JP2009024933A - 熱拡散装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】寸法差を有する第1及び第2の金属薄板22及び23が交互に積層され、上下の封止用金属薄板25及び26と共に内部に密閉空間45が形成されるように拡散接合され、密閉空間45の壁面に第1及び第2の金属薄板22、23の寸法差により急峻な壁面を有する溝44が形成され、初期状態の減圧下で溝44内に液体が封止されて成ることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明に係る熱拡散装置の製造方法によれば、急峻な壁面を有する溝を精度よく形成することがでるので、熱拡散を良好にした熱拡散装置を製造することができる。
Claims (10)
- 寸法差を有する第1及び第2の金属薄板が交互に積層され、上下の封止用金属薄板と共に内部に密閉空間が形成されるように拡散接合され、
前記密閉空間の壁面に、前記第1及び第2の金属薄板の寸法差により急峻な壁面を有する溝が形成され、
初期状態の減圧下で前記溝内に液体が封止されて成る
ことを特徴とする熱拡散装置。 - 前記密閉空間が長方形に形成され、
前記溝が、前記密閉空間の全周囲にわたって連通するように形成され、
前記密閉空間の長手方向の一端部側が蒸発部となり、他端部側が排熱部として構成される
ことを特徴とする請求項1記載の熱拡散装置。 - 前記長方形の密閉空間が複数個、並列して形成されて成る
ことを特徴とする請求項2記載の熱拡散装置。 - 前記第1及び第2の金属薄板が、それぞれ中央部から周辺部に連絡する複数の放射部を有し、
前記第1及び第2の金属薄板の放射部パターンが異なり、
一方の前記金属薄板を挟んで積層された他方の前記金属板の放射部間で還流液の流路が形成され、
前記中央部が蒸発部となり、前記周辺部が排熱部として構成される
ことを特徴とする請求項1記載の熱拡散装置。 - 前記第1及び第2の金属薄板及び前記封止用金属薄板が、同材質で形成されて成る
ことを特徴とする請求項1記載の熱拡散装置。 - 寸法差を有する第1及び第2の金属薄板を交互に積層し、上下に封止用金属薄板を配置する工程と、
前記第1、第2の金属薄板と前記封止用金属薄板とを拡散接合して一体の積層体を形成し、該積層体の内部に密閉空間を形成すると共に、前記密閉空間の壁面に、前記第1及び第2の金属薄板の寸法差により急峻な壁面を有する溝を形成する工程と、
前記密閉空間内を減圧した初期状態で前記溝内に液体を封入する工程を有する
ことを特徴とする熱拡散装置の製造方法。 - 前記第1及び第2の金属薄膜として、互いに長方形の開口を有し、且つ前記開口の周辺部の幅に寸法差を有する薄板を用い、
上下の封止用金属薄板は、前記開口を塞ぐ面積を有する薄板を用い、
前記開口による密閉空間の全周囲にわたって連通する前記溝を形成する
ことを特徴とする請求項6記載の熱拡散装置の製造方法。 - 前記第1及び第2の金属薄板として、互いに長方形の開口を複数個、並列して有する薄板を用いる
ことを特徴とする請求項7記載の熱拡散装置の製造方法。 - 前記第1及び第2の金属薄板として、中央部から周辺部に連絡する複数の放射部が形成され、該放射部間に開口を有し、互いに前記放射部のパターンを異にした薄板を用い、
前記開口により密閉空間を形成し、
前記中央部と前記周辺部に前記溝を形成する
ことを特徴とする請求項6記載の熱拡散装置の製造方法。 - 前記第1及び第2の金属薄板と前記封止用金属薄板を、同材質の薄板で形成する
ことを特徴とする請求項6記載の熱拡散装置。
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