JP2008273829A - 窒化けい素製耐摩耗性部材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸素1.5質量%以下、α相型窒化けい素75〜97質量%含有し、平均粒径1.0μm以下の窒化けい素粉末に、希土類元素を酸化物換算で1〜10質量%と、AlおよびMgの少なくとも一方を酸化物換算で5質量%以下と、AlN5質量%以下と、Ti,Hf,Zr,W,Mo,Ta,Nb,Crの内少なくとも1種を酸化物換算で5質量%以下との原料を混合し成形体を調製し、該成形体を脱脂後、焼結する途中、0.01Pa以下の真空中で温度1250〜1600℃の温度又は窒素雰囲気中で温度1500℃〜1600℃で所定時間保持後、温度1650℃〜1850℃で本焼結し、焼結温度から、希土類元素により焼結時形成された液相が凝固するに至る焼結体の冷却速度を毎時100℃以下の徐冷により、窒化けい素焼結体から成る耐摩耗性部材を製造する。
【選択図】図1
Description
実施例1として、酸素量が1.1質量%であり、α相型窒化けい素97%を含む平均粒径0.55μmのSi3N4(窒化けい素)原料粉末86質量%に、焼結助剤として平均粒径0.9μmのY2O3(酸化イットリウム)粉末5質量%と、平均粒径0.7μmのAl2O3(アルミナ)粉末5質量%と、平均粒径1.0μmのAlN(窒化アルミニウム)粉末2質量%、平均粒径0.5μmのTiO2(酸化チタン)粉末2質量%を添加し、エチルアルコール中で粉砕媒体として窒化けい素製ボールを用いて96時間湿式混合したのち乾燥して原料混合体を調製した。
比較例1として真空雰囲気中で温度1400℃での途中保持操作を実施しない点以外は実施例1と同一条件で処理することにより比較例1に係る窒化けい素製耐摩耗性部材を調製した。また、本発明の好ましい範囲外の一例である比較例2として、焼結途中での保持操作を1×104Paの窒素ガス雰囲気中にて温度1600℃で2時間実施した点、さらに焼結後の冷却速度を従来の自然冷却による炉冷である500℃/hrとした点以外は実施例1と同一条件で処理して比較例2に係る窒化けい素製耐摩耗性部材を調製した。さらに、比較例3として酸素量が1.7質量%であり、α相型窒化けい素を91%含む平均粒径1.5μmのSi3N4(窒化けい素)原料粉末を使用した点以外は実施例1と同一条件で処理することにより比較例3に係る窒化けい素製耐摩耗性部材を調製した。
前記実施例1〜2および比較例1〜3において作成した調合造粒粉をそれぞれ金型に充填加圧して球状の予備成形体を調製した。さらに各予備成形体を120MPaの成形圧でラバープレス処理を実施することにより、圧砕強度測定用および転がり寿命測定用サンプルとしての直径11mmの球状成形体をそれぞれ調製した。
実施例3〜27として実施例1において使用した窒化けい素原料粉末と、Y2O3粉末と、Al2O3粉末と、表3に示すように平均粒径0.9〜1.0μmの各種希土類酸化物粉末の他に、平均粒径0.5μmのMgO粉末と、平均粒径1.0μmのAlN粉末の他に平均粒径0.4〜0.5μmの各種化合物粉末を表3に示す組成比となるように調合して原料混合体をそれぞれ調製した。
一方比較例4〜9として表3に示すようにY2O3を過少量に添加したもの(比較例4)、Y2O3を過量に添加したもの(比較例5)、TiO2を過量に添加したもの(比較例6)、Al2O3を過量に添加したもの(比較例7)、AlNを過量に添加したもの(比較例8)、MgOを過量に添加したもの(比較例9)の原料混合体をそれぞれ調製した。
前記実施例3〜27および比較例4〜9において作成した調合造粒粉をそれぞれ金型に充填加圧して球状の予備成形体を調製した。さらに各予備成形体を100MPaの成形圧でラバープレス処理を実施することにより、圧砕強度測定用および転がり寿命測定用サンプルとしての直径11mmの球状成形体をそれぞれ調製した。
酸素含有量が1.2質量%の窒化けい素(Si3N4)粉末に、焼結助剤として希土類化合物粉末とアルミニウム化合物粉末、さらに他の金属化合物粉末を、表5に示す組成で添加し、湿式ボールミルを用いて混合した後に乾燥して、それぞれ原料混合物を調製した。
