JP2008281400A - 高絶縁抵抗測定装置及び高絶縁抵抗測定方法 - Google Patents
高絶縁抵抗測定装置及び高絶縁抵抗測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008281400A JP2008281400A JP2007124925A JP2007124925A JP2008281400A JP 2008281400 A JP2008281400 A JP 2008281400A JP 2007124925 A JP2007124925 A JP 2007124925A JP 2007124925 A JP2007124925 A JP 2007124925A JP 2008281400 A JP2008281400 A JP 2008281400A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring
- insulation resistance
- switch
- elements
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の高絶縁抵抗測定装置は、スイッチ制御手段と、複数のスイッチと、複数の測定手段と、電源と、保護抵抗と、監視手段とを備えている。
これにより、測定媒体(抵抗)の片方が共通端子となっている場合の測定において、測定素子に絶縁不良が含まれていないときは、複数の素子を同時に測定することができ、測定素子の絶縁不良が含まれているときは、個別測定に自動的に切り換えて測定することができる。
よって、ウエハに形成された素子の絶縁抵抗の測定を迅速に、効率よく測定することが可能となる。
【選択図】図1
Description
即ち、本発明の高絶縁抵抗測定装置は、ウエハに形成された素子の絶縁抵抗を測定する高絶縁抵抗測定装置であって、前記素子の絶縁抵抗を測定するための測定手段と、一方に前記素子を、もう一方に前記測定手段を接続し、前記素子と前記測定手段との電気的接続の開閉を行うスイッチと、前記スイッチの開閉を制御するスイッチ制御手段と、前記素子に電圧を印加するための電源と、前記電源と前記ウエハとの間に接続された抵抗と、前記電源により前記ウエハに印加される電圧を監視する監視手段と、を備え、前記測定手段と、前記スイッチとを一度に測定する素子の数だけ有し、前記スイッチ制御装置が、すべての前記スイッチを閉じることにより、複数の前記測定手段が、複数の前記素子の絶縁抵抗を同時に測定し、前記監視手段が、前記電圧が所定の値以下となったことを検出した際には、前記スイッチ制御手段が1個のスイッチのみ閉じて残りのスイッチを開き、前記測定手段が閉じたスイッチに接続された素子の絶縁抵抗を測定した後、前記スイッチ制御手段が1個のみ閉じたスイッチを順次切り換えることにより、前記測定手段が順番に閉じたスイッチに接続された素子の絶縁抵抗を測定することを主要な特徴としている。
図1は、本発明の一実施形態に係る高絶縁抵抗測定装置の全体構成図である。高絶縁抵抗測定装置1は、測定対象ウエハ2と電気的に接続されている。高絶縁抵抗測定装置1と測定対象ウエハ2との接続は、プローブカードと当該プローブカードに配置されたプローブとを介することによって行うことができる。前記プローブが測定対象ウエハ2に形成された各素子の検査用電極に押圧されることにより、前記プローブと前記測定対象ウエハ2が電気的に接続され、前記プローブと接続されているケーブルが高絶縁抵抗測定装置1と接続されることにより、測定対象ウエハ2と、高絶縁抵抗測定装置1とが電気的に接続されることになる。
スイッチ制御手段3は、スイッチ4の開閉を個別に制御する。スイッチ4は、プローブを介してウエハ2の検査用電極に接続されている。図1においては、スイッチ4は4個記載されているが、4個に限られることはない。スイッチ4は、一度に測定するウエハ2の素子の数だけ取り付けることができる。
次に、本発明の一実施形態に係る高絶縁抵抗測定装置の動作について図1を参照して説明する。
高絶縁抵抗測定装置1は、スイッチ4が接続されたプローブをウエハ2に形成された素子の検査用電極に接触させることにより、ウエハ2に形成された各素子の抵抗値を測定する。
監視手段8は、電源6によってウエハ2に印加される電圧を測定する(S1)。監視手段8は、測定した電圧の値を予め決められた所定値と比較する(S2)。所定値以上の場合は、測定手段5によって、4個の素子の抵抗値が同時に測定される(S3)。
2 ウエハ
3 スイッチ制御手段
4 スイッチ
5 測定手段
6 電源
7 保護抵抗
8 監視手段
Claims (4)
- ウエハに形成された素子の絶縁抵抗を測定する高絶縁抵抗測定装置であって、
複数の前記各素子の絶縁抵抗を並列的に測定するための複数の測定手段と、
前記各素子と、前記各測定手段とを接続し、前記素子と前記測定手段との電気的接続の開閉を行う複数のスイッチと、
前記スイッチの開閉を制御するスイッチ制御手段と、
前記素子に電圧を印加するための電源と、
前記電源により前記ウエハに印加される電圧を監視する監視手段と、
を備え、
前記高絶縁抵抗測定装置は、前記スイッチ制御装置が、すべての前記スイッチを閉じたときに、前記複数の測定手段によって、前記複数の素子の絶縁抵抗を同時に測定し、
