JP2009039894A - 液体噴射ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】 ノズルプレートを保護するとともに静電気を除電することで、耐久性を向上させた液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口２６から液滴を吐出させる記録ヘッド３であって、圧力変動を与える圧電振動子２９を備えた振動子ユニット２２と、複数のノズル開口２６を開口したノズルプレート２５及びノズル開口２６に連通する圧力発生室３５を形成した流路形成基板２４からなる流路ユニット１７と、振動子ユニット２２及び流路ユニット１７を保持するヘッドケース１６とから構成され、ヘッドケース１６の側面に、流路ユニット１７のノズル開口２６先端側に向かって延在して、先端部２８が少なくともノズルプレート２５の表面３８に対して同一乃至突出した状態でサイド金具２７を固定する。
【選択図】 図３

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッドに係り、特に、ノズルに連通する圧力発生室に圧力変動を与えて、圧力発生室内の液滴をノズルから吐出させる液体噴射ヘッドに関する。

圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口（ノズルの一種）から液滴として吐出（噴射）させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンタという）などの画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）、液晶ディスプレーなどのカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro
Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）などの電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドなどがある。

例えば、上記の記録ヘッドでは、リザーバから圧力発生室を経てノズルに至る一連の液体流路が形成された流路ユニットや圧力発生室の容積を変動可能な圧力発生素子を有するアクチュエータユニットなどを樹脂製のヘッドケースに取り付けて構成されている。上記流路ユニットには、ノズルを開設した金属製のノズルプレート（ノズル形成部材の一種）が含まれている。

このような記録ヘッドにおけるノズルプレートは、ノズルプレートのノズル開口を露出可能な露出窓部が開設された金属製のヘッドカバーによって保護された状態でヘッドケースに固定されるようになっている。このヘッドカバーは、ヘッドユニットやノズルプレートを保護し、各部の剥離を防止する機能を果たすものである。また、このヘッドカバーは、接地電位に設定されており、ノズルプレートに接触して導通することで、記録紙などから発生した静電気をノズルプレートから除電するようになっている。これにより、例えば、静電気がノズルプレートを通じて伝達することによる駆動回路などの損傷（静電破壊）や、この静電気がノイズとして駆動信号に重畳することによる誤作動などの不具合を防止するようになっている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００４−７４６７６号公報

このような構成を採る記録ヘッドは、ワイパーによってノズルプレートの表面に付着した液体などを払拭するためのクリーニング作業の際に、ワイパーがヘッドカバーとノズルプレートとの高さ位置が異なることにより生じる段差を摺動することによって、ワイパーの先端が磨耗や破損する虞があった。また、ノズルプレートの縁をヘッドカバーが覆ってしまうので、ノズルプレートが露出する面、即ちノズルプレートにおけるノズル開口を開設する面積が狭くなってしまう虞があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノズルプレートを保護するとともに静電気を除電することで、耐久性を向上させた液体噴射ヘッドを提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドは、ノズルから液滴を吐出させる液体噴射ヘッドであって、
圧力変動を与える圧力発生素子を備えたアクチュエータユニットと、
複数のノズルを開口したノズル形成部材及び前記ノズルに連通する圧力発生室を形成した流路形成基板からなる流路ユニットと、
前記アクチュエータユニット及び前記流路ユニットを保持するヘッドケースとから構成され、
前記ヘッドケースの側面に、前記流路ユニットのノズル先端側に向かって延在して、先端部が少なくとも前記ノズル形成部材の先端側表面に対して同一乃至突出した状態で金属を固定したことを特徴とする。

上記構成によれば、ヘッドケースの側面に、流路ユニットのノズル先端側に向かって延在して、先端部が少なくともノズル形成部材の先端側表面に対して同一乃至突出した状態で金属を固定したので、記録紙などの吐出対象物（噴射対象物）が帯電した場合には、この吐出対象物からの距離が最も近い金具へ放電することとなる。このため、金属を接地電位に設定することで、静電気による駆動回路の損傷や、この静電気がノイズとして駆動信号に重畳することによる誤作動などの不具合を防止できる。また、金具が流路ユニットの側面を覆うこととなるので、ノズル形成部材の表面に付着した液体などを払拭するためのワイパーブレードによるワイピング（払拭）作業の際に、流路ユニットの側面を保護すると共に、ノズル形成部材が剥がれることを防止することができる。さらに、金属によってヘッドケースの剛性を上げることができ、その結果、クロストークを抑制することができると共に、吸湿による膨潤も抑制することができる。そのため、液体噴射ヘッドの信頼性を向上することができる。

