JP2008215725A - Fluid heating device - Google Patents

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JP2008215725A JP2007054347A JP2007054347A JP2008215725A JP 2008215725 A JP2008215725 A JP 2008215725A JP 2007054347 A JP2007054347 A JP 2007054347A JP 2007054347 A JP2007054347 A JP 2007054347A JP 2008215725 A JP2008215725 A JP 2008215725A
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Hiroaki Miyazaki
弘明 宮崎
Atsushi Kinoshita
敦詞 木下
Ko Kiyozawa
航 清▲沢▼
Daisuke Goto
大輔 後藤
Daisuke Watanabe
大介 渡▲辺▼
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Sumco Techxiv Corp
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Komatsu Electronic Metals Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluid heating device capable of miniaturizing its exterior shape as small as possible with respect to the fluid heating device comprising an outer pipe closed at both end portions, inner pipes disposed in the outer pipe and defining a heated-fluid circulating space, and lamp heaters inserted and disposed in the inner pipes. <P>SOLUTION: The plurality of inner pipes having cylindrical shape are disposed on at least one plane expanding in the prescribed direction in an attitude that at least two axes of the plurality of inner pipes are in parallel with each other, and the outer pipe has the cross-sectional shape of large aspect ratio extending along the parallel direction on the plane in the plurality of inner pipes. Further end bases of the lamp heaters are formed into the approximate long cylindroid circular shape or approximate elliptic cylindrical shape, and the inner pipes have the approximate long cylindroid circular shape or approximate elliptic cylindrical shape to which the end bases of the lamp heaters are fitted. Further a throttling portion is formed on a part positioned inside of the outer pipe at an outer part with respect to light emitting portions of heater tubes of the lamp heaters in the inner tubes having the cylindrical shape. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、種々の被加熱流体を所望の温度に加熱するために使用される流体加熱装置に関し、詳しくは両端部が閉止された外管と、この外管に設置されて被加熱流体の流通空間を画成する内管と、この内管に挿入設置されるランプヒータとを備えて成る流体加熱装置に関する。     The present invention relates to a fluid heating apparatus used for heating various heated fluids to a desired temperature, and more specifically, an outer pipe whose both ends are closed, and a flow of the heated fluid installed in the outer pipe. The present invention relates to a fluid heating apparatus including an inner tube that defines a space, and a lamp heater that is inserted and installed in the inner tube.

例えば、半導体製造分野においては、様々な製造プロセスにおける処理液(被温調流体)の温度管理に、ランプヒータを加熱手段に用いて処理液を温度調節する流体加熱装置が採用されている。     For example, in the semiconductor manufacturing field, a fluid heating apparatus that uses a lamp heater as a heating means to adjust the temperature of the processing liquid is used for temperature management of the processing liquid (temperature-controlled fluid) in various manufacturing processes.

また、上述した流体加熱装置の一態様として、両端部が閉止された外管と、この外管に設置されて処理液の流通空間を画成する内管と、この内管に挿入設置されるランプヒータとを備えて成る流体加熱装置が提供されている(例えば、特許文献１参照)。   Moreover, as one aspect of the fluid heating device described above, an outer tube whose both ends are closed, an inner tube that is installed in the outer tube and defines a flow space for the processing liquid, and is inserted into the inner tube. There has been provided a fluid heating apparatus including a lamp heater (see, for example, Patent Document 1).

図２４に示す流体加熱装置Ａは、上記構造における一具体例であって、両端部を端壁Ｂｗ、Ｂｗによって閉塞した円筒形状の外管Ｂと、この外管Ｂの端壁Ｂｗ、Ｂｗを貫通して設置された円筒形状の内管Ｃ、Ｃとを備え、この内管Ｃ、Ｃにより外管Ｂの内部には薬液(被温調流体)Ｌの流通空間Ｂｓが画成されている。   A fluid heating apparatus A shown in FIG. 24 is a specific example in the above structure, and includes a cylindrical outer tube B whose both ends are closed by end walls Bw and Bw, and end walls Bw and Bw of the outer tube B. Cylindrical inner pipes C and C installed therethrough, and the inner pipes C and C define a distribution space Bs for a chemical solution (temperature-controlled fluid) L inside the outer pipe B. .

また、上記内管Ｃ、Ｃの内部には、それぞれ加熱手段としてのランプヒータＤ、Ｄが挿入設置されており、上記外管Ｂに設けられた流入口Ｂｉから供給された薬液(被温調流体)Ｌは、流通空間Ｂｓを通過する際にランプヒータＤ、Ｄからの近赤外線光を吸収して加熱されたのち、上記外管Ｂに設けられた流出口Ｂｏから排出されて行く。   In addition, lamp heaters D and D as heating means are inserted and installed in the inner pipes C and C, respectively, and a chemical solution (temperature control) is supplied from an inlet Bi provided in the outer pipe B. When the fluid (L) passes through the circulation space Bs, it absorbs near infrared light from the lamp heaters D and D, is heated, and is then discharged from the outlet Bo provided in the outer tube B.

因みに、内管ＣおよびランプヒータＤを設けて成る外管Ｂは、図２４の如く、四角い箱形状を呈するケーシングＥの内部に収容設置されており、上記ケーシングＥの側面からは、流入口Ｂｉおよび流出口Ｂｏのみが外部に突出している。   Incidentally, the outer tube B provided with the inner tube C and the lamp heater D is accommodated and installed in a casing E having a square box shape as shown in FIG. Only the outflow port Bo protrudes to the outside.

ここで、上記流体加熱装置Ａに使用されるランプヒータＤは、図２５および図２６に示す如く、耐熱ガラスから形成されたヒータ管Ｄａの内部にフィラメントＤｆを封入し、ヒータ管Ｄａの両端部を端部ベースＤｂ、Ｄｂで封止することによって構成されている。   Here, in the lamp heater D used in the fluid heating apparatus A, as shown in FIGS. 25 and 26, the filament Df is sealed inside the heater tube Da formed of heat-resistant glass, and both end portions of the heater tube Da are included. Is sealed by the end bases Db and Db.

さらに、上記ランプヒータＤにおける各々の端部ベースＤｂ、Ｄｂは、ともに円柱形状を呈しており、各々の端部ベースからはフィラメントＤｆに接続されたリード線が延びている。   Further, each end base Db, Db in the lamp heater D has a cylindrical shape, and a lead wire connected to the filament Df extends from each end base.

一方、上記ランプヒータＤが挿入設置される内管Ｃは、上述したランプヒータＤに対応した円筒形状を呈しており、上記内管Ｃの内径寸法は、ランプヒータＤにおける端部ベースＤｂとの嵌合い(公差)を考慮して、上記端部ベースＤｂの外径寸法よりも極く僅かに大きく設定されている。   On the other hand, the inner tube C into which the lamp heater D is inserted and installed has a cylindrical shape corresponding to the lamp heater D described above, and the inner diameter of the inner tube C is the same as the end base Db of the lamp heater D. In consideration of fitting (tolerance), the outer diameter of the end base Db is set to be slightly slightly larger.

ここで、上記流体加熱装置Ａは、ランプヒータＤの設置本数によって総ヒータ電熱量の設定が為されており、図２６(ａ)に示す如く、３ＫＷのランプヒータＤを挿入設置した内管Ｃを２本設置することで、総ヒータ電熱量を６KWに設定している。   Here, in the fluid heating apparatus A, the total heater electric heat amount is set according to the number of lamp heaters D installed. As shown in FIG. 26 (a), the inner tube C in which the 3KW lamp heater D is inserted and installed. By installing two, the total heater electric heat is set to 6KW.

また、図２６(ｂ)に示す如く、３ＫＷのランプヒータＤを挿入設置した内管Ｃを３本設置して総ヒータ電熱量を９KWに設定し、さらに図２６(ｃ)に示す如く、３ＫＷのランプヒータＤを挿入設置した内管Ｃを４本設置して総ヒータ電熱量を１２KWに設定している。
特開平５−２３１７１２号公報 Further, as shown in FIG. 26 (b), three inner tubes C into which a 3KW lamp heater D is inserted are installed to set the total heater electric heat amount to 9KW. Further, as shown in FIG. 26 (c), 3KW Four inner tubes C into which the lamp heater D is inserted are installed, and the total heater electric heat amount is set to 12 KW.
Japanese Patent Laid-Open No. 5-231712

ところで、上述した如き構成の流体加熱装置Ａにおいて、外管Ｂの内部の流通空間Ｂｓを流れる薬液Ｌに対して、ランプヒータＤから放射される近赤外線は、上記ランプヒータＤを内装設置した内管Ｃの表面から数mm〜１０mm程度の領域Ｃｈを加熱するに過ぎない。     By the way, in the fluid heating apparatus A having the above-described configuration, the near infrared ray radiated from the lamp heater D with respect to the chemical liquid L flowing in the circulation space Bs inside the outer tube B is provided inside the lamp heater D. Only the region Ch of several mm to 10 mm from the surface of the tube C is heated.

このため、共に円筒形状を呈する外管Ｂと内管Ｃ、Ｃとを組合わせた流体加熱装置Ａにおいては、外管Ｂの内部において、内管Ｃによる薬液Ｌの加熱に寄与する以外の無駄なスペースが極めて多く、加熱能力に比して外管Ｂの形状は大きなものとなり、延いては、外管Ｂを収容するケーシングＥを含めた装置全体の外観形状が、不用意に大型化してしまう不都合を招いていた。   For this reason, in the fluid heating apparatus A in which the outer tube B and the inner tubes C, C both having a cylindrical shape are combined, waste other than contributing to the heating of the chemical liquid L by the inner tube C inside the outer tube B. The outer tube B has a large shape compared to the heating capacity, and the external shape of the entire device including the casing E that accommodates the outer tube B is inadvertently increased in size. It was inconvenienced.

一方、流体加熱装置における加熱手段であるランプヒータには、メインテナンス性等の要求から、図２７に示す如く、それぞれにフィラメントＦｆを封入した２本のヒータ管Ｆａを並設し、一端側(図中の右端側)の端部ベースＦｂにおいて、２本のヒータ管ＦａおよびフィラメントＦｆを相互に接続すると共に、他端側(図中の左端側)の端部ベースＦｂにおいて、２本のヒータ管ＦａおよびフィラメントＦｆを支持し、この端部ベースＦｂから各フィラメントＦｆ、Ｆｆに接続された２本のリード線が延びる、いわゆる「シングルエンド構造」のランプヒータＦが提供されている。   On the other hand, the lamp heater, which is a heating means in the fluid heating device, is provided with two heater tubes Fa each enclosing a filament Ff in parallel as shown in FIG. The two heater tubes Fa and the filament Ff are connected to each other at the end base Fb on the right end side in the middle, and the two heater tubes are connected to the end base Fb on the other end side (left end side in the drawing). There is provided a lamp heater F having a so-called “single-end structure” that supports Fa and the filament Ff, and two lead wires connected to the filaments Ff and Ff extend from the end base Fb.

上記ランプヒータＦにおける端部ベースＦｂ、Ｆｂは、並設された２本のヒータ管Ｆａ、Ｆａを保持するために、上述したランプヒータＤ(図２５参照)に比べて大径の円柱形状を呈しており、このランプヒータＦの挿入設置される内管Ｇも、上述したランプヒータＤの挿入設置される内管Ｃ(図２５参照)に比べて大径の円筒形状を呈している。   The end bases Fb and Fb of the lamp heater F have a columnar shape having a larger diameter than the lamp heater D (see FIG. 25) described above in order to hold the two heater tubes Fa and Fa arranged side by side. The inner tube G in which the lamp heater F is inserted and installed also has a larger diameter cylindrical shape than the inner tube C in which the lamp heater D is installed (see FIG. 25).

ここで、上記ランプヒータＦの端部ベースＦｂが大形化することで、この端部ベースＦｂが各フィラメントＦｆ、Ｆｆからの熱を吸収して高温となり、モリブデン箔を封入したシール部の酸化を早めることで、上記ランプヒータＦの寿命が短くなってしまう不都合があった。   Here, since the end base Fb of the lamp heater F is enlarged, the end base Fb absorbs heat from the filaments Ff and Ff and becomes a high temperature, and the oxidation of the seal portion in which the molybdenum foil is sealed is performed. As a result, the life of the lamp heater F is shortened.

そこで、上述した問題点を解消するために、図２８に示す如く、フィラメントＩｆを封入して並設された２本のヒータ管Ｉａの端部を封止する、本来、大径の円柱形状を呈する端部ベースＩｂの側面を削ぎ落として略長円柱形状とし、体積を削減することによって、各フィラメントＩｆ、Ｉｆからの熱を吸収して端部ベースＩｂが高温となることを抑えるよう構成したランプヒータＩが提供されている。なお、上記ランプヒータＩの挿入設置される内管Ｇは、図２７に示したランプヒータＦが挿入設置される内管Ｇと同じ物が使用されている。   Therefore, in order to solve the above-described problem, as shown in FIG. 28, the end of the two heater tubes Ia arranged in parallel with the filament If sealed is originally formed with a large-diameter cylindrical shape. The side surface of the end base Ib to be presented is scraped off into a substantially long cylindrical shape, and by reducing the volume, the heat from each filament If, If is absorbed to prevent the end base Ib from becoming high temperature. A lamp heater I is provided. The inner tube G into which the lamp heater I is inserted and installed is the same as the inner tube G into which the lamp heater F shown in FIG.

図２９は、上述したランプヒータＩを採用した流体加熱装置Ｈを示しており、この流体加熱装置Ｈにおいて、図２４に示した流体加熱装置Ａと同一の構成要素には、図２４と同じ符号を附すことで詳細な説明は省略する。   FIG. 29 shows a fluid heating device H employing the lamp heater I described above. In this fluid heating device H, the same components as those of the fluid heating device A shown in FIG. Detailed description will be omitted by appending.

上記流体加熱装置Ｈにおいて、ランプヒータＩは円筒形状を呈する内管Ｇに挿入設置されるので、図３０に示す如く、ランプヒータＩの略長円柱形状を呈する端部ベースＩｂと内管Ｇとの間に大きな隙間ができ、ランプヒータＩからの放射光(熱)が大量に漏れるために、樹脂材料から成るケーシングＥにダメージを与える虞れがある。   In the fluid heating device H, the lamp heater I is inserted and installed in the cylindrical inner tube G. Therefore, as shown in FIG. 30, the end base Ib, the inner tube G, There is a possibility that the casing E made of a resin material may be damaged because a large gap is formed between them and a large amount of radiation (heat) from the lamp heater I leaks.

そこで、ランプヒータＩおよび内管Ｇの端部に臨むケーシングＥの内面に、テフロン(登録商標)等から成る熱遮蔽板Ｊ、Ｊを設置しているのであるが、これによって、ケーシングＥを含めた装置全体の外観形状が、不用意に大型化してしまう不都合を免れなかった。   Therefore, heat shielding plates J and J made of Teflon (registered trademark) or the like are installed on the inner surface of the casing E facing the end portions of the lamp heater I and the inner tube G. In addition, the appearance of the entire apparatus was unavoidably inconveniently enlarged.

さらに、上記流体加熱装置Ｈにおいても、ランプヒータＩから放射される近赤外線は、内管Ｇの表面から数mm〜１０mm程度の領域Ｇｈを加熱するに過ぎず、併せて上記流体加熱装置Ｈにおいては、大径の内管Ｇ、Ｇを収容する外管Ｂの外径寸法が大きいことから、加熱能力に比して外管Ｂの形状は極めて大きなものとなり、外管Ｂを収容するケーシングＥを含めた装置全体の外観形状が、不用意に大型化してしまう不都合を招いていた。   Further, also in the fluid heating device H, the near infrared ray emitted from the lamp heater I only heats the region Gh of about several mm to 10 mm from the surface of the inner tube G. Since the outer diameter of the outer tube B that accommodates the large-diameter inner tubes G and G is large, the shape of the outer tube B is extremely large compared to the heating capacity, and the casing E that accommodates the outer tube B The appearance shape of the entire apparatus including the problem of inadvertently increasing the size has been incurred.

本発明は上記実状に鑑みて、同等の加熱能力を備えた従来の流体加熱装置に比べて、外観形状の可及的なコンパクト化を達成することの可能な流体加熱装置の提供を目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a fluid heating device capable of achieving the smallest possible external shape as compared with a conventional fluid heating device having equivalent heating capability. .

上記目的を達成するべく、請求項１に関わる流体加熱装置は、被加熱流体の流入口および流出口を有し両端部が閉止された外管と、この外管の軸方向に設置され外管の内部に被加熱流体の流通空間を画成する内管と、ヒータ管および該ヒータ管の両端部に設けた端部ベースを有し内管に挿入設置されるランプヒータとを備えて成る流体加熱装置であって、円筒形状を呈する複数の内管を所定の方向に広がる少なくとも１つの平面上に、複数の内管のうち少なくとも２つの軸線が並行する姿勢で設置するとともに、外管を複数の内管における上記平面上での並行する方向に沿って延在する縦横比の大きな断面形状としたことを特徴としている。     In order to achieve the above object, a fluid heating apparatus according to claim 1 includes an outer pipe having an inlet and an outlet for a fluid to be heated and closed at both ends, and an outer pipe installed in the axial direction of the outer pipe. A fluid comprising an inner tube defining a flow space for a fluid to be heated inside, a heater tube and a lamp heater having end bases provided at both ends of the heater tube and inserted and installed in the inner tube. A heating device, in which a plurality of cylindrical inner tubes are installed on at least one plane extending in a predetermined direction in a posture in which at least two axes of the plurality of inner tubes are parallel, and a plurality of outer tubes It is characterized by having a cross-sectional shape with a large aspect ratio extending along the parallel direction on the plane in the inner tube.

また、請求項２の発明に関わる流体加熱装置は、被加熱流体の流入口および流出口を有し両端部が閉止された外管と、この外管の軸方向に設置され外管の内部に被加熱流体の流通空間を画成する内管と、ヒータ管および該ヒータ管の両端部に設けた端部ベースを有し内管に挿入設置されるランプヒータとを備えて成る流体加熱装置であって、ランプヒータの端部ベースを略長円柱形状または略楕円柱形状とするとともに、内管をランプヒータの端部ベースが嵌合する略長円筒形状または略楕円筒形状としたことを特徴としている。   The fluid heating device according to the invention of claim 2 includes an outer pipe having an inlet and an outlet for the fluid to be heated and closed at both ends, and is installed in the axial direction of the outer pipe inside the outer pipe. A fluid heating apparatus comprising: an inner pipe that defines a flow space for a fluid to be heated; a heater pipe; and a lamp heater that has end bases provided at both ends of the heater pipe and that is inserted and installed in the inner pipe. In addition, the end base of the lamp heater has a substantially long cylindrical shape or a substantially elliptical column shape, and the inner tube has a substantially long cylindrical shape or a substantially elliptic cylindrical shape to which the end base of the lamp heater is fitted. It is said.

また、請求項３の発明に関わる流体加熱装置は、請求項２の発明に関わる流体加熱装置において、ランプヒータの端部ベースを略長円柱形状または略楕円柱形状とするとともに、内管をランプヒータの端部ベースが嵌合する略長円筒形状または略楕円筒形状とし、複数の内管を所定の方向に広がる少なくとも１つの平面上に、上記複数の内管のうち少なくとも２つの軸線が並行する姿勢で設置するとともに、外管を複数の内管における上記平面上での並行する方向に沿って延在する縦横比の大きな断面形状としたことを特徴としている。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a fluid heating apparatus according to the second aspect of the present invention, wherein the end base of the lamp heater has a substantially long cylindrical shape or a substantially elliptic cylindrical shape, and the inner tube is a lamp. A substantially long cylindrical shape or a substantially elliptic cylindrical shape into which the end base of the heater is fitted, and at least two axes of the plurality of inner tubes are parallel to each other on at least one plane extending in a predetermined direction. The outer tube is characterized by having a cross-sectional shape with a large aspect ratio extending along the parallel direction on the plane of the plurality of inner tubes.

また、請求項４の発明に関わる流体加熱装置は、被加熱流体の流入口および流出口を有し両端部が閉止された外管と、この外管の軸方向に設置され外管の内部に被加熱流体の流通空間を画成する内管と、ヒータ管および該ヒータ管の両端部に設けた端部ベースを有し内管に挿入設置されるランプヒータとを備えて成る流体加熱装置であって、円筒形状を呈する内管におけるランプヒータのヒータ管の発光部より外方であって外管の内部に位置する部位に絞り部を形成したことを特徴としている。   The fluid heating apparatus according to the invention of claim 4 includes an outer pipe having an inlet and an outlet for the fluid to be heated and closed at both ends, and is installed in the axial direction of the outer pipe inside the outer pipe. A fluid heating apparatus comprising: an inner pipe that defines a flow space for a fluid to be heated; a heater pipe; and a lamp heater that has end bases provided at both ends of the heater pipe and that is inserted and installed in the inner pipe. In this case, the throttle portion is formed in a portion located outside the light emitting portion of the heater tube of the lamp heater in the cylindrical inner tube and located inside the outer tube.

請求項１の発明に関わる流体加熱装置によれば、円筒形状を呈する複数の内管を所定の方向に広がる少なくとも１つの平面上に、複数の内管のうち少なくとも２つの軸線が並行する姿勢で設置するとともに、外管を複数の内管における上記平面上での並行する方向に沿って延在する縦横比の大きな断面形状としたことで、外管の内部において内管の有効加熱域以外のスペースを可及的に排除することができ、もって流体加熱装置における外観形状のコンパクト化を達成することが可能となる。     According to the fluid heating device relating to the first aspect of the present invention, at least two axes of the plurality of inner tubes are parallel to each other on at least one plane extending the plurality of cylindrical inner tubes in a predetermined direction. In addition to the installation, the outer tube has a cross-sectional shape with a large aspect ratio extending along the parallel direction on the plane in the plurality of inner tubes. Space can be eliminated as much as possible, and thus it is possible to achieve a compact external shape in the fluid heating apparatus.

請求項２の発明に関わる流体加熱装置によれば、ランプヒータの端部ベースを略長円柱形状または略楕円柱形状としたことで、端部ベースを円柱形状を呈しているランプヒータに比べ、発光部からの放射光を受ける面積が減るために端部ベースの加熱が抑えられ、もって上記ランプヒータの寿命が徒らに短くなることを未然に防止し得る。   According to the fluid heating device relating to the invention of claim 2, by making the end base of the lamp heater into a substantially long cylindrical shape or a substantially elliptical column shape, the end base is compared with the lamp heater having a cylindrical shape, Since the area receiving the radiated light from the light emitting portion is reduced, the heating of the end base can be suppressed, so that the life of the lamp heater can be prevented from being shortened.

併せて、請求項２の発明に関わる流体加熱装置によれば、ランプヒータの端部ベースを略長円柱形状または略楕円柱形状とするとともに、内管をランプヒータの端部ベースが嵌合する略長円筒形状または略楕円筒形状としたことで、互いに嵌合した状態におけるランプヒータの端部ベースと内管との隙間が極めて小さくなり、上記ランプヒータの端部ベースと内管との隙間から漏れる放射光を低減できるため、内管の端部に臨ませて遮光放熱板を配置する等の熱対策が不要となり、もって流体加熱装置における外観形状のコンパクト化を達成することが可能となる。   In addition, according to the fluid heating device relating to the invention of claim 2, the end base of the lamp heater is formed into a substantially long cylindrical shape or a substantially elliptical column shape, and the end base of the lamp heater is fitted into the inner tube. By adopting a substantially long cylindrical shape or a substantially elliptical cylindrical shape, the gap between the end base of the lamp heater and the inner tube when fitted to each other is extremely small, and the gap between the end base of the lamp heater and the inner tube is reduced. Therefore, it is not necessary to take measures against heat, such as placing a light-shielding heat-radiating plate facing the end of the inner tube, and it is possible to achieve a compact external shape in the fluid heating device. .

請求項３の発明に関わる流体加熱装置によれば、請求項２の発明に関わる流体加熱装置において、複数の内管を所定の方向に広がる少なくとも１つの平面上に、上記複数の内管のうち少なくとも２つの軸線が並行する姿勢で設置するとともに、外管を複数の内管における上記平面上での並行する方向に沿って延在する縦横比の大きな断面形状としたことで、外管の内部において内管の有効加熱域以外のスペースを可及的に排除することができ、もって流体加熱装置における外観形状のコンパクト化を達成することが可能となる。   According to a fluid heating apparatus related to the invention of claim 3, in the fluid heating apparatus related to the invention of claim 2, a plurality of inner pipes are arranged on at least one plane extending in a predetermined direction among the plurality of inner pipes. The outer tube is installed in a posture in which at least two axes are parallel, and the outer tube has a large aspect ratio extending along the parallel direction on the plane of the plurality of inner tubes. In this case, a space other than the effective heating area of the inner tube can be eliminated as much as possible, so that it is possible to achieve a compact external shape in the fluid heating device.

請求項４の発明に関わる流体加熱装置によれば、円筒形状を呈する内管におけるランプヒータのヒータ管の発光部より外方であって外管の内部に位置する部位に絞り部を形成したことで、上記ランプヒータの発光部から端部ベースに向かう放射光が内管の絞り部によって遮られ、もって発光部からの放射光による端部ベースの加熱が抑えられるため、上記ランプヒータの寿命が徒らに短くなることを未然に防止し得る。   According to the fluid heating device relating to the invention of claim 4, the throttle portion is formed in a portion located outside the light emitting portion of the heater tube of the lamp heater in the cylindrical inner tube and located inside the outer tube. Therefore, since the emitted light from the light emitting part of the lamp heater toward the end base is blocked by the throttle part of the inner tube, and the heating of the end base by the emitted light from the light emitting part is suppressed, the life of the lamp heater is reduced. It can be prevented from becoming shorter.

以下、実施例を示す図面に基づいて、本発明を詳細に説明する。
図１〜図３は、本発明に関わる流体加熱装置を、半導体製造プロセスにおいて使用される薬液(被温調流体)、具体的にはアンモニア過水や塩酸過水等、ウェットプロセス(ＲＣＡ洗浄)やウェットエッチング等に使用される酸系の薬液を対象として、例えば６０℃〜１８０℃の範囲において温度調節を行なうための流体加熱装置に適用した例を示している。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings illustrating embodiments.
1 to 3 show a fluid heating apparatus according to the present invention in a wet process (RCA cleaning) such as a chemical solution (temperature-controlled fluid) used in a semiconductor manufacturing process, specifically ammonia or hydrogen peroxide. An example is shown in which the present invention is applied to a fluid heating apparatus for adjusting the temperature in a range of 60 ° C. to 180 ° C., for example, for an acid chemical solution used for wet etching or the like.

上記流体加熱装置１は、両端部を端壁２ｗ、２ｗによって閉塞した外管２と、この外管２の軸方向に端壁２ｗ、２ｗを貫通して設置された複数の内管３、３とを備え、この内管３、３によって、上記外管２の内部には薬液(被温調流体)Ｌの流通空間２ｓが画成されている。   The fluid heating apparatus 1 includes an outer tube 2 whose both ends are closed by end walls 2w and 2w, and a plurality of inner tubes 3 and 3 installed in the axial direction of the outer tube 2 through the end walls 2w and 2w. The inner pipes 3 and 3 define a flow space 2 s for the chemical liquid (temperature-controlled fluid) L in the outer pipe 2.

上記内管３、３の内部には、それぞれ加熱手段としてのランプヒータ４、４が挿入設置されており、上記外管２に設けられた流入口２ｉから供給された薬液(被温調流体)Ｌは、流通空間２ｓを通過する際にランプヒータ４，４からの近赤外線光を吸収して加熱されたのち、上記外管２に設けられた流出口２ｏから排出されて行く。   Lamp heaters 4 and 4 as heating means are inserted and installed in the inner pipes 3 and 3, respectively, and a chemical solution (temperature-controlled fluid) supplied from an inlet 2i provided in the outer pipe 2 is inserted. L passes through the circulation space 2 s and is heated by absorbing near-infrared light from the lamp heaters 4 and 4, and then discharged from the outlet 2 o provided in the outer tube 2.

なお、上記外管２は、加熱された薬液Ｌの温度(６０℃〜１８０℃)に耐え得る樹脂材やガラス材から形成されている一方、上記内管３は、ランプヒータ４の発熱に耐え得る石英ガラス等の耐熱ガラスによって形成されている。   The outer tube 2 is formed of a resin material or glass material that can withstand the temperature of the heated chemical liquid L (60 ° C. to 180 ° C.), while the inner tube 3 can withstand the heat generated by the lamp heater 4. It is made of heat-resistant glass such as quartz glass to be obtained.

また、内管３およびランプヒータ４を設けて成る外管２は、図１および図２に示す如く、四角い箱形状を呈するケーシング５の内部に収容設置されており、上記ケーシング５の側面からは、流入口２ｉおよび流出口２ｏのみが外部に突出している。   The outer tube 2 provided with the inner tube 3 and the lamp heater 4 is accommodated and installed in a casing 5 having a square box shape as shown in FIGS. 1 and 2. Only the inflow port 2i and the outflow port 2o protrude outside.

上記流体加熱装置１に使用されるランプヒータ４は、図２に示す如く、それぞれにフィラメント４ｆを封入した２本のヒータ管４ａを並設し、一端側(図中の右端側)の端部ベース４ｂにおいて、２本のヒータ管４ａおよびフィラメント４ｆを相互に接続すると共に、他端側(図中の左端側)の端部ベース４ｂにおいて、２本のヒータ管４ａおよびフィラメント４ｆを支持し、この端部ベースＦｂから各フィラメント４ｆ、４ｆに接続された２本のリード線が延びており、上記ランプヒータ４における端部ベース４ｂ、４ｂは、並設された２本のヒータ管４ａ、４ａを保持するために大径の円柱形状を呈している。   As shown in FIG. 2, the lamp heater 4 used in the fluid heating apparatus 1 has two heater tubes 4a each enclosing a filament 4f, and is arranged at one end side (right end side in the figure). In the base 4b, the two heater tubes 4a and the filaments 4f are connected to each other, and the end base 4b on the other end side (the left end side in the figure) supports the two heater tubes 4a and the filaments 4f, Two lead wires connected to the filaments 4f and 4f extend from the end base Fb, and the end bases 4b and 4b of the lamp heater 4 have two heater tubes 4a and 4a arranged in parallel. In order to maintain the shape, it has a large-diameter columnar shape.

一方、上記ランプヒータ４の挿入設置される内管３は、上述したランプヒータ４に対応した全長の円筒形状を呈しており、さらに上記内管３の内径寸法は、ランプヒータ４における端部ベース４ｂとの嵌合い(公差)を考慮して、上記端部ベース４ｂの外径寸法よりも極く僅かに大きく設定されている。   On the other hand, the inner tube 3 into which the lamp heater 4 is inserted and installed has a full-length cylindrical shape corresponding to the lamp heater 4 described above, and the inner diameter of the inner tube 3 is the end base of the lamp heater 4. In consideration of fitting (tolerance) with 4b, the outer diameter of the end base 4b is set to be slightly slightly larger.

すなわち、流体加熱装置１に採用されているランプヒータ４、および該ランプヒータ４の内装設置される内管３は、図２６に示した従来のランプヒータＦ、および該ランプヒータＦの内装設置される内管Ｇと基本的に変わるところはない。   That is, the lamp heater 4 employed in the fluid heating device 1 and the inner tube 3 installed in the lamp heater 4 are installed in the conventional lamp heater F and the lamp heater F shown in FIG. There is basically no difference from the inner pipe G.

ここで、上記流体加熱装置１における内管３、３は、各々の軸線が同一平面上において並行する姿勢、具体的には、それぞれの軸線が水平方向に延在し、かつ互いに平行するとともに、上下方向に並べるようにして配設されている。   Here, the inner pipes 3 and 3 in the fluid heating device 1 have postures in which the respective axes are parallel to each other on the same plane, specifically, the respective axes extend in the horizontal direction and are parallel to each other, They are arranged in the vertical direction.

一方、上記流体加熱装置１における外管２は、図１および図３に示す如く、内管３、３の並列方向(上下方向)に沿って延在する、縦横比の大きな断面形状を呈しており、具体的には、左右の側部を内管３、３に近接した平面とし、かつ上部と下部とを内管３、３の周面に沿った曲面から構成している。なお、外管２の下部には流入口２ｉが設けられ、外管２の上部には流出口２ｏが設けられている。   On the other hand, the outer tube 2 in the fluid heating device 1 has a cross-sectional shape with a large aspect ratio that extends along the parallel direction (vertical direction) of the inner tubes 3 and 3 as shown in FIGS. Specifically, the left and right side portions are flat surfaces close to the inner tubes 3 and 3, and the upper and lower portions are formed of curved surfaces along the peripheral surface of the inner tubes 3 and 3. An inflow port 2 i is provided in the lower part of the outer tube 2, and an outflow port 2 o is provided in the upper part of the outer tube 2.

さらに、図３(ａ)に示す如く、上下に隣接する内管３、３同士の間隔ｇ、および内管３と外管２との間隔ｇは、それぞれ５〜１０mm、すなわち、外管２の内部を流れる薬液Ｌが、ランプヒータ４からの近赤外線により加熱される、内管３の表面からの有効範囲内の寸法に設定されている。   Further, as shown in FIG. 3 (a), the gap g between the inner pipes 3, 3 adjacent to each other in the vertical direction and the gap g between the inner pipe 3 and the outer pipe 2 are 5 to 10 mm. The chemical liquid L flowing inside is set to a size within an effective range from the surface of the inner tube 3 that is heated by near infrared rays from the lamp heater 4.

なお、上述した実施例の流体加熱装置１においては、内管３の外径ｒは４０mmに形成されており、外管２の高さ(長軸寸法)ｖは１０１〜１１６mm、外管２の幅(短軸寸法)ｗは５６〜６６mmに形成されている。   In the fluid heating device 1 of the embodiment described above, the outer diameter r of the inner tube 3 is 40 mm, the height (major axis dimension) v of the outer tube 2 is 101 to 116 mm, The width (short axis dimension) w is 56 to 66 mm.

上述した構成の流体加熱装置１によれば、円筒形状を呈する複数の内管３、３を、各々の軸線が同一平面上において並行する姿勢で設置するとともに、外管２を複数の内管３、３における並列方向(並行する方向)に沿って延在する縦横比の大きな断面形状としたことで、共に円筒形状を呈する外管と内管とを組合わせた従来の流体加熱装置に比較して、外管の内部において内管の有効加熱域以外のスペースを可及的に排除でき、もって外観形状のコンパクト化を達成することが可能となる。   According to the fluid heating device 1 having the above-described configuration, the plurality of inner tubes 3 and 3 having a cylindrical shape are installed in a posture in which the respective axes are parallel to each other on the same plane, and the outer tube 2 is connected to the plurality of inner tubes 3. Compared to a conventional fluid heating device that combines an outer tube and an inner tube, both of which have a cylindrical shape, by adopting a cross-sectional shape with a large aspect ratio that extends along the parallel direction (parallel direction) in FIG. Thus, a space other than the effective heating area of the inner tube can be eliminated as much as possible inside the outer tube, so that it is possible to achieve a compact appearance.

ここで、図３(ａ)、(ｂ)、(ｃ)は、上述した流体加熱装置１における、総ヒータ電熱量の相違に伴う、内管３と外管２とのレイアウトを示しており、上述した図３(ａ)の態様では、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管３を、外管２の内部に２本設置することで、総ヒータ電熱量を６KWに設定している。   Here, FIGS. 3A, 3B, and 3C show the layout of the inner tube 3 and the outer tube 2 in accordance with the difference in the total heater electric heat amount in the fluid heating device 1 described above. In the embodiment of FIG. 3A described above, the total amount of electric heat generated by the heater is set to 6 KW by installing two inner tubes 3 into which the 3 KW lamp heater is inserted and installed inside the outer tube 2.

また、図３(ｂ)に示す如く、外管２Ａの内部に、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管３を３本設置して、総ヒータ電熱量を９KWに設定し、さらに、図３(ｃ)に示す如く、外管２Ｂの内部に、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管３を４本設置して、総ヒータ電熱量を１２KWに設定している。   Further, as shown in FIG. 3B, three inner tubes 3 into which a 3 KW lamp heater is inserted are installed in the outer tube 2A to set the total heater electric heat to 9 KW. As shown in (c), four inner tubes 3 into which 3 KW lamp heaters are inserted are installed in the outer tube 2B, and the total heater electric heat amount is set to 12 KW.

図３(ａ)、(ｂ)、(ｃ)の何れにおいても、複数の内管３は各々の軸線が同一平面上において並行する姿勢で設置され、外管２、２Ａ、２Ｂは何れも内管３の並列方向(上下方向)に沿って延在する縦横比の大きな断面形状を呈し、隣接する内管３、３同士の間隔、および外管２、２Ａ、２Ｂと内管３との間隔は、共に５〜１０mmに設定されており、もって外観形状の可及的なコンパクト化が達成されている。   3 (a), (b), and (c), the plurality of inner tubes 3 are installed such that their respective axes are parallel to each other on the same plane, and the outer tubes 2, 2A, and 2B are all inner. It exhibits a cross-sectional shape with a large aspect ratio extending along the parallel direction (vertical direction) of the tubes 3, and the interval between the adjacent inner tubes 3, 3 and the interval between the outer tubes 2, 2A, 2B and the inner tube 3. Both are set to 5 to 10 mm, so that the external shape can be made as compact as possible.

具体的には、図３(ｂ)における外管２Ａの高さ(長軸寸法)ｖａは１４６〜１６６mm、外管２Ａの幅(短軸寸法)ｗａは５６〜６６mmに形成されており、図３(ｃ)における外管２Ｂの高さ(長軸寸法)ｖｂは１９１〜２１６mm、外管２Ｂの幅(短軸寸法)ｗｂは５６〜６６mmに形成されている。なお、図３(ｂ)中の符号２Ａｉおよび２Ａｏ、図３(ｃ)中の符号２Ｂｉおよび２Ｂｏは、それぞれ流入口および流出口を示している。   Specifically, the height (major axis dimension) va of the outer tube 2A in FIG. 3B is 146 to 166 mm, and the width (minor axis dimension) wa of the outer tube 2A is 56 to 66 mm. The height (major axis dimension) vb of the outer tube 2B in 3 (c) is 191 to 216 mm, and the width (minor axis dimension) wb of the outer tube 2B is 56 to 66 mm. Note that reference numerals 2Ai and 2Ao in FIG. 3B and reference numerals 2Bi and 2Bo in FIG. 3C indicate an inlet and an outlet, respectively.

図４(ａ)、(ｂ)は、上述した流体加熱装置１における、外管の変形例を示しており、図４(ａ)における外管２Ｃは、平板を組合せた矩形状断面を呈しており、また、図４(ｂ)における外管２Ｄは、上述した外管２Ｃに対して上部のみを曲面とした断面形状を呈しており、ともに複数の内管３は各々の軸線が同一平面上において並行する姿勢で設置され、外管２Ｃ、２Ｄは何れも内管３の並列方向(上下方向)に沿って延在する縦横比の大きな断面形状を呈し、隣接する内管３、３同士の間隔、および外管２Ｃ、２Ｄと内管３との間隔は、共に５〜１０mmに設定されており、もって外観形状の可及的なコンパクト化が達成されている。   4 (a) and 4 (b) show a modification of the outer tube in the fluid heating device 1 described above, and the outer tube 2C in FIG. 4 (a) has a rectangular cross section combined with flat plates. In addition, the outer tube 2D in FIG. 4B has a cross-sectional shape in which only the upper portion is curved with respect to the outer tube 2C described above, and both of the inner tubes 3 have the same axis on the same plane. The outer pipes 2C and 2D both have a cross-sectional shape with a large aspect ratio extending along the parallel direction (vertical direction) of the inner pipe 3, and the adjacent inner pipes 3 and 3 are connected to each other. Both the interval and the interval between the outer tubes 2C and 2D and the inner tube 3 are set to 5 to 10 mm, so that the external shape can be made as compact as possible.

具体的には、図４(ａ)における外管２Ｃの高さ(長軸寸法)ｖｃは１０１〜１１６mm、幅(短軸寸法)ｗｃは５６〜６６mmに形成されており、同じく、図４(ｂ)における外管２Ｄの高さ(長軸寸法)ｖｄは１０１〜１１６mm、幅(短軸寸法)ｗｄは５６〜６６mmに形成されている。なお、図４(ａ)中の符号２Ｃｉおよび２Ｃｏ、図４(ｂ)中の符号２Ｄｉおよび２Ｄｏは、それぞれ流入口および流出口を示している。   Specifically, the height (major axis dimension) vc of the outer tube 2C in FIG. 4A is 101 to 116 mm, and the width (minor axis dimension) wc is 56 to 66 mm. The height (major axis dimension) vd of the outer tube 2D in b) is 101 to 116 mm, and the width (minor axis dimension) wd is 56 to 66 mm. Reference numerals 2Ci and 2Co in FIG. 4 (a) and reference numerals 2Di and 2Do in FIG. 4 (b) indicate an inlet and an outlet, respectively.

図５(ａ)、(ｂ)、(ｃ)は、図３(ａ)、(ｂ)、(ｃ)に示した装置を横長とした構成であって、図５(ａ)、(ｂ)、(ｃ)の何れにおいても、複数の内管３は各々の軸線が同一平面上において並行する姿勢、具体的には、それぞれの軸線が水平方向に延在し、かつ互いに平行するとともに、水平方向に並べるようにして配設され、外管２Ｅ、２Ｆ、２Ｇは、何れも内管３の並列方向(水平方向)に沿って延在する縦横比の大きな断面形状を呈し、隣接する内管３、３同士の間隔、および外管２Ｅ、２Ｆ、２Ｇと内管３との間隔は、共に５〜１０mmに設定されており、もって外観形状の可及的なコンパクト化が達成されている。   5 (a), (b), and (c) are configurations in which the apparatus shown in FIGS. 3 (a), (b), and (c) is horizontally long, and FIGS. In any of (c) and (c), the plurality of inner tubes 3 are arranged such that their respective axes are parallel to each other on the same plane, specifically, the respective axes extend in the horizontal direction and are parallel to each other, The outer tubes 2E, 2F, and 2G are arranged so as to be arranged in the direction, and each of them has a cross-sectional shape with a large aspect ratio that extends along the parallel direction (horizontal direction) of the inner tube 3, and the adjacent inner tubes 3 and 3 and the intervals between the outer tubes 2E, 2F and 2G and the inner tube 3 are both set to 5 to 10 mm, so that the appearance can be made as compact as possible.

具体的には、図５(ａ)における外管２Ｅの幅(長軸寸法)ｖeは１０１〜１１６mm、高さ(短軸寸法)ｗｅは５６〜６６mmに形成されており、図５(ｂ)における外管２Ｆの幅(長軸寸法)ｖｆは１４６〜１６６mm、高さ(短軸寸法)ｗｆは５６〜６６mmに形成されており、図５(ｃ)における外管２Ｇの