JP2009049376A

JP2009049376A - Electrode foil for capacitor

Info

Publication number: JP2009049376A
Application number: JP2008157742A
Authority: JP
Inventors: Tatsuji Aoyama; 達治青山; Kazuhiko Mikami; 和彦三上
Original assignee: Panasonic Corp
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 2007-07-25
Filing date: 2008-06-17
Publication date: 2009-03-05

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To increase capacity and achieve low ESR in electrode foil for capacitors used for each kind of electronic equipment. <P>SOLUTION: A nickel layer 2 made of nickel and a nickel oxide is provided on a surface-roughened layer formed on the surface of a base material 1 made of a valve action metal. It is also used as a negative electrode foil to manufacture a solid electrolytic capacitor with a conductive polymer as a solid electrolyte. Then, capacity is increased since the capacitance of the negative electrode foil is extinguished and only the positive electrode foil itself functions as capacity. A nickel oxide becomes conductive since it is a semiconductor, thus reducing ESR. Nickel partially reacts with aluminum by heat generated when forming the nickel layer 2, thus achieving effect for increasing the binding strength between the nickel layer 2 and the surface-roughened layer, greatly thinning the nickel layer 2, and increasing capacity and achieving low ESR inexpensively with a simple configuration. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は各種電子機器に使用されるコンデンサの中で、特に、導電性高分子を固体電解質に用いた固体電解コンデンサに最適な、コンデンサ用電極箔に関するものである。 The present invention relates to an electrode foil for a capacitor that is most suitable for a solid electrolytic capacitor using a conductive polymer as a solid electrolyte among capacitors used in various electronic devices.

電子機器の高周波化に伴い、電子部品の一つである電解コンデンサにおいても、従来よりも高周波領域でのインピーダンス特性に優れた大容量の電解コンデンサが求められてきており、このような要求に応えるために電気伝導度の高い導電性高分子を固体電解質に用いた固体電解コンデンサが種々検討されている。 In response to the higher frequency of electronic equipment, electrolytic capacitors, which are one of the electronic components, have been demanded for large-capacity electrolytic capacitors that have better impedance characteristics in the high frequency region than before, and meet these requirements. Therefore, various solid electrolytic capacitors using a conductive polymer having high electrical conductivity as a solid electrolyte have been studied.

また、大容量化の要求に対しては、電極箔を積層させる場合と比較して構造的に大容量化が容易な巻回形（陽極箔と陰極箔とをセパレータを介在させて巻回した構造のもの）による導電性高分子を固体電解質に用いた固体電解コンデンサが製品化されてきている。 In addition, in response to the demand for a large capacity, a wound form (anode foil and cathode foil are wound with a separator interposed therebetween), which is structurally easy to increase the capacity compared to the case of laminating electrode foils. Solid electrolytic capacitors using a conductive polymer of a structure) as a solid electrolyte have been commercialized.

そして、このような固体電解コンデンサは、寿命、温度特性に加え、特に優れた高周波特性を有するため、パーソナルコンピュータの電源回路等に広く採用されており、静電容量Ｃを増大させる目的で、自然酸化皮膜が形成され難いニッケル箔等の非弁作用金属箔を陰極箔として用いることにより、陰極静電容量を実質的に無限大にする、という技術が提案されている（特許文献１）。 Such a solid electrolytic capacitor has a particularly excellent high-frequency characteristic in addition to life and temperature characteristics, and is therefore widely used in personal computer power supply circuits and the like. A technique has been proposed in which a cathode capacitance is made substantially infinite by using a non-valve action metal foil such as a nickel foil which is difficult to form an oxide film as a cathode foil (Patent Document 1).

更にまた、上記特許文献１による非弁作用金属のプレーン箔ではエッチング処理による粗面化ができないために陰極箔と固体電解質との実効的な接触面積が減少し、コンデンサ完成品としての等価直列抵抗が大きくなってしまうという課題を解決する目的で、エッチング処理により表面を粗面化したアルミニウム箔の表面に、無電解めっき法によって非弁作用金属であるニッケルのめっき膜を被着形成した陰極箔を用いる、という技術が提案されている（特許文献２）。
特公平４−７０８６号公報特許第３４３９０６４号公報 Furthermore, since the non-valve action metal plain foil according to Patent Document 1 cannot be roughened by etching, the effective contact area between the cathode foil and the solid electrolyte is reduced, and the equivalent series resistance as a finished capacitor product is reduced. In order to solve the problem of increasing the thickness of the aluminum foil, the cathode foil is formed by depositing a nickel plating film, which is a non-valve metal, by electroless plating on the surface of an aluminum foil roughened by etching. There is proposed a technique of using (Patent Document 2).
Japanese Examined Patent Publication No. 4-7086 Japanese Patent No. 3439064

しかしながら上記従来のコンデンサ用電極箔では、ニッケル箔を陰極箔として用いる特許文献１の技術においては、一般的に陰極箔として用いられるアルミニウム箔と比較してニッケル箔は高価であるという課題があり、また、エッチング処理により表面を粗面化した金属箔の表面にニッケルのめっき膜を形成する特許文献２の技術においては、無電解めっき法においては、めっき膜の厚みを薄くすることが困難なために粗面化した細孔内部まで均一にニッケルのめっき膜を形成し難く、また、１μｍという厚みではエッチングピットを埋没させてしまうということに加え、粗面化した金属箔の表面に存在する酸化皮膜によってニッケルのめっき膜との結着強度を確保するのが難しいという課題があった。 However, in the above-described conventional electrode foil for a capacitor, in the technique of Patent Document 1 using a nickel foil as a cathode foil, there is a problem that nickel foil is expensive compared to an aluminum foil generally used as a cathode foil, Further, in the technique of Patent Document 2 in which a nickel plating film is formed on the surface of a metal foil whose surface has been roughened by etching, it is difficult to reduce the thickness of the plating film in the electroless plating method. It is difficult to form a uniform nickel plating film up to the inside of finely roughened pores, and in addition to etching pits being buried at a thickness of 1 μm, oxidation present on the surface of the roughened metal foil There was a problem that it was difficult to secure the binding strength between the coating and the nickel plating film.

本発明はこのような従来の課題を解決し、簡単な構成で大容量化と低ＥＳＲ化を同時に実現すると共に、安価で高信頼性のコンデンサ用電極箔を提供することを目的とするものである。 An object of the present invention is to solve such a conventional problem, to simultaneously realize a large capacity and a low ESR with a simple configuration, and to provide an inexpensive and highly reliable capacitor electrode foil. is there.

上記課題を解決するために本発明は、表面を粗面化して粗面化層が形成された弁作用金属からなる基材と、上記粗面化層の表面に形成されたニッケルとニッケル酸化物からなるニッケル層を有した構成にしたものである。 In order to solve the above problems, the present invention provides a base material made of a valve action metal having a roughened surface and a roughened layer formed thereon, and nickel and nickel oxide formed on the surface of the roughened layer. It has the structure which has the nickel layer which consists of.

以上のように本発明によるコンデンサ用電極箔は、弁作用金属からなる基材の表面に形成された粗面化層の表面にニッケルとニッケル酸化物からなるニッケル層を設けた構成により、このコンデンサ用電極箔を陰極箔として用い、導電性高分子を固体電解質とする固体電解コンデンサを作製した場合に、陰極箔の静電容量が消滅して発現しなくなり、陽極箔のみが容量として発現するために大幅な容量拡大を図ることができると共に、上記ニッケル層に含まれるニッケル酸化物は半導体のために導電性を有し、このためにＥＳＲの低減に大きく貢献するばかりでなく、ニッケル層の表面に存在するニッケル酸化物により、防食性の向上と、固体電解質との結着強度の向上が図れるものである。 As described above, the capacitor electrode foil according to the present invention has such a structure that the nickel layer made of nickel and nickel oxide is provided on the surface of the roughened layer formed on the surface of the base material made of valve metal. When a solid electrolytic capacitor using a conductive foil as a cathode foil and a conductive polymer as a solid electrolyte is produced, the capacitance of the cathode foil disappears and does not appear, and only the anode foil appears as capacity In addition, the nickel oxide contained in the nickel layer has electrical conductivity for the semiconductor, and thus not only greatly contributes to the reduction of ESR, but also the surface of the nickel layer. The nickel oxide present in the metal can improve the corrosion resistance and the binding strength with the solid electrolyte.