上記構成において、前記ノズル形成部材及び前記金属が、電気的に接続されていることが望ましい。

上記構成によれば、ノズル形成部材及び金属が、電気的に接続されているので、静電気がノズル形成部材に落ちたとしても、静電気を金属側に導通させると共に、金属を接地させることで静電気を確実に除電することができる。

上記構成において、前記金属は、複数のノズルを列設したノズル列方向に沿ったケース側面に固定されていることが望ましい。

上記構成によれば、金属は、複数のノズルを列設したノズル列方向に沿ったケース側面に固定されているので、ノズル形成部材の表面に付着した液体などを払拭するためのワイパーブレードなどによるワイピング（払拭）作業の際に、ワイパーブレードの相対的な摺動に対して流路形成基板やノズル形成部材の側面を保護し、各部の剥離を防止すると同時に、ノズル形成部材のノズル列方向に交差した両縁は露出させることができるので、ノズルの開口領域の自由度が拡がる。

上記構成において、前記金属は、複数のノズルを列設したノズル列方向と直交した方向のケース側面に固定されていることが望ましい。

上記構成によれば、金属は、複数のノズルを列設したノズル列方向と直交した方向のケース側面に固定されているので、例えばヘッドケースがノズル列方向に長い矩形状である場合などでは、ノズル列方向のヘッドケース側面に金属を配置する場合よりも小さい幅の金属で済む。そのため、金属を小型化することができ、そして液体噴射ヘッドを軽量化できるので、高速で往復走査させる場合に慣性力が小さく有利である。

上記構成において、前記金属は、ワイピング方向と交差するケース側面に固定されていることが望ましい。
なお、ワイピング方向とは、ワイパーブレードなどが相対的に摺動することで、ノズル形成部材の表面を払拭する方向である。

上記構成によれば、金属は、ワイピング方向と交差するケース側面に固定されているので、ワイピング（払拭）の際のワイパーブレードの相対的な摺動に対して流路形成基板やノズル形成部材の側面を保護し、各部の剥離を防止できる。

以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面などを参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、本実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」という）を例に挙げて説明する。

図１はインクジェット式記録装置の斜視図である。まず、記録ヘッドを搭載するインクジェット式記録装置（以下、プリンタという）の概略構成について、図１を参照して説明する。例示したプリンタ１は、記録紙などの記録媒体（吐出対象物）２の表面へ液体状のインクを吐出して画像などの記録を行う装置である。このプリンタ１は、インクを吐出（噴射）する記録ヘッド３（本発明における液体噴射ヘッドの一種に相当）と、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４と、キャリッジ４を主走査方向（図１に矢印Ｘで示す）に移動させるキャリッジ移動機構５と、記録媒体２を副走査方向（主走査方向に直交する方向。図１に矢印Ｙで示す）に移送するプラテンローラ６などを備えている。ここで、上記のインクは、本発明の液体の一種であり、インクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。

上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモータなどのパルスモータ９により駆動される。従って、パルスモータ９が作動すると、キャリッジ４は、プリンタ１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向Ｘ（記録紙２の幅方向）に往復移動する。

プリンタ１の非記録領域であるホームポジションには、キャップ部材１１と、キャップ部材１１に隣接したワイパーブレード１２が配設されている。キャップ部材１１は、トレイ状に形成され、記録ヘッド３の後述するノズルプレート２５（本発明におけるノズル形成部材の一種に相当）の表面３８（本発明における先端側表面の一種に相当）に当接する。キャップ部材１１内の空間は、封止空部（図示せず）として機能し、この封止空部内に記録ヘッド３のノズル開口２６（図２参照。本発明におけるノズルの一種に相当）を臨ませた状態でノズルプレート２５の表面３８に密着可能に構成されている。このキャップ部材１１には、ポンプユニット１３が接続されており、このポンプユニット１３の作動によって封止空部内を負圧化することができる。そして、ノズルプレート２５の表面３８への密着状態でポンプユニット１３を作動し、封止空部（密閉空間）内を負圧化すると、ノズル開口２６から記録ヘッド３内のインクや気泡が吸引されてキャップ部材１１の封止空部内に排出されるようになっている。つまり、このキャッピング機構１２は、記録ヘッド３内のインクや気泡を強制的に吸引排出する動作（以下、クリーニング動作という）を行う構成になっている。

