JP2008302451A - Liquid crystal transfer robot and its control method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液晶基板搬送装置の制御方法に関するものである。 The present invention relates to a method for controlling a liquid crystal substrate transport apparatus.
従来液晶搬送ロボットには、液晶基板の横ずれを補正する方法として距離センサを用いて横ずれを計測し、ロボットを横方向に移動することで横ずれを補正する方法が開示されている(例えば、特許文献1参照)。図4に従来の液晶搬送ロボットを示す。連結部106の上端部106aに、図4に示されるように、位置検出センサ114を支持する支持アーム115が取りつけられる。位置検出セン114は、ロボットハンドが屈折する方向と対する側に配置されるように、支持アーム115が連結部106の上面部106aに取りつけられるのがよい。そして、ロボットハンド105がガラス基板を吸着後、ロボットの原点位置に移動された時に、ガラス基板の左端縁の位置を検出できるように、位置検出センサ114がガラス基板W側(図4における右側)に開口するように「逆コ」字状に形成されている。
また、ハンドアーム131Cの上面にガラス基板の前面部に略平行に、2か所の第1距離センサ113が取りつけられ、第1距離センサ113の後方部に、位置検出センサ114が取りつけられる支持アームが回動可能に配設されている。支持アームは「L」字状に形成され、先端部に位置検出センサ114がガラス基板側に向かって開口されるように「コ」字状に形成されている。支持アームは、図示しない駆動モータによって、図5のように、ロボットハンド131Cの後方取付部を中心に時計方向に回動し、その回動終端は、ガラス基板が原点位置に移動された時に、ガラス基板の左端縁が位置検出センサ114の開口部に挿入される位置になる。
Further, two
液晶搬送ロボットは、ガラス基板が多段に配置されたカセットからロボットハンドでガラス基板を吸着し、作業領域にガラス基板を配置する作業を行っている。ガラス基板が配置されているカセットでは、ガラス基板は所定の位置に配置されているようになっているものの、実際にはカセット内で回転ずれや横ずれが生じており、このままの状態のガラス基板をロボットハンドで取り出すと、載置誤差を含んだまま、作業領域に搬送されることになり、作業領域で行われる描画や露光の工程で誤差が出て、欠品の対象となってしまう。 また、近年のガラス基板は大型化が進み、微小量な回転ずれや横ずれもガラス基板が大型化することにより大きく影響することになってきている。また、ガラス基板の大型化が進み、搬送物のイナーシャが大きくなる一方でタクトタイムの短縮が求められている。つまり、液晶搬送ロボットには、高剛性な構造が要求され、振動しにくい構造が必要となってきているのである。
これに対し、従来の液晶搬送ロボットは、ロボットハンド上に載置された液晶基板の回転ずれおよび横ずれを補正するためのセンサを備え、補正するようになっているが、連結部上に備えられた支持アームに位置検出センサが備えられた構造の場合、大きなイナーシャを有する液晶基板を載置したロボットハンドが移動することにより、連結部にも反力が作用し、この連結部から上方に伸びる位置に配置された位置センサは、支持アームの剛性が低いために残留振動が生じることとなる。このような振動が生じている中で横ずれを計測しようとしても位置センサ自身の振動している値も検出することとなってしまうために、真の横ずれ量を検出することができないという問題が生じしていた。
また、位置検出センサが取り付けられた支持アームを回動させてガラス基板の横ずれを計測する方法については、位置検出センサが取り付けられた支持アームを回動させて計測位置に配置するようにしていたために、位置検出センサの計測位置には、回動運動がある以上誤差を生じており、正確な横ずれを検出することができないという問題が生じていた。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、正確にガラス基板の位置を検出し、位置を補正して搬送する液晶搬送ロボットを提供することを目的とする。
The liquid crystal transfer robot performs an operation of adsorbing a glass substrate with a robot hand from a cassette in which glass substrates are arranged in multiple stages, and arranging the glass substrate in a work area. In the cassette in which the glass substrate is arranged, the glass substrate is arranged at a predetermined position, but in reality, there is a rotational deviation or a lateral deviation in the cassette. If it is taken out by the robot hand, it will be transported to the work area while including a placement error, and an error will occur in the drawing and exposure processes performed in the work area, resulting in a shortage target. In recent years, the glass substrate has been increased in size, and a small amount of rotational displacement and lateral displacement have been greatly affected by the increase in the size of the glass substrate. Further, the increase in the size of the glass substrate has increased the inertia of the conveyed product, while reducing the tact time. In other words, the liquid crystal transfer robot is required to have a highly rigid structure, and a structure that hardly vibrates is required.
