JP2008532001A - 干渉法絶対距離計の位相ノイズ補正 - Google Patents
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Abstract
Description
・所望の精度に必要なレーザ光源の線型調整が、非常に難しい。
・レーザ光源、特に半導体レーザは、強い位相ノイズを有している。
位相ノイズは、目盛り長さの制御が及ばない変数に等しい。位相ノイズは、第1に、測定範囲を非常に制限する、つまり、距離測定をレーザの可干渉距離以下に制限する。第2として、測定に強い変動を引き起こし、長い測定時間が必要となる。
・測定経路の変動および測定過程で生ずる測量目標物の動きが、干渉混合積に付加的な周波数成分を引き起こし、大きな測定誤差になる。
Δφr(tk)=2π・∫t=tk-τr t=tkν(t)dt (1)
理想的な実施形態の場合、この位相曲線信号は、サンプリング点tkでサンプリングし、デジタル化される。
tk=α・k・τr (2)
補正率α≒1は、サンプリング間隔と基準長さの遅延時間との間の偏差をモデルにしている。これは、サンプリング間隔が、理想的には、基準長さτrの既知の遅延時間に正確に対応する。サンプリング周波数を、基準長さを越える逆遅延時間の整数倍として選択するのが好ましい。長さ(アーム長さ間の差異)がR=c・τm/2である測定距離のヘテロダイン信号の位相曲線は、下記の式となる(時間積分は、t=tk−τmからt=tk)。
ΔφM(tk)=2π・∫t=tk-τm t=tkν(t)dt (3)
従来の方法では、目標の測定物Rの距離は、静止している場合、次の関係を求めて得る。
R/Rr≒ΔφM(t)/Δφr(t) (4)
方程式(4)の評価は、所定の時間T、測定間隔の最後で行なうか、または、最適化問題として公式化される。関係式(4)は、厳密には、次の条件の1つが満たされる場合のみ当てはまる。
光学周波数応答曲線の線形性:この条件は、厳密には満たされない。これは、周波数の波長調整および位相ノイズによるためである。
目標物の距離Rが、基準長さRに対応する:R=Rr
Δφm・r(tk)=α・Σj=k-m+1 j=kΔφr(tj) (5)
R/(m・α・Rr)≒ΔφM(t)/Δφm・r(t) (6)
方程式(5)を方程式(6)に代入して、補正率αが除去できる。未知の変数mは、測定データの解析で確定できる。未知の変数mは、基準干渉計と測定干渉計の間の長さの比を表わす。
Δφm・r(tk)=α・[Σj=k-m+1 j=kΔφr(tj)
+((R−m・α・Rr)/(α・Rr))・Δφr(tk-m)]
(7)
ここで、mは、(m−1)・α・Rr≦R≦m・α・Rrを満たす。
minR〜[(R〜/m〜・α・Rr)Δφm・r(t)−ΔφM(t)]2 (8)
minA〜,R〜[A〜・cos((R〜/m〜・α・Rr)Δφm・r(t))
−s(t)]2
(9)
ΔφM(tk)=2π・[∫t=tk-τm t=tkν(t)dt
+V・t/λ] (10)
これは、不正確な距離測定(ドップラ効果)になる。従って、測定データの解析に動きを考慮する必要がある。測定物の動きは、運動モデルV(t;θ)を導入する。速度変数θは、式(11)の位相曲線データの最適化問題で決定する。
minR〜,θ〜[(R〜/m〜・α・Rr)Δφm・r(t)−ΔφM(t)
+2π(V(t;θ〜)・t)/λ]2 (11)
minA〜,R〜,θ〜[A〜・cos((R〜/m〜・α・Rr)Δφm・r(t)
+2π(V(t;θ〜)・t)/λ)−s(t)]2
(12)
Rr=Δφ・c/(4π・Δν) (13)
f=ν(t2)−ν(t1)=(ν0+γt2)−(ν0+γt1)
t1=2L1/cおよびt2=2L2/cから、
f=(γ2R)/c
となる。R=L2−L1(距離の差)である。この基本的な関係が、測定する距離をヘテロダイン周波数fの搬送信号と関連させる。
I=(E1+E2)・(E1+E2)*
I=E1 2+E2 2+2E1E2・cos(2πft)
この受信強度が、信号処理の基本となる。信号が乱れていない場合、搬送周波数は、フーリエ解析で直接求めることが出来、測定する距離が直接算出できる。しかし実際には信号が乱れており、光学クオドレチャー受信器で直接に、振動強度の位相φを測定するのが好ましい。完全な測定の場合、線形曲線には、下記式が適用できる。
Δφ/Δt=f
位相は、時間の関数で線形に増加する(図3参照)。
e(t)=E(t)・cosφ(t)
φ(t)/2π=(0 tν(t’)dt’+(φ0/2π)
ここで、
e(t) 放射信号
E(t) 信号振幅
φ(t) 放射光の位相[rad]
φ0 位相オフセット[rad]
ν(t) 放射信号の瞬時周波数[Hz]