更に、上記ニッケル層は、ニッケル層を蒸着によって形成する際に発生する熱によってニッケルと弁作用金属箔であるアルミニウムとの反応が一部に起こるためにニッケル層と粗面化層との結着強度が高まるという効果も有し、また、ニッケル層の厚みを大幅に薄くすることが容易であることから、簡単な構成で安価に大容量化と低ＥＳＲ化を同時に実現することができるという効果が得られるものである。 Furthermore, the nickel layer is bonded to the roughened layer because a reaction between nickel and aluminum which is a valve action metal foil occurs in part due to heat generated when the nickel layer is formed by vapor deposition. It also has the effect of increasing strength, and since it is easy to significantly reduce the thickness of the nickel layer, it is possible to simultaneously realize large capacity and low ESR at a low cost with a simple configuration. Is obtained.

（実施の形態１）
以下、実施の形態１を用いて、本発明の特に請求項１〜５、７、８に記載の発明について説明する。 (Embodiment 1)
Hereinafter, with reference to the first embodiment, the inventions according to the first to fifth, seventh and eighth aspects of the present invention will be described.

図１（ａ）、（ｂ）は本発明の実施の形態１によるコンデンサ用電極箔の構成を示した断面図と片面の表面を拡大した断面図であり、図１（ａ）において、１はエッチング処理することにより表面に粗面化層が形成された弁作用金属であるアルミニウム箔からなる基材、２は上記粗面化層の表面に形成されたニッケルとニッケル酸化物からなるニッケル層であり、このニッケル層２は粗面化層の細孔内部までは形成されないものである。 1A and 1B are a cross-sectional view showing a configuration of a capacitor electrode foil according to Embodiment 1 of the present invention and a cross-sectional view in which the surface of one surface is enlarged. In FIG. A base material made of aluminum foil, which is a valve metal having a roughened layer formed on the surface by etching, 2 is a nickel layer made of nickel and nickel oxide formed on the surface of the roughened layer. The nickel layer 2 is not formed up to the inside of the pores of the roughened layer.

上記コンデンサ用電極箔の詳細な構造を図１（ｂ）を用いて説明すると、上記アルミニウム箔からなる基材１の表面にはアルミニウム１ａとアルミニウム酸化物（Ａｌ−Ｏ）からなる自然酸化皮膜層３が形成されており、上記ニッケルとニッケル酸化物（Ｎｉ−Ｏ）からなるニッケル層２は、ニッケルからなる層２ａとニッケル酸化物（Ｎｉ−Ｏ）からなる酸化皮膜層４が形成されている。 The detailed structure of the capacitor electrode foil will be described with reference to FIG. 1B. A natural oxide film layer made of aluminum 1a and aluminum oxide (Al-O) is formed on the surface of the substrate 1 made of the aluminum foil. 3, and the nickel layer 2 made of nickel and nickel oxide (Ni—O) is formed with a layer 2 a made of nickel and an oxide film layer 4 made of nickel oxide (Ni—O). .

更に、上記アルミニウム１ａとアルミニウム酸化物（Ａｌ−Ｏ）からなる自然酸化皮膜層３とニッケルからなる層２ａの間には、ニッケル、アルミニウム、酸素（Ｎｉ−Ａｌ−Ｏ）からなる拡散層５が少なくとも一部に形成されている。 Further, a diffusion layer 5 made of nickel, aluminum and oxygen (Ni—Al—O) is interposed between the natural oxide film layer 3 made of aluminum 1a and aluminum oxide (Al—O) and the layer 2a made of nickel. It is formed at least partially.

このように構成されたコンデンサ用電極箔は、厚みが５０μｍの高純度アルミニウム箔を基材１として用い、この基材１をエッチング処理することによって表面に粗面化層を形成した後、この粗面化層の表面に真空雰囲気中で酸素濃度を調整してニッケルの微粒子を蒸着させることにより、ニッケルからなる層２ａとニッケル酸化物（Ｎｉ−Ｏ）からなる酸化皮膜層４からなるニッケル層２（片面の厚みが０．１μｍ）を形成するようにしたもので、ニッケル酸化物（Ｎｉ−Ｏ）からなる酸化皮膜層４は少なくともニッケルからなる層２ａの外表面に形成され、ニッケル酸化物（Ｎｉ−Ｏ）からなる酸化皮膜層４の厚さは、ニッケル層２の厚さの約１／１０である。 The electrode foil for capacitors thus configured uses a high-purity aluminum foil having a thickness of 50 μm as the base material 1 and forms a roughened layer on the surface by etching the base material 1. The nickel layer 2 comprising the nickel layer 2a and the oxide film layer 4 comprising nickel oxide (Ni-O) is prepared by depositing nickel fine particles by adjusting the oxygen concentration in a vacuum atmosphere on the surface of the surface layer. The oxide film layer 4 made of nickel oxide (Ni-O) is formed on the outer surface of at least the layer 2a made of nickel, and the nickel oxide ( The thickness of the oxide film layer 4 made of Ni—O) is about 1/10 of the thickness of the nickel layer 2.

上記ニッケル層２の形成は、上記蒸着法以外に、スパッタ法、ＣＶＤ法等のドライプロセス法によって形成すれば同様の効果を得ることが可能なものであり、更に、上記基材１を薄くすれば小型化を図ることができ、逆に厚くすればＥＳＲを低減することができるものである。 The nickel layer 2 can be formed by a dry process method such as a sputtering method or a CVD method in addition to the vapor deposition method, and the same effect can be obtained. If the thickness is increased, ESR can be reduced.

このように構成された本実施の形態によるコンデンサ用電極箔は、上記ニッケル層２に含まれるニッケル酸化物（Ｎｉ−Ｏ）が半導体であるために導電性を有し、このためにＥＳＲの低減に大きく貢献するばかりでなく、ニッケル層２の表面に存在するニッケル酸化物（Ｎｉ−Ｏ）からなる酸化皮膜層４により、防食性の向上と、この電極箔を陰極箔として用い、導電性高分子を固体電解質とする固体電解コンデンサを作製した際に、固体電解質との結着強度の向上が図れるという格別の効果を奏するものである。 The capacitor electrode foil according to the present embodiment configured as described above has conductivity because the nickel oxide (Ni-O) contained in the nickel layer 2 is a semiconductor, and thus reduces ESR. The oxide film layer 4 made of nickel oxide (Ni-O) present on the surface of the nickel layer 2 improves the anticorrosion property and uses the electrode foil as a cathode foil, thereby increasing the conductivity. When a solid electrolytic capacitor having a molecule as a solid electrolyte is produced, the effect of improving the binding strength with the solid electrolyte is achieved.

更に、上記蒸着によるニッケル層２は、蒸着によるニッケル層２の形成時に発生する熱によってアルミニウム酸化物（Ａｌ−Ｏ）からなる自然酸化皮膜層３とニッケルからなる層２ａの間にアルミニウムとニッケル及び酸素の拡散層５が生成されるために、ニッケル層２と基材１との結着強度が高まるという効果も有し、ニッケル層２の厚みを大幅に薄くすることが容易であることから、簡単な構成で安価に大容量化と低ＥＳＲ化を同時に実現することができるという格別の効果も奏するものである。 Furthermore, the nickel layer 2 formed by vapor deposition is formed of aluminum, nickel, and nickel between the natural oxide film layer 3 made of aluminum oxide (Al-O) and the layer 2a made of nickel by heat generated when the nickel layer 2 is formed by vapor deposition. Since the oxygen diffusion layer 5 is generated, it has an effect of increasing the binding strength between the nickel layer 2 and the base material 1, and it is easy to significantly reduce the thickness of the nickel layer 2. A special effect is also achieved in that a large capacity and low ESR can be realized simultaneously with a simple configuration at low cost.

なお、本実施の形態においては、上記ニッケル層２の厚みは０．１μｍ／片面で形成したものであるが、更に薄くすることは技術的に何ら問題なく可能であり、その効果も十分に得ることができる。また、逆に厚くしても、より大きな効果が得られるものではなく、コスト的に高くなるばかりであることから、ニッケル層２の厚みは０．５μｍ／片面、更に好ましくは０．１μｍ／片面もあれば十分であると言える。 In the present embodiment, the nickel layer 2 is formed with a thickness of 0.1 μm / single side. However, it is possible to make the thickness further thinner without any technical problem, and the effect is sufficiently obtained. be able to. On the other hand, even if the thickness is increased, a greater effect is not obtained and only the cost is increased. Therefore, the thickness of the nickel layer 2 is 0.5 μm / single side, more preferably 0.1 μm / single side. It can be said that there is enough.

そして、このように構成された本実施の形態によるコンデンサ用電極箔を陰極箔として用い、導電性高分子を固体電解質とする固体電解コンデンサを作製して容量と等価直列抵抗を測定した結果を比較例としての従来品（エッチング処理したアルミニウム箔を陰極箔として用い、ニッケル層は形成しない）と比較して（表１）に示す。 Then, using the capacitor electrode foil according to the present embodiment configured as described above as a cathode foil, a solid electrolytic capacitor having a conductive polymer as a solid electrolyte was manufactured, and the results of measuring the capacitance and equivalent series resistance were compared. Table 1 shows a comparison with a conventional product as an example (etched aluminum foil is used as a cathode foil and a nickel layer is not formed).

（表１）から明らかなように、本実施の形態によるコンデンサ用電極箔は、基材１の表面に形成された粗面化層の表面にニッケルとニッケル酸化物からなるニッケル層２が形成された構成により、このコンデンサ用電極箔を陰極箔として用い、導電性高分子を固体電解質とする固体電解コンデンサを作製した場合に、陰極箔の静電容量が消滅して発現しなくなり、陽極箔のみが容量として発現するようになるため、容量の大幅な拡大とＥＳＲの大幅な低減を同時に実現することが可能になるという格別の効果を奏するものである。 As is clear from Table 1, the capacitor electrode foil according to the present embodiment has the nickel layer 2 made of nickel and nickel oxide formed on the surface of the roughened layer formed on the surface of the substrate 1. By using this electrode foil for a capacitor as a cathode foil, when producing a solid electrolytic capacitor using a conductive polymer as a solid electrolyte, the capacitance of the cathode foil disappears and does not appear, only the anode foil As a result, a significant increase in capacity and a significant reduction in ESR can be realized at the same time.

（実施の形態２）
以下、実施の形態２を用いて、本発明の特に請求項６に記載の発明について説明する。 (Embodiment 2)
The second aspect of the present invention will be described below with reference to the second embodiment.

本実施の形態２は、上記実施の形態１で図１を用いて説明したコンデンサ用電極箔の粗面化層の表面に設けたニッケル層の構成が一部異なるようにしたものであり、これ以外の構成は実施の形態１と同様であるために同一部分には同一の符号を付与してその詳細な説明は省略し、異なる部分についてのみ以下に説明する。 In the second embodiment, the configuration of the nickel layer provided on the surface of the roughened layer of the capacitor electrode foil described in the first embodiment with reference to FIG. 1 is partially different. Since the configuration other than that is the same as that of the first embodiment, the same portions are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted, and only different portions will be described below.

本実施の形態２では、基材１の表面に形成するニッケルとニッケル酸化物からなるニッケル層２を基材１の片面の粗面化層のみに形成したものであり、このように構成された本実施の形態２によるコンデンサ用電極箔を陰極箔として用い、導電性高分子を固体電解質とした固体電解コンデンサを作製して容量と等価直列抵抗を測定した結果を比較例としての従来品（エッチング処理したアルミニウム箔を陰極箔として用い、ニッケル層は形成しない）と比較して上記（表１）に併記して示す。 In the second embodiment, the nickel layer 2 made of nickel and nickel oxide formed on the surface of the base material 1 is formed only on the roughened layer on one side of the base material 1, and thus configured. A capacitor electrode foil according to the second embodiment was used as a cathode foil, and a solid electrolytic capacitor using a conductive polymer as a solid electrolyte was manufactured. The results of measuring the capacitance and equivalent series resistance were compared with the conventional product (etching) The results are shown in the above (Table 1) in comparison with (using the treated aluminum foil as the cathode foil and not forming the nickel layer).

（表１）から明らかなように、本実施の形態２によるコンデンサ用電極箔を陰極箔として用いた固体電解コンデンサは、従来品と比較して容量の大幅な拡大とＥＳＲの低減を図って優れた性能を発揮することが分かり、これらは全て上記実施の形態１と同様の作用効果に加え、ニッケル層２を基材１の片面の表面のみに形成すれば、ニッケル層２を形成しない側の表面に形成されたアルミニウムとアルミニウム酸化物からなる自然酸化皮膜層３の静電容量も実質的に消滅して発現しなくなるためである。 As is clear from Table 1, the solid electrolytic capacitor using the capacitor electrode foil according to the second embodiment as a cathode foil is superior in terms of greatly expanding the capacity and reducing the ESR compared to the conventional product. In addition to the same functions and effects as those of the first embodiment, if the nickel layer 2 is formed only on the surface of one side of the substrate 1, the nickel layer 2 is not formed. This is because the capacitance of the natural oxide film layer 3 made of aluminum and aluminum oxide formed on the surface also substantially disappears and does not appear.