実施例101〜105および比較例101の各窒化けい素焼結体と同組成によって、それぞれ直径10mmのベアリングボール素球を作製した。各素球の焼結は、実施例101〜105および比較例101と同様に焼結したものに対し、さらにHIP処理を施した。これら各素球について、表面から30μmの外周部、表面から1mmの中間部、および中心部の3箇所の酸素濃度を、実施例101と同様にして測定した。その結果を表6に示す。また、各素球に対して、直径9.525mm、表面粗さRa0.3μmとなるように研磨加工を施して、それぞれ仕上げ球とした。
実施例107と同様な組成および製法を適用して、それぞれ表7に示す直径を有するベアリングボール素球を作製した。さらに、比較例104については、実施例107と同様な組成および製法を適用して、直径2mmのベアリングボール素球を作製した。比較例105〜108としては、比較例103と同様な組成および製法(真空昇温および保持なし)を適用して、それぞれ表7に示す直径を有するベアリングボール素球を作製した。これら各素球の外周部、中間部および中心部の酸素濃度を、実施例101と同様にして測定した。また、焼結後の焼結体の不良発生率についても測定した。焼結体の不良発生率としては、焼結後に目視により焼結体表面に割れが存在することが確認できるものの割合を測定した。その結果を表7に示す。
酸素含有量が0.8質量%の窒化けい素粉末87.2質量%に対して、酸化イットリウム粉末を5質量%、酸化アルミニウム粉末を3質量%、窒化アルミニウム粉末を4質量%、および酸化チタン粉末を0.8質量%添加して混合し、原料混合物を調製した。
2 耐摩耗性部材
3 転動鋼球
4 ガイド板
5 駆動回転軸
6 保持器
7 潤滑油
8 転動ボール(窒化けい素製)
9 軸受鋼板(SUJ2製)
A 中心部
B 外周部
C 中間部
Claims (10)
- 酸素を1.5質量%以下、α相型窒化けい素を75〜97質量%含有し、平均粒径が1.0μm以下の窒化けい素粉末に、希土類元素を酸化物に換算して1〜10質量%と、アルミニウムおよびマグネシウムの少なくとも一方を酸化物に換算して5質量%以下と、窒化アルミニウムを5質量%以下と、Ti,Hf,Zr,W,Mo,Ta,Nb,Crからなる群より選択される少なくとも1種を酸化物に換算して5質量%以下とを添加した原料混合体を成形して成形体を調製し、得られた成形体を脱脂後、焼結する途中、0.01Pa以下の真空中で温度1250〜1600℃の温度または窒素雰囲気中で温度1500℃〜1600℃で所定時間保持した後、温度1650℃〜1850℃で本焼結し、上記焼結温度から、前記希土類元素により焼結時に形成された液相が凝固するまでに至る焼結体の冷却速度を毎時100℃以下にして徐冷することにより、全酸素が4.5質量%以下、気孔率が0.5%以下、粒界相中の最大気孔径が0.2μm以下である窒化けい素焼結体から成る耐摩耗性部材を調製することを特徴とする窒化けい素製耐摩耗性部材の製造方法。
- 焼結後、前記窒化けい素焼結体に対し、300気圧以上の非酸化性雰囲気中で温度1600℃〜1850℃で熱間静水圧プレス(HIP)処理を実施することを特徴とする請求項1記載の窒化けい素製耐摩耗性部材の製造方法。
- 前記所定時間が0.5〜10時間であることを特徴とする請求項1記載の窒化けい素製耐摩耗性部材の製造方法。
- 前記窒化けい素焼結体から成る耐摩耗性部材を転がり軸受け部材とすることを特徴とする請求項1記載の耐摩耗性部材の製造方法。
- 前記窒化けい素焼結体が、微量の酸素を含有する焼結体であって、酸素の濃度が中心部に比べて0.2質量%以上2質量%以下の範囲で低減された低酸素濃度の外周部を形成することを特徴とする請求項1記載の耐摩耗性部材の製造方法。
- 前記窒化けい素焼結体の硬度をビッカース硬さでHv1200以上とすることを特徴とする請求項1記載の耐摩耗性部材の製造方法。
- 請求項5記載の耐摩耗性部材の製造方法において、前記外周部は前記中心部に対する焼結助剤中の金属成分の濃度差を0.2質量%未満とすることを特徴とする耐摩耗性部材の製造方法。
- 請求項5記載の耐摩耗性部材の製造方法において、前記中心部に対する前記酸素濃度の差が1質量%以下の中間部を形成することを特徴とする耐摩耗性部材の製造方法。
- 請求項5記載の耐摩耗性部材の製造方法において、前記耐摩耗性部材はベアリングボールであることを特徴とする耐摩耗性部材の製造方法。
- 請求項9記載の耐摩耗性部材の製造方法において、前記ベアリングボールの直径を9mm以上とすることを特徴とする耐摩耗性部材の製造方法。
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