JP2009042737A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009042737A5 JP2009042737A5 JP2008106278A JP2008106278A JP2009042737A5 JP 2009042737 A5 JP2009042737 A5 JP 2009042737A5 JP 2008106278 A JP2008106278 A JP 2008106278A JP 2008106278 A JP2008106278 A JP 2008106278A JP 2009042737 A5 JP2009042737 A5 JP 2009042737A5
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008106278A JP2009042737A (ja) | 2007-07-13 | 2008-04-16 | 揺動体装置、及びそれを用いた光偏向器 |
| PCT/JP2008/062971 WO2009011409A1 (en) | 2007-07-13 | 2008-07-11 | Oscillator device and optical deflector using the same |
| US12/600,763 US8174746B2 (en) | 2007-07-13 | 2008-07-11 | Oscillator device and optical deflector using the same |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007183822 | 2007-07-13 | ||
| JP2008106278A JP2009042737A (ja) | 2007-07-13 | 2008-04-16 | 揺動体装置、及びそれを用いた光偏向器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009042737A JP2009042737A (ja) | 2009-02-26 |
| JP2009042737A5 true JP2009042737A5 (ja) | 2011-05-26 |
Family
ID=40443480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008106278A Withdrawn JP2009042737A (ja) | 2007-07-13 | 2008-04-16 | 揺動体装置、及びそれを用いた光偏向器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8174746B2 (ja) |
| JP (1) | JP2009042737A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009163198A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-07-23 | Canon Inc | 揺動体装置の製造方法、光偏向器、画像形成装置 |
| JP5853929B2 (ja) * | 2012-10-23 | 2016-02-09 | 株式会社デンソー | 光走査装置および警告表示システム |
| JP6062896B2 (ja) * | 2014-08-28 | 2017-01-18 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 光走査装置 |
| JP2019174494A (ja) * | 2016-08-23 | 2019-10-10 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 光偏向器及び該光偏向器を備えた画像形成装置 |
| US11111133B1 (en) * | 2017-01-30 | 2021-09-07 | Mirrorcle Technologies, Inc. | MEMS actuators with improved performance and cooling |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10293134A (ja) | 1997-02-19 | 1998-11-04 | Canon Inc | 光検出または照射用のプローブ、及び該プローブを備えた近視野光学顕微鏡・記録再生装置・露光装置、並びに該プローブの製造方法 |
| JPH11166935A (ja) | 1997-09-25 | 1999-06-22 | Canon Inc | 光検出または照射用の光プローブと該プローブを備えた近視野光学顕微鏡、及該光プローブの製造方法とその製造に用いる基板 |
| US6477132B1 (en) | 1998-08-19 | 2002-11-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Probe and information recording/reproduction apparatus using the same |
| JP3554233B2 (ja) | 1998-10-28 | 2004-08-18 | キヤノン株式会社 | 光プローブの製造方法 |
| US6436265B1 (en) | 1999-03-29 | 2002-08-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Microstructure array, and apparatus and method for forming the microstructure array, and a mold for fabricating a microstructure array |
| JP3513448B2 (ja) | 1999-11-11 | 2004-03-31 | キヤノン株式会社 | 光プローブ |
| US6574026B2 (en) | 2000-12-07 | 2003-06-03 | Agere Systems Inc. | Magnetically-packaged optical MEMs device |
| US6711317B2 (en) * | 2001-01-25 | 2004-03-23 | Lucent Technologies Inc. | Resiliently packaged MEMs device and method for making same |
| JP4461654B2 (ja) | 2001-08-20 | 2010-05-12 | ブラザー工業株式会社 | 光走査装置、光走査装置に用いられる振動体及び光走査装置を備えた画像形成装置 |
| JP3862623B2 (ja) | 2002-07-05 | 2006-12-27 | キヤノン株式会社 | 光偏向器及びその製造方法 |
| JP4200384B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2008-12-24 | セイコーエプソン株式会社 | 印刷制御装置、印刷制御方法、印刷制御プログラム、印刷制御プログラムを記録した媒体、画像処理装置、画像処理コンピュータ |
| JP2005173411A (ja) | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Canon Inc | 光偏向器 |
| JP4027359B2 (ja) | 2003-12-25 | 2007-12-26 | キヤノン株式会社 | マイクロ揺動体、光偏向器、画像形成装置 |
| US7239437B2 (en) | 2004-07-13 | 2007-07-03 | Texas Instruments Incorporated | Reduction of open loop jitter and control loop stabilization of a torsional hinged device by structural optimization |
| US7817318B2 (en) | 2005-12-09 | 2010-10-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Oscillating system and optical deflector |
| JP2007316443A (ja) | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Canon Inc | 光偏向器、及びそれを用いた光学機器 |
| JP5170983B2 (ja) | 2006-05-30 | 2013-03-27 | キヤノン株式会社 | 光偏向器、及びそれを用いた光学機器 |
| JP4881073B2 (ja) | 2006-05-30 | 2012-02-22 | キヤノン株式会社 | 光偏向器、及びそれを用いた光学機器 |
| JP2007322466A (ja) | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Canon Inc | 光偏向器、及びそれを用いた光学機器 |
| JP5432441B2 (ja) | 2007-07-13 | 2014-03-05 | キヤノン株式会社 | 揺動体装置、及びそれを用いた光偏向器 |
-
2008
- 2008-04-16 JP JP2008106278A patent/JP2009042737A/ja not_active Withdrawn
- 2008-07-11 US US12/600,763 patent/US8174746B2/en not_active Expired - Fee Related