On the other hand, the conventional liquid crystal transfer robot is provided with a sensor for correcting rotational deviation and lateral deviation of the liquid crystal substrate placed on the robot hand, and is provided on the connecting portion. In the case where the position detection sensor is provided on the supporting arm, the reaction force acts on the connecting portion by the movement of the robot hand on which the liquid crystal substrate having a large inertia is moved, and extends upward from the connecting portion. The position sensor disposed at the position causes residual vibration because the rigidity of the support arm is low. Even if an attempt is made to measure the lateral deviation in such a vibration, the value of the position sensor itself oscillating is also detected, which causes a problem that the true lateral deviation amount cannot be detected. Was.
In addition, with respect to the method of measuring the lateral displacement of the glass substrate by rotating the support arm to which the position detection sensor is attached, the support arm to which the position detection sensor is attached is rotated and arranged at the measurement position. In addition, an error occurs at the measurement position of the position detection sensor as long as there is a rotational motion, and there is a problem that an accurate lateral shift cannot be detected.
The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal transport robot that accurately detects the position of a glass substrate, corrects the position, and transports the glass substrate.
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項1記載の発明は、リンク機構からなる昇降機構と、リンク機構からなる水平多関節機構と、前記水平多関節機構に矩形形状の基板を載置するハンド部と、前記昇降機構に備えられた走行台車とからなる液晶搬送ロボットにおいて、前記ハンド部と前記水平多関節機構の間にコラムが備えられ、前記コラムに前記基板の位置を検出するセンサが備えられたものである。
また、請求項2記載の発明は、前記センサは、前記矩形形状の基板の一辺が通過するように前記コラムに配置されたものである。
また、請求項3記載の発明は、前記水平多関節機構が前記基板の搬送方向について対称構造となるように構成され、前記コラムに備えられた前記センサも前記対称構造になるように配置されたものである。
また、請求項4記載の発明は、前記センサが、透過型の光センサからなり、前記コラムがコの字形状に形成され、前記コラムの上下面に前記センサ素子を備えたものである。
また、請求項5記載の発明は、前記光センサが、矩形形状の基板の一辺が通過する際の前記基板による遮光量を前記基板の横ずれ量として検出するものである。
また、請求項6記載の発明は、矩形形状の基板を載置するハンド部が少なくとも1つの旋回軸を備えたリンク機構からなる昇降機構と、少なくとも2つの旋回軸からなるリンク機構からなる水平多関節機構と、前記昇降機構に備えられた走行台車とから操作される液晶搬送ロボットにおいて、前記ハンド部と前記水平多関節機構の間にコラムが備えられ、前記コラムに前記基板の位置を検出するセンサ信号をもとに前記基板の位置を補正して操作するものである。
また、請求項7記載の発明は、前記センサ信号をもとに前記基板の回転ずれを検出した場合、前記回転ずれを前記コラムに備えられた旋回軸の回転角度に変換して前記回転ずれを補正するものである。
また、請求項8記載の発明は、前記センサ信号をもとに前記基板の横ずれを検出した場合、前記横ずれは前記走行台車の移動量に変換して補正されるものである。
また、請求項9記載の発明は、前記センサ信号をもとに前記基板の回転ずれおよび横ずれを検出した場合、前記回転ずれを補正するステップの後に前記横ずれを補正するステップを実行するものである。
また、請求項10記載の発明は、前記センサ信号が距離検出センサの信号であって、前記距離検出センサの信号をもとに回転ずれを補正するステップの後に横ずれを補正するステップを実行するものである。
In order to solve the above problem, the present invention is configured as follows.
According to a first aspect of the present invention, an elevating mechanism comprising a link mechanism, a horizontal articulated mechanism comprising a link mechanism, a hand portion for placing a rectangular substrate on the horizontal articulated mechanism, and the elevating mechanism are provided. In the liquid crystal transfer robot including the traveling carriage, a column is provided between the hand unit and the horizontal articulated mechanism, and a sensor for detecting the position of the substrate is provided on the column.
According to a second aspect of the present invention, the sensor is arranged in the column so that one side of the rectangular substrate passes therethrough.
According to a third aspect of the present invention, the horizontal articulated mechanism is configured to have a symmetric structure with respect to the transport direction of the substrate, and the sensor provided in the column is also arranged to have the symmetric structure. Is.