を意味する。図4は、瞬時周波数ν(t)の時間依存曲線の例を示す。理想的には、受信信号r(t)は、放射信号e(t)の遅延および減衰した写しである。遅延および減衰を、τ(t),G(t)とすると、受信信号r(t)は下記の式となる。
r(t)=[(G(t)]・e(t−τ(t))
≒[(G(t)]・E(t)・cosφ(t−τ(t))
目標物の距離の測定は、距離計から目標物そして距離計に戻った1回転の位相変化の測定、つまりr(t)とe(t)間の位相変化で行なう。
Δφ(t)=φ(t)−φ(t−τ(t))
緩やかな変化と無視できる速度成分の仮定で(時間の積分は、t=t−τ(t)からt=t)、
Δφ(t)/2π=∫t-τ(t) tν(t’)dt’
τ(t)≪ν(t)/(dν(t)/dt)の場合、
≒ν(t)・τ(t)
となる。τ(t)≪ν(t)/(dν(t)/dt)の仮定は、周波数の変化が緩やかな場合で、例えば、周波数応答曲線が非線形の場合である。高周波ノイズ成分は、この仮定に従わない。
Δφm・r(tk)=α・(j=k-m+1 j=kΔφr(tj)
基準測定の個別の位相間隔の合計として計算する(R≒m・α・Rr)。仮想的な干渉図形の位相の成分を、図5の周波数応答曲線に示している。
Claims (17)
- 絶対距離の測定方法が、
チャープした電磁放射線、特にレーザ光を放射する工程と、
放射は、測量する少なくとも1つの目標物に、及び、少なくとも1つの基準長さを越える、
該目標物から散乱して戻る放射線、及び、該基準長さを経て通過した放射線を受信する工程と、
受信した該放射線を、信号に変換する工程と、
該信号は、特に干渉混合を備える、
該信号から少なくとも1つの該目標物までの少なくとも1つの距離を測定する工程と、から成り、
該目標物から散乱して戻る該放射線のデジタル化した第1干渉図形、及び、該基準長さを越えて通過した該放射線のデジタル化した第2干渉図形を受信中に記録し、
該第2干渉図形の位相曲線データから、仮想干渉図形又は仮想干渉図形の位相曲線Δφm・r(tk)を合成し、
少なくとも1つの距離の測定を、該第1干渉図形の位相曲線データを該仮想干渉図形の位相曲線データとの比較で行なう、ことを特徴とする絶対距離の測定方法。 - 前記仮想干渉図形を前記第2干渉図形の位相曲線データからの合成を、前記第1干渉図形に相関させ、距離測定の位相曲線変動の妨害影響をそれで抑制する、ことを特徴とする請求項1記載の絶対距離の測定方法。
- 前記基準長さが、デジタル化した前記第1干渉図形のサンプリング間隔に対して既知の比αを備え、特に遅延時間τrのサンプリング間隔が、基準長さRrで、Rr=c・τr/2(c:光速)に対応する、ことを特徴とする請求項1〜2の何れか1項記載の絶対距離の測定方法。
- 前記仮想干渉図形の位相曲線が、
Δφm・r(tk)=α・Σj=k-m+1 j=kΔφr(tj)
または
Δφm・r(tk)=α・[Σj=k-m+1 j=kΔφr(tj)
+((R−m・α・Rr)/(α・Rr))・Δφr(tk-m)]
に基づいて形成される、ことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項記載の絶対距離の測定方法。ここで、
Rr:基準長さ、
m(N:基準長さと測定距離の比の整数部分(R≒m・α・Rr)、
(m−1)・α・Rr≦R≦m・α・Rr
Δφr(tk)=2π・∫t=tk-τr t=tkν(t)dt:第2干渉図形の位相曲線(時間tの積分は、t=tk−τrからt=tk)、
α≒1:サンプリング間隔と基準長さの遅延時間の間の偏差をモデル化する補正率。 - 前記仮想干渉図形または前記仮想干渉図形の位相曲線Δφm・r(tk)を多項式的で補間する、ことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項記載の絶対距離の測定方法。
- 距離測定を、前記第1干渉図形の位相曲線データおよび前記仮想干渉図形の位相曲線データの最適化で行ない、特に次の関係式を用いる、
minR〜,m〜[(R〜/m〜・α・Rr)Δφm・r(t)−ΔφM(t)]2
ことを特徴とする請求項1〜5の何れか1項記載の絶対距離の測定方法。ここで、
ΔφM(tk)=2π・∫t=tk-τm t=tkν(t)dt:第1干渉図形の位相曲線 (時間tの積分は、t=tk−τmからt=tk)、
Δφm・r(tk)=α・Σj=k-m+1 j=kΔφr(tj):仮想干渉図形の位相曲線、
Δφr(tk)=2π・∫t=tk-τr t=tkν(t)dt:第2干渉図形の位相曲線(時間tの積分は、t=tk−τrからt=tk)、
ν(t):放射した放射線の所定の周波数応答曲線、
Rr:基準長さ、
R〜:測定する距離、
m(N:基準長さと測定した距離の比の整数部(R≒m・α・Rr)、
α≒1:サンプリング間隔と基準長さの遅延時間との偏差をモデル化した補正率。 - 距離測定を、前記第1干渉図形の測定した信号振幅、特に
minA〜,R〜,m〜[A〜・γ(t)・