ワイパーブレード１２は、記録ヘッド３が通過する際に、後述するノズルプレート２５の表面３８を払拭（ワイピング）する。ワイパーブレード１２は、ゴムなどの弾性体から構成されており、矢印Ｙに沿って延在する。ワイパーブレード１２は、キャリッジ４の主走査方向Ｘへの移動に対して、ノズルプレート２５の表面３８に摺動することで、その表面３８に付着した廃インクなどを払拭する。このワイピング動作の詳細については後述する。

次に、記録ヘッド３の構成について説明する。ここで、図２はキャリッジ４に取り付けられる記録ヘッド３の分解斜視図であり、図３は記録ヘッド３の要部断面図である。例示した記録ヘッド３は、カートリッジ基台１５（以下、「基台」という）と、ヘッドケース１６と、流路ユニット１７と、振動子ユニット２２（本発明におけるアクチュエータユニットの一種に相当）などから概略構成されている。

基台１５は、例えば合成樹脂によって成型されており、図３に示すように、その上面にはフィルタ１８を介在させた状態でインク導入針１９が取り付けられる。そして、基台１５に取り付けられたインク導入針１９にはインクカートリッジ７が装着される。

基台１５の前述したインク導入針１９が取り付けられる上面とは反対側となる他面には、図３に示すように、回路基板２０が取り付けられる。この回路基板２０は、例えば後述する圧電振動子２９への駆動信号の供給を制御するためのドライブ回路や、プリンタ本体側との接続のためのコネクタ、インク供給用の貫通孔などを備えている。そして、この回路基板２０は、パッキンとして機能する継ぎ手２１を介して基台１５に取り付けられている。

ヘッドケース１６は、基台１５の下に固定され、後述する圧電振動子２９を有する振動子ユニット２２を収容するためのケーシングである。このため、ヘッドケース１６には、振動子ユニット２２を収容可能な収容空部３２が形成されている。そして、振動子ユニット２２は、この収容空部３２内に挿入され、接着などによって固定されている。そして、ヘッドケース１６の基台１５の取付面とは反対側の先端面には、流路ユニット１７が接着剤などにより固定されている。

流路ユニット１７は、弾性板２３、流路形成基板２４、及びノズルプレート２５を積層した状態で接着剤などで接合して一体化することにより作製されている。

ノズルプレート２５は、本発明におけるノズル形成部材であり、例えばステンレス製の薄板から作製され、プリンタ１のドット形成密度に対応したピッチで微細なノズル開口２６が列状に形成されている(図２に、このノズル列方向を矢印Ｋで示す)。なお、矢印Ｋは、前述した副走査方向を示す矢印Ｙと互いに平行となっている。

上記の振動子ユニット２２は、図２に示すように、圧電振動子群３０と、各圧電振動子群３０が接合される固定板３１と、圧電振動子群３０に回路基板２０からの駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル（ＦＣ）などから構成される。本実施形態の圧電振動子群３０は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動子２９（本発明における圧力発生素子の一種に相当）を備える。各圧電振動子２９は、固定端部が固定板３１上に接合され、自由端部が固定板３１の先端面よりも外側に突出している。即ち、各圧電振動子２９は、所謂片持ち梁の状態で固定板３１上に取り付けられている。また、各圧電振動子２９を支持する固定板３１は、例えば厚さ１ｍｍ程度のステンレス鋼によって構成されている。なお、圧力発生手段としては、上記圧電振動子以外にも、静電アクチュエータ、磁歪素子、発熱素子などを用いることができる。

ヘッドケース１６の内部には、上記の振動子ユニット２２を収納可能な収納空部３２を、ヘッドケース１６の高さ方向を貫通させた状態で形成している。そして、固定板３１の背面を、収納空部３２を区画するケース内壁面に接着することで、振動子ユニット２２は収納空部３２内に収納・固定されている。

流路形成基板２４は、共通インク室３３となる空部、インク供給口３４となる溝部、及び、圧力発生室３５となる空部を隔壁で区画した状態で各ノズル開口２６に対応させて複数形成した板状の部材である。この流路形成基板２４は、例えば、シリコンウェハーをエッチング処理することによって作製される。上記の圧力発生室３５は、ノズル開口２６の前述した矢印Ｋに対して直交する方向に細長い室として形成されている。また、共通インク室３３は、ヘッドケース１６の高さ方向を貫通して形成されたインク連通路３７（本発明におけるヘッド流路の一種に相当）を介してインク導入針１９のインク導入路１９´と連通し、インクカートリッジ７に貯留されたインクが導入される室である。そして、この共通インク室３３に導入されたインクは、インク供給口３４を通じて各圧力発生室３５に供給される。

弾性板２３は、ステンレス鋼などの金属製の支持板上に弾性フィルムをラミネート加工した二重構造の複合板材である。この弾性板２３の圧力発生室３５に対応する部分には、圧電振動子２９の自由端部の先端を接合するための島部３６が形成されており、この部分がダイヤフラム部として機能する。また、弾性板２３は、共通インク室３３となる空部の一方の開口面を封止し、コンプライアンス部としても機能する。このコンプライアンス部として機能する部分については弾性フィルムだけにしている。

この記録ヘッド３は、圧電振動子２９を素子長手方向に伸縮させると、島部３６が圧力発生室３５に近接する方向或いは離隔する方向に移動する。これにより、圧力発生室３５の容積が変化し、圧力発生室３５内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動によってノズル開口２６からインク滴（液滴の一種）が吐出される。

ヘッドケース１６の側面には、図３に示すように、さらに矩形板状のサイド金具２７（本発明における金属の一種に相当）が取り付けられる。サイド金具２７は、例えばステンレス板など金属製の板材によって作製されている。

サイド金具２７は、ヘッドケース１６の剛性を高める。そのため、サイド金具２７が固定された記録ヘッド３は、クロストークが抑制されると共に、防湿による膨潤を抑制する。

このサイド金具２７の先端部２８、即ち、ノズルプレート２５側の端部には、先端に向かって厚みが次第に薄くなるテーパー面２８´が形成されている。また、サイド金具２７は、その表面が前述したノズル列方向（矢印Ｋ）と平行となるように取り付けられている。即ち、サイド金具２７は、ヘッドケース１６の主走査方向Ｘに向いた左右の両側面それぞれに固定されている。そして、サイド金具２７は、グランドラインに接続することにより接地電位に設定されている。

サイド金具２７の先端部２８は、流路ユニット１７のノズルプレート２５の表面３８よりも間隔Ｈ（図３を参照）だけ突出している。即ち、サイド金具２７は、流路ユニット１７のノズル開口２６先端側に向かって延在しており、その先端部２８がノズルプレート２５の表面３８よりも突出した状態で固定されている。例えば、間隔Ｈは、０．１〜０．２ｍｍとなっている。

次に、サイド金具２７を備えた記録ヘッド３が、キャリッジ移動機構５によって、移動する際の動作について説明する。まず、記録紙などの記録媒体２に印字する場合には、図１に示すように、プラテンローラ６などの紙送り機構により送られた記録媒体２の表面が、記録ヘッド３のノズル開口２６先端側と相対するように位置付けられる。即ち、記録媒体２に対して、ノズルプレート２５の表面３８及びサイド金具２７の先端部２８が相対する。この際のノズルプレート２５の表面３８と記録媒体２との距離は、例えば、１．７ｍｍ程度に設定されている。つまり、サイド金具２７の先端部２８と記録媒体２との距離は、１．５ｍｍ〜１．６ｍｍとなる。

そして、キャリッジ４に取り付けられた記録ヘッド３をキャリッジ移動機構５によって、主走査方向Ｘに往復移動させながら、記録媒体２にインクを吐出すると、記録媒体２がインクによって膨潤したり、或いは紙送りで撓んだりした際に、記録媒体２が記録ヘッド３（ノズルプレート２５の表面３８及びサイド金具２７）に、近づくことがある。この時、記録媒体２が摩擦などで帯電すると、或いは帯電していると、記録媒体２の静電気は、最も近くにあるサイド金具２７に放電することとなる。

また、ワイパーブレード１２によって、ノズルプレート２５の表面３８をワイピングするワイピング動作の場合には、ワイパーブレード１２の先端が、サイド金具２７に当接した後に、ノズルプレート２５の表面３８と摺動する。こうして、ノズルプレート２５の表面３８に付着したインクなどを払拭する。つまり、ワイパーブレード１２は、流路形成基板２４やノズルプレート２５の側面とは当接せずに、ノズルプレート２５の表面３８に付着したインクなどを払拭する。

このように、本実施形態のサイド金具２７は、ヘッドケース１６の側面に、流路ユニット１７のノズル開口２６先端側に向かって延在して、先端部２８がノズルプレート２５の表面３８に対して突出した状態でサイド金具２７を固定したので、記録紙などの記録媒体２が帯電した場合には、記録媒体２との距離が近いサイド金具２７へ放電することとなる。このため、サイド金具２７を接地電位に設定することで、駆動回路などの静電破壊や、この静電気がノイズとして駆動信号に重畳することによる誤作動などの不具合を防止できる。また、サイド金具２７が流路ユニット１７の側面を覆うこととなるので、ワイパーブレード１２によるワイピング（払拭）作業などの際に、流路ユニット１７の側面を保護すると共に、ノズルプレート２５が剥がれることを防止することができる。さらに、金属によってヘッドケースの剛性を上げることができ、その結果、クロストークを抑制することができると共に、吸湿による膨潤も抑制することができる。そのため、記録ヘッド３の信頼性、耐久性を向上することができる。

また、複数のノズル開口２６を列設したノズル列方向Ｋに沿ったヘッドケース１６の側面に固定されているので、ノズルプレート２５のノズル列方向Ｋに交差した両縁は露出させることができ、ノズル開口２６の開口範囲の自由度が高まる。さらに、ワイパーブレード１２などによるワイピング（払拭）作業の際に、ワイパーブレード１２の相対的な摺動に対して流路形成基板２４やノズルプレート２５の側面を保護し、各部の剥離を防止することができる。そして、流路ユニット１７の側面に凹凸や段差がある場合には、この凹凸等にワイパーブレード１２が接触することによってワイパーブレード１２が摩耗あるいは損傷することを防止することができる。

また、サイド金具２７の先端部２８側にテーパー部２８´が形成されているので、ワイパーブレード１２によるワイピング（払拭）作業の際に、ワイパーブレード１２がサイド金具２７に引っ掛かることなくワイパーブレード１２をノズルプレート２５側に円滑に案内することができる。これにより、ワイパーブレード１２の先端が磨耗や破損することを防止できる。

先端部２８が流路ユニット１７のノズルプレート２５の表面３８よりも間隔Ｈ（図３を参照）だけ突出していたが、本発明の記録ヘッド４０のサイド金具４１は、図４に示すように、先端部２８が流路ユニット１７のノズルプレート２５の表面３８に対して同一平面状に位置した状態で固定されていても良い。即ち、本発明のサイド金具２７，４１は、先端部２８が少なくとも流路ユニット１７のノズルプレート２５の表面３８よりも後退しない位置にあれば良い。

このように、サイド金具４１は、ヘッドケース１６の側面に、流路ユニット１７のノズル開口２６先端側に向かって延在して、先端部２８がノズルプレート２５の表面３８に対して同一平面状に位置した状態で固定したので、記録紙などの吐出対象物２との擦動などの摩擦によって吐出対象物２が帯電した場合には、サイド金具２７を接地電位に設定することで、駆動回路などの損傷（静電破壊）や、この静電気がノイズとして駆動信号に重畳することによる誤作動などの不具合を防止できる。また、サイド金具２７が流路ユニット１７の側面を覆うこととなるので、ノズルプレート２５の表面３８に付着した液体などを払拭するためのワイパーブレード１２などによるクリーニング作業などの際に、流路ユニット１７の側面を保護すると共に、ノズルプレート２５が剥がれることを防止することができる。そのため、記録ヘッド３の信頼性を向上することができる。さらに、サイド金具２７の先端部２８とノズルプレート２５の表面３８との高さ方向の段差（位置ずれ）を無くすことによって、ワイパーブレード１２自体の磨耗や破損を防止することができる。そして、サイド金具２７の先端部２８がノズルプレート２５の表面３８から突出しないようにすることで、その分、ノズルプレート２５の表面３８と記録媒体２との距離を縮めることができ、その結果、ノズル開口２６から吐出されるインクの着弾精度を向上させることができる。

また、ノズルプレート２５と記録媒体２との距離（ギャップ）を小さく設定できるので、インク滴が小さくても設計通りの位置に着弾できると共に、噴霧状のミストになることを減少できる。

さらに、図４に示された本実施形態の記録ヘッド４０は、導電性の接着剤４２で、ノズルプレート２５及びサイド金具２７の間を埋めている。接着剤４２は、ノズルプレート２５及びサイド金具２７を導通する。つまり、接着剤４２で隙間充填するなどして、ノズルプレート２５及びサイド金具２７を、電気的に接続させて、両者を接地電位に設定することが望ましい。この様に構成すると、記録媒体２からの静電気がサイド金具２７とノズルプレート２５のいずれに流れても静電破壊などの不都合を確実に防止できる。

また、ノズルプレート２５の幅方向の両端を延在させることで、ノズルプレート２５とサイド金具２７とを直接接触させて、ノズルプレート２５及びサイド金具２７が、電気的に接続されていても良い。

この様に、ノズルプレート２５とサイド金具２７を直接接触させても、静電気がノズルプレート２５に落ちた場合に、静電気をサイド金具２７側に導通させて、確実に除電することができる。

また、前述した実施形態のサイド金具２７は、ノズル列方向Ｋに沿ったヘッドケース１６の側面に固定されていたが、このサイド金具２７は、ノズル列方向Ｋと直交した方向のヘッドケース１６の側面に固定されていても良い。

上記構成によれば、サイド金具２７は、ノズル列方向Ｋと直交した方向のヘッドケース１６の側面に固定されているので、ノズル列方向Ｋのヘッドケース１６側面にサイド金具２７を配置するよりも小さい幅で済む。そのため、サイド金具２７を小型化することができ、そして記録ヘッド３を軽量化できるので、高速で往復走査しても振動が少ない。

さらに、サイド金具２７は、ワイピング方向と交差するヘッドケース１６の側面に固定されていても良い。このようにサイド金具２７を固定することで、ワイピング（払拭）の際のワイパーブレード１２の相対的な摺動に対して流路形成基板２４やノズルプレート２５の側面を保護し、各部の剥離を防止できる。

以上は、液体噴射装置の一種であるプリンタ１を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレーなどのカラーフィルタを製造するディスプレー製造装置，有機ＥＬ（Electro
Luminescence）ディスプレーやＦＥＤ（面発光ディスプレー）などの電極を形成する電極製造装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置などにも適用することができる。

プリンタの構成を説明する斜視図である。 記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図である。 記録ヘッドの内部構造を説明する断面図である。 他の実施形態における記録ヘッドの内部構造を説明する断面図である。

符号の説明

３…記録ヘッド，１６…ヘッドケース，１７…流路ユニット，２２…振動子ユニット，２４…流路形成基板，２５…ノズルプレート，２６…ノズル開口，２７…サイド金具，２８…先端部，２９…圧電振動子，３５…圧力発生室，３８…表面，４０…記録ヘッド，４１…サイド金具，Ｋ…ノズル列方向

Claims (5)

1. ノズルから液滴を吐出させる液体噴射ヘッドであって、
   圧力変動を与える圧力発生素子を備えたアクチュエータユニットと、
   複数のノズルを開口したノズル形成部材及び前記ノズルに連通する圧力発生室を形成した流路形成基板からなる流路ユニットと、
   前記アクチュエータユニット及び前記流路ユニットを保持するヘッドケースとから構成され、
   前記ヘッドケースの側面に、前記流路ユニットのノズル先端側に向かって延在して、先端部が少なくとも前記ノズル形成部材の先端側表面に対して同一乃至突出した状態で金属を固定したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記ノズル形成部材及び前記金属が、電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記金属は、複数のノズルを列設したノズル列方向に沿ったケース側面に固定されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記金属は、複数のノズルを列設したノズル列方向と直交した方向のケース側面に固定されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記金属は、ワイピング方向と交差するケース側面に固定されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。

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