According to a fourth aspect of the present invention, the sensor comprises a transmissive optical sensor, the column is formed in a U shape, and the sensor elements are provided on the upper and lower surfaces of the column.
According to a fifth aspect of the invention, the optical sensor detects a light shielding amount by the substrate when one side of the rectangular substrate passes as a lateral shift amount of the substrate.
According to a sixth aspect of the present invention, the hand portion on which the rectangular substrate is placed has a lifting mechanism composed of a link mechanism provided with at least one pivot axis, and a horizontal mechanism comprising a link mechanism composed of at least two pivot axes. In a liquid crystal transfer robot operated from a joint mechanism and a traveling carriage provided in the lifting mechanism, a column is provided between the hand unit and the horizontal articulated mechanism, and the position of the substrate is detected in the column. The operation is performed by correcting the position of the substrate based on the sensor signal.
According to a seventh aspect of the present invention, when a rotational deviation of the substrate is detected based on the sensor signal, the rotational deviation is converted into a rotational angle of a turning shaft provided in the column. It is to correct.
In the invention according to
According to a ninth aspect of the present invention, when rotational deviation and lateral deviation of the substrate are detected based on the sensor signal, the step of correcting the lateral deviation is executed after the step of correcting the rotational deviation. .
According to a tenth aspect of the present invention, the sensor signal is a signal of a distance detection sensor, and a step of correcting lateral deviation is performed after the step of correcting rotational deviation based on the signal of the distance detection sensor. It is.
請求項1から5の発明によると、剛性の高いコラムに基板の位置を検出するセンサを備えたことにより、高加速・高速にハンド部が移動しても、その反動が直接、コラムに振動として与えられることがないために、正確な位置情報を得ることができる。このように正確な位置を検出できることから、正確な補正が実現できることで、これまで問題となっていた作業領域での描画や露光の工程での欠品の問題が解消されるとともに、大型化するガラス基板についても適用することが可能である。
また、請求項6から10の発明によると、正確な位置情報をもとに補正ができるので作業領域へ搬送された際にも正確な位置にガラス基板を位置決めでき、製品の加工精度を向上できる。また、ガラス基板が通過する際に位置情報を検出して、検出結果に基づいて各関節の回転角度に変換され補正されるので、ガラス基板が移動中に補正することもできることからタクトタイムの短縮も可能である。
According to the first to fifth aspects of the present invention, the sensor that detects the position of the substrate is provided in the column having high rigidity, so that even if the hand portion moves at high acceleration and high speed, the reaction is directly applied to the column as vibration. Since it is not given, accurate position information can be obtained. Since accurate positions can be detected in this way, accurate correction can be realized, which eliminates the problem of missing parts in the drawing and exposure processes in the work area, which has been problematic until now, and increases the size. The present invention can also be applied to a glass substrate.
According to the inventions of claims 6 to 10, since correction can be made based on accurate position information, the glass substrate can be positioned at an accurate position even when transported to the work area, and the processing accuracy of the product can be improved. . In addition, position information is detected when the glass substrate passes, and the rotation angle of each joint is converted and corrected based on the detection result, so that the glass substrate can be corrected while moving, thereby reducing the tact time. Is also possible.