但し、ニッケル層２の形成を基材１の片面の表面のみとしたことにより、上記実施の形態１と比較するとＥＳＲが増大し、従来品と近い値になっていることから、ニッケル層２の形成は少なくとも片面の表面上に形成する必要があると言える。 However, since the formation of the nickel layer 2 is made only on the surface of one side of the substrate 1, the ESR increases as compared with the first embodiment, and is close to that of the conventional product. It can be said that the formation needs to be formed on at least one surface.

本発明によるコンデンサ用電極箔は、大容量化と低ＥＳＲ化を同時に実現することができるという効果を有し、あらゆる分野のコンデンサ用として有用である。 The capacitor electrode foil according to the present invention has an effect that a large capacity and a low ESR can be realized at the same time, and is useful for capacitors in various fields.

（ａ）本発明の実施の形態１によるコンデンサ用電極箔の構成を示した断面図、（ｂ）同片面の表面を拡大した断面図(A) Sectional drawing which showed the structure of the electrode foil for capacitors by Embodiment 1 of this invention, (b) Sectional drawing which expanded the surface of the single side | surface

符号の説明Explanation of symbols

１基材
１ａアルミニウム
２ニッケル層
２ａニッケルからなる層
３アルミニウム酸化物からなる自然酸化皮膜層
４ニッケル酸化物からなる酸化皮膜層
５ニッケル、アルミニウム、酸素の拡散層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base material 1a Aluminum 2 Nickel layer 2a Layer made of nickel 3 Natural oxide film layer made of aluminum oxide 4 Oxide film layer made of nickel oxide 5 Diffusion layer of nickel, aluminum and oxygen

Claims

表面を粗面化して粗面化層が形成された弁作用金属からなる基材と、上記粗面化層の表面に形成されたニッケルとニッケル酸化物からなるニッケル層を有したコンデンサ用電極箔。 Electrode foil for capacitors having a base material made of a valve metal having a roughened surface and a roughened layer, and a nickel layer made of nickel and nickel oxide formed on the surface of the roughened layer .

ニッケル層が、ニッケルからなる層とニッケル酸化物からなる酸化皮膜層とからなる請求項１に記載のコンデンサ用電極箔。 The electrode foil for capacitors according to claim 1, wherein the nickel layer comprises a layer made of nickel and an oxide film layer made of nickel oxide.

ニッケル酸化物からなる酸化皮膜層が、少なくともニッケルからなる層の外表面に形成された請求項２に記載のコンデンサ用電極箔。 The electrode foil for capacitors according to claim 2, wherein an oxide film layer made of nickel oxide is formed on at least the outer surface of the layer made of nickel.

弁作用金属箔とニッケル層の間に、アルミニウムとニッケル及び酸素の拡散層が形成された請求項１に記載のコンデンサ用電極箔。 The electrode foil for capacitors according to claim 1, wherein a diffusion layer of aluminum, nickel and oxygen is formed between the valve action metal foil and the nickel layer.

粗面化層の表面に形成されたニッケルとニッケル酸化物からなるニッケル層の厚みが、片面当たり０．５μｍ以下である請求項１に記載のコンデンサ用電極箔。 2. The electrode foil for a capacitor according to claim 1, wherein the thickness of the nickel layer made of nickel and nickel oxide formed on the surface of the roughened layer is 0.5 [mu] m or less per side.

粗面化層の表面に形成されたニッケルとニッケル酸化物からなるニッケル層が、基材の少なくとも片面の粗面化層の少なくとも細孔を除く表面部に形成された請求項１に記載のコンデンサ用電極箔。 2. The capacitor according to claim 1, wherein the nickel layer made of nickel and nickel oxide formed on the surface of the roughened layer is formed on a surface portion excluding at least pores of the roughened layer on at least one side of the substrate. Electrode foil.

粗面化層の表面に形成されたニッケルとニッケル酸化物からなるニッケル層が、蒸着により形成されたものである請求項１に記載のコンデンサ用電極箔。 2. The electrode foil for a capacitor according to claim 1, wherein the nickel layer made of nickel and nickel oxide formed on the surface of the roughened layer is formed by vapor deposition.

弁作用金属からなる基材として、アルミニウム箔を用いた請求項１に記載のコンデンサ用電極箔。 The capacitor electrode foil according to claim 1, wherein an aluminum foil is used as a base material made of a valve metal.