JP2008306034A - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
本発明の半導体装置は、炭化珪素からなるN型の炭化珪素半導体基板1に形成されたN型の炭化珪素エピタキシャル層2と、炭化珪素半導体基板1とオーミック接触し、かつ、炭化珪素とバンドギャップの異なる多結晶シリコンからなるヘテロ半導体層30を基材とするオーミック領域4とを備える。
【選択図】図2
Description
まず、第1の実施形態に係る半導体装置について図1を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の断面構造を示した図である。図1に示すように、本半導体装置は、半導体材料からなる第1導電型の半導体基体である炭化珪素からなるN+型の炭化珪素半導体基板1に形成された、第1導電型のドリフト領域であるN−型の炭化珪素エピタキシャル層2を備える。更に、炭化珪素エピタキシャル層2における炭化珪素半導体基板1と対向する面(以下、上面とする。)には、P型のヘテロ半導体領域3を備えている。
次に、第2の実施形態に係る半導体装置について、第1の実施形態に係る半導体装置と異なる点を中心に図3を参照して説明する。また、第2の実施形態に係る半導体装置について、第1の実施形態に係る半導体装置と同様の構造には同じ番号を付し、説明を省略する。図3は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の断面構造を示した図である。図3に示すように、本半導体装置は、第1の実施形態と同様に、炭化珪素半導体基板1と接するように、炭化珪素エピタキシャル層2を備えている。炭化珪素エピタキシャル層2の上面の一部に、炭化珪素エピタキシャル層2とヘテロ接合を形成し、かつ、炭化珪素とバンドギャップの異なるヘテロ半導体材料である多結晶シリコンからなるN型のヘテロ半導体領域9を備えている。
3、9 ヘテロ半導体領域、4 オーミック領域、5 ゲート絶縁膜、
6 ゲート電極、7 ベース領域、8 ソース領域、
30 ヘテロ半導体層、50 燐イオン、51 ボロンイオン
Claims (15)
- 半導体材料からなる第1導電型の半導体基体の所定領域に形成された前記第1導電型のドリフト領域と、
前記半導体基体とオーミック接触し、かつ、前記半導体材料とバンドギャップの異なるヘテロ半導体材料からなるヘテロ半導体層を基材とするオーミック領域とを有することを特徴とする半導体装置。 - 前記ドリフト領域とヘテロ接合を形成し、かつ、前記ヘテロ半導体材料からなるヘテロ半導体領域を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ヘテロ接合に隣接し、かつ、ゲート絶縁膜を介して形成された前記へテロ半導体層を基材とするゲート電極とを有することを特徴する請求項2に記載の半導体装置。
- 前記ドリフト領域の所定の位置に形成された第2導電型のベース領域と、
前記ベース領域の表層に接するように形成された前記第1導電型のソース領域と、
前記ソース領域と前記ドリフト領域とを接続するように形成されたチャネル領域の表層に、ゲート絶縁膜を介して隣接するように形成された前記ヘテロ半導体層を基材とするゲート電極とを有することを特徴する請求項1に記載の半導体装置。 - 前記ヘテロ半導体領域の前記基材である前記ヘテロ半導体層および前記オーミック領域の前記基材である前記ヘテロ半導体層を同時に形成する工程を備えることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ゲート電極の前記基材である前記へテロ半導体層および前記オーミック領域の前記基材である前記ヘテロ半導体層を同時に形成する工程を備えることを特徴とする請求項3または4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ヘテロ半導体領域の前記基材である前記ヘテロ半導体層へ不純物を導入することで、前記ヘテロ半導体領域を形成する工程と、
前記オーミック領域の前記基材である前記ヘテロ半導体層を熱処理することで、前記オーミック領域を形成する工程とを備えることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記ゲート電極の前記基材である前記へテロ半導体層へ不純物を導入することで、前記へテロ半導体領域を形成する工程と、
前記オーミック領域の前記基材である前記ヘテロ半導体層を熱処理することで、前記オーミック領域を形成する工程とを備えることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記両熱処理を同一工程で実施することを特徴とする請求項7または8に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記オーミック領域を形成する前記工程は、前記半導体基体と同一導電型になるように、前記オーミック領域の前記基材である前記ヘテロ半導体層へ不純物を導入する工程を含むことを特徴とする請求項7乃至9のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記オーミック領域を形成する前記工程は、前記ヘテロ半導体層と接するように金属を積層する工程と、
前記ヘテロ半導体層と前記金属とが合金化するように熱処理を実施する工程とを含むことを特徴とする請求項7乃至9のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記金属は、ニッケル(Ni)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、タングステン(W)、チタン(Ti)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)のいずれかであることを特徴とする請求項11に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ヘテロ半導体層を同時に形成する前記工程は、化学気相成長法によって実施されることを特徴とする請求項7乃至12のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体材料が、炭化珪素、窒化ガリウム、ダイヤモンドのいずれかであることを特徴とする請求項1乃至13のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記へテロ半導体材料が、単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコンのいずれかであることを特徴とする請求項1乃至14のいずれかに記載の半導体装置。
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