JP2008512633A - スロットエダクタをもつ熱処理システム - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
本発明は、2004年9月7日に出願され、米国特許仮出願第60/607.681の35 U.S.C.119(e)の利益を要求するものであり、当該記述をここに参考文献として組み入れるものである。
該当無し
セラミックスのようなマテリアルの処理において、製品を均一に加熱し、不均一な加熱による歪みまたはクラッキングの発生をなくすために、多くの場合、熱の均一性が要求される。システムが本出願人と同じ譲り受け人に対し譲渡された米国特許公開第2004−0173608 A1(米国特許出願第10/775,542)に示されており、これによると、ファーネスチャンバ内の一つまたは複数のエダクタにより、大量のガスをファーネスチャンバ内に循環させて均一に加熱し。極めて均一なガス雰囲気と温度とを得るようにしている。この一つまたは複数のエダクタは、製品を強制対流で冷却するためにも使用されている。前記一つまたは複数のエダクタは、本出願人と同じ譲り受け人に対し譲渡された米国特許第5,795,146号に示されているものが好ましい。該エダクタは、加療された温度均一性と制御に必要な大量の流量を提供し、プロセスサイクルの間、約±3.5℃の熱均一性を与えることができる。
本発明は、ファーネスチャンバの一つまたは複数の壁またはルーフ面にスロットつき複数のエダクタを用いる熱処理システムを提供するものである。本発明の目的のために、用語“スロットつきエダクタ”とは、ファーネスチャンバの壁又は他の面に断面形状の形状を特に問わないスロットにより形成され、該スロットにそってガスが高速で流れるように該スロットの一端にノズルを設けたエダクタを意味する。例えば、前記スロットの断面は、V形状、矩形形状又は曲面形状でよい。また別途、前記エダクタのスロットは、ファーネスチャンバの接続された壁のコーナーに設けたり、または、フィジカルなスロットなしに壁自体の一部にそって高速で流れるようにすることで設けることができる。前記エダクタは、前記ファーネスの壁それら自体の内部にまたは壁面に設けることができるので、チューブ形式のエダクタを配置することによりファーネスの構築の点でなんらの制約もない。エダクタは、チューブ形状のエダクタが適合しないかまたは実用に適しないファーネスチャンバ内に設けることができる。かくて、本発明は、ファーナエウにチューブ他の設備を付設して、エダクタ構造を設ける必要性がない。
図面を参照すると、図1,2は、スロットつきエダクタの一実施例のそれぞれ等距離図と側方断面図である。矩形断面のスロット10は、ファーネスチャンバの壁12に形成されている。このスロットは、下方へ向かってスロープがついている端部14を有し、これは、該スロットの下方部における壁面12に対し斜面ルまたはランプになっている。前記スロットの上端は、前記ファーネスチャンバのルール部分にあり、この部分において、ガス入口またはガスノズルが位置して前記スロットの長さにそってガスを高速で下方へ導くようになっている。このガスの高速の流れによって、前記ファーネスチャンバからガスがまきこまれてガスの量が増量され、前記スロットの底部近くから排出され、該スロットから前記チャンバ内へ流れる。前記スロットの長さと断面寸法により、特定設備のファーネスチャンバ内において意図するガスの増量度合いと循環度合いが図れる。
12 ファーネスチャンバの壁
14 排出ガス
16 供給ガス入り口
Claims (23)
- 以下の構成を備える加熱・熱処理システム:
底部、ルーフおよび一つまたは複数の壁を備えるファーネスハウジングと該ファーネスハウジング内にあるファーネスチャンバ;
熱処理するマテリアルズを支持するために前記ファーネスチャンバ内に配置される支持アッセンブリー;
前記ファーネスチャンバ内の前記マテリアルズを加熱する熱源;および
前記ファーネスチャンバの壁面またはルーフ面に配置され、前記ファーネスチャンバ内にガスを循環させる少なくとも一つのスロットつきエダクタであって、ガス供給源と連通している前記スロットつきエダクタ。 - 前記スロットつきエダクタは、前記ファーネスチャンバの壁に位置して前記ファーネスチャンバのルーフから下方へのびているスロットおよび前記スロットの上端に位置し、前記スロットにそって高速に流れるガス流を発生させ、前記ファーネスチャンバ内のガスを巻き込んで前記ファーネスチャンバ内で大量のガスを循環させるガス入口を備えている請求項1のシステム。
- 前記ガス入口で円錐ジェットガス流を発生させる請求項2のシステム。
- 前記ガス入口でシート状のガス流を発生させる請求項2のシステム。
- 前記スロットは、前記スロットの最も大径の断面寸法よりも少なくとも10倍の長さになっている請求項2のシステム。
- 前記スロットの断面形状は、方形、矩形、円形、曲面形状、側面が真っすぐな形状またはV形状になっている請求項2のシステム。
- 前記スロットは、前記ファーネスチャンバの二つの壁の間のコーナーにある請求項2のシステム。
- さらに複数のスロットつきエダクタを備える請求項1のシステム。
- さらに複数のスロットつきエダクタが前記ファーネスチャンバの第1の側面と第2の側面にあって、前記ファーネスチャンバ内に均一なガス雰囲気をつくる請求項1のシステム。
- さらに炉床、該炉床を経て前記ファーネスチャンバの一方の側面から前記ファーネスチャンバの他方の側面へ達する複数の開口部を備え;そして
前記ファーネスチャンバの第1と第2の側面にある複数のスロットつきエダクタが複数の対で構成され、前記ファーネスチャンバのそれぞれの側のスロットつきエダクタの各対が前記炉床を通るそれぞれの開口部に対し整列しているものである請求項9のシステム。 - さらに複数のチューブ状のエダクタを備え、各エダクタは、前記ファーネスハウジングのそれぞれの側壁の空所に配置され、前記炉床を通るそれぞれの開口部に対面している請求項10のシステム。
- 複数のチューブ状のエダクタの各エダクタは、ガス供給源と連通しているノズルをもつチューブ状本体を含み、高速ガス流を前記ファーネスチャンバ内に供給し、前記ファーネスチャンバ内のガスをまきこんで前記ファーネスチャンバ内に大量のガスを循環させる請求項11のシステム。
- コントローラの作動で前記エダクタへのガスの供給を制御する請求項1のシステム。
- さらにコントローラの作動で前記熱源を制御して、加熱サイクルの間の加熱プロファイルを意図するようにする請求項1のシステム。
- コントローラの作動で前記スロットつきエダクタのガス流を制御する請求項14のシステム。
- 前記スロットつきエダクタの作動で熱サイクルのある部分の間、前記マテリアルズを強制対流冷却する請求項1のシステム。
- 前記ファーネスチャンバの各側にある少なくとも一つのスロットつきエダクタが前記チャンバ内にガスを均一に循環させ、前記マテリアルズを均一に加熱させるように交互に動作するようになっている請求項1のシステム。
- 前記加熱源が前記ファーネスチャンバ内に配置されている一つまたは複数の電気ヒーター類である請求項1のシステム。
- 前記加熱源が前記ファーネスチャンバ内に配置されている一つまたは複数のマイクロウエーブ・ヒーター類を含む請求項1のシステム。
- 前記ファーネスチャンバがバッチ式ファーネス内にあって、処理のために前記マテリアルズを前記チャンバ内に入れ、処理後は前記マテリアルズを出す構成の請求項1のシステム。
- 前記ファーネスチャンバは、連続のファーネス内にあって、処理サイクルの間、マテリアルズが該チャンバ内を搬送通過するようになっている請求項1のシステム。
- 前記支持アッセンブリーは、熱処理するマテリズアルズを積みおろしする下位位置と、該マテリアルズを前記ファーネスチャンバ内に位置させる上位位置との間を動く昇降炉床を含む請求項1のシステム。
- 前記スロットつきエダクタは、前記ファーネスチャンバのルーフから下方へ下がる前記ファーネスチャンバの壁の一部からなり、ガスノズルが前記ルーフの壁の一部の上端に配置され、前記壁の一部にそって高速のガス流が流れて前記ファーネスチャンバ内のガスをまきこみ、前記ファーネスチャンバ内に大量のガスを循環させる請求項1のシステム。
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