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は本発明の液晶搬送ロボットの斜視図である。図1は、左腕アームが前方へ伸延した状態を示し、図2は右腕アームが前方に伸延した状態を示している。図において、1は液晶搬送ロボット、1Cは第1の旋回軸、2Cは第2の旋回軸、3Cは第3の旋回軸、1Aは第1のアーム体、2Aは第2のアーム体、3Aは第3のアーム体、4Aは第4のアーム体、7は水平ベース、8はコの字コラム、9はロボットハンド、10は距離検出センサ、11は固定ベース、12は走行台車である。
本願発明が特許文献1と異なる点は、ガラス基板の横ずれを検出する距離検出センサがコの字コラムに備えられた部分である。
液晶搬送ロボット1は、大きく3つの構造から構成されている。1つには固定ベース11が垂直方向に上昇するように移動する第1の旋回軸1Cからなり、水平ベース7上に水平面内で旋回する第3旋回軸3Cからなっている。また、第2の旋回軸2Cを中心にガラス基板Wを載置したロボットハンド9の進行方向に対して左右対称に第3および第4のアーム体3A、4Aが配置されており、第2の旋回軸2Cで左右対称に第3および第4のアーム体3A、4Aおよびロボットハンド9を旋回する。
また、固定ベース11は走行台車12に取り付けられ、走行台車12はガラス基板の進退方向と直交する方向に移動させるものである。
以下に詳細なロボットの構造を説明する。
固定ベース11に配置され、水平面内に旋回軸を備えた第1の旋回軸1Cを第1および第2のアーム体1A、2Aをベルト駆動で、第1の旋回軸1Cを中心に第1のアーム体1Aおよび第2のアーム体1Aが旋回し、液晶搬送ロボット1を上下動させる。第2のアーム体2Aの先端は、水平ベース7に取り付けられ、垂直面内に旋回軸を有する第2の旋回軸2Cを備え、第2の旋回軸2Cにより水平ベース7が旋回する、水平ベース7には、左腕と右腕のアーム体3A、4Aが対称構造で配置されている。それぞれ添字にLとRがつけているが、Lが左腕を示し、Rが右腕を示すものである。水平ベース7にはそれぞれ第3のアーム体3AR、3ALが配置され、第3のアーム体3AR、3ALの他端は、垂直面内に旋回軸を有する第3の旋回軸3CR、3CLを備え、第3の旋回軸3CR、3CLにより第3のアーム体3AR、3ALと第4のアーム体4AR、4ALがベルト駆動で旋回される。第4のアーム体4AR、4ALの他端にはロボットハンド9を備えたコの字コラム8R、8Lと連結されている。
コの字コラム8R、8Lには、図2に示されるようにガラス基板Wが通過する部分に対向するように、例えば透過型光センサの距離検出センサ10R,10Lが配置されている。例えば、光の遮光量からガラス基板Wの位置として換算するものである。また、ロボットハンド9は軽量化と高剛性を得るためにCFRP(炭素繊維強化プラスチック)で形成されるが、ガラス基板Wが大型化してくるとその重量は数10kgにもなるためにコラム8R、8Lも高い剛性を備えるように肉厚や材質を最適化して形成されている。
次に動作について説明する。液晶搬送ロボット1は、所定の高さにある図示しないカセットのガラス基板Wを、第1の旋回軸1Cを制御することにより、ロボットハンド9とガラス基板Wとの高さを合わせるように移動し、第3の旋回軸3Cを制御することにより、アーム体3A,4Aを進退させることでロボットハンド9上にガラス基板Wを載置して、ガラス基板Wの作業領域に移動させる。
次に、ガラス基板のロボットハンド上での位置補正方法についてそのステップについて図3を用いて説明する。
(1)ロボットハンド上にガラス基板を載置する。
(2)図示しないロボットハンドに備えられた2つのセンサの相対角度から角度ずれを検出する。例えば特許文献1で開示されている角度ずれ検出方法により検出して良い。
(3)ステップ2で検出された角度ずれは、第3の旋回軸の回転角度に変換されて角度補正される。
(4)ロボットハンドに載置したガラス基板を引き込んだ場合に、コの字コラムに搭載した距離検出センサで横ずれを検出する。
(5)横ずれが生じていれば、走行台車の移動量に横ずれ量を変換することで位置補正する。
(6)角度および位置補正した姿勢を維持したまま、作業領域へ移動する。
FIG. 1 is a perspective view of a liquid crystal transfer robot of the present invention. FIG. 1 shows a state in which the left arm arm is extended forward, and FIG. 2 shows a state in which the right arm arm is extended forward. In the figure, 1 is a liquid crystal transfer robot, 1C is a first pivot axis, 2C is a second pivot axis, 3C is a third pivot axis, 1A is a first arm body, 2A is a second arm body, 3A Is a third arm body, 4A is a fourth arm body, 7 is a horizontal base, 8 is a U-shaped column, 9 is a robot hand, 10 is a distance detection sensor, 11 is a fixed base, and 12 is a traveling carriage.
The present invention differs from Patent Document 1 in that a U-shaped column is provided with a distance detection sensor that detects a lateral shift of the glass substrate.
The liquid crystal transfer robot 1 is mainly composed of three structures. One is composed of a first
The
The detailed robot structure will be described below.
The first
In the U-shaped columns 8R and 8L, for example, distance detection sensors 10R and 10L of transmission type optical sensors are arranged so as to face a portion through which the glass substrate W passes as shown in FIG. For example, the position of the glass substrate W is converted from the light shielding amount. The robot hand 9 is formed of CFRP (carbon fiber reinforced plastic) in order to obtain light weight and high rigidity. However, since the weight of the glass substrate W increases to several tens of kg, the column 8R, 8L is formed by optimizing the thickness and material so as to have high rigidity.
