JP2008241619A - カンチレバー、バイオセンサ、及びプローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カンチレバー型バイオセンサは、台座12の先端にカンチレバー10の一端が支持されて取り付けられており、カンチレバー10の表面には、表面に開口し、かつ、カンチレバー10の厚さ方向に貫通する複数の貫通孔10Aを穿設されている。貫通孔10Aの開口部は、各々矩形状であり、粘性抵抗を小さくするために、複数の貫通孔10Aを穿設して、開口面積をできるだけ大きくしている。これにより、カンチレバー10を振動させるときに、カンチレバー10の複数の貫通孔10Aによって、分子の移動が滑らかになるため、大きな粘性抵抗が発生することを防ぎ、粘性抵抗が小さくなっている。従って、質量変化に対する周波数変化の変化量が大きくなっている。
【選択図】図3
Description
"人工ノーズ"(アナリティカ ケミカ アクタ Analytica Chamica Acta 第393巻(1999年)59頁)
10A 貫通孔
12、215 台座
12A 電極
14、216 アクチュエータ
16 接合部
16B 歪み抵抗素子
18、218 検出回路
20、220 正帰還回路
22 変換回路
26、226 パーソナルコンピュータ
30 対向電極
212 半導体レーザ
214 位置検出器
310A 探針
Claims (11)
- 支持部を介して基板に支持された板状のカンチレバーであって、表面に開口し、かつ、前記カンチレバーの厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を穿設したカンチレバー。
- 前記貫通孔の開口部を、一辺が3μm〜6μmの大きさの矩形状とした請求項1記載のカンチレバー。
- 前記カンチレバーの前記貫通孔が穿設されていない未開口部分に探針を形成した請求項1又は2記載のカンチレバー。
- 前記カンチレバーの前記貫通孔が穿設されていない未開口部分の少なくとも一部分を反射面とした請求項1又は2記載のカンチレバー。
- 前記カンチレバーの支持部に歪み抵抗素子を設けた請求項1〜請求項3の何れか1項記載のカンチレバー。
- 前記カンチレバーの前記貫通孔が穿設されていない未開口部分を静電容量素子の一部とした請求項1又は2記載のカンチレバー。
- 前記カンチレバーを、液中に浸漬するか、又は大気中に配置した請求項1〜請求項6の何れか1項記載のカンチレバー。
- 前記カンチレバーの母材が、シリコン、SiN、及びSiO2の少なくとも一つで形成された請求項1〜請求項7の何れか1項記載のカンチレバー。
- 表面が、金、白金、SiO2、絶縁物、有機物、及び磁性材の少なくとも一つで被覆された請求項1〜請求項8の何れか1項記載のカンチレバー。
- 請求項1〜請求項9の何れか1項記載のカンチレバーと、
前記カンチレバーに付着した物質の付着量を検出する検出手段と、
を含むバイオセンサ。 - 請求項3記載のカンチレバーを備え、
前記カンチレバーを、前記探針と試料の表面との間に原子間力が作用するように配置したプローブ顕微鏡。
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