JP2008542780A - 気体制御装置 - Google Patents

Abstract

本発明は磁場に対して透過性がある密閉周壁６によって限定され、制御されるべき気体種類がその中に存在する処理チャンバ１１などのチャンバと接続された軸状突起部５を含む気体制御装置１に関する。光放射センサ３は、チャンバの軸状突起部５の端部に配置され、光が光ファイバ４ａを介して光学分光計４に送られることを可能にする。プラズマ発生器１７、１８は、チャンバの軸状突起部５の内部空間８に制御プラズマ１６を発生させる。１つまたは複数の磁石７、７ａは、チャンバの軸状突起部５の周壁６の外側に配置され、制御プラズマ１６のイオン化粒子がセンサ３の方へ伝播されることを防ぐ磁性障壁を形成するために、センサ３に近接の磁場９を発生させ、それにより、センサ３およびチャンバが汚れることを防ぐ。

Description

本発明は、発光分光分析法を使用して、気体の種類、例えば筺体内に含まれる種類を監視するための装置に関する。

発光分光分析法により監視するためのこの種の装置は、既に知られており、その使用に際しては、分析のための気体内に存在しているプラズマによって放たれる光放射でなされ、プラズマによって放たれるその放射の光学スペクトルが測定され、次に、光スペクトルは、いずれの気体種類が存在しているかをそれから推論するために分析される。

知られている検出器の一例が、文献ＵＳ ６ ６４３ ０１４に記載されており、中に存在している気体種類を検出することが望まれる筺体内部に含まれる雰囲気と直接連通して、励起チャンバを画定する気体を通さない壁を有する。プラズマは、発電機によって電力供給される励起アンテナを使用して、電磁励起によって分岐された励起チャンバの中で生成される。代替としては、励起は、マイクロ波発振器を使用して実行可能である。光学分光計に接続された光ファイバを含む放射線センサは、プラズマが発生する領域に近接して配置されている。

この種の装置は、プラズマを形成することにより、堆積物が励起チャンバの壁上に形成されることが助長されるので、それらの装置が気体種類を監視するために使用される場合には、不利点を示す。形成されたプラズマにより、粒子が励起チャンバの壁上だけでなく、放射線センサ上にも堆積されることが助長される。これは、光学分光計への光の伝送において、進行性低下につながる。放射線センサ上に溜まる堆積物は、伝送される光のスペクトルを変える選択的フィルタを構成し、したがって、気体種類のために監視するときにはエラーを引き起こしてしまう。

放射線センサの内側面を洗浄するためには、監視装置の動作を定期的に中断することがその場合に必要である。例えば、真空エッチング処理に使用される場合には、雰囲気に筺体を開いて、酸または溶媒を使用する湿式洗浄技術でその壁を洗浄することが必要である。洗浄後、筺体は、洗浄気体および蒸気を取り出すために、２時間から３時間再びポンプで吐き出す必要があり、その場合、最終的にエッチング処理の正常動作を再開させることを可能にする前に、試験基板上で一連のエッチング動作を行う必要がある。それらの動作は、この種の処理の全体的な効率性を非常に下げ、製造費用を非常に高めていることが理解可能である。

別の文献には、発光分光分析法により、チャンバ内に含まれる気体種類を監視するために使用される処理チャンバ内の透明窓上の堆積物の恐れ、またはその割合を抑えるための様々な解決法が提案されている。

具体的には、文献ＵＳ ６ ３９０ ０１９およびＵＳ ６ ７１２ ９２７には、処理チャンバ内部の雰囲気に、透明窓から上流に、しかし、小さな開口を有するマスクから下流に配置され、窓から上流にイオン化粒子を局限するために、プラズマから生じたその入射イオン化粒子をトラップする強直交磁場を発生させるように働く永久磁石または電磁石の使用法が記載されている。この種の装置は、それでもなお、様々な不利点を示しており、具体的には、処理チャンバ内部に配置される磁石は、許容不可能な追加の汚染源を構成する。遅かれ早かれ、磁場にトラップされる荷電粒子が磁石上に堆積されることになり、それによりトラップされる反応種と磁石を構成する材料との間に化学汚染が生じる。そのような形で形成されるそれらの新規粒子は、次に、処理それ自体のための汚染源を構成する。ならびに、磁石はそれ自体、真空状態で配置される場合には、脱気によって汚染を起こす。さらには、堆積物が過剰になった場合には、磁石は交換、または洗浄される必要がある。