Next, the operation will be described. The liquid crystal transfer robot 1 moves a glass substrate W of a cassette (not shown) at a predetermined height so as to match the height of the robot hand 9 and the glass substrate W by controlling the
Next, steps of the method for correcting the position of the glass substrate on the robot hand will be described with reference to FIG.
(1) A glass substrate is placed on the robot hand.
(2) An angle shift is detected from a relative angle between two sensors provided in a robot hand (not shown). For example, the angle deviation detection method disclosed in Patent Document 1 may be used for detection.
(3) The angle deviation detected in step 2 is converted into the rotation angle of the third pivot axis and the angle is corrected.
(4) When a glass substrate placed on the robot hand is pulled in, a lateral shift is detected by a distance detection sensor mounted on the U-shaped column.
(5) If a lateral deviation has occurred, position correction is performed by converting the lateral deviation amount into the travel amount of the traveling carriage.
(6) Move to the work area while maintaining the angle and position corrected posture.
1 液晶搬送ロボット
1C 第1の旋回軸
2C 第2の旋回軸
3C 第3の旋回軸
4C 第4の旋回軸
1A 第1のアーム体
2A 第2のアーム体
3A 第3のアーム体
4A 第4のアーム体
7 水平ベース
8 コの字コラム
9 ロボットハンド
10 距離検出センサ
11 固定ベース
12 走行台車
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid
2A 2nd arm body 3A 3rd arm body 4A 4th arm body 7
Claims (10)
前記ハンド部と前記水平多関節機構の間にコラムが備えられ、前記コラムに前記基板の位置を検出するセンサが備えられたことを特徴とする液晶搬送ロボット。 Liquid crystal transport comprising a lifting mechanism composed of a link mechanism, a horizontal articulated mechanism composed of a link mechanism, a hand portion for placing a rectangular substrate on the horizontal articulated mechanism, and a traveling carriage provided in the lifting mechanism. In the robot,
A liquid crystal transport robot, wherein a column is provided between the hand unit and the horizontal articulated mechanism, and a sensor for detecting the position of the substrate is provided on the column.
前記ハンド部と前記水平多関節機構の間にコラムが備えられ、前記コラムに前記基板の位置を検出するセンサ信号をもとに前記基板の位置を補正して操作することを特徴とする液晶搬送ロボットの制御方法。 A hand part for placing a rectangular substrate is provided in the elevating mechanism comprising a link mechanism comprising at least one pivot axis, a horizontal articulated mechanism comprising a link mechanism comprising at least two pivot axes, and the elevating mechanism. In the control method of the liquid crystal transfer robot operated from the traveling carriage,
A liquid crystal transport characterized in that a column is provided between the hand unit and the horizontal articulated mechanism, and the column is operated by correcting the position of the substrate based on a sensor signal for detecting the position of the substrate. Robot control method.
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101947782A (en) * | 2009-07-08 | 2011-01-19 | 株式会社安川电机 | Robot |
JP2012032805A (en) * | 2010-06-30 | 2012-02-16 | Nsk Technology Co Ltd | Exposure unit |
JP2014103156A (en) * | 2012-11-16 | 2014-06-05 | Yaskawa Electric Corp | Substrate transfer robot and substrate transfer method |
CN104029455A (en) * | 2013-03-07 | 2014-09-10 | 营口金辰机械股份有限公司 | Automatic upper and lower assembly glass machine |
CN112297036A (en) * | 2019-07-26 | 2021-02-02 | 日本电产三协株式会社 | Method for detecting position of workpiece in robot |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5746483B2 (en) * | 2010-07-13 | 2015-07-08 | 日本電産サンキョー株式会社 | Industrial robot |
CN102126612B (en) * | 2011-01-18 | 2013-05-22 | 东莞宏威数码机械有限公司 | Position correcting device |
JP5387622B2 (en) * | 2011-06-17 | 2014-01-15 | 株式会社安川電機 | Transfer robot |
JP5429256B2 (en) * | 2011-10-03 | 2014-02-26 | 株式会社安川電機 | Robot system |
CN102506708B (en) * | 2011-10-19 | 2014-03-05 | 中国建材国际工程集团有限公司 | Position detecting method of glass in manipulator glass stacking system |
JP5459292B2 (en) * | 2011-10-31 | 2014-04-02 | 株式会社安川電機 | Transfer robot |
CH706473A1 (en) * | 2012-05-04 | 2013-11-15 | Erowa Ag | Überwachugungseinrichtung to monitor positions of a robot and production line with a monitoring device. |
KR101478480B1 (en) * | 2014-01-17 | 2014-12-31 | 두산중공업 주식회사 | Multi-articulated manipulator |
KR20150115136A (en) * | 2014-04-02 | 2015-10-14 | 현대중공업 주식회사 | Driving device for transferring substrate robot and method for transfreeing substrate |
CN104690736B (en) * | 2015-02-12 | 2017-03-08 | 成都天马微电子有限公司 | Mechanical arm and its detecting system and detection method |
JP2018140455A (en) * | 2017-02-27 | 2018-09-13 | 川崎重工業株式会社 | Robot and robot system |
CN106882596B (en) | 2017-03-23 | 2019-07-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | Substrate loading and unloading system, substrate charging method and substrate baiting method |
CN109877824A (en) * | 2017-12-06 | 2019-06-14 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | It is a kind of singly to take correction robot and its method for correcting error |
JP7008609B2 (en) * | 2018-10-18 | 2022-01-25 | 東京エレクトロン株式会社 | Board processing device and transfer position correction method |
CN110865620B (en) * | 2019-11-27 | 2022-01-25 | 郑州旭飞光电科技有限公司 | Online sampling inspection system and method for substrate glass and packaging system |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006088235A (en) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Hirata Corp | Substrate transfer-loading robot device |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09162257A (en) * | 1995-12-05 | 1997-06-20 | Metsukusu:Kk | Thin-type substrate transfer device |
US5768125A (en) * | 1995-12-08 | 1998-06-16 | Asm International N.V. | Apparatus for transferring a substantially circular article |
JPH10279050A (en) * | 1997-04-10 | 1998-10-20 | Mecs:Kk | Non-contact type displacement of glass base detecting device |
KR100309920B1 (en) * | 1998-12-16 | 2002-10-25 | 삼성전자 주식회사 | An unloading apparatus of a substrate and unloading method thereof |
JP4558981B2 (en) * | 2000-11-14 | 2010-10-06 | 株式会社ダイヘン | Transfer robot |
TW550651B (en) * | 2001-08-08 | 2003-09-01 | Tokyo Electron Ltd | Substrate conveying apparatus, substrate processing system, and substrate conveying method |
JP2003060004A (en) * | 2001-08-20 | 2003-02-28 | Yaskawa Electric Corp | Robot hand |
KR20040091850A (en) * | 2003-04-22 | 2004-11-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Substrate transfer device for liquid crystal display device |
AU2003304309A1 (en) | 2003-07-07 | 2005-01-21 | Rorze Corporation | Thin sheet-like article displacement detection method and displacement correction method |
-
2007
- 2007-06-06 JP JP2007150636A patent/JP5146641B2/en active Active
-
2008
- 2008-04-30 KR KR1020080040392A patent/KR101440158B1/en active IP Right Grant
- 2008-05-16 TW TW97118138A patent/TWI471257B/en active
- 2008-05-22 CN CN2008100976850A patent/CN101318328B/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006088235A (en) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Hirata Corp | Substrate transfer-loading robot device |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101947782A (en) * | 2009-07-08 | 2011-01-19 | 株式会社安川电机 | Robot |
JP2012032805A (en) * | 2010-06-30 | 2012-02-16 | Nsk Technology Co Ltd | Exposure unit |
JP2014103156A (en) * | 2012-11-16 | 2014-06-05 | Yaskawa Electric Corp | Substrate transfer robot and substrate transfer method |
CN104029455A (en) * | 2013-03-07 | 2014-09-10 | 营口金辰机械股份有限公司 | Automatic upper and lower assembly glass machine |
CN112297036A (en) * | 2019-07-26 | 2021-02-02 | 日本电产三协株式会社 | Method for detecting position of workpiece in robot |
KR20210012950A (en) | 2019-07-26 | 2021-02-03 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | Method for detecting work position of robot |
JP2021022643A (en) * | 2019-07-26 | 2021-02-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | Method for detecting work position in robot |
CN112297036B (en) * | 2019-07-26 | 2023-06-06 | 日本电产三协株式会社 | Workpiece position detection method in robot |
JP7303686B2 (en) | 2019-07-26 | 2023-07-05 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | Work position detection method for robots |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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