cos((R〜/m〜・α・Rr)Δφm・r(t))−s(t)]2
の関係式を使用して最適化で行なう、ことを特徴とする請求項1〜5の何れか1項記載の絶対距離測定の方法。ここで、
s(t):第1干渉図形の信号振幅、
A〜:第1干渉図形の評価した信号強度、
γ(t):放射したレーザ光の時間の関数としての強度曲線の任意の測定し、
出力が一定の場合、γ(t)=1、
Δφm・r(tk)=α・Σj=k-m+1 j=kΔφr(tj):仮想干渉図形の位相曲線、
Δφr(tk)=2π・∫t=tk-τr t=tkν(t)dt:第2干渉図形の位相曲線、
ν(t):放射した放射線の所定の周波数応答曲線、
Rr:基準長さ、
R〜:測定する距離、
m(N:基準長さと測定した距離の比の整数部(R≒m・α・Rr)、
α≒1:サンプリング間隔と基準長さの遅延時間との偏差をモデル化した補正率。 - 前記測定物の動きの距離測定を、前記第1干渉図形の位相曲線データおよび前記仮想干渉図形の第1の位相曲線データの最適化で行ない、特に、測定する干渉計の信号がノイズで強く汚れている場合、
minR〜,θ〜,m〜[(R〜/m〜・α・Rr)Δφm・r(t)−ΔφM(t)
+2π(V(t;θ〜)・t)/λ]2
または
minA〜,R〜,θ〜,m〜[A〜・cos{(R〜/m〜・α・Rr)Δφm・r(t)
+2π(V(t;θ〜)・t)/λ}−s(t)]2
の関係式を使用する、ことを特徴とする請求項1〜5の何れか1項記載の絶対距離の測定方法。ここで、
ΔφM(tk)=2π・[∫t=tk-τm t=tkν(t)dt
+V・t/λ]:第1干渉図形の位相曲線、
Δφm・r(tk):仮想干渉図形の位相曲線、
Δφr(tk)=2π・∫t=tk-τr t=tkν(t)dt:第2干渉図形の位相曲線、
s(t):第1干渉図形の信号振幅、
A〜:第1干渉図形の評価した信号強度、
ν(t):放射した放射線の所定の周波数応答曲線、
Rr:基準長さ、
R〜:測定する距離、
V(t;θ〜):速度変数θの測量する目標物の運動モデル、
m〜(N:基準長さと測定した距離の比の整数部(R≒m・α・Rr)、
α≒1:サンプリング間隔と基準長さの遅延時間との偏差をモデル化した補正率。 - 最適化の近似を、特に
V(t;θ)=ν(一定速度θ=ν)で簡素化した運動モデル、
整数関係m〜および測定する距離R〜の順次測定、
放射したレーザ光の時間関数としての変化γ(t)の測定を不要にし、
前記位相曲線データの最適化の代わりに、異なる位相ΔφM(tk)−ΔφM(tk-1)およびΔφm・r(tk)−Δφm・r(tk-1)の最適化で行なう、ことを特徴とする請求項6〜8の何れか1項記載の絶対距離の測定方法。 - 前記基準長さの較正を、特に、温度に安定又は温度に安定化させた基準素子の手段で行なう、ことを特徴とする請求項1〜9の何れか1項記載の絶対距離の測定方法。
- 請求項1〜10記載の何れか1項記載の方法を実行するために、特にプログラムがコンピュータで実行される場合、機械読み出し可能な媒体に記憶させ又は電磁波で具体化されるプログラムコードを備えたコンピュータプログラム。
- 請求項1〜10の何れか1記載の方法を実施する絶対距離の測定装置が、少なくとも1つの
前記放射線を生成し、及び、測量する前記目標物(ZI)に放射する変調可能な放射線源(SQ)、特に波長可変レーザ光源と、
前記基準長さ(RI)と、
放射線源を変調する信号発生器と、
後方に散乱する放射線の干渉図形を受信し信号に変換する検出器(D2−D4)と、
信号を処理する信号処理部(SP)、特にデジタル信号処理部、FPGAまたはASICと、
混合器、好ましくはヘテロダイン混合法を実施するクオドレチャー(quadrature)受信器と、を備え、
検出器(D2−D4)および信号処理部(SP)の配置および設計を、
前記目標物(ZI)から後方に散乱した放射線のデジタル化した前記第1干渉図形、及び、前記基準長さ(RI)を介して通過した放射線の前記第2干渉図形を記録するようにし、
前記仮想干渉図形又はその位相曲線Δφm・r(tk)が、前記第2干渉図形の位相曲線データから合成出来る、ことを特徴とする絶対距離の測定装置。 - 前記基準長さを較正する温度に安定又は温度に安定化させた前記基準素子を備えている、ことを特徴とする請求項12記載の絶対距離の測定装置。
- 前記基準素子が、気体セル(18)、特に、アセチレンを封入したセルである、ことを特徴とする請求項13記載の絶対距離の測定装置。
- 前記基準素子が、温度安定化させたエタロンである、ことを特徴とする請求項13記載の絶対距離の測定装置。
- 前記基準素子が、ゼロデュアーブロック(4)で、入射ビームの回折分離に入口表面で第1の回折格子(5)および出口表面で第2の回折格子(8)を備え、ビーム経路差を有する分離したビーム経路を結合させ、規定周期のヘテロダイン信号を得る、ことを特徴とする請求項13記載の絶対距離の測定装置。
- 前記基準素子が、前記ゼロデュアーブロック(4’)で、検出器に案内する少なくとも1つの回折、波長依存のビームガイドの回折格子(9)を備え、信号源の波長の測定を可能にする、ことを特徴とする請求項13記載の絶対距離の測定装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102713503A (zh) * | 2009-12-14 | 2012-10-03 | 莱卡地球***公开股份有限公司 | 干涉测距仪中的散斑减轻方法和对应的测距仪 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2128560B1 (de) | 2008-05-28 | 2015-07-01 | Leica Geosystems AG | Interferometrisches Distanzmessverfahren mit spektral trennbarem Doppelchirp und ebensolche Vorrichtung |
EP2128561B1 (de) * | 2008-05-28 | 2014-10-29 | Leica Geosystems AG | Interferometrisches Distanzmessverfahren mit verzögertem Chirp-Signal und ebensolche Vorrichtung |
DE102010041634A1 (de) * | 2010-09-29 | 2012-03-29 | Carl Zeiss Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Messung des Abstandes eines Objekts von einem Bezugspunkt |
EP2541193A1 (de) | 2011-06-27 | 2013-01-02 | Hexagon Technology Center GmbH | Interferometrisches Entfernungsmessverfahren zum Vermessen von Oberflächen und ebensolche Messanordnung |
JP5868132B2 (ja) * | 2011-11-14 | 2016-02-24 | キヤノン株式会社 | 撮像装置および画像処理方法 |
DE102012217282B4 (de) * | 2012-09-25 | 2023-03-02 | Trimble Jena Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Zuordnung von Messpunkten zu einem Satz von Festpunkten |
EP2816315B1 (en) * | 2013-06-18 | 2015-09-23 | Hexagon Technology Center GmbH | Interferometric determination of distance change with laser diode, high bandwidth detection and fast signal processing |
CN103487403B (zh) * | 2013-10-14 | 2015-09-02 | 北京信息科技大学 | 带有参考腔补偿的双波长组合光纤激光器气体检测*** |
CN107209002A (zh) | 2014-12-19 | 2017-09-26 | 犹他大学研究基金会 | 干扰量度***以及相关方法 |
DE102015110362B4 (de) * | 2015-06-26 | 2018-01-18 | n-hands GmbH & Co. KG | Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Absolutmessung einer Entfernung |
BR112018001940A2 (pt) * | 2015-07-30 | 2018-09-18 | Koninklijke Philips Nv | módulo de sensor a laser, dispositivo de comunicação móvel, método de detecção de tamanho de partícula, e produto de programa de computador |
WO2017223542A1 (en) | 2016-06-23 | 2017-12-28 | University Of Utah Research Foundation | Interferometry system and associated methods |
US11162781B2 (en) | 2016-06-23 | 2021-11-02 | University Of Utah Research Foundation | Interferometry systems and methods |
WO2018160240A2 (en) * | 2016-11-30 | 2018-09-07 | Blackmore Sensors and Analytics Inc. | Method and system for doppler detection and doppler correction of optical chirped range detection |
CN107741591A (zh) * | 2017-09-21 | 2018-02-27 | 深圳市盛路物联通讯技术有限公司 | 一种干涉测距方法及*** |
CN111048978B (zh) * | 2018-10-12 | 2021-04-20 | 华为技术有限公司 | 一种多波长激光器 |
CA3091463A1 (en) | 2019-08-29 | 2021-02-28 | Institut National De La Recherche Scientifique | System and method for stabilization of multi-path optical interferometers |
CN111445400B (zh) * | 2020-03-13 | 2023-03-17 | 五邑大学 | 存在投影盲区去除绝对相位噪声方法、装置及存储介质 |
CN116819431B (zh) * | 2023-08-31 | 2023-12-08 | 杭州岸达科技有限公司 | 基于反常相模激励的相位干涉仪测向方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61204520A (ja) * | 1985-02-08 | 1986-09-10 | ザ・ボード・オブ・トラステイーズ・オブ・ザ・レランド・スタンフオード・ジユニア・ユニバーシテイ | 1対のセンサ上で周囲環境の影響を遠隔的に感知する装置および方法 |
JPH03269302A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-11-29 | Yokogawa Electric Corp | アブソリュート測長器 |
JPH03285102A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-16 | Yokogawa Electric Corp | Fmヘテロダイン法を用いたアブソリュート測長方法およびアブソリュート測長器 |
JPH07181007A (ja) * | 1993-10-05 | 1995-07-18 | Renishaw Plc | 干渉計応用測定装置 |
JP2004004085A (ja) * | 2002-05-29 | 2004-01-08 | Agilent Technol Inc | 偏光計によって実施されるデバイスの特性解明における相対位相の不確実性を除去するためのシステム及び方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4830486A (en) * | 1984-03-16 | 1989-05-16 | Goodwin Frank E | Frequency modulated lasar radar |
US4974961A (en) * | 1986-09-12 | 1990-12-04 | Jackson David A | Optical fibre measuring system |
US5371587A (en) * | 1992-05-06 | 1994-12-06 | The Boeing Company | Chirped synthetic wavelength laser radar |
DE4316348A1 (de) * | 1993-05-15 | 1994-11-17 | Wild Heerbrugg Ag | Vorrichtung zur Distanzmessung |
CN1099128A (zh) * | 1994-03-04 | 1995-02-22 | 清华大学 | 用双波长激光进行外差干涉测量绝对距离*** |
DE19522262C2 (de) * | 1995-06-20 | 1997-05-22 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Heterodyn-Interferometer-Anordnung |