その不利点を回避するためには、文献ＵＳ ６ ５０３ ３６４に、プラズマを発生させるための手段を有する処理チャンバと共に、開口部を介して一方の端部が通じている中空管を備えた装置が記載されており、それによりその光学発光が測定可能である。中空管のもう一方の端部には、透明材料の測定窓が取り付けられている。磁場は、プラズマが中空管に入り込むことを防ぐために、処理チャンバと連通して開口部に近接して形成される。その場合、分子が開口部に近接したチャンバの壁に付着する。その書類に記載されている装置は、処理チャンバ内の汚染を増加させてしまう不利点を示している。

本発明の目的は、発光分光分析法により気体混合を監視するための装置を提供することであり、その装置は、光放射線センサを頻繁に洗浄する必要なしに、長期にわたって動作し、また筺体内にいずれの汚染も発生しないようにすることの両方が可能である。筺体が処理チャンバである場合には、この種の汚染は処理に支障を来たしがちになる。

本発明の監視装置は、それが適合する処理について完全に洗浄され、透明でなくてはならない。

本発明は、発光分光分析法を使用して、筺体内に含まれる気体種類を監視するための監視装置を提供し、その装置は、
開口端部を介してその筺体に接続され、磁場に、および高周波に対して透過性がある、気体を通さない周壁によって画定される軸状突起部と、
監視プラズマを軸状突起部の内部空間に発生させるための手段であって、そのプラズマは分析のために光を放つ、手段と、
監視プラズマによって放たれる光放射を捉えるための軸状突起部の壁上に少なくとも１つのセンサと、
気体を通さない壁の外側に配置され、監視プラズマによって放たれ、センサによって得られる光を受ける放射スペクトル分析計手段と、
軸状突起部の内部空間に場を発生させるための場発生器手段であって、場は、センサの方への光束の伝播方向Ｉ−Ｉに対して横方向に配向され、イオン化粒子およびセンサから離れる監視プラズマの電子の流束を偏向させるように働き、その手段は、センサのその開口端部と対向する、およびそのすぐ近くにある軸状突起部の端部に、場を発生させるような形で、軸状突起部の気体を通さない周壁に近接して、およびその壁の外側に配置される、場発生器手段とを含む。

監視プラズマによって放たれた光放射を捉えるためのセンサは、例えば、プラズマによって放たれた光を通す軸状突起部の壁の部分を含んでよく、具体的には、それは、軸状突起部の一方の端部を閉じる壁の部分を含んでよい。センサは、筺体につながるその開口部から離れている軸状突起部の端部に配置されているので、場発生器手段は、光およびイオン化粒子の両方がプラズマの移動から生じる方向に、センサから上流である軸状突起部の内部空間の領域にさらに近接しながら、軸状突起部の外側に設置可能である。結果としては、場発生器手段は、プラズマからのイオン化粒子および電子の流束が偏向されることを確実にするため、センサから上流に場を形成することが可能であり、それにより、イオン化粒子がセンサに到達すること、およびその上に堆積するようになることを防ぐ。イオン化粒子が軸状突起部の壁上に堆積するようになり、筺体に進まず、それを汚染しないことを確実にするために、場および筺体と連通している開口部の間に置かれた軸状突起部の壁の十分な面積が必要である。

プラズマ発生器手段は、管の内部空間内で監視するための気体種類をイオン化するように設計されている。プラズマを発生させるためには、高周波電磁励起場を形成するための高周波発生器によって電力供給される外部励起アンテナを提供することが可能である。場は、筺体から軸状突起部の周壁を通り、それはそれ自体、石英、ガラス、ＢＫ７、サファイア、またはセラミック（ＺｒＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３、 ．．．）などの電気を通さない材料でできていると好ましい。

本発明の第１の実施形態では、場発生器手段は、磁場を発生させるための手段である。粒子をイオン化させるプラズマからの電子は磁場によってトラップされ、直交磁場によって構成されている磁気障壁を通ることはできない。それらは、したがって、磁気障壁を越えて粒子をイオン化することはできない。

軸状突起部の周壁は、磁場に対して透過性がある十分に非磁性である特性を示す材料でできている。

有利な実施形態では、２つの磁石が、筺体からの軸状突起部の対向する側面にそれぞれ配置され、互いに引き合うことを規定される。磁石によって形成される磁場は、したがって、センサから上流に、筺体からの軸状突起部の内側領域内で、互いに強化する。

この実施形態では、磁石は、筺体から軸状突起部の周壁の外側面に押し付けて設置可能であり、それらの自らの相互磁性引力によって所定の場所に保持される。

結果として、磁石は、例えば洗浄目的のために、例えば、筺体からの軸状突起部を構成している筺体の部分を分解するために、容易に取外し可能である。

改良点は、機械的支持機能を実行するように働く非磁性材料の環状外側部分によって、または機械的支持機能と、筺体からの軸状突起部周辺に磁力線を閉鎖することによる磁性遮蔽機能との両方を実行するように働く磁性材料の環状外側部分によって、外部から囲まれるように磁石を設けることによって得ることができる。

磁石またはそれぞれの磁石は、永久磁石であってよい。代替としては、磁石またはそれぞれの磁石は、電磁石であってよい。

本発明の第２の実施形態では、場発生器手段は、電場を発生させるための手段である。

軸状突起部は、好ましくは、しかし必ずしもというわけではなく、監視するための気体種類がその中に存在する筺体に取り付けるため、およびその筺体と連通して挿入するための軸方向管の形態でできており、管は壁部分により一端部で閉じられており、筺体に接続するためのその対向する端部では開いており、プラズマ発生器手段は管の内部空間で監視するための気体種類をイオン化するために設けられる。

装置は、筺体内に含まれる気体の混合を分析する際に使用することに適しており、その筺体は、実行される処理がプラズマを使用するかということには関係なく、具体的には、処理チャンバであってよく、または筺体は、その中の雰囲気を分析することが望まれる導管、もしくは任意の別のボリュームであってもよい。

軸状突起部への開口部は、その筺体の壁を通って形成されることが好ましい。

本発明はまた、処理チャンバと連通している前述の監視装置を含む半導体基板を処理するための装置も提供しており、その監視装置は、したがって、処理チャンバそれ自体の内部気体種類を監視するようになされている。

本発明はまた、半導体基板を処理するための装置も提供しており、その装置は、真空ラインと連通している前述の監視装置を含む。

本発明の別の目的、特徴、および利点は、添付の図面を参照して与えられる特定の実施形態の以下の説明により示される。

図１および２に示す実施形態では、本発明の監視装置１が、発光分光分析法を使用して、気体を通さない壁２によって外側から隔絶された筺体内に含まれる気体種類を監視する。壁２は、気体は通さないが、プラズマによって放たれた光を通す壁部分６を有する少なくとも１つのセンサ３を含む。

放射スペクトル分析計手段４は、気体を通さない壁２の外側に設置され、プラズマによって放たれ、センサ３を介して通過する光を受ける。光放射は、壁６の端部分を通って、次に、光ファイバ４ａなどの伝送手段を通って、連続して通過し、この例では、センサ３は光透過壁６および光ファイバ４ａの端部分を含む。

これらの実施形態では、センサ３は、磁場に対して透過性がある、気体を通さない周壁６によって画定される軸状突起部５の端部に設置され、それは筺体の気体を通さない壁２の主要部分から離れて軸Ｉ−Ｉに沿って延在する。

軸状突起部５の周壁６は、磁場およびラジオ（ＲＦ）波に対してもまた、透過性があるように十分に非磁性特性を示す材料でできていることが可能であると有利である。壁６は、例えば、石英、ガラス、ＢＫ７、サファイア、またはセラミック（ＺｒＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３、 ．．．）など、電気を通さない材料でできていると好ましい。

軸状突起部５は、管形状であるが、任意の別の形状であることも同様に十分に可能であろう。図に示す例では、管５は、センサ３の部分を形成する壁部分６によって第１の端部で閉じられており、それは監視されるべき気体を通すためにその第２の端部５ａでは開いている。

監視装置１は、軸状突起部５の気体を通さない周壁６に近接して、およびその周壁の外側に設置される、軸状突起部５の内側面８内に磁場９を発生させる磁石７など、磁性または電気的であってよい場を発生させるための少なくとも１つの場発生器手段をさらに有し、その場は、センサ３の方への光束の伝播方向に対して横方向に配向される。有用な光束が伝播する方向は、軸状突起部５の長手方向軸Ｉ−Ｉによって示される。直交磁場９は、プラズマのイオン化粒子の流束を偏向するように働き、センサ３からそれらを離した状態に保つ。

図１および２に示す実施形態では、監視装置１は、軸状突起部５の内部空間８に直交磁場９を形成するための２つの磁石７および７ａを有し、その場は、センサ３から離れてイオン化粒子を偏向する。磁石７および７ａは、軸状突起部５の両面上にそれぞれ配置され、それらは、互いに引き合う。

