JP2009016524A - 薄膜形成装置及びZnO系薄膜 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
金属元素を供給する供給源に対向して配置されている部材表面を粗面化するようにした。図1に示されるように、ウエハ25を保持する基板ホルダ11の金属元素供給源と対向する面に凹凸を形成した。このように凹凸を形成すると、金属元素が堆積した場合、平坦な面と比べて、付着性が向上し、粗面化された面からは簡単には剥がれ落ちない。
【選択図】 図1
Description
11 基板ホルダ
12 支持体
2 熱源
3 防着板
4 回転軸
5 歯車
6 歯車
7 回転軸
Claims (8)
- 金属元素又は金属元素の化合物からなる薄膜を基板上に形成する薄膜形成装置であって、前記金属元素を供給する供給源に対向して配置された部材の表面の少なくとも一部が粗面化されていることを特徴とする薄膜形成装置。
- 前記粗面化された部材は、前記基板を保持する基板ホルダであることを特徴とする請求項1記載の薄膜形成装置。
- 前記粗面化された部材は、基板ホルダを支持する支持体であることを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれか1項に記載の薄膜形成装置。
- 前記粗面化された部材は、可動部を覆う防着板であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の薄膜形成装置。
- 前記粗面化はブラスト処理を用いることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の薄膜形成装置。
- 前記金属元素は、蒸気圧が1Paになる温度が700℃以下になる元素であることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の薄膜形成装置。
- 前記金属元素はZn又はMgであることを特徴とする請求項6記載の薄膜形成装置。
- 請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載された薄膜形成装置によって形成されたZnO系薄膜。
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- 2007-07-04 JP JP2007176065A patent/JP2009016524A/ja active Pending
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