JP2008542696A - 静電容量の測定回路 - Google Patents
静電容量の測定回路 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008542696A JP2008542696A JP2008512768A JP2008512768A JP2008542696A JP 2008542696 A JP2008542696 A JP 2008542696A JP 2008512768 A JP2008512768 A JP 2008512768A JP 2008512768 A JP2008512768 A JP 2008512768A JP 2008542696 A JP2008542696 A JP 2008542696A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitance
- capacitor
- operational amplifier
- voltage
- signal source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M3/00—Conversion of analogue values to or from differential modulation
- H03M3/30—Delta-sigma modulation
- H03M3/458—Analogue/digital converters using delta-sigma modulation as an intermediate step
- H03M3/494—Sampling or signal conditioning arrangements specially adapted for delta-sigma type analogue/digital conversion systems
- H03M3/496—Details of sampling arrangements or methods
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/26—Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
- G01R27/2605—Measuring capacitance
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M3/00—Conversion of analogue values to or from differential modulation
- H03M3/30—Delta-sigma modulation
- H03M3/39—Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators
- H03M3/412—Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the number of quantisers and their type and resolution
- H03M3/422—Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the number of quantisers and their type and resolution having one quantiser only
- H03M3/43—Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the number of quantisers and their type and resolution having one quantiser only the quantiser being a single bit one
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M3/00—Conversion of analogue values to or from differential modulation
- H03M3/30—Delta-sigma modulation
- H03M3/39—Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators
- H03M3/436—Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the order of the loop filter, e.g. error feedback type
- H03M3/456—Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the order of the loop filter, e.g. error feedback type the modulator having a first order loop filter in the feedforward path
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Compression, Expansion, Code Conversion, And Decoders (AREA)
Abstract
【選択図】図1
Description
図1は、本発明による静電容量計測回路を示す。
図2aは、計測静電容量のスイッチングの方法を示す。
図2bは、図2aの計測静電容量のスイッチングのタイミングダイアグラムを示す。
図3は、オフセットを差し引く方法を供する静電容量計測回路を示す。
図4は、計測すべき静電容量をその帰還回路内に含む静電容量計測回路を示す。
図5は、計測すべき静電容量をその入力回路内に有する静電容量計測回路を示す。
図6は、差分構造による静電容量計測回路を示す。
図7aは、デルタ・シグマ変調器の回路ダイアグラムを示す。
図7bは、図7aのデルタ・シグマ変調器の信号波形を示す。
図8は、デルタ・シグマ変調器の動作モードに関する基本的な回路ダイアグラムを示す。
図9は、スイッチドキャパシタンス技術によるデルタ・シグマ変調器を示す。
Qint=Qmeas−(Qoff+Qfb)
Cfb>(Cmeas−Coff)
Cmeas>Cfb
Claims (12)
- 演算増幅器(102)と、前記演算増幅器(102)の入力端子に接続される第1のキャパシタ(104)と、前記演算増幅器の帰還回路内の第2のキャパシタ(106)とからなるデルタ・シグマ変調器と、
前記第1のキャパシタ(104)に接続される基準信号源(114)とを備え、
前記第1および第2のキャパシタ(104)(106)が計測されるべき静電容量を示すことを特徴とする、静電容量計測回路。 - クロック的に動作し、第1のクロックにおいて前記第1のキャパシタ(104)が前記基準信号源(114)に接続され、第2クロックにおいて前記演算増幅器(102)の入力端子に接続される、請求項1に記載の静電容量計測回路。
- 前記第1のキャパシタ(104)は、第1の端子で前記基準信号源(114)に接続され、その第2の端子で前記演算増幅器(102)の入力端子に接続される、請求項1または2に記載の静電容量計測回路。
- 前記第1のキャパシタ(104)は、第1の端子でグランドに接続され、その第2の端子で前記基準信号源(114)または前記演算増幅器(102)の入力端子に接続される、請求項1または2に記載の静電容量計測回路。
- 前記基準信号源(114)が基準電圧を供給するように実施される、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の静電容量計測回路。