一例として、磁石７および７ａは、単に、軸状突起部５の周壁６の外側面に押し付けて設置可能であり、それらの自らの相互磁性引力によって所定の場所に保持される。

センサ３から離れて荷電粒子の偏向を促進するために、軸状突起部６の内部空間８内に磁場９を集中させるためには、図３および４に示すように、磁性遮蔽機能を実行し、軸状突起部５の周辺に磁力線をループするヨークを形成する、磁性材料でできた環状外側部品１０によって、外側に覆われるべき磁石７および７ａを設けることが可能であると有利である。

図１に示す実施形態についてより具体的に述べる。

この実施形態で、監視装置１は、基板１２を処理するための処理がその中で行われている処理チャンバ１１上に取り付けられる。処理チャンバ１１は、概して、処理気体を低圧力で含み、それらの存在および濃度を監視することが望まれる。

取外し可能な軸方向管の形態での、本発明の監視装置１は、監視するための気体種類がその中に存在する処理チャンバ１１によって構成されている筺体に取り付けられ、その筺体と連通して挿入される。監視措置１はそれ自体が、放射スペクトル分析計手段４によって分析するための光を出す監視プラズマ１６を発生させるための手段を含む。監視装置１はまた、監視プラズマ１６を発生させるために、筺体から軸状突起部５の内部空間８に存在する荷電気体粒子を励起する、発電機１８によって電力供給される励起アンテナ１７も有する。監視プラズマ１６によって放たれた光は、センサ３に対して軸Ｉ−Ｉに沿って、次に、光ファイバ４ａを介して放射スペクトル分析計手段４に伝播する。

図２に示す装置について以下に述べる。

図１の実施形態の監視装置１を見ることが可能であり、それは、真空ライン１９によって構成されている筺体上に取り付けられ、それ自体が処理チャンバ１１に接続された装置である。

軸状突起部５の内部空間８内に監視プラズマ１６を発生させるための手段、すなわち励起アンテナ１７および発電機１８を見ることが可能である。

図１において先に示したように、監視装置１を構成している別の手段を見ることが可能であり、これらの同じ手段は、同じ番号参照によって同定されている。

図２では、監視装置１は、したがって、真空ライン１９内に含まれる気体種類を監視するようになされている。

磁石７および７ａが、環状外側部品１０によってその中に保持される実施形態を示す図３および４について以下に述べる。

第１の実施形態では、環状外側部品１０は、磁石７および７ａを機械的に保持する機能を行うために、例えばアルミニウムまたはプラスチックの材料の非磁性材料でできている。

第２の実施形態では、環状外側部品１０は、磁石７および７ａを機械的に保持する機能と、またそれらを機械的に遮蔽する機能との両方を行うために、磁性材料でできていることが可能であり、軸状突起部５の周辺に磁力線を閉鎖する。

両実施形態では、磁石７および７ａは永久磁石であることが可能である。

代替としては、図示はしていない電源によって電気的に電力供給される電磁石である磁石７および７ａが設けられることが可能である。

図１および２に示す実施形態では、監視装置１は、励起アンテナ１７および発電機１８を含む監視プラズマ１６を発生させるための手段を備えたアドオン装置である。また、周壁６が、励起アンテナ１７および発電機１８によって発生するプラズマ励起の電磁波を通すために電気を通さない材料でできていることも必要である。この構成では、例えば石英、ガラス、ＢＫ７、またはサファイアなど、電気を通さない材料でできたその周壁６を備えた管の形態であるべき軸状突起部５が設けられることが可能であると有利である。

本発明の監視装置１は、以下のように動作する。

光学分光計などの放射スペクトル分析計手段４は、光ファイバ４ａまたは任意の別の適切な伝送手段を介して、監視プラズマ１６によって放たれ、センサ３によって感知される光を受け、そのプラズマは分析されるべき気体種類を含む。光は、軸状突起部５に沿って伝播し、センサ３で壁６に達し、光ファイバ４ａに沿って光学分光計４に伝播する。同時に、プラズマ１６の存在は、センサ３上の堆積を形成しがちなイオン化粒子の存在を示唆しており、それにより、次第にそのセンサは不透明になり、測定される光スペクトルは変化することにつながることになる。