DE19542490C1 (de) * | 1995-11-15 | 1997-06-05 | Leica Ag | Elektro-optisches Meßgerät für absolute Distanzen |
GB9703928D0 (en) * | 1997-02-25 | 1997-04-16 | Aberlink Tech Ltd | Apparatus for precise length measurement calibration |
US6360609B1 (en) * | 2000-02-23 | 2002-03-26 | Massachusetts Institute Of Technology | Method and system for interpreting and utilizing multimode dispersive acoustic guided waves |
CN1346965A (zh) * | 2001-10-15 | 2002-05-01 | 天津大学 | 一种光纤干涉测量距离的方法及测量设备 |
US6606182B2 (en) * | 2001-11-16 | 2003-08-12 | Oplink Communications, Inc. | Tuning and temperature compensation of the air-gap etalon for dense wavelength-division multiplexing application |
US6900895B2 (en) * | 2001-12-06 | 2005-05-31 | Agilent Technologies, Inc. | Phase noise compensation in an interferometric system |
US7116430B2 (en) * | 2002-03-29 | 2006-10-03 | Georgia Technology Research Corporation | Highly-sensitive displacement-measuring optical device |
EP1707982A1 (en) * | 2005-03-31 | 2006-10-04 | AGELLIS Group AB | Method for analysing a substance in a container |
-
2005
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-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61204520A (ja) * | 1985-02-08 | 1986-09-10 | ザ・ボード・オブ・トラステイーズ・オブ・ザ・レランド・スタンフオード・ジユニア・ユニバーシテイ | 1対のセンサ上で周囲環境の影響を遠隔的に感知する装置および方法 |
JPH03269302A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-11-29 | Yokogawa Electric Corp | アブソリュート測長器 |
JPH03285102A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-16 | Yokogawa Electric Corp | Fmヘテロダイン法を用いたアブソリュート測長方法およびアブソリュート測長器 |
JPH07181007A (ja) * | 1993-10-05 | 1995-07-18 | Renishaw Plc | 干渉計応用測定装置 |
JP2004004085A (ja) * | 2002-05-29 | 2004-01-08 | Agilent Technol Inc | 偏光計によって実施されるデバイスの特性解明における相対位相の不確実性を除去するためのシステム及び方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102713503A (zh) * | 2009-12-14 | 2012-10-03 | 莱卡地球***公开股份有限公司 | 干涉测距仪中的散斑减轻方法和对应的测距仪 |
US8896843B2 (en) | 2009-12-14 | 2014-11-25 | Leica Geosystems Ag | Method for speckle mitigation in an interferometric distance meter by determining a pointing direction |
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