JP2008227451A - イメージセンサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、トランジスタ回路(circuitry)とフォトダイオードの新たな集積を提供できるイメージセンサ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明によるイメージセンサは、下部配線を含むCMOS回路(circuitry)が形成された基板と、上記基板の上に複数で分離されて形成された第1配線と、上記第1配線の間に平坦化されて形成された絶縁層と、上記絶縁層を含む基板の上に形成された真性層(intrinsic layer)と、上記真性層の上に形成された第2導電型伝導層とを含む。
【選択図】図1
【解決手段】本発明によるイメージセンサは、下部配線を含むCMOS回路(circuitry)が形成された基板と、上記基板の上に複数で分離されて形成された第1配線と、上記第1配線の間に平坦化されて形成された絶縁層と、上記絶縁層を含む基板の上に形成された真性層(intrinsic layer)と、上記真性層の上に形成された第2導電型伝導層とを含む。
【選択図】図1
Description
本発明は、イメージセンサ及びその製造方法に関するものである。
一般に、イメージセンサ(Image sensor)は、光学的映像(optical image)を電気的信号に変換させる半導体素子であって、電荷結合素子(charge coupled device:CCD)イメージセンサとCMOS(Complementary Metal Oxide Silicon)イメージセンサ(Image sensor)(CIS)とに大別される。
CMOSイメージセンサは、単位画素内にフォトダイオードとMOSトランジスタを形成させることによって、スイッチング方式により各単位画素の電気的信号を順次に検出して映像を具現する。
従来技術によるCMOSイメージセンサは、光信号を受けて電気信号に変えるフォトダイオード(Photo diode)領域(図示せず)と、この電気信号を処理するトランジスタ領域(図示せず)とに区分することができる。
ところが、従来技術によるCMOSイメージセンサは、フォトダイオードがトランジスタと水平に配置される構造である。
勿論、従来技術による水平型のCMOSイメージセンサによりCCDイメージセンサの短所が解決されることはされたが、従来技術による水平型のCMOSイメージセンサには相変わらず問題点がある。
即ち、従来技術による水平型のCMOSイメージセンサによれば、フォトダイオードとトランジスタが基板の上に相互水平に隣接して製造される。これによって、フォトダイオードのための追加的な領域が要求され、これによって、フィルファクター(fill factor)領域を減少させ、またレゾリューション(Resolution)の可能性を制限する問題がある。
また、従来技術による水平型のCMOSイメージセンサによれば、フォトダイオードとトランジスタを同時に製造する工程に対する最適化を達成する点が非常に困難な問題がある。即ち、迅速なトランジスタ工程では、小さな面抵抗(low sheet resistance)のために、シャロージャンクション(shallow junction)が要求されるか、フォトダイオードには、このようなシャロージャンクション(shallow junction)が適切でないことがある。
また、従来技術による水平型のCMOSイメージセンサによれば、追加的なオンチップ(on-chip)機能がイメージセンサに付加されながら単位画素の大きさがイメージセンサの感度(sensitivity)を維持するために増加するか、またはフォトダイオードのための面積がピクセルサイズを維持するために減少されなければならない。ところが、ピクセルサイズが増加すれば、イメージセンサのレゾリューション(Resolution)が減少することになり、また、フォトダイオードの面積が減少すればイメージセンサの感度(sensitivity)が減少する問題が発生する。
本発明の目的は、トランジスタ回路(circuitry)とフォトダイオードの新しい集積を提供できるイメージセンサ及びその製造方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、レゾリューション(Resolution)と感度(sensitivity)が共に改善できるイメージセンサ及びその製造方法を提供することにある。
また、本発明の更に他の目的は、垂直型のフォトダイオードを採用しながらフォトダイオード内にディフェクトを防止できるイメージセンサ及びその製造方法を提供することにある。
本発明によるイメージセンサは、下部配線を含むCMOS回路(circuitry)が形成された基板と、上記基板の上に複数で分離されて形成された第1配線と、上記第1配線の間に平坦化されて形成された絶縁層と、上記絶縁層を含む基板の上に形成された真性層(intrinsic layer)と、上記真性層の上に形成された第2導電型伝導層とを含むことを特徴とする。
また、本発明によるイメージセンサの製造方法は、下部配線を含むCMOS回路(circuitry)を基板の上に形成する段階と、上記基板の上に複数に分離された第1配線を形成する段階と、上記第1配線の上に絶縁層を形成する段階と、上記絶縁層を平坦化する段階と、上記平坦化した絶縁層の上に真性層(intrinsic layer)を形成する段階と、上記真性層の上に第2導電型伝導層を形成する段階と、を含むことを特徴とする。
本発明によるイメージセンサ及びその製造方法によれば、トランジスタ回路(circuitry)とフォトダイオードの垂直型集積を提供することができる。
以下、本発明によるイメージセンサ及びその製造方法について、添付図面を参照しつつ説明する。
本発明の説明において、各層の“上/下(on/under)”に形成されると記載される場合において、上/下(on/under)は直接(directly)または他の層を介して(indirectly)形成されるものを全て含む。
(第1実施形態)
図7は、第1実施形態によるイメージセンサの断面図である。
図7は、第1実施形態によるイメージセンサの断面図である。
第1実施形態によるイメージセンサは、下部配線120を含むCMOS回路(circuitry)(図示せず)が形成された基板110、基板110の上に複数に分離されて形成された第1配線140、第1配線140の上に平坦化して形成された絶縁層160、絶縁層160の上に形成された真性層(intrinsic layer)170、及び真性層170の上に形成された第2導電型伝導層180を含むことができる。
この際、第1実施形態によるイメージセンサは、第2導電型伝導層180及び真性層170は、第1配線140のうち、どれか一つを露出するように一部を除去しており、上記残存する第2導電型伝導層180及び真性層170と、上記露出した第1配線140の上に形成された第2配線190を更に含むことができる。
一方、第1配線140の上には第1導電型伝導層150が更に形成されることができ、この場合、第2導電型伝導層180及び真性層170は、第1導電型伝導層150のうち、どれか一つを露出するように一部を除去しており、上記残存する第2導電型伝導層180及び真性層170と、上記露出した第1導電型伝導層150aの上に形成された第2配線190を更に含むことができる。
第1実施形態によるイメージセンサによれば、トランジスタ回路(circuitry)とフォトダイオードの垂直型集積を提供することで、フィルファクター(fill factor)を100%に近接させることができ、ひいては、ピクセルサイズで、従来技術より高い感度(sensitivity)を提供することができる。
また、第1実施形態によれば、同じレゾリューション(Resolution)のための工程費用を従来技術より低減することができ、各単位ピクセルは感度(sensitivity)の減少なしに、より複雑な回路(circuitry)を具現することができる。
また、第1実施形態により集積できる追加的なオンチップ回路(on-chip circuitry)は、イメージセンサのパフォーマンス(performance)を増加させ、延いては、素子の小型化及び製造費用を低減することができる。
また、第1実施形態によれば、平坦化した絶縁層の上に真性層を形成することによって、真性層に対する追加的な平坦化作業がないので、フォトダイオード内にデフェクトを防止することができる。
以下、図1乃至図7を参照して第1実施形態によるイメージセンサの製造方法を説明する。
まず、図1のように、下部配線120を含むCMOS回路(circuitry)(図示せず)を基板110の上に形成する。
以後、基板110の上にバリアメタル130を形成することができる。バリアメタル130は、タングステン、チタニウム、タンタリウム、またはこれらの窒化物などで形成することができる。勿論、バリアメタル130は形成しなくてもよい。
以後、バリアメタル130の上に第1配線140を形成する。第1配線140は、金属、合金、またはシリサイドを含んだ多様な伝導性物質で形成することができる。例えば、第1配線140は、アルミニウム、銅、コバルトなどで形成することができる。
以後、第1配線140の上に第1導電型伝導層150を形成する。一方、場合によっては、第1導電型伝導層150を形成しないで、以後の工程を進行することもできる。第1導電型伝導層150は、本実施形態で採用するPINダイオードのN層の役割をすることができる。即ち、第1導電型伝導層150は、Nタイプ導電型伝導層とすることができるが、これに限定されるのではない。
第1導電型伝導層150は、Nドーピングされた非晶質シリコン(n-doped amorphous silicon)を利用して形成することができるが、これに限定されるのではない。即ち、第1導電型伝導層150は、非晶質シリコンに、ゲルマニウム、炭素、窒素、または酸素などを添加してa−Si:H、a−SiGe:H、a−SiC、a−SiH:H a−SiO:Hなどで形成することもできる。
第1導電型伝導層150は、化学気相蒸着(CVD)、特に、PECVDなどにより形成することができる。例えば、第1導電型伝導層150は、シランガス(SiH4)にPH3、P2H5などを混合してPECVDにより非晶質シリコンで形成することができる。
第1導電型伝導層150は、約400〜1000Åとして形成することができる。
第1導電型伝導層150は、約400〜1000Åとして形成することができる。
次に、図2のように、複数に分離された第1配線140などを形成する。
即ち、図1のように、第1導電型伝導層150が形成された状態で、所定の第1マスクパターン(図示せず)をマスクとして利用してエッチングを進行することによって、複数の分離された第1導電型伝導層150、第1配線140、及びバリアメタル130を形成する。
このような分離工程により単位ピクセルの間のクロストークなどを防止することができる。
次に、図3のように、上記分離された第1導電型伝導層150を含む基板110の上に絶縁層160を形成する。絶縁層160により単位ピクセル間を確実に絶縁することができる。例えば、絶縁層160は、酸化物、窒化物、または低誘電性物質(low-k dielectric)などで形成されることができる。
次に、図4のように、絶縁層160を平坦化する工程を進行する。
特に、第1実施形態では、絶縁層160を予め平坦化することによって、以後に形成される真性層170などに対する平坦化工程を進行しないことによって、フォトダイオード内のディフェクト発生を最小化し、ディフェクトによる暗電流などを防止することができる。
絶縁層160の平坦化方法には、化学機械的研磨(CMP)などを利用することができる。
以後、上記平坦化された絶縁層160を含む基板110に対する洗浄工程を行うこととできる。
次に、図5のように、平坦化された絶縁層160を含む基板110の上に真性層(intrinsic layer)170を形成する。真性層170は、実施形態で採用するPINダイオードのI層の役割をすることができる。
真性層170は、非晶質シリコン(n-doped amorphous silicon)を利用して形成することができる。真性層170は、化学気相蒸着(CVD)、特に、PECVDなどにより形成されることができる。例えば、真性層170は、シランガス(SiH4)などを利用してPECVDにより非晶質シリコンで形成することができる。
一方、真性層170は、4,000Å以上に形成しなければならないが、その理由は真性層170が4,000Å未満の場合には4,000Å以上の長い波長の光が真性層170で吸収できないことによる。例えば、真性層170は、約4,000〜12,000Åで形成することができる。
その後、真性層170の上に第2導電型伝導層180を形成する。第2導電型伝導層180は、真性層170の形成と連続工程により形成することができる。第2導電型伝導層180は、実施形態で採用するPINダイオードのP層の役割をすることができる。即ち、第2導電型伝導層180は、Pタイプ導電型伝導層とすることができるが、これに限定されるのではない。
第2導電型伝導層180は、Pドーピングされた非晶質シリコン(p-doped amorphous silicon)を利用して形成することができるが、これに限定されるのではない。
第2導電型伝導層180は、化学気相蒸着(CVD)、特に、PECVDなどにより形成することができる。例えば、第2導電型伝導層180は、シランガス(SiH4)にボロンなどを混合してPECVDにより非晶質シリコンで形成することができる。
第2導電型伝導層180は、1,000Å以下に形成しなければならないが、第2導電型伝導層180が1,000Åを超える場合には、1,000Åを超える波長の光が第2導電型伝導層180で吸収されるが、第2導電型伝導層180で生成される光電子(photo-electrons)は、真性層170のように能率的に生成できない問題があるためである。例えば、第2導電型伝導層180は、約100〜1,000Åで形成することによって、最適のPタイプ導電型伝導層の役割をすることができる。
次に、図6のように、第2導電型伝導層180及び真性層170の一部を除去して、上記第1導電型伝導層のうち、どれか一つの第1導電型伝導層150aを露出させる。この際、第1導電型伝導層150が形成されない場合には、第1配線140のうち、どれか一つが露出させることができる。
次に、図7のように、上記残存する第2導電型伝導層180及び真性層170と、上記露出した第1導電型伝導層150aの上に第2配線190を形成する。
第2配線190は、光の透過性が高く、かつ伝導性が高い透明電極で形成することができる。例えば、第2配線190は、ITO(indium tin oxide)またはCTO(cardium tin oxide)などで形成されることができる。
以後、第2配線190に対するパターン工程を進めることができる。
第1実施形態によるイメージセンサの製造方法によれば、トランジスタ回路(circuitry)とフォトダイオードの垂直型集積を提供することで、フィルファクター(fill factor)を100%に近接させることができ、ひいては、ピクセルサイズで、従来技術より高い感度(sensitivity)を提供することができる。
また、第1実施形態によれば、同じレゾリューション(Resolution)のための工程費用を従来技術より低減することができ、各単位ピクセルは、感度(sensitivity)の減少なしに、より複雑な回路(circuitry)を具現することができる。
また、第1実施形態により集積できる追加的なオンチップ回路(on-chip circuitry)は、イメージセンサのパフォーマンス(performance)を増加させ、延いては、素子の小型化及び製造費用を低減することができる。
また、第1実施形態によれば、平坦化された絶縁層の上に真性層を形成することによって、真性層に対する追加的な平坦化作業がないので、フォトダイオード内にディフェクトを防止することができる。
(第2実施形態)
図8は、第2実施形態によるイメージセンサの断面図である。
図8は、第2実施形態によるイメージセンサの断面図である。
第2実施形態は、第1実施形態とは異なり、フォトダイオードの第2配線195とCMOS回路の下部配線120aとを直接接触させることに特徴がある。
即ち、第2実施形態において、第2導電型伝導層180、真性層170、及び絶縁層160の一部は、下部配線120のうち、第1配線140と接触しない下部配線120aを露出させるように除去される。
以後、上記残存する第2導電型伝導層180及び真性層170と、絶縁層160と、上記露出した下部配線120aと、の上に第2配線195が形成することができる。
以後、第2配線195に対するパターン工程を進めることができる。
本発明によれば、トランジスタ回路(circuitry)とフォトダイオードの垂直型集積によりフィルファクター(fill factor)を100%に近接させることができる。
また、本発明によれば、垂直型集積により、同一なピクセルサイズで、従来技術より高い感度(sensitivity)を提供することができる。
また、本発明によれば、同一なレゾリューション(Resolution)のための工程費用を従来技術より低減することができる。
また、本発明によれば、各単位ピクセルは感度(sensitivity)の減少なしに、より複雑な回路(circuitry)を具現することができる。
また、本発明により集積できる追加的なオンチップ回路(on-chip circuitry)は、イメージセンサのパフォーマンス(performance)を増加させ、延いては、素子の小型化及び製造費用を低減することができる。
また、本発明によれば、垂直型のフォトダイオードを採用しながらフォトダイオード内にディフェクトを防止することができる。
110・・基板、140・・第1配線、150・・第1導電型伝導層、160・・絶縁層、170・・真性層、180・・第2導電型伝導層、190・・第2配線。
Claims (12)
- 下部配線を含むCMOS回路が形成された基板と、
前記基板の上に複数に分離されて形成された第1配線と、
前記第1配線の間に平坦化されて形成された絶縁層と、
前記絶縁層を含む基板の上に形成された真性層と、
前記真性層の上に形成された第2導電型伝導層と
を含むことを特徴とするイメージセンサ。 - 前記第2導電型伝導層及び前記真性層は、前記第1配線のうち、どれか一つを露出するように一部を除去しており、
残存する前記第2導電型伝導層、真性層、及び前記露出した第1配線の上に形成された第2配線を更に含むことを特徴とする請求項1記載のイメージセンサ。 - 前記第2導電型伝導層、前記真性層、及び前記絶縁層の一部は、前記下部配線のうち、前記第1配線と接触しない下部配線を露出させるように除去しており、
前記残存する第2導電型伝導層、真性層、絶縁層、及び前記露出した下部配線の上に形成された第2配線を更に含むことを特徴とする請求項1記載のイメージセンサ。 - 前記第1配線と前記下部配線との間に形成されたバリアメタルを更に含むことを特徴とする請求項1記載のイメージセンサ。
- 前記真性層と前記第1配線との間に形成された第1導電型伝導層を更に含むことを特徴とする請求項1記載のイメージセンサ。
- 下部配線を含むCMOS回路を基板の上に形成する段階と、
前記基板の上に複数で分離された第1配線を形成する段階と、
前記第1配線の上に絶縁層を形成する段階と、
前記絶縁層を平坦化する段階と、
前記平坦化した絶縁層の上に真性層を形成する段階と、
前記真性層の上に第2導電型伝導層を形成する段階と、
を含むことを特徴とするイメージセンサの製造方法。 - 前記第2導電型伝導層及び前記真性層の一部を除去して前記第1配線のうち、どれか一つを露出する段階と、
残存する前記第2導電型伝導層、真性層、及び前記露出した第1配線の上に第2配線を形成する段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項6記載のイメージセンサの製造方法。 - 前記第2導電型伝導層及び前記真性層の一部を除去して前記絶縁層の一部を露出する段階と、
前記露出された絶縁層を一部エッチングして前記下部配線のうち、前記第1配線と接触しない下部配線を露出させる段階と、
前記残存する第2導電型伝導層、真性層、絶縁層、及び前記露出された下部配線の上に第2配線を形成する段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項6記載のイメージセンサの製造方法。 - 前記絶縁層を平坦化する段階は、
前記絶縁層を化学機械的研磨により平坦化することを特徴とする請求項6記載のイメージセンサの製造方法。 - 前記第1配線を形成する前に前記基板の上にバリアメタルを形成する段階を更に含むことを特徴とする請求項6記載のイメージセンサの製造方法。
- 前記真性層を形成する前に、前記第1配線の上に第1導電型伝導層を形成する段階を更に含むことを特徴とする請求項6記載のイメージセンサの製造方法。
- 前記絶縁層を平坦化する段階の後に、前記基板を洗浄する段階を更に含むことを特徴とする請求項6記載のイメージセンサの製造方法。
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