図６に、例えば、文献ＵＳ ６ ６４３ ０１４に記載され、参照により本明細書に組み込まれているものなど、従来技術の装置のセンサを使用することにより測定される、空気内のプラズマの光放射スペクトルを示し、そのセンサはイオン化粒子の堆積物を帯びる。堆積物は、スペクトルを非常に変形させることが分かることができる。紫外線（ＵＶ）のラインは、それらがセンサの内側面上で管の内側上に形成されている堆積物によって完全に吸収されているので、非常に弱い（最大強度５５０ａ．ｕ．）。最悪の場合には、センサは、完全に不透明になり、検出器のシステムのいずれの適切な動作も妨げてしまう可能性がある。

図７に、イオン化粒子のいずれの堆積物も洗浄され、その堆積物がない本発明の装置の壁内に透明な部分を有するセンサを使用することにより測定される、空気内のプラズマの光放射スペクトルを示す。ＵＶのラインは、それらがいずれの障害物にもぶつからないので、明瞭に見られることが可能である（最大強度１６，０００ａ．ｕ．）。本発明の装置は、イオン化粒子がセンサに達することを防ぎ、したがって、それを完全にきれいに保ち、正常なままである測定検出感度を確実にする。検出感度は図６の例よりも約１００倍もよい。

図３から５を参照すると、イオン化粒子２０が、軸状突起部５の内部空間８に存在することを示している。これらの粒子は、すべての方向に移動し、特定のイオン化粒子２０は、磁石７および７ａから上流の領域Ｚ１内で、センサ３の方への軸方向に移動する傾向がある。センサ３から上流に、磁石７および７ａ間で発生する磁場９（磁石７は、軸状突起部５の後ろ側に配置され、破線内で引き付けられている）は、イオン化粒子２０上に偏向力を生成し、その力は、円運動２１を粒子上に伝える傾向があり、それにより、粒子は、図５の領域Ｚ２内に図式的に示すように、直交磁力線９の周辺に移動する。

実際面では、磁石７および７ａは、イオン化粒子２０および電子が、磁場９によって占められる領域Ｚ２を越えている領域Ｚ３内に伝播することを防ぐ磁性障壁を備える。したがって、粒子のいずれの堆積物２２も、磁石７および７ａによって占められる領域Ｚ２から上流の周壁６上に生じる。領域Ｚ２から上流に位置付けられる装置の部分は、それには筺体を汚染する恐れがあることになるので、装置の開口部５ａを越えるいずれの堆積物の恐れもなく、粒子がその上に堆積することが可能になるのに十分な範囲を示すことが必要であることは理解されるであろう。その結果、磁場は、装置１の開口端部５ａからできるだけ離して、およびセンサ３が位置付けられるその閉端部のすぐ近くで、発生しなくてはならない。したがって、イオン化粒子２０はセンサ３に達せず、したがって、正確な測定が、図７に示すように、光放射スペクトルについて保全される。

本発明では、分析のための気体を含む筺体および軸状突起部５はまた、汚染されている筺体の内側に含まれる気体に通じることがあるであろうアンテナ、磁石などの任意の異質の要素を含んでいない。筺体の内側に含まれる気体は、本発明の監視装置１が筺体の内側に起こる処理に対して完全に中立であるように、壁２または６とだけに接触することになる。

図１および２の実施形態で、監視装置１は、磁石７および７ａ、次に、必要に応じて、例えば、洗浄のために、軸状突起部５を構成している管を取り除くことによって容易に分解可能である。

磁石７および７ａがあるために、センサ３は、装置内のプラズマ１６があることに影響を及ぼされず、それを頻繁に洗浄するいずれの必要性ももはやない。

本発明は、先に明白に述べた実施形態に限定されず、しかし、当業者の能力内での様々な変形および概括論を含んでいる。

図６および７では、任意単位（ａ．ｕ．）でのスペクトル線の強度が縦座標の上に描かれ、ナノメートル（ｎｍ）での波長が横座標に沿って描かれている。図６および７のスペクトルは、光学分光計の同一設定により得られた。

処理チャンバに接続された独立装置の形態で、第１の実施形態の監視装置を示す図である。 真空ラインの気体を制御するようになされ、同様に、処理チャンバに接続された、図１の実施形態の監視装置を示す図である。 縦断面で、およびより大きな縮尺比で、本発明の監視装置の部分側面図である。 図３の平面Ａ−Ａ上の断面図である。 イオン化粒子の偏向を示す、図４の装置を示すより大きな縮尺比での断面における部分平面図である。 従来技術の装置の手段によって得られる空気のスペクトルを示すグラフである。 本発明の装置の手段によって得られる空気のスペクトルを示すグラフである。

Claims (17)

1. 発光分光分析法を使用して、筺体内に含まれる気体種類を監視するための監視装置（１）であって、
   開口端部（５ａ）を介して前記筺体に接続され、磁場におよび高周波に対して透過性がある、気体を通さない周壁（６）によって画定される軸状突起部（５）と、
   軸状突起部（５）の内部空間（８）内に、分析のための光を放つ監視プラズマ（１６）を発生させるための手段（１７、１８）と、
   監視プラズマ（１６）によって放たれた光放射を捉えるための軸状突起部（５）の壁（６）上の少なくとも１つのセンサ（３）と、
   気体を通さない壁（６）の外側に配置され、監視プラズマ（１６）によって放たれ、センサ（３）によって得られた光を受ける放射スペクトル分析計手段（４）と、
   を備え、
   軸状突起部（５）の内部空間（８）内に場（９）を発生させるための場発生器手段（７）をさらに含み、場はセンサ（３）の方へ光束の伝播方向Ｉ−Ｉに対して横方向に配向され、センサ（３）から離れて監視プラズマ（１６）のイオン化粒子（２０）および電子の流束を偏向させるように働き、前記手段（７）は、センサ（３）のその開口端部（５ａ）と対向し、およびそのすぐ近くにある軸状突起部（５）の端部に場（９）を発生させるような形で、軸状突起部（５）の気体を通さない周壁（６）に近接して、およびその外側に配置されることを特徴とする、装置。
2. センサ（３）が監視プラズマによって放たれた光に対する透明性を示す軸状突起部（５）の壁（６）の部分を含む、請求項１に記載の装置。
3. センサ（３）が軸状突起部の一方の端部を閉じる壁（６）の部分を含む、請求項２に記載の装置。
4. 筺体からの軸状突起部（５）の周壁（６）が電気を通さない材料でできている、請求項１から３のいずれか一項に記載の装置。
5. 筺体からの軸状突起部（５）の周壁（６）の材料が石英、ガラス、ＢＫ７およびサファイアから選択される、請求項４に記載の装置。
6. 場発生器手段（７）が磁場を発生させるための手段である、請求項１から５のいずれかに記載の装置。
7. 軸状突起部（５）の周壁（６）が磁場に対して透過性があることについて十分である非磁性特性を示す材料でできている、請求項６に記載の装置。
8. 軸状突起部（５）の両側にそれぞれ配置され、互いに引き合う２つの磁石（７、７ａ）を有する、請求項６または請求項７に記載の装置。
9. 磁石（７、７ａ）が軸状突起部（５）の周壁（６）の外側面に押圧され、それらの自らの相互磁性引力によって所定の場所に保持される、請求項８に記載の装置。
10. 磁石（７、７ａ）が機械的支持機能を行うために非磁性材料でできた、または機械的支持機能と、軸状突起部（５）に沿って磁力線を閉鎖することによる磁性遮蔽機能との両方を行うために磁性材料でできた環状外側部分（１０）によって外部から囲まれている、請求項６から９のいずれか一項に記載の装置。
11. 磁石またはそれぞれの磁石（７、７ａ）が永久磁石である、請求項６から１０のいずれか一項に記載の装置。
12. 磁石またはそれぞれの磁石（７、７ａ）が電磁石である、請求項６から１０のいずれか一項に記載の装置。
13. 場発生器手段（７）が電場を発生させるための手段である、請求項１から３のいずれか一項に記載の装置。
14. 筺体からの軸状突起部（５）が、監視するための気体種類がその中に存在する筺体（１１、１９）に取り付けるため、およびそれと連通して挿入するための軸方向管の形態で形成され、管は壁部分（６）によって一端部で閉じられ、筺体（１１、１９）と接続するためにその対向する端部（５ａ）では開いており、プラズマ発生器手段（１７、１８）は管の内部空間（８）内で監視するための気体種類をイオン化することを可能にする、請求項１から１３のいずれかに記載の装置。
15. 軸状突起部（５）の方への開口部（５ａ）が前記筺体（１１、１９）の壁で形成される、請求項１から１４のいずれかに記載の装置。
16. 処理チャンバ（１１）と連通して、請求項１から１３のいずれか一項に記載の監視装置（１）を含む半導体基板を処理するための装置であって、監視装置（１）は、したがって、処理チャンバ（１１）自体の内部気体種類を監視するようになされている、装置。
17. 真空ライン（１９）と連通して、請求項１から１３のいずれか一項に記載の監視装置（１）を含む半導体基板を処理するための、装置。

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