前記高絶縁抵抗測定装置は、前記測定の際、前記監視手段が、前記電圧が所定の値以下となったことを検出した場合には、前記スイッチ制御手段によって、1個のスイッチのみ閉じて残りのスイッチを開いて、前記測定手段によって閉じたスイッチに接続された素子の絶縁抵抗を測定し、
前記高絶縁抵抗測定装置は、前記スイッチ制御手段によって1個のみ閉じたスイッチを順次切り換えて、切り換えられた閉じたスイッチに接続された素子の絶縁抵抗を前記測定手段によって順番に測定すること、
を特徴とする高絶縁抵抗測定装置。 - 前記測定手段を4個有し、
前記スイッチを4個有して、
前記素子を最大4個同時に測定可能であることを、
特徴とする請求項1に記載の高絶縁抵抗測定装置。 - ウエハに形成された複数の素子の絶縁抵抗を並列的に測定するための複数の測定手段と、
前記各素子と、前記各測定手段とを接続し、前記素子と前記測定手段との電気的接続の開閉を行う複数のスイッチと、
前記スイッチの開閉を制御するスイッチ制御手段と、
前記素子に電圧を印加するための電源と、
前記電源により前記ウエハに印加される電圧を監視する監視手段と、
を備えた高絶縁抵抗測定装置における高絶縁抵抗測定方法であって、
前記監視手段が、前記電圧を監視する監視ステップと、
前記スイッチ制御手段が、すべての前記スイッチを閉じるステップと、複数の前記測定手段が、複数の前記素子の絶縁抵抗を同時に測定するステップとを含んだ同時測定ステップと、
前記スイッチ制御手段が1個のスイッチのみ閉じて残りのスイッチを開くステップと、前記測定手段が、閉じたスイッチに接続された素子の絶縁抵抗を測定するステップと、前記スイッチ制御手段が、1個のみ閉じたスイッチを順次切り換えるステップと、前記測定手段が、順番に閉じたスイッチに接続された素子の絶縁抵抗を測定するステップとを含んだ個別測定ステップと、
を有し、
前記監視ステップが、前記電圧が所定の電圧より大きいことを検知した際には、前記同時測定ステップが実行され、
前記監視ステップが、前記電圧が所定の電圧以下であることを検知した際には、前記個別測定ステップが実行されること、
を特徴とする高絶縁抵抗測定装置における高絶縁抵抗測定方法。 - ウエハに形成された複数の素子の絶縁抵抗を並列的に測定するための複数の測定手段と、
前記各素子と、前記各測定手段とを接続し、前記素子と前記測定手段との電気的接続の開閉を行う複数のスイッチと、
前記スイッチの開閉を制御するスイッチ制御手段と、
前記素子に電圧を印加するための電源と、
前記電源により前記ウエハに印加される電圧を監視する監視手段と、
を備えた高絶縁抵抗測定装置をコンピュータに制御させる高絶縁抵抗測定プログラムであって、
コンピュータに、
前記監視手段が取得した前記電圧の監視をする監視ステップと、
前記スイッチ制御手段に指令して、すべての前記スイッチを閉じさせるステップと、複数の前記測定手段に指令して、複数の前記素子の絶縁抵抗を同時に測定させるステップとを含んだ同時測定ステップと、
前記スイッチ制御手段に指令して、1個のスイッチのみ閉じて残りのスイッチを開かせるステップと、前記測定手段に指令して、閉じたスイッチに接続された素子の絶縁抵抗を測定させるステップと、前記スイッチ制御手段に指令して、1個のみ閉じたスイッチを順次切り換えさせるステップと、前記測定手段に指令して、順番に閉じたスイッチに接続された素子の絶縁抵抗を測定させるステップとを含んだ個別測定ステップと、
を実行させる際、
前記監視ステップが、前記電圧が所定の電圧より大きいことを検知した際には、前記同時測定ステップを実行させ、
前記監視ステップが、前記電圧が所定の電圧以下であることを検知した際には、前記個別測定ステップを実行させること、
を特徴とする高絶縁抵抗測定プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007124925A JP4860544B2 (ja) | 2007-05-09 | 2007-05-09 | 高絶縁抵抗測定装置及び高絶縁抵抗測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007124925A JP4860544B2 (ja) | 2007-05-09 | 2007-05-09 | 高絶縁抵抗測定装置及び高絶縁抵抗測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008281400A true JP2008281400A (ja) | 2008-11-20 |
JP4860544B2 JP4860544B2 (ja) | 2012-01-25 |
Family
ID=40142341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007124925A Expired - Fee Related JP4860544B2 (ja) | 2007-05-09 | 2007-05-09 | 高絶縁抵抗測定装置及び高絶縁抵抗測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4860544B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04209548A (ja) * | 1990-12-04 | 1992-07-30 | Fujitsu Ltd | 絶縁試験装置及びその絶縁試験方法 |