- 正および負の平衡信号を供給するための前記デルタ・シグマ変調器の平衡信号源が、前記演算増幅器(102)の入力端子に接続され、さらに正および負の平衡電圧(114)(120)に接続される平衡キャパシタを備える、請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の静電容量計測回路。
- 正および負の平衡信号を供給するための前記デルタ・シグマ変調器の前記平衡信号源が、前記演算増幅器(102)の入力端子に接続され、さらに正および負の平衡電圧(114)(120)に接続される平衡キャパシタ(108)とを備え、
前記基準電圧源が、基準電圧を供給するために実施され、
前記正の平衡電圧(114)と前記負の平衡電圧(120)および前記基準電圧の絶対値が同一である、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の静電容量計測回路。 - 計測されるべき静電容量に一定のオフセット静電容量を与えるために、前記演算増幅器(102)の入力端子に接続されるオフセット信号源を含む、請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の静電容量計測回路。
- 前記オフセット信号源は、前記演算増幅器(102)の入力端子に接続され、さらにオフセット電圧を供給するためにオフセット信号源(120)に接続されるオフセットキャパシタ(150)を含む、請求項8に記載の静電容量計測回路。
- 前記演算増幅器(102)の入力端子に接続され、さらにオフセット電圧を供給するために前記オフセット電圧源(120)に接続されるオフセットキャパシタ(150)を有するオフセット信号源を含み、
前記基準信号源(114)は、基準電圧を供給するように実施され、
前記オフセット電圧(120)および前記基準電圧が同じ大きさで極性が異なることを特徴とする、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の静電容量計測回路。 - 前記オフセットキャパシタ(150)が、計測されるべき静電容量の不変部の近傍15%の範囲内の静電容量を示し、前記計測されるべき静電容量が前記不変部と時間変動部とからなる、請求項10に記載の静電容量計測回路。
- 差動出力を有する演算増幅器(200)と、その第1の端子で前記演算増幅器(200)の反転入力端子に接続され、その第2の端子で前記演算増幅器(200)の非反転入力端子に接続されるキャパシタ(208)とからなる差動構成のデルタ・シグマ変調器と、
前記キャパシタ(208)の第1の端子に接続される第1の基準信号源(224a)および前記キャパシタの第2の端子に接続される第2の基準信号源(224b)とを含み、
前記キャパシタが計測されるべき静電容量を示すことを特徴とする、静電容量計測回路。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005024098.4 | 2005-05-25 | ||
DE102005024098 | 2005-05-25 | ||
DE102005038875A DE102005038875A1 (de) | 2005-05-25 | 2005-08-17 | Kapazitätsmessschaltung |
DE102005038875.2 | 2005-08-17 | ||
PCT/EP2006/004989 WO2006125639A1 (de) | 2005-05-25 | 2006-05-24 | Kapazitätsmessschaltung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008542696A true JP2008542696A (ja) | 2008-11-27 |
JP4832512B2 JP4832512B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=36716930
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008512768A Expired - Fee Related JP4832512B2 (ja) | 2005-05-25 | 2006-05-24 | 静電容量の測定回路 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8054089B2 (ja) |
EP (1) | EP1872144B1 (ja) |
JP (1) | JP4832512B2 (ja) |
DE (1) | DE102005038875A1 (ja) |
WO (1) | WO2006125639A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010117354A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Upek Inc | コモンモード相殺を有するピクセル検知回路 |
JP2010250522A (ja) * | 2009-04-15 | 2010-11-04 | Hitachi Displays Ltd | 座標入力装置、およびそれを備える表示装置 |
JP2013538346A (ja) * | 2010-08-12 | 2013-10-10 | フラウンホーファー−ゲゼルシャフト・ツール・フェルデルング・デル・アンゲヴァンテン・フォルシュング・アインゲトラーゲネル・フェライン | 正弦波電圧信号を用いて容量を測定する容量測定回路、容量測定センサーシステム及び容量測定方法 |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8711129B2 (en) | 2007-01-03 | 2014-04-29 | Apple Inc. | Minimizing mismatch during compensation |
US8049732B2 (en) | 2007-01-03 | 2011-11-01 | Apple Inc. | Front-end signal compensation |
DE102007025947B4 (de) * | 2007-06-04 | 2009-02-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Integrierter kapazitiver Sensor |
US8395395B2 (en) * | 2007-11-27 | 2013-03-12 | Azoteq (Pty) Ltd. | Noise rejection and parasitic capacitance removal implementations |
TWI381173B (zh) * | 2008-10-29 | 2013-01-01 | Raydium Semiconductor Corp | 電容量測電路及其電容量測方法 |
US8410969B2 (en) | 2009-01-12 | 2013-04-02 | Zentrun Mikroelektronic Dresden AG | Wide range charge balancing capacitive-to-digital converter |
CH700376A2 (de) | 2009-02-11 | 2010-08-13 | Baumer Innotec Ag | Kapazitiver Sensor und Verfahren zur kapazitiven Erfassung eines Objektabstandes. |
US8866499B2 (en) * | 2009-08-27 | 2014-10-21 | Analog Devices, Inc. | System and method for measuring capacitance |
US8412477B2 (en) * | 2009-12-08 | 2013-04-02 | Zentrum Mikroelektronik Dresden Ag | Method and arrangement for digital measuring a capacitive sensor |
US20110163768A1 (en) * | 2010-01-05 | 2011-07-07 | Sain Infocom | Touch screen device, capacitance measuring circuit thereof, and method of measuring capacitance |
KR100991130B1 (ko) * | 2010-03-19 | 2010-11-02 | 주식회사 에임즈 | 터치 패널 구동 장치 |
DE102010013812B4 (de) * | 2010-04-03 | 2015-11-05 | Ghm Messtechnik Gmbh | Schaltungsanordnung und Verfahren zur kapazitiven Füllstandsmessung |
KR101216393B1 (ko) * | 2010-05-13 | 2012-12-28 | 주식회사 실리콘웍스 | 터치스크린의 정전용량 측정회로 및 방법 |
US8688393B2 (en) * | 2010-07-29 | 2014-04-01 | Medtronic, Inc. | Techniques for approximating a difference between two capacitances |
US8344928B2 (en) * | 2010-11-10 | 2013-01-01 | Stmicroelectronics Asia Pacific Pte Ltd. | Method and apparatus for capacitance sensing |
PL220994B1 (pl) * | 2011-02-22 | 2016-02-29 | Univ Jagielloński | Układ do pomiaru ładunku elektrycznego |
US8854062B2 (en) * | 2011-08-29 | 2014-10-07 | Robert Bosch Gmbh | Readout circuit for self-balancing capacitor bridge |
DE102011114502A1 (de) | 2011-09-29 | 2013-04-04 | GEMAC-Gesellschaft für Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH | Messverfahren zur dynamischen Kapazitätsmessung nach dem Delta-Sigma-Prinzip und Schaltungsanordnung zur Durchführung des Verfahrens |
CN102435864A (zh) * | 2011-11-22 | 2012-05-02 | 常熟市董浜镇华进电器厂 | 电流传感器电容测量电路 |
US8933712B2 (en) | 2012-01-31 | 2015-01-13 | Medtronic, Inc. | Servo techniques for approximation of differential capacitance of a sensor |
US8810263B1 (en) * | 2013-03-12 | 2014-08-19 | Cypress Semiconductor Corporation | Adaptive resolution circuit |
DE102013222252B4 (de) | 2013-10-31 | 2023-06-15 | Renesas Electronics Germany GmbH | Verfahren und Schaltung für einen Analog-Digital-Kapazitätswandler |
DE102013222759B4 (de) * | 2013-11-08 | 2015-11-19 | Ifm Electronic Gmbh | Ladungsverstärker für einen kapazitiven Sensor |
CN104316087B (zh) * | 2014-09-30 | 2017-01-18 | 广东合微集成电路技术有限公司 | 一种电容式传感器的测量电路 |
JP6246783B2 (ja) * | 2015-12-28 | 2017-12-13 | アルプス電気株式会社 | 静電容量検出装置及び入力装置 |
US10530372B1 (en) | 2016-03-25 | 2020-01-07 | MY Tech, LLC | Systems and methods for digital synthesis of output signals using resonators |
US10020818B1 (en) | 2016-03-25 | 2018-07-10 | MY Tech, LLC | Systems and methods for fast delta sigma modulation using parallel path feedback loops |
US10819366B1 (en) * | 2016-06-01 | 2020-10-27 | Agency For Science, Technology And Research | Delta sigma modulator for and method of generating a digital output voltage |
CN117097279A (zh) | 2016-11-21 | 2023-11-21 | 混合信号设备股份有限公司 | 用于rf应用的高效率功率放大器架构 |
DE102017110976B8 (de) * | 2017-05-19 | 2018-12-06 | Infineon Technologies Austria Ag | Selbstoszillierender Mehrrampen-Umsetzer und Verfahren zum Umsetzen einer Kapazität in ein digitales Signal |
JP6718622B2 (ja) | 2017-05-26 | 2020-07-08 | 株式会社京岡 | 隙間センサおよび隙間測定方法 |
BE1025688B1 (nl) * | 2017-11-08 | 2019-06-11 | D&D Isoltechnics Nv | Verbeterde inrichting en werkwijze voor het meten van condensvorming en/of corrosievoortgang |
US10574257B2 (en) * | 2018-02-09 | 2020-02-25 | The Regents Of The University Of California | Predictive digital autoranging analog-to-digital converter |
JP6988662B2 (ja) * | 2018-04-16 | 2022-01-05 | 株式会社デンソー | 開閉部材制御装置 |
TWI665865B (zh) * | 2018-12-05 | 2019-07-11 | Hycon Technology Corp. | 使用偏壓切換電路補償前端偏移量之精密測量電路 |
CN109828159B (zh) * | 2019-03-07 | 2021-06-18 | 上海申矽凌微电子科技有限公司 | 测量电容大小的电路 |
CN113472351A (zh) * | 2021-07-13 | 2021-10-01 | 上海料聚微电子有限公司 | 一种精准测量片上电容比例的电路和方法 |
US11933919B2 (en) | 2022-02-24 | 2024-03-19 | Mixed-Signal Devices Inc. | Systems and methods for synthesis of modulated RF signals |
CN114487615B (zh) * | 2022-04-06 | 2022-08-30 | 基合半导体(宁波)有限公司 | 电容测量电路及电容测量方法 |
CN115392174A (zh) * | 2022-08-26 | 2022-11-25 | 苏州英嘉通半导体有限公司 | 场板型半导体器件的电容拟合方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11264849A (ja) * | 1997-12-10 | 1999-09-28 | Endress & Hauser Gmbh & Co | リアクタンスの離散時間的測定のための方法及び装置 |
US6362761B1 (en) * | 1999-03-19 | 2002-03-26 | Stmicroelectronics S.R.L. | Efficient switched capacitor integrator |
WO2003071230A2 (en) * | 2002-02-15 | 2003-08-28 | Rosemount Inc. | Bridged capacitor sensor measurement circuit |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3886447A (en) * | 1972-05-17 | 1975-05-27 | Iwatsu Electric Co Ltd | Capacitance-voltage converter |
US5166630A (en) * | 1989-05-24 | 1992-11-24 | Motorola, Inc. | Low current switched capacitor circuit |
JP3216955B2 (ja) * | 1994-05-31 | 2001-10-09 | 株式会社日立製作所 | 容量式センサ装置 |
DE4442403C2 (de) * | 1994-11-30 | 1997-01-23 | Itt Ind Gmbh Deutsche | Taktgenerator zur Erzeugung eines störstrahlarmen Systemtaktes |
US5790064A (en) | 1996-04-10 | 1998-08-04 | Oasis Design, Inc. | Apparatus and method for switching capacitors within a switched capacitor circuit at times selected to avoid data dependent loading upon reference voltage supplies |
US6140952A (en) * | 1997-12-26 | 2000-10-31 | Rosemount Inc. | Delta sigma circuit with pulse width modulated offset |
US6452521B1 (en) * | 2001-03-14 | 2002-09-17 | Rosemount Inc. | Mapping a delta-sigma converter range to a sensor range |
US6744394B2 (en) * | 2002-05-10 | 2004-06-01 | 02Micro International Limited | High precision analog to digital converter |
US6867602B2 (en) * | 2002-07-09 | 2005-03-15 | Honeywell International Inc. | Methods and systems for capacitive balancing of relative humidity sensors having integrated signal conditioning |
ES2322811T3 (es) * | 2003-04-07 | 2009-06-29 | Microsystems On Silicon (Pty) Ltd. | Dispositivo detector para detectar un parametro fisico. |
DE10316901A1 (de) * | 2003-04-12 | 2004-10-28 | Roche Diagnostics Gmbh | Kontrollsystem und Kontrollverfahren zum Überprüfen der Funktion von LCD-Anzeigen |
DE10333154A1 (de) * | 2003-07-22 | 2005-02-24 | Vega Grieshaber Kg | Verfahren und Schaltungsanordnung zum Auswerten einer Messkapazität |
US6970126B1 (en) * | 2004-06-25 | 2005-11-29 | Analog Devices, Inc. | Variable capacitance switched capacitor input system and method |
-
2005
- 2005-08-17 DE DE102005038875A patent/DE102005038875A1/de not_active Withdrawn
-
2006
- 2006-05-24 WO PCT/EP2006/004989 patent/WO2006125639A1/de not_active Application Discontinuation
- 2006-05-24 EP EP06743066.0A patent/EP1872144B1/de not_active Not-in-force
- 2006-05-24 JP JP2008512768A patent/JP4832512B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-05-24 US US11/915,183 patent/US8054089B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11264849A (ja) * | 1997-12-10 | 1999-09-28 | Endress & Hauser Gmbh & Co | リアクタンスの離散時間的測定のための方法及び装置 |
US6362761B1 (en) * | 1999-03-19 | 2002-03-26 | Stmicroelectronics S.R.L. | Efficient switched capacitor integrator |
WO2003071230A2 (en) * | 2002-02-15 | 2003-08-28 | Rosemount Inc. | Bridged capacitor sensor measurement circuit |
JP2005517945A (ja) * | 2002-02-15 | 2005-06-16 | ローズマウント インコーポレイテッド | ブリッジ・コンデンサ・センサ測定回路 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010117354A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Upek Inc | コモンモード相殺を有するピクセル検知回路 |
JP2010250522A (ja) * | 2009-04-15 | 2010-11-04 | Hitachi Displays Ltd | 座標入力装置、およびそれを備える表示装置 |
JP2013538346A (ja) * | 2010-08-12 | 2013-10-10 | フラウンホーファー−ゲゼルシャフト・ツール・フェルデルング・デル・アンゲヴァンテン・フォルシュング・アインゲトラーゲネル・フェライン | 正弦波電圧信号を用いて容量を測定する容量測定回路、容量測定センサーシステム及び容量測定方法 |
US9612266B2 (en) | 2010-08-12 | 2017-04-04 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Capacity measuring circuit, sensor system and method for measuring a capacity using a sinusoidal voltage signal |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006125639A1 (de) | 2006-11-30 |
JP4832512B2 (ja) | 2011-12-07 |
US8054089B2 (en) | 2011-11-08 |
EP1872144A1 (de) | 2008-01-02 |
US20080191713A1 (en) | 2008-08-14 |
EP1872144B1 (de) | 2016-05-04 |
DE102005038875A1 (de) | 2006-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4832512B2 (ja) | 静電容量の測定回路 | |
JP5722443B2 (ja) | 正弦波電圧信号を用いて容量を測定する容量測定回路、容量測定センサーシステム及び容量測定方法 | |
KR101667978B1 (ko) | 아날로그 디지털 컨버터의 내부 커패시터와 기준 전압을 이용한 정전용량형 터치 센싱 | |
US6674383B2 (en) | PWM-based measurement interface for a micro-machined electrostatic actuator | |
US10338022B2 (en) | Sensor circuit and method for measuring a physical or chemical quantity | |
FI93580C (fi) | Menetelmä ja laitteisto epäsymmetrisen paine-eroanturin takaisinkytkemiseksi | |
US20160091525A1 (en) | Acceleration sensor | |
US20170307668A1 (en) | Capacitance determination circuit and method for determining a capacitance | |
EP2974035B1 (en) | Semiconductor device and sigma-delta loop mems acquisition | |
Nagarajan et al. | An improved direct digital converter for bridge-connected resistive sensors | |
EP2966455A1 (en) | Electronic measurement circuit for a capacitive sensor | |
JP6042003B2 (ja) | 電子測定回路 | |
Areekath et al. | An auto-balancing capacitance-to-pulse-width converter for capacitive sensors | |
JP2011107086A (ja) | 静電容量検出回路、圧力検出装置、加速度検出装置、および、マイクロフォン用トランスデューサ | |
JP2022096642A (ja) | 誘導感知方法、デバイスおよびシステム | |
US9030213B2 (en) | Method and system for measuring a time constant of an integrated circuit, and integrated circuit provided with such a system | |
JP5083287B2 (ja) | 検出装置、物理量測定装置及び電子機器 | |
Li et al. | Design of a Novel Self-Test-on-Chip Interface ASIC for Capacitive Accelerometers | |
Yücetaş et al. | A charge balancing accelerometer interface with electrostatic damping | |
US6930495B1 (en) | Digitizing ohmmeter system | |
Sreenath et al. | A robust switched-capacitor CDC | |
WO2018061636A1 (ja) | 容量測定回路及び容量測定システム | |
JP3322726B2 (ja) | 静電容量検出回路 | |
Cichocki et al. | Switched-capacitor transducers with digital or duty-cycle output based on pulse-width modulation technique | |
JPH05172877A (ja) | 抵抗値・容量値の測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110830 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110920 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140930 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |