JP2008311646A - 電子機器ラック及びそのような電子機器ラックを備えるリソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子機器モジュール及び電子機器モジュールが動作自在に収容された電子機器ラックを有するリソグラフィ装置が開示される。電子機器ラックは、電子機器モジュールの対合する電気コネクタへの電気接続を確立する電気コネクタ、及び電子機器モジュールの対合する冷却流体コネクタへの冷却流体接続を確立する冷却流体コネクタを含み、対合する電気コネクタの挿入方向は、対合する冷却流体コネクタの挿入方向に実質的に対応する。
【選択図】図3
Description
放射ビームを調節するように構成された照明システムと、
放射ビームの断面にパターンを与えて、パターン付き放射ビームを形成するように構成されたパターニングデバイスを支持するように構築された支持体と、
基板を保持するように構築された基板支持体と、
パターン付き放射ビームを基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
電子機器モジュール及び電子機器モジュールが動作自在に収容された電子機器ラックとを備え、電子機器ラックは、電子機器モジュールの対合する電気コネクタへの電気接続を確立する電気コネクタ、及び電子機器モジュールの対合する冷却流体コネクタへの冷却流体接続を確立する冷却流体コネクタを備え、対合する電気コネクタの挿入方向が、対合する冷却流体コネクタの挿入方向に実質的に対応する、
リソグラフィ装置が提供される。
Claims (26)
- 放射ビームを調節するように構成された照明システムと、
放射ビームの断面にパターンを与えて、パターン付き放射ビームを形成するように構成されたパターニングデバイスを支持するように構築された支持体と、
基板を保持するように構築された基板支持体と、
前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
電子機器モジュール及び前記電子機器モジュールが動作自在に収容された電子機器ラックとを備え、前記電子機器ラックが、前記電子機器モジュールの対合する電気コネクタへの電気接続を確立する電気コネクタ、及び前記電子機器モジュールの対合する冷却流体コネクタへの冷却流体接続を確立する冷却流体コネクタを備え、前記対合する電気コネクタの挿入方向が、前記対合する冷却流体コネクタの挿入方向に実質的に対応する、
リソグラフィ装置。 - 前記電子機器ラックの前記電気コネクタ及び前記冷却流体コネクタが、前記対合する電子機器コネクタの前記挿入方向に対して直角の面に配置される、請求項1に記載の装置。
- 前記電子機器ラックが、前記冷却流体を前記電子機器ラック内に設けられた複数の電子機器モジュールスロットに分配するマニホルドを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記電子機器ラック及び前記電子機器モジュールがそれぞれ、前記ラックに挿入した後に前記電子機器モジュールを案内するために相互に協働する案内要素を備え、前記電子機器ラックの前記案内要素が前記マニホルドに接続されている、請求項3に記載の装置。
- 前記電子機器ラックの前記電気コネクタが、前記電子機器ラックの電気的バックプレーンに設けられ、前記電気的バックプレーンが前記マニホルドに機械的に接続される、請求項3に記載の装置。
- 前記電子機器モジュールが、前記冷却流体を循環するように構成された流体路を有する冷却プレートを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記電子機器モジュールが、前記冷却プレートを囲む閉じたハウジングを備える、請求項6に記載の装置。
- 前記電子機器モジュールが、前記電子機器モジュール内に前記冷却プレートの少なくとも一部に沿ったガス循環を発生するガス循環デバイスを備える、請求項6に記載の装置。
- 前記冷却プレートが前記電子機器モジュール内で垂直方向に延在する、請求項6に記載の装置。
- 前記電子機器モジュールが、前記ラックに挿入した後に前記電子機器モジュールを案内する案内要素を備え、前記電子機器モジュールの前記案内要素が前記冷却プレートに接続される、請求項6に記載の装置。
- 電気式モジュールと前記電子機器モジュールを動作自在に収容する電子機器ラックとの組合せであって、前記電子機器ラックが、前記電子機器モジュールの対合する電気コネクタへの電気接続を確立する電気コネクタ、及び前記電子機器モジュールの対合する冷却流体コネクタへの冷却流体接続を確立する冷却流体コネクタを備え、前記対合する電気コネクタの挿入方向が、前記対合する冷却流体コネクタの挿入方向に実質的に対応する組合せ。
- 前記電子機器ラックの前記電気コネクタ及び前記冷却流体コネクタが、前記対合する電子機器コネクタの前記挿入方向に対して直角の面に配置される、請求項11に記載の組合せ。
- 前記電子機器ラックが、前記電子機器ラック内に設けられた複数の電子機器モジュールスロットに前記冷却流体を分配するマニホルドを備える、請求項11に記載の組合せ。
- 前記電子機器ラック及び前記電子機器モジュールがそれぞれ、前記ラックに挿入された後に前記電子機器モジュールを案内する、相互に協働する案内要素を備え、前記電子機器ラックの前記案内要素が前記マニホルドに接続される、請求項13に記載の組合せ。
- 前記電子機器ラックの前記電気コネクタが、前記電子機器ラックの電気バックプレーンに設けられ、前記電気バックプレーンが前記マニホルドに機械的に接続される、請求項13に記載の組合せ。
- 前記電子機器モジュールが、前記冷却流体を循環させるように構成された流体路を有する冷却プレートを備える、請求項11に記載の組合せ。
- 前記電子機器モジュールが、前記冷却プレートを囲む閉じたハウジングを備える、請求項16に記載の組合せ。
- 前記電子機器モジュールが、前記電子機器モジュール内で前記冷却プレートの少なくとも一部に沿ってガス循環を発生させるガス循環デバイスを備える、請求項17に記載の組合せ。
- 前記冷却プレートが、前記電子機器モジュール内で垂直方向に延在する、請求項16に記載の組合せ。
- 前記電子機器モジュールが、前記ラックに挿入した後に前記電子機器モジュールを案内する案内要素を備え、前記電子機器モジュールの前記案内要素が前記冷却プレートに接続される、請求項16に記載の組合せ。
- 電子機器ラック内で動作し、前記電子機器ラックの対合する電気コネクタへの電気接続を確立する電気コネクタ、及び前記電子機器ラックの対合する冷却流体コネクタへの冷却流体接続を確立する冷却流体コネクタを備える電子機器モジュールであって、前記電子機器モジュールの前記電気コネクタの挿入方向が、前記電子機器モジュールの前記冷却流体コネクタの挿入方向に実質的に対応するモジュール。
- 前記電子機器モジュールが、前記冷却流体を循環させる流体路を有する冷却プレートを備える、請求項21に記載のモジュール。
- 前記電子機器モジュールが、前記冷却プレートを囲む閉じたハウジングを備える、請求項22に記載のモジュール。
- 前記電子機器モジュールが、前記電子機器モジュール内で前記冷却プレートの少なくとも一部に沿ってガス循環を発生させるガス循環デバイスを備える、請求項22に記載のモジュール。
- 前記冷却プレートが前記電子機器モジュール内で垂直方区に延在し、電子回路が前記冷却プレートの面に熱接触して、熱交換する、請求項22に記載のモジュール。
- 前記電子機器モジュールの案内要素が、前記冷却プレートに接続され、前記電子機器ラックの案内要素と協働するように構成される、請求項22に記載のモジュール。
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