JP2008232211A - 開閉バルブ及び該開閉バルブを備えた処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内部を真空に保持可能なチャンバー11と、排気装置53、54との間に設けられる開閉バルブ100であって、チャンバー11側と排気装置53、54側とを連通する開口111を備えた弁本体110と、弁本体110内にあって開口111に接離して開口を開閉する弁体120と、弁体120に設けられ弁体120が開口111を閉じた際に開口111をシールするシール部材120bと、弁体を進退させる直進移動手段140と、開口111から離隔した位置に設けられ、開口111から離反した弁体120が退避する弁退避部113bと、弁体120を、開口111に対応する位置と弁退避部113bに対応する位置との間で回動させる回動手段150とを有する。
【選択図】 図4
Description
53、54 排気装置
100 開閉バルブ
110 弁本体
111 開口
113b 弁退避部
120 弁体
120a 保護シール
120b シール部材
131 板カム(カム機構)
140 直進移動手段
150 回動手段
S 半導体基板
Claims (8)
- 内部を真空に保持可能なチャンバーと、該チャンバー内を真空排気する排気装置との間に設けられる開閉バルブであって、
内部に前記チャンバー側と前記排気装置側とを連通する開口が形成された弁本体と、
該弁本体内にあって前記開口に接離して開口を開閉する弁体と、
前記弁体に設けられ前記弁体が前記開口を閉じた際に開口をシールするシール部材と、
前記弁体を進退させる直進移動手段と、
前記開口から離隔した位置に設けられ、前記開口から離反した前記弁体が退避する弁退避部と、
前記弁体を、前記開口に対応する位置と前記退避部または前記退避部に対応する位置との間で回動させる回動手段と、
を有し、
前記弁体が前記開口から離反している際に、前記直進移動手段と回動手段とにより前記弁体を前記弁退避部に移動することを特徴とする開閉バルブ。 - 前記弁退避部は前記開口から離隔した壁部に設けられ、前記弁体が前記弁退避部に対応する位置に移動したとき、前記直進移動手段が、前記シール部材が弁退避部に圧接されるように、前記弁体を直進させることを特徴とする請求項1に記載の開閉バルブ。
- 前記直進移動手段が、カム機構を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の開閉バルブ。
- 前記カム機構が、板状部材の表面に形成された溝を有する板カムであることを特徴とする請求項3に記載の開閉バルブ。
- 前記回動手段が、前記弁体と共にカム機構を回動することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の開閉バルブ。
- 前記弁体が、前記シール部材の外側に保護シールを有し、前記保護シールが前記弁退避部に密着したとき、前記シール部材が前記保護シール内に気密に封止されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の開閉バルブ。
- 前記開口の周辺に、前記保護シールが収容される凹溝を形成し、前記シール部材が開口を封止したとき前記保護シールが前記凹溝に収容されることを特徴とする請求項6に記載の開閉バルブ。
- 被処理体が収容され、内部を真空に保持可能なチャンバーと、前記チャンバー内で被処理体にプラズマによる処理を施す処理機構と、前記チャンバー内を真空排気する排気装置と、前記チャンバーと前記排気装置との間に設けられる開閉バルブとを有する処理装置であって、
前記開閉バルブが、内部に前記チャンバー側と前記排気装置側とを連通する開口が形成された弁本体と、該弁本体内にあって前記開口に接離して開口を開閉する弁体と、前記弁体に設けられ前記弁体が前記開口を閉じた際に開口をシールするシール部材と、前記弁体を進退させる直進移動手段と、前記開口から離隔した位置に設けられ、前記開口から離反した前記弁体が退避する弁退避部と、前記弁体を、前記開口に対応する位置と前記退避部または前記退避部に対応する位置との間で回動させる回動手段と、を有し、前記弁体が前記開口から離反している際に、前記直進移動手段と回動手段とにより前記弁体を前記弁退避部に移動することを特徴とする処理装置。
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