JPH0560812A (ja) * | 1991-09-04 | 1993-03-12 | Nippon Kamotsu Tetsudo Kk | 鉄道車両用絶縁試験装置 |
JPH1123636A (ja) * | 1997-07-08 | 1999-01-29 | Murata Mfg Co Ltd | アレー型コンデンサの絶縁抵抗測定方法および装置 |
-
2007
- 2007-05-09 JP JP2007124925A patent/JP4860544B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04209548A (ja) * | 1990-12-04 | 1992-07-30 | Fujitsu Ltd | 絶縁試験装置及びその絶縁試験方法 |
JPH0560812A (ja) * | 1991-09-04 | 1993-03-12 | Nippon Kamotsu Tetsudo Kk | 鉄道車両用絶縁試験装置 |
JPH1123636A (ja) * | 1997-07-08 | 1999-01-29 | Murata Mfg Co Ltd | アレー型コンデンサの絶縁抵抗測定方法および装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4860544B2 (ja) | 2012-01-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7339390B2 (en) | Systems and methods for controlling of electro-migration | |
CN101363895B (zh) | 检测直流回路故障的方法及*** | |
KR100674972B1 (ko) | 반도체 소자의 펄스 특성 측정 시스템 및 측정 방법 | |
TWI519795B (zh) | 使用智慧型電流感測開關保護探針之系統及方法 | |
TWI664427B (zh) | 接觸端子的維修方法及檢測裝置 | |
US9054793B2 (en) | Structure, system and method for device radio frequency (RF) reliability | |
JP2014134467A (ja) | 二次電池の状態診断方法 | |
WO2008041678A1 (fr) | Appareil de test de carte et procédé de test de carte | |
TW201617633A (zh) | 元件之檢查方法、探針卡、中介層及檢查裝置 | |
US9276298B2 (en) | Automatically determining alarm threshold settings for monitored battery system components in battery systems, and related components, systems, and methods | |
JP2008203077A (ja) | 回路検査装置及び回路検査方法 | |
JP5215148B2 (ja) | 絶縁検査装置および絶縁検査方法 | |
JP4959596B2 (ja) | 絶縁膜の評価方法および測定回路 | |
JP4860544B2 (ja) | 高絶縁抵抗測定装置及び高絶縁抵抗測定方法 | |
JP5478375B2 (ja) | 避雷装置の故障診断方法と故障診断装置 | |
KR20140146535A (ko) | 기판검사장치 | |
JP2015515620A5 (ja) | ||
CN108122796A (zh) | 键合损伤的检测*** | |
JP2007155640A (ja) | 集積回路の検査方法と検査装置 | |
JP2015198218A (ja) | 半導体トランジスタのテスト方法 | |
JP7437189B2 (ja) | 試験装置および有接点リレーの劣化判定方法 | |
JP2011033549A (ja) | プローブカードの検査方法、半導体装置の検査方法及びプローブカード | |
JP6400347B2 (ja) | 検査装置 | |
CN108226750A (zh) | 防止探针卡烧针的方法 | |
JP2010147277A (ja) | 半導体評価装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20091211 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100414 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100617 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111007 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111024 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111102 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141111 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |