ_ｔ
ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎ、Ａｌより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０原子％≦ｘ≦５原子％、０原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１５原子％、０原子％≦ｔ≦１２原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦(１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ)≦８３原子％を示す。

本実施形態の非晶質軟磁性合金粉末は、磁性を示すＦｅと、非晶質形成能を有するＰ、Ｃ、Ｂといった半金属元素を具備しているので、非晶質相を主相とするとともに優れた軟磁気特性を示す。

また、元素Ｍ（Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎ、Ａｌのうちの１種又は２種以上の元素素）を添加することで耐食性を向上させることができる。

更に前記非晶質軟磁性合金粉末は、上記組成において、Ｐの添加量ｙは２原子％以上であることがより好ましく、Ｂの添加量ｗは１２原子％以下であることがより好ましい。また、Ｓｉの添加量ｔは０．５原子％≦ｔ≦８原子％であることがより好ましい。このような組成とすることで、ΔＴｘ＝Ｔｘ−Ｔｇ（ただしＴｘは結晶化開始温度、Ｔｇはガラス遷移温度を示す。）の式で表される過冷却液体の温度間隔ΔＴｘが２０Ｋ以上を示すが、組成によってはΔＴｘが３０Ｋ以上、さらには５０Ｋ以上という顕著な温度間隔を有し、より非晶質化し易くなる。

本実施形態の磁性粉末のＦｅ量（１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ）は、７０原子％以上８３原子％以下であることが好ましく、７２原子％以上８２原子％以下であることがより好ましく、７３原子％以上８０原子％以下であることが更に好ましい。このようにＦｅ量が高いことで高い飽和磁化を示す。なおＦｅの添加量が８３原子％を越えると、合金の非晶質形成能の程度を示す換算ガラス化温度（Ｔｇ／Ｔｍ）が０．５０未満になり、非晶質形成能が低下するので好ましくない。なお、上記式においてＴｍは磁性粉末の融点を示す。

前記非晶質軟磁性合金粉末のＣｏ量ａは０〜２０原子％の範囲で可能であり、Ｎｉ量ｂは０〜５原子％の範囲で可能である。Ｃｏはキュリー温度Ｔｃを高めるとともに耐食性を高める効果を有する。しかし、２０原子％を超えるとその分、Ｆｅ量が減り、飽和磁化が１８０×１０^−６Ｗｂｍ／Ｋｇ以下になるとともに、ＴｃがＴｇ近傍温度まで上昇し、熱処理し難くなるので望ましくない。Ｎｉは耐食性を向上させる（強磁性元素の中で最も耐食性が高い）が、６原子％以上では飽和磁化が低下する傾向となる。

Ｃ、Ｐ、Ｂ及びＳｉは、非晶質形成能を高める元素であり、このうち、少なくとも２種以上を添加すると好ましい。Ｆｅと上記元素Ｍにこれらの元素を添加して多元系とすることにより、Ｆｅと上記元素Ｍのみの２元系の場合よりも安定して非晶質相が形成される。

特にＰはＦｅと低温（約１０５０℃）で共晶組成を持つため、組織の全体が非晶質を形成しやすくなる。また、ＰとＳｉを同時に添加すると、過冷却液体の温度間隔ΔＴｘを発現し易くなって非晶質形成能が向上し、非晶質単相の組織を得る際の製造条件を比較的簡易な方向に緩和できる。

Ｐの組成比ｙが上記の範囲であれば、過冷却液体の温度間隔ΔＴｘが発現して合金粉末の非晶質形成能が向上する。

また、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆに代表される元素Ｍは、合金粉末に不動態化酸化皮膜を形成でき、合金粉末の耐食性を向上できる。これらの元素のうち耐食性の向上に最も効果があるものはＣｒである。水アトマイズ法において、合金溶湯が直接水に触れたとき、更には合金粉末の乾燥工程において生じる腐食部分の発生を防ぐことができる（目視レベル）。また、これらの元素は単独添加するか、あるいは２種以上の組み合わせで複合添加しても良く、例えば、Ｍｏ、ＶとＭｏ、ＣｒとＶ、Ｃｒ及びＣｒ、Ｍｏ、Ｖ等の組合せで複合添加しても良い。これらの元素のうち、Ｍｏ，Ｖは耐食性がＣｒより若干劣るものの非晶質形成能が向上するため、必要に応じてこれらの元素を選択する。また、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａのうちから選択される元素の添加量が８原子％を超えると、磁気特性（飽和磁化）が低下してしまう。

上記組成式中の元素Ｍとして採用される元素のうちガラス形成能はＺｒ、Ｈｆが最も高い。Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆは酸化性が強いため、これらの元素が８原子％を超えて添加されていると、大気中で合金粉末原料を溶解すると原料溶解中に溶湯が酸化し、磁気特性（飽和磁化）が低下してしまう。これらの元素も粉末表面の不働態被膜形成に寄与し、耐食性を向上させる。

また、磁性粉末としての耐食性向上効果は、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕのうちから選択される１種又は２種以上の貴金属元素の添加によっても得られ、これら貴金属元素を粉末表面に分散することにより、耐食性が向上する。また、これらの貴金属元素は単独添加あるいは上記のＣｒ等の耐食性向上効果のある元素との組み合わせて複合添加しても良い。上記の貴金属元素はＦｅと混じり合わないため、８原子％を超えて添加されているとガラス形成能が低下し、また、磁気特性（飽和磁化）も低下する。

非晶質軟磁性合金粉末に耐食性を持たせるためには、上記元素Ｍの添加量は０．５原子％以上とする必要がある。

前記組成式中のＭのうち、Ｓｎは低融点金属であり、Ｓｎを添加することで合金を軟化させる効果、アトマイズにて合金粉末を形成する際に球形の形状の粉末を得られ易くする効果があり、このような効果を訴求するために必要に応じて添加すると良い。なお、元素Ｍには示されていないが、Ｉｎ、Ｚｎ、Ｇａも同様な効果が期待できる。

次に、Ｓｉを添加すると熱的安定性が向上するため、必要に応じて、０．５原子％以上添加してもよい。また、Ｓｉの添加量が８原子％を超えると、融点が上昇してしまう。従ってＳｉ量ｔは、０．５原子％以上８原子％以下であることが必要であり、好ましくは２〜８原子％、より好ましくは３原子％以上７原子％以下の添加量である。

このＳｉは本実施形態の非晶質軟磁性合金粉末において重要な元素であり、合金溶湯が水アトマイズ法により水の存在雰囲気で急冷されて非晶質合金化する過程において、非晶質軟磁性合金粉末が腐食されることを先の耐食性向上効果を奏する元素に加えてＳｉが防止する。

次に、Ｂ量ｗが１原子％未満では磁性粉末が得られ難く、１５原子％を超えると融点が上昇してしまう。従って、Ｂ量ｗは、１原子％以上１５原子％以下であることが好ましく、２原子％以上１０原子％であることが好ましく、４原子％以上９原子％以下であることがさらに好ましい。

また、Ｃを添加すると熱的安定性が向上するためＣが添加されていることが好ましい。また、Ｃ量ｚが８原子％を超えると、融点が上昇してしまう。従って、Ｃ量ｚは、８原子％以下であることが好ましく、０原子％を超えて６原子％以下であることがより好ましく、１原子％以上４原子％以下であることがさらに好ましい。

これらの半金属元素Ｃ、Ｐ、Ｂ及びＳｉの合計の組成比（ｙ＋ｚ＋ｗ＋ｔ）は、１７原子％以上２５原子％以下であることが好ましく、１８原子％以上２５原子％以下とすることが更に好ましい。

半金属元素の合計の組成比が２５原子％を越えると、特にＦｅの組成比が相対的に低下し、飽和磁化が低下するので好ましくない。半金属元素の合計の組成比が１７原子％未満では、非晶質形成能が低下し非晶質相単相組織が得られにくい。

本実施形態の磁性粉末においては、上記の組成に、Ｇｅが４原子％以下含有されていてもよい。

上記のいずれの場合の組成においても、本実施形態においては、Ｔｘ／Ｔｍの値が０．５以上、組成によっては０．５５以上が得られる。
また上記の組成で示される元素の他に不可避的不純物が含まれていても良い。

次に、本実施形態の非晶質軟磁性合金粉末は、アスペクト比の平均が１以上３．５以下であることが好ましく、アスペクト比の平均が１以上３以下であることがより好ましく、１．２以上２．５以下であることがさらに好ましい。アスペクト比の平均が３．５を超えると不定形粉末が多くなり、成形密度が低下する。またコア成形した際に非晶質軟磁性合金粉末間の絶縁が取り難くなる。

前記結着材としては、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、シリコーンゴム、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）等の液状又は粉末状の樹脂あるいはゴムや、水ガラス（Ｎａ_２Ｏ-ＳｉＯ_２）、酸化物ガラス粉末（Ｎａ_２Ｏ-Ｂ_２Ｏ_３-ＳｉＯ_２、ＰｂＯ-Ｂ_２Ｏ_３-ＳｉＯ_２、ＰｂＯ-ＢａＯ-ＳｉＯ_２、Ｎａ_２Ｏ-Ｂ_２Ｏ_３-ＺｎＯ、ＣａＯ-ＢａＯ-ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３-Ｂ_２Ｏ_３-ＳｉＯ_２、Ｂ_２Ｏ_３-ＳｉＯ_２）、ゾルゲル法により生成するガラス状物質（ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、ＴｉＯ_２等を主成分とするもの）等を挙げることができる。

（粉末の粒度分布の頻度及び累積値について）
本実施形態の圧粉コアの特徴的部分は、前記非晶質軟磁性合金粉末の粒度分布の頻度が、１０％〜９０％の累積範囲で、８％以下、好ましくは６％以下である点にある。

「粉末の粒度分布」は、粒度分布測定装置にて測定できる。粒度分布は、例えば日機装（株）製のマイクロトラック粒度分布測定装置 ＭＴ３３００ＥＸを用いて測定することができる。例えば、前記マイクロトラック粒度分布測定装置の条件として、「分布表示」に「体積」を選択し、「粒径区分選択」に「標準」を選択し、「測定上限」に「１４０８μｍ」を選択し、測定下限に「０．０２１μｍ」を選択し、「チャンネル数」に「１２８」を選択し、「測定時間」に「３０秒」を選択する。この粒度分布測定装置の測定原理は、レーザー回折散乱法（マイクロトラック法）である。

「粉末の粒度分布」は、粒径の異なる多数の非晶質軟磁性合金粉末を、粒径区分ごとに個数割合で表したものである。「粉末の粒度分布」は、粒径区分の小さい側から、「頻度」を累積したものである。「頻度」及び「粉末の粒度分布」は共に％で示される。

