JP2008237004A5 - - Google Patents

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  1. 磁性体からなる筒状の内側ヨークと、
    前記内側ヨークの外周面に接合されたものであって、内周部がN極およびS極の一方に磁化され且つ外周部が他方に磁化された筒状の第1の内側永久磁石と、
    前記内側ヨークの外周面に前記第1の内側永久磁石から軸方向に離して接合されたものであって、内周部および外周部のそれぞれが前記第1の内側永久磁石の同部分に対して逆の極性となるように磁化された筒状の第2の内側永久磁石と、
    前記第1の内側永久磁石の外径寸法および前記第2の内側永久磁石の外径寸法のそれぞれに比べて大きな内径寸法を有する筒状をなすものであって、前記第1の内側永久磁石および前記第2の内側永久磁石の双方の外周部に配置された磁性体製の外側ヨークと、
    前記外側ヨークの内周面が前記第1の内側永久磁石の外周面および前記第2の内側永久磁石の外周面のそれぞれに径方向から空隙を介して対向するように前記外側ヨークおよび前記内側ヨークを相互に連結する連結部材と、
    前記外側ヨークの内周面に接合されたものであって、前記第1の内側永久磁石の外周面に径方向から空隙を介して対向する筒状をなすと共に内周部および外周部のそれぞれが前記第1の内側永久磁石の同部分に対して同一の極性となるように磁化された第1の外側永久磁石と、
    前記外側ヨークの内周面に前記第1の外側永久磁石から軸方向に離して接合されたものであって、前記第2の内側永久磁石の外周面に径方向から空隙を介して対向する筒状をなすと共に内周部および外周部のそれぞれが前記第2の内側永久磁石の同部分に対して同一の極性となるように磁化された第2の外側永久磁石と、
    マグネットワイヤを筒状に巻回してなるものであって、前記第1の内側永久磁石および前記第1の外側永久磁石相互間の空隙に軸方向へ相対的に移動可能に挿入された第1の電機子コイルと、
    マグネットワイヤを筒状に巻回してなるものであって、前記第2の内側永久磁石および前記第2の外側永久磁石相互間の空隙に軸方向へ相対的に移動可能に挿入され且つ前記第1の電機子コイルに機械的に連結されていると共に前記第1の電機子コイルとは逆向きに電流が流れる第2の電機子コイルを備えたことを特徴とするリニアアクチュエータ。
  2. 前記第2の電機子コイルは、前記第1の電機子コイルと逆向きにマグネットワイヤを巻回することから構成されたものであって前記第1の電機子コイルに対して逆向きに電流が流れるように前記第1の電機子コイルに直列に接続されていることを特徴とする請求項1に記載のリニアアクチュエータ。
  3. 前記第2の電機子コイルは、前記第1の電機子コイルと同じ向きにマグネットワイヤを巻回することから構成されたものであって前記第1の電機子コイルに対して逆向きに電流が流れるように前記第1の電機子コイルに並列に接続されていることを特徴とする請求項1に記載のリニアアクチュエータ。
  4. 前記第1の内側永久磁石および前記第2の内側永久磁石相互間は、前記第1の内側永久磁石の径方向の幅寸法および前記第2の内側永久磁石の径方向の幅寸法のそれぞれの半分以上の大きさの距離だけ軸方向に離して配置され、
    前記第1の外側永久磁石および前記第2の外側永久磁石相互間は、前記第1の外側永久磁石の径方向の幅寸法および前記第2の外側永久磁石の径方向の幅寸法のそれぞれの半分以上の大きさの距離だけ軸方向に離して配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
  5. 前記連結部材は、非磁性体を材料とするものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
  6. 前記第1の電機子コイルおよび前記2の電機子コイルは、共通のボビンに巻回されることに基づいて相互に機械的に連結されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
  7. 前記内側ヨークおよび前記外側ヨークのそれぞれは、径方向の厚さ寸法が一定に設定されていないことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
  8. 前記内側ヨークのうち前記第1の内側永久磁石および前記第2の内側永久磁石のそれぞれに径方向から対向する部分に位置して設けられたものであって、前記内側ヨークの残り部分に比べて径方向の厚さ寸法が大きな内側厚肉部と、
    前記外側ヨークのうち前記第1の外側永久磁石および前記第2の外側永久磁石のそれぞれに径方向から対向する部分に位置して設けられたものであって、前記外側ヨークの残り部分に比べて径方向の厚さ寸法が大きな外側厚肉部を備えたことを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
  9. 前記内側ヨークのうち前記第1の内側永久磁石に径方向から対向する部分に位置して設けられたものであって、前記第1の内側永久磁石のうち前記第2の内側永久磁石と反対側である一端部から同一側である他端部に向かって径方向の厚さ寸法が大きくなる第1の内側傾斜部と、
    前記内側ヨークのうち前記第2の内側永久磁石に径方向から対向する部分に位置して設けられたものであって、前記第2の内側永久磁石のうち前記第1の内側永久磁石と同一側である一端部から反対側である他端部に向かって径方向の厚さ寸法が小さくなる第2の内側傾斜部と、
    前記第1の内側永久磁石に設けられたものであって、前記第1の内側傾斜部の外周面に面接触状態で接合された第1の内側傾斜面と、
    前記第2の内側永久磁石に設けられたものであって、前記第2の内側傾斜部の外周面に面接触状態で接合された第2の内側傾斜面と、
    前記外側ヨークのうち前記第1の外側永久磁石に径方向から対向する部分に位置して設けられたものであって、前記第1の外側永久磁石のうち前記第2の外側永久磁石と反対側である一端部から同一側である他端部に向かって径方向の厚さ寸法が大きくなる第1の外側傾斜部と、
    前記外側ヨークのうち前記第2の外側永久磁石に径方向から対向する部分に位置して設けられたものであって、前記第2の外側永久磁石のうち前記第1の外側永久磁石と同一側である一端部から反対側である他端部に向かって径方向の厚さ寸法が小さくなる第2の外側傾斜部と、
    前記第1の外側永久磁石に設けられたものであって、前記第1の外側傾斜部の内周面に面接触状態で接合された第1の外側傾斜面と、
    前記第2の外側永久磁石に設けられたものであって、前記第2の外側傾斜部の外周面に面接触状態で接合された第2の外側傾斜面を備えたことを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
  10. 部品を保持するための保持部材と、
    前記保持部材を予め決められた設定方向へ移動可能に支えるベース部材と、
    前記ベース部材を前記設定方向とは異なる方向へ移動操作することに基づいて前記保持部材を部品に押付けるための押付け位置から当該押付け位置とは異なる位置に移送する移送機構と、
    前記保持部材を前記押付け位置から前記設定方向へ移動操作することに基づいて部品に押付ける操作機構を備え、
    前記ベース部材および前記保持部材相互間には、請求項1〜9のいずれかに記載のリニアアクチュエータが前記第1の電機子コイルおよび前記第2の電機子コイルのそれぞれが前記設定方向へ相対的に移動可能となるように介在されていることを特徴とする部品保持装置。
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KR1020070097172A KR100899468B1 (ko) 2007-02-23 2007-09-27 리니어 액츄에이터 및 리니어 액츄에이터를 이용한 부품보유 지지 장치, 다이 본더 장치
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI469475B (zh) * 2008-11-17 2015-01-11 Komatsu Ind Corp 線性致動器
CN101873046A (zh) * 2010-06-11 2010-10-27 蹇兴亮 含稳态的永磁体电磁驱动装置
KR101388085B1 (ko) * 2010-06-10 2014-04-22 엘에스산전 주식회사 바이스테이블 영구자석형 조작기
JP5926017B2 (ja) * 2010-09-29 2016-05-25 日亜化学工業株式会社 円柱状ボンド磁石
US8736086B2 (en) * 2011-03-25 2014-05-27 Tai-Her Yang Reciprocal vibration type power generator equipped with inner columnar and outer annular magnetic members, a power storage device, a rectifying circuit, and a charging circuit
US8546964B2 (en) * 2011-03-25 2013-10-01 Tai-Her Yang Reciprocal vibration type power generator equipped with a moving inner columnar magnetic block surrounded by at least one coil set, and a moving outer annular magnetic block that surrounds the at least one coil set
JP2013229247A (ja) * 2012-04-26 2013-11-07 Toshiba Corp 電力用開閉装置、及びその操作機構
CN102710090B (zh) * 2012-06-06 2014-12-10 西安交通大学 一种可叠加的大位移电磁式加载机及其加载方法
CN102931801B (zh) * 2012-10-31 2014-07-02 西安交通大学 一种利用电磁力进行位置控制的大位移磁作动器
WO2014207996A1 (ja) * 2013-06-25 2014-12-31 パナソニックIpマネジメント株式会社 アクチュエータ及びアクチュエータを備えるレンズ鏡筒
JP6426931B2 (ja) * 2014-07-24 2018-11-21 学校法人東海大学 発電機
WO2016066129A1 (zh) * 2014-10-30 2016-05-06 陈启星 基于径向磁筒的直线电机
JP6667326B2 (ja) * 2016-03-17 2020-03-18 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンダおよびボンディング方法
CN109698598A (zh) * 2017-10-24 2019-04-30 博格华纳公司 用于机电致动器***的推杆及其制造方法
CN108900064A (zh) * 2018-05-28 2018-11-27 胡明 一种柴油机用音圈电机
CN110824850B (zh) * 2018-08-10 2021-02-02 上海微电子装备(集团)股份有限公司 硅片交接机械手及硅片交接装置
JP2020054122A (ja) * 2018-09-27 2020-04-02 日本電産サンキョー株式会社 アクチュエータ、およびパネルスピーカー
CN113965040B (zh) * 2020-12-01 2022-12-30 上海隐冠半导体技术有限公司 音圈电机

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56115071U (ja) * 1980-02-04 1981-09-03
JPH0695387B2 (ja) * 1987-07-23 1994-11-24 三菱電機株式会社 ボイスコイル形アクチユエ−タ
US4808955A (en) * 1987-10-05 1989-02-28 Bei Electronics, Inc. Moving coil linear actuator with interleaved magnetic circuits
JPH069373U (ja) * 1992-06-30 1994-02-04 株式会社ユニシアジェックス リニアモータ
JP2606903Y2 (ja) * 1993-12-27 2001-02-19 株式会社安川電機 リニアモータの界磁ヨーク
JP4734766B2 (ja) * 2000-07-18 2011-07-27 Smc株式会社 磁石可動型電磁アクチュエータ
JP4485672B2 (ja) * 2000-10-20 2010-06-23 パナソニック株式会社 リニアモータ及び部品実装装置
JP3927089B2 (ja) * 2002-07-16 2007-06-06 日本電産サンキョー株式会社 リニアアクチュエータ、それを用いたポンプ装置並びにコンプレッサー装置

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