本実施形態の非晶質軟磁性合金粉末の平均粒径（Ｄ５０）は、４〜５５μｍ、好ましくは４〜３５μｍの範囲内である。前記平均粒径（Ｄ５０）は、累積値５０％での粒径を指している。

通常、平均粒径（Ｄ５０）付近で「頻度」は非常に大きくなるが、本実施形態では、粒径が広範囲に満遍なく存在するように、前記非晶質軟磁性合金粉末の粒度分布における頻度を、１０％〜９０％の累積範囲で、８％以下に調整している。これにより、後述する実験結果によれば、非晶質合金粉末の硬度が大きいことにより生じる充填率の低下を粉体の塑性変形を用いずに改善でき、前記非晶質軟磁性合金粉末の充填率を向上させることができ、この結果、粒子間の絶縁を維持しながらコアの高密度化を実現し、コア損失を低減でき、さらには透磁率を上昇させることができコア特性の向上を図ることが可能となる。

なお０％〜１０％（１０％を含まない）、及び９０％〜１００％（９０％を含まない）の累積範囲は外しているが、通常、この範囲での頻度は８％よりも小さく、またこの範囲を入れてしまうと、次に規定する「最大頻度と最小頻度との差」では、最小頻度が０％となり、適切に、「最大頻度と最小頻度との差」を規定できないため、０％〜１０％（１０％を含まない）、及び９０％〜１００％（９０％を含まない）の累積範囲を外している。

本実施形態では、１０％〜９０％の累積範囲で、前記最大頻度と最小頻度との差が、６％以下、さらに好ましくは４％以下であることが好ましい。これにより、より効果的に、前記非晶質軟磁性合金粉末の充填率を向上させることができる。

また本実施形態では、１０％〜９０％の累積範囲で、前記頻度が、４％以下で、且つ前記最大頻度と最小頻度の差が２％以下であることがより好ましい。

（本実施形態の圧粉コアの製造方法）
まず、上記した組成を備える非晶質軟磁性合金粉末をアトマイズ法により形成する（第１工程）。アトマイズ法には水アトマイズ法あるいはガスアトマイズ法を使用することが好適である。ここで、例えば、水アトマイズ法にて前記非晶質軟磁性合金粉末を製造する際、水の噴射圧力、噴射流量、合金溶湯流量等をコントロールすることにより、目的とする非晶質軟磁性合金粉末のアスペクト比や平均粒径（Ｄ５０）を得ることができる。

この第１工程で得られた非晶質軟磁性合金粉末を「基準粉末」とする。この基準粉末の粒度分布における頻度が、１０％〜９０％の累積範囲で、８％以下となっていれば次の第２工程を行うことは必要ないが、そうでない場合、次の第２工程を行う。

すなわち前記基準粉末の平均粒径（Ｄ５０）より小さい平均粒径（Ｄ５０）を有し、且つ上記した組成を備える非晶質軟磁性合金粉末（調整粉末）を用意し、非晶質軟磁性合金粉末の粒度分布における頻度が、１０％〜９０％の累積範囲で、８％以下となるように、前記基準粉末と適量の前記調整粉末とを混合する（第２工程）。

このとき、前記調整粉末を、前記基準粉末と調整粉末との混合粉の全質量中、５質量％〜５０質量％の範囲内で混合することが好ましい。また前記調整粉末を１０質量％〜２０質量％の範囲内で混合することがより好ましい。

ここで前記基準粉末の平均粒径（Ｄ５０）は４〜５５μｍ、特に水アトマイズ法を用いる場合は４〜３５μｍの範囲内であり、前記基準粉末よりも小さい調整粉末の平均粒径（Ｄ５０）は、４〜５０μｍ、特に水アトマイズ法を用いる場合は４〜３０μｍの範囲内であることが好ましい。

前記調整粉末の平均粒径（Ｄ５０）は、基準粉末の平均粒径（Ｄ５０）より大きくても、非晶質軟磁性合金粉末（基準粉末と調整粉末との混合粉）の充填率を前記基準粉末の充填率より上げることができるが、非晶質軟磁性合金粉末として基準粉末のみを使用した圧粉コアに比べて、コア損失の低減効果を得にくいことが後述する実験によりわかった。したがって、基準粉末に比べてコア損失を低減し、さらに基準粉末に比べて透磁率を上昇させるには、前記調整粉末の平均粒径（Ｄ５０）を、前記基準粉末の平均粒径（Ｄ５０）より小さくすることが好ましい。

なお、前記調整粉末の平均粒径（Ｄ５０）を、基準粉末の平均粒径（Ｄ５０）より大きくしたとき、前記調整粉末を、前記基準粉末と調整粉末との混合粉の全質量中、５質量％〜２０質量％の範囲内で混合することが好ましい。

ここで前記基準粉末の平均粒径（Ｄ５０）は４〜５５μｍ、特に水アトマイズ法を用いる場合は４〜３５μｍの範囲内であり、前記基準粉末よりも大きい調整粉末の平均粒径（Ｄ５０）は、６〜１００μｍ、特に水アトマイズ法を用いる場合は６〜５０μｍの範囲内であることが好ましい。

前記調整粉末の平均粒径（Ｄ５０）が上記範囲内に収まるように、前記調整粉末は、分級機により分級されていることが好ましい。例えば、日清エンジニアリング（株）の商品名：ターボクラシファイアＴＣ４０の精密空気分級機を用いて分級する。

また、第２工程では、１０％〜９０％の累積範囲で、非晶質軟磁性合金粉末（基準粉末と調整粉末との混合粉）の粒度分布の最大頻度と最小頻度との差を、６％以下、より好ましくは４％以下に調整することが好ましい。

さらに、第２工程では、１０％〜９０％の累積範囲で、前記非晶質軟磁性合金粉末（基準粉末と調整粉末とを混合したもの）の粒度分布頻度を、４％以下で、且つ前記最大頻度と最小頻度の差を２％以下に調整することがより好ましい。

続いて、前記非晶質軟磁性合金と、結着材及び潤滑材を有してなる添加材とを混合する。混合物中の前記絶縁材の混合率は、０．３質量％〜５質量％の範囲内であることが好適である。また混合物中の潤滑材の混合率は、０．１質量％〜２質量％の範囲内であることが好適である。前記潤滑材には例えばステアリン酸亜鉛を使用できる。

前記非晶質軟磁性合金と添加材とを混合した後、乾燥・粉砕して造粒粉を得る（第３工程）。

前記造粒粉を、プレス成型の金型に充填しやすいように分級する。例えば目開き３００μｍ以上８５０μｍ以下のふるいを用い分給して得られる３００〜８５０μｍの造粒粉を使用する。

続いて、前記造粒粉を金型に充填し、圧力を印加しつつ、室温又は所定の温度まで加熱して圧縮成形して所定形状のコア前駆体を得る（第４工程）。例えばプレス圧は２０ｔ／ｃｍ^２である。またコア前駆体は例えば略リング形状であり、一例を示すと、外径：２０ｍｍ、内径：１２ｍｍ、高さ：６．８ｍｍである。

続いて前記コア前駆体を熱処理する（第５工程）。熱処理条件の一例を示すと、Ｎ_２ガス雰囲気下で、昇温速度を４０℃／ｍｉｎとし５１０℃で１時間加熱する。これにより、圧縮成形により前記非晶質軟磁性合金粉末に生じた歪を除去することができる。

［粒度分布の測定］
実験では、水アトマイズ法によりＦｅ_{７４．４３ａｔ％}Ｃｒ_{１．９６ａｔ％}Ｐ_{９．０４ａｔ％}Ｃ_{２．１６ａｔ％}Ｂ_{７．５４ａｔ％}Ｓｉ_{４．８７ａｔ％}の略球状の非晶質磁性粉末（基準粉末）を形成した。

前記基準粉末を得る際の溶湯温度（溶解された合金の温度）１５５０℃、水の噴出圧は６８．６ＭＰａであった。

なお前記基準粉末は、粗大粉末の除去を目的に目開き１８０μｍのふるいで分級した後、異形状粉末の除去を目的に目開き３２μｍのふるいで分級した粉末を用いた。

続いて、上記基準粉末とは別に、水アトマイズ法によりＦｅ_{７４．４３ａｔ％}Ｃｒ_{１．９６ａｔ％}Ｐ_{９．０４ａｔ％}Ｃ_{２．１６ａｔ％}Ｂ_{７．５４ａｔ％}Ｓｉ_{４．８７ａｔ％}の略球状の非晶質磁性粉末を形成し、日清エンジニアリング（株）の商品名：ターボクラシファイアＴＣ４０の精密空気分級機を用いて、４μｍ分級粉、６μｍ分級粉、８μｍ分級粉、及び、８μｍ分級残粉を得た。

ここで４μｍ分級粉とは、平均粒径（Ｄ５０）が約４μｍとなるように分級された粉末を示し、６μｍ分級粉、８μｍ分級粉も夫々、約６μｍ、約８μｍとなるように分級された粉末を示す。また、８μｍ分級残粉とは、生成された非晶質磁性粉末から８μｍ分級粉として分級された非晶質軟磁性合金粉末を除いた残粉を意味する。

そして、基準粉末、４μｍ分級粉、６μｍ分級粉、８μｍ分級粉、及び、８μｍ分級残粉の粒度分布を夫々、日機装（株）製のマイクロトラック粒度分布測定装置 ＭＴ３３００ＥＸを用いて測定した。
その実験結果が、以下の表１、表２に示されている。

表１には、基準粉末、４μｍ分級粉の粒径、頻度、累積が示されている。表１に示す「４μｍ分級粉２０％混合」は次の実験の結果であるので、後述する。

図１は、表１に示す基準粉末の粒度分布の頻度及び累積との関係を示すグラフ（粒度分布図）である。

また図４は、表２に示す基準粉末の粒度分布累積と頻度との関係をグラフ化したものである。

図２は、表１に示す４μｍ分級粉の粒径と粒度分布の頻度及び累積との関係を示すグラフ（粒度分布図）である。

また表２には、粉末粒度分布欄に「累積 ｖｓ 頻度（％）」及び「累積 ｖｓ 粒径（μｍ）」が示されている。４μｍ分級粉、６μｍ分級粉、８μｍ分級粉、及び、８μｍ分級残粉の各データは、混合量１００質量％の欄に示されている。なお、基準粉末及び混合量１００質量％の欄を除くその他のデータ欄は、いずれも基準粉末と調整粉末（分級粉）とを混合した混合粉でのデータである。

図１、図４、表１及び表２に示すように、基準粉末の粒度分布は、累積値が１０％〜９０％の範囲で、粒径の頻度が６％以下であることがわかった。

一方、図２、表１及び表２（１００質量％混合欄）に示すように、４μｍ分級粉の粒度分布は、累積値が４０％付近〜６０％付近の範囲で、頻度が８％を超え、４０％付近〜８０付近の範囲で頻度が６％を超えることがわかった。

６μｍ分級粉、及び、８μｍ分級残粉の粒度分布データは、いずれも表２（１００質量％混合欄）に示されている。６μｍ分級粉、及び、８μｍ分級残粉でも、累積値が４０％付近〜６０％付近の範囲で、粒径の頻度が８％を超え、４０％付近〜８０％付近の範囲で頻度が６％を超えることがわかった。

また、８μｍ分級粉においては、粒度分布の頻度が８％を超えることは無いが、４０％付近〜８０％付近の範囲で頻度が６％を超えていることがわかった。

なお平均粒径（Ｄ５０）は、表２に示す「粉末粒度分布」の「累積 ｖｓ 粒径（μｍ）」の５０％欄に示されている。すなわち基準粉末の平均粒径（Ｄ５０）は１２．２５μｍ、４μｍ分級粉の平均粒径（Ｄ５０）は、４．１１μｍ、６μｍ分級粉の平均粒径（Ｄ５０）は、５．８３μｍ、８μｍ分級粉の平均粒径（Ｄ５０）は、８．４５μｍ、８μｍ分級残粉の平均粒径（Ｄ５０）は、１９．５９μｍであった。

［基準粉末と調整粉末との混合結果］
続いて、上記した４μｍ分級粉、６μｍ分級粉、８μｍ分級粉、及び、８μｍ分級残粉をいずれも調整粉末として、前記基準粉末と混合した。前記調整粉末を、前記基準粉末と調整粉末との混合粉の全質量中、５質量％、１０質量％、２０質量％又は５０質量％にて混合した。その混合粉の粒度分布データは上記した表２の「粉末粒度分布」欄に記載されている。

なお、最もコア特性を改善できた４μｍ分級粉を２０質量％混合した結果については、表１、図３にも粒径と頻度及び累積との関係を示した。

まず基準粉末に対して、４μｍ分級粉を５質量％〜５０質量％混合した混合粉の実験結果について考察する。

図５は、表２に示す「４μｍ分級粉」の「粉末粒度分布」の「累積 ｖｓ 頻度（％）」欄をグラフ化したものである。図５には、４μｍ分級粉のみ（混合量１００質量％）のデータも示されているが、図５、表２に示すように、基準粉末に４μｍ分級粉を５質量％〜５０質量％混合することで、粒度分布の累積値が１０％〜９０％の範囲で、粒径の頻度を８％以下に抑えることが可能であることがわかり、特に４μｍ分級粉を１０質量％〜５０重量％混合したものは、粒度分布の累積値が６％以下に抑えることが可能であることがわかった。

表２に示すように基準粉末でも非晶質軟磁性合金粉末の充填率は８０％を超えているが、５質量％〜５０質量％の４μｍ分級粉を混合した混合粉とすることで、前記非晶質軟磁性合金粉末の充填率は基準粉末より高くなることがわかった。表２に示すコア特性欄には、コア損失Ｗ、透磁率μ´直流重畳特性μ´_{（５５００Ａ／ｍ）}が記載されている。

コア特性は、上記した基準粉末、あるいは混合粉を備えた圧粉コアにて測定した。前記圧粉コアは、上記した基準粉末、あるいは混合粉と、シリコーン樹脂（１．４質量％）、ステアリン酸亜鉛（０．３質量％）を混合・乾燥・粉砕し、目開き３００μｍ及び目開き８５０μｍのふるいを用いて３００〜８５０μｍに分級して造粒粉を形成し、さらに、プレス圧２０ｔ／ｃｍ^２にて、外径が２０ｍｍ、内径が１２ｍｍ、高さが６．８ｍｍのリング状のコア前駆体を形成し、Ｎ_２ガス雰囲気下で、昇温速度を４０℃／ｍｉｎｍとし５１０℃で１時間加熱して得た。

表２に示すように、コア損失は、いずれも、５質量％〜５０質量％の４μｍ分級粉を混合した混合粉を備えた圧粉コアのほうが、基準粉末のみを備えた圧粉コアに比べて小さくなった。

透磁率μ´については、５質量％の４μｍ分級粉を混合した混合粉、及び５０質量％の４μｍ分級粉を混合した混合粉を備えた圧粉コアのほうが、基準粉末よりも小さくなった。

したがって、基準粉末に対してコア損失の低減効果とともに高透磁率μ´を得るには、１０質量％〜２０質量％の４μｍ分級粉を混合した混合粉を備えた圧粉コアとすることがより好ましいことがわかった。また表２に示すように、コア特性の結果から、２０質量％の４μｍ分級粉を混合した混合粉を備えた圧粉コアとすることが最も好ましいことがわかった。

図６は、表２に示す「６μｍ分級粉」の「粉末粒度分布」の「累積 ｖｓ 頻度（％）」欄をグラフ化したものである。図７は、表２に示す「８μｍ分級粉」の「粉末粒度分布」の「累積 ｖｓ 頻度（％）」欄をグラフ化したものである。図６、図７には、６μｍ分級粉のみ（混合量１００質量％）、あるいは８μｍ分級粉のみ（混合量１００質量％）のデータも示されている。図６、図７、表２に示すように、基準粉末に６μｍ分級粉、あるいは８μｍ分級粉を５質量％〜５０質量％混合することで、累積値が１０％〜９０％の範囲で、粒度分布の頻度を８％以下に抑えることが可能であり、６μｍ分級粉の場合は、５質量％〜５０質量％混合することで、累積値が１０％〜９０％の範囲で、粒度分布の頻度を６％以下に抑えることが可能となり、８μｍ分級粉の場合、１０質量％混合する場合を除いて、粒度分布の頻度を６％以下に抑えることが可能であることがわかった。

そして表２に示すように、６μｍ分級粉、あるいは８μｍ分級粉を５質量％〜５０質量％混合した混合粉を備える圧粉コアの充填率、及びコア特性については、４μｍ分級粉の混合粉を備える圧粉コアと同様の結果が得られた。

４μｍ分級粉、６μｍ分級粉、及び８μｍ分級粉の各平均粒径（Ｄ５０）は、いずれも、基準粉末の平均粒径（Ｄ５０）よりも小さい。

一方、８μｍ分級残粉の平均粒径（Ｄ５０）は、基準粉末の平均粒径（Ｄ５０）よりも大きくなっている。

図８は、表２に示す「８μｍ分級残粉」の「粉末粒度分布」の「累積 ｖｓ 頻度（％）」欄をグラフ化したものである。図８には、８μｍ分級残粉のみ（混合量１００質量％）のデータも示されている。図８、表２に示すように、基準粉末に８μｍ分級残粉を５質量％〜５０質量％混合することで、累積値が１０％〜９０％の範囲で、粒度分布の頻度を８％以下に抑えることが可能であり、５質量％〜２０質量％混合することで、累積値が１０％〜９０％の範囲で粒度分布の頻度を６％以下に抑えことが可能であることがわかった。

そして表２に示すように、基準粉末より大きい平均粒径（Ｄ５０）を有する調整粉末を混合しても、非晶質軟磁性合金粉末の充填率を基準粉末より大きくできることがわかった。

表２に示すように、５０質量％の８μｍ分級残粉を混合した混合粉を備える圧粉コアでは、累積値が５０％付近で粒度分布の頻度が８％以下であるが、６％を超えてしまい、また非晶質軟磁性合金粉末として基準粉末のみを備える圧粉コアとほとんど同じ充填率となった。一方、５〜２０質量％の８μｍ分級残粉を混合した混合粉を備える圧粉コアでは、累積値が１０％〜９０％の範囲で６％以下となっており、非晶質軟磁性合金粉末として基準粉末のみを備える圧粉コアに比べて充填率を高くできることがわかった。ただしコア特性について考察すると、５〜５０質量％の８μｍ分級残粉を混合した混合粉を備える圧粉コアでは、非晶質軟磁性合金粉末として基準粉末のみを備える圧粉コアに比べて透磁率μ´がいずれも大きくなるものの、コア損失は大きくなっていることがわかる。

よって、基準粉末と混合する調整粉末は、基準粉末よりも小さい平均粒径（Ｄ５０）であり、混合比を５質量％〜５０質量％、好ましくは１０質量％〜２０質量％として圧粉コアを形成することが非晶質軟磁性合金粉末として基準粉末のみを備える圧粉コアよりも充填率を向上でき、非晶質軟磁性合金粉末として基準粉末のみを備える圧粉コアに比べてコア損失Ｗを改善できることがわかった。

また表２に示すように、粒径の最大頻度と最小頻度との差は、４％以下であることが好ましいとわかった。

また、２０質量％の４μｍ分級粉を混合した混合粉を備える圧粉コアでは、基準粉末に対するコア損失の低減効果と透磁率の増大効果とが他の試料に比べてより効果的に大きくなるので、累積値が１０％〜９０％の範囲で、前記粒度分布の頻度は、４％以下で、且つ前記粒度分布の最大頻度と最小頻度の差は２％以下であることがより好ましいと規定した。

［Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金を備える圧粉コア（比較例）の実験］
実験では、水アトマイズ法によりＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金の略球状の結晶質磁性粉末（基準粉末）を形成した。

また、上記基準粉末とは別に、水アトマイズ法によりＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金の略球状の結晶質磁性粉末を形成し、日清エンジニアリング（株）の商品名：ターボクラシファイアＴＣ４０の精密空気分級機を用いて、４μｍ分級粉を得た。

そして、基準粉末、及び、４μｍ分級粉の粒度分布を夫々、日機装（株）製のマイクロトラック粒度分布測定装置 ＭＴ３３００ＥＸを用いて測定した。
その実験結果が、以下の表３に示されている。

表３には、「粉末粒度分布 ｖｓ 粒径（μｍ）」の実験結果が示されている。基準粉末の平均粒径（Ｄ５０）は１１．６５μｍであった。また４μｍ分級粉（表３の４μｍ分級粉の１００質量％混合量）の平均粒径（Ｄ５０）は４．７５μｍであった。

そして基準粉末と４μｍ分級粉とを混合した。４μｍ混合粉は、基準粉末と４μｍ分級粉との全質量中、１０質量％〜５０質量％の範囲で混合した。そして、基準粉末、及び４μｍ分級粉を１０質量％〜５０質量％の範囲で混合した混合粉を備える圧粉コアを形成した。圧粉コアの製造条件は、表２に示す圧粉コアの製造条件とコア前駆体に対する加熱温度を除いて同じとした。Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金を備えるコア前駆体に対する加熱温度を６００℃で１時間に規定した。

表３に示すように、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金を備える圧粉コアのコア損失は、表２に示す本実施例の圧粉コアに比べて非常に高くなり、コア特性が本実施例に比べて極めて悪いことがわかった。また、混合粉の方がコア損失は若干改善されているが、本実施例の圧粉コアほどの改善効果は認められないことがわかった。

［圧粉コア断面のＳＥＭ写真］
図９（ａ）は、表３に示す磁性粉末として基準粉末のみのＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金を備える圧粉コア断面のＳＥＭ写真、図９（ｂ）は、表３に示す４μｍ分級粉を１０質量％混合したＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金を備える圧粉コア断面のＳＥＭ写真、図９（ｃ）は、表３に示す４μｍ分級粉を２０％混合したＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金を備える圧粉コア断面のＳＥＭ写真、図９（ｄ）は、表３に示す４μｍ分級粉を５０質量％混合したＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金を備える圧粉コア断面のＳＥＭ写真、である。

また図９（ｅ）は、表２に示す非晶質軟磁性合金粉末として基準粉末のみを備える実施例の圧粉コア断面のＳＥＭ写真、図９（ｆ）は、表２に示す４μｍ分級粉を１０質量％混合した混合粉を備える実施例の圧粉コア断面のＳＥＭ写真、図９（ｇ）は、表２に示す４μｍ分級粉を２０質量％混合した混合粉を備える実施例の圧粉コア断面のＳＥＭ写真、図９（ｈ）は、表２に示す４μｍ分級粉を５０質量％混合した混合粉を備える実施例の圧粉コア断面のＳＥＭ写真、である。

図９（ａ）〜（ｄ）に示すように、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金を備える比較例の圧粉コアでは、各磁性粉末が変形しており、磁性粉末どうしが接触した箇所が多々存在することがわかった。これにより、比較例では充填率を上げることができてもコア損失を上記実施例ほど低減できないものと推測される。

一方、図９（ｅ）〜（ｈ）に示すように本実施例の圧粉コアでは、非晶質軟磁性合金粉末の変形が見られなかった。また、基準粉末に対して４μｍ分級粉を混合することで、非晶質軟磁性合金粉末間の隙間が小さくなることがわかった。よって充填率が上昇し、しかも非晶質軟磁性合金粉末は変形せず各粉末間の絶縁性が適切に保たれているのでコア損失を適切に低減できるものと推測される。

［本実施例の非晶質軟磁性合金粉末の製造］
以下の表４に示すように、ガスアトマイズ法、水アトマイズ法にかかわらず、また組成にかかわらず、平均粒径（Ｄ５０）が４〜５５μｍとなる非晶質軟磁性合金を製造できることがわかった。表４に示す分級は、日清エンジニアリング（株）の商品名：ターボクラシファイアＴＣ４０の精密空気分級機を用いて行った。

表４に示すように、本実施例では、様々な平均粒径（Ｄ５０）を備える非晶質軟磁性合金粉末を製造でき、したがって、これら平均粒径（Ｄ５０）が異なる非晶質軟磁性合金粉末を混合して、前記非晶質磁性合金粉末の粒度分布の頻度を、１０％〜９０％の累積範囲で、８％以下、好ましくは６％以下となるように調整することが容易にできることがわかった。

表１に示す本実施例の基準粉末の粒径と頻度及び累積との関係を示すグラフ（粒度分布図）、 表１に示す４μｍ分級粉の粒径と頻度及び累積との関係を示すグラフ（粒度分布図）、 ４μｍ分級粉を２０質量％混合した本実施例の粒径と頻度及び累積との関係を示すグラフ（粒度分布図）、 表２に示す基準粉末の粒径の累積と頻度との関係を示すグラフ、 表２に示す「４μｍ分級粉」の「粉末粒度分布」の「累積 ｖｓ 頻度（％）」欄のグラフ、 表２に示す「６μｍ分級粉」の「粉末粒度分布」の「累積 ｖｓ 頻度（％）」欄のグラフ、 表２に示す「８μｍ分級粉」の「粉末粒度分布」の「累積 ｖｓ 頻度（％）」欄のグラフ、 表２に示す「８μｍ分級残粉」の「粉末粒度分布」の「累積 ｖｓ 頻度（％）」欄のグラフ、 （ａ）は、表３に示す磁性粉末として基準粉末のみのＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金を備える圧粉コア断面のＳＥＭ写真、（ｂ）は、表３に示す４μｍ分級粉を１０％混合したＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金を備える圧粉コア断面のＳＥＭ写真、（ｃ）は、表３に示す４μｍ分級粉を２０％混合したＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金を備える圧粉コア断面のＳＥＭ写真、（ｄ）は、表３に示す４μｍ分級粉を５０％混合したＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金を備える圧粉コア断面のＳＥＭ写真、（ｅ）は、表２に示す非晶質軟磁性合金粉末として基準粉末のみを備える実施例の圧粉コア断面のＳＥＭ写真、（ｆ）は、表２に示す４μｍ分級粉を１０％混合した混合粉を備える実施例の圧粉コア断面のＳＥＭ写真、（ｇ）は、表２に示す４μｍ分級粉を２０％混合した混合粉を備える実施例の圧粉コア断面のＳＥＭ写真、（ｈ）は、表２に示す４μｍ分級粉を５０％混合した混合粉を備える実施例の圧粉コア断面のＳＥＭ写真、

Claims (15)

1. 非晶質軟磁性合金粉末が結着材によって固化成形されてなる圧粉コアにおいて、
   前記非晶質磁性合金粉末は、Ｆｅを主成分とし、少なくともＰ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉのうち２種以上を含み、
   前記非晶質磁性合金粉末の粒度分布の頻度が、１０％〜９０％の累積範囲で、８％以下であることを特徴とする圧粉コア。
2. 前記粒度分布における頻度が６％以下である請求項１に記載の圧粉コア。
3. 前記粒度分布の最大頻度と最小頻度との差が、４％以下である請求項１または２記載の圧粉コア。
4. 前記粒度分布の頻度が、４％以下で、且つ前記粒度分布の最大頻度と最小頻度の差が２％以下である請求項１記載の圧粉コア。
5. 前記非晶質軟磁性合金粉末は、下記の組成式で表される請求項１ないし４のいずれかに記載の圧粉コア。
   Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ}Ｃｏ_ａＮｉ_ｂＭ_ｘＰ_ｙＣ_ｚＢ_ｗＳｉ_ｔ
   ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎ、Ａｌより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０原子％≦ｘ≦５原子％、０原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１５原子％、０原子％≦ｔ≦１２原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦(１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ)≦８３原子％を示す。
6. 非晶質軟磁性合金粉末を結着材によって固化成形してなる圧粉コアの製造方法において、
   Ｆｅを主成分とし、少なくともＰ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉのうちの２種以上を含む前記非晶質軟磁性合金粉末をアトマイズ法により形成する第１工程、
   前記第１工程中、あるいは、前記第１工程の後に、前記非晶質磁性合金粉末の粒度分布の頻度を、１０％〜９０％の累積範囲で、８％以下に調整する第２工程、
   前記非晶質軟磁性合金粉末と、結着材及び潤滑材を含む添加材とを混合、造粒して造粒粉を形成する第３工程、
   前記造粒粉末を圧縮成形して所定形状のコア前駆体を形成する第４工程、
   前記コア前駆体を熱処理し、圧縮成形により前記非晶質軟磁性合金粉末に生じた歪を除去する第５工程、
   を有することを特徴とする圧粉コアの製造方法。
7. 前記第１工程で得られた非晶質軟磁性合金粉末を基準粉末としたとき、前記基準粉末の平均粒径（Ｄ５０）より小さい平均粒径（Ｄ５０）を有し、Ｆｅを主成分とし、少なくともＰ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉのうちの２種以上を含むアトマイズ法により形成された非晶質軟磁性合金粉末（調整粉末）を用意し、
   前記第２工程では、前記非晶質磁性合金粉末の粒度分布の頻度が、１０％〜９０％の累積範囲で、８％以下となるように、前記基準粉末と適量の前記調整粉末とを混合する請求項６記載の圧粉コアの製造方法。
8. 前記調整粉末を５質量％〜５０質量％の範囲内で混合する請求項７記載の圧粉コアの製造方法。
9. 前記調整粉末を１０質量％〜２０質量％の範囲内で混合する請求項８記載の圧粉コアの製造方法。
10. 前記第１工程で得られた非晶質軟磁性合金粉末を基準粉末としたとき、前記基準粉末の平均粒径（Ｄ５０）より大きい平均粒径（Ｄ５０）を有し、Ｆｅを主成分とし、少なくともＰ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉのうちの２種以上を含むアトマイズ法により形成された非晶質軟磁性合金粉末（調整粉末）を用意し、
    前記第２工程では、前記非晶質磁性合金粉末の粒度分布の頻度が、１０％〜９０％の累積範囲で、８％以下となるように、前記基準粉末と適量の前記調整粉末とを混合する請求項６記載の圧粉コアの製造方法。
11. 前記調整粉末を５質量％〜２０質量％の範囲内で混合する請求項１０記載の圧粉コアの製造方法。
12. 前記第２工程で粒度分布の頻度を、１０％〜９０％の累積範囲で、６％以下に調整する請求項６ないし１１のいずれかに記載の圧粉コアの製造方法。
13. 前記第２工程では、前記粒度分布の最大頻度と最小頻度との差を、４％以下に調整する請求項６ないし１２のいずれかに記載の圧粉コアの製造方法。
14. 前記第２工程では、前記粒度分布の頻度を、４％以下で、且つ前記粒径の最大頻度と最小頻度の差を２％以下に調整する請求項６ないし１１のいずれかに記載の圧粉コアの製造方法。
15. 下記の組成式で表される前記非晶質磁性合金粉末を形成する請求項６ないし１４のいずれかに記載の圧粉コアの製造方法。
    Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ}Ｃｏ_ａＮｉ_ｂＭ_ｘＰ_ｙＣ_ｚＢ_ｗＳｉ_ｔ
    ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎ、Ａｌより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０原子％≦ｘ≦５原子％、０原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１５原子％、０原子％≦ｔ≦１２原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦(１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ)≦８３原子％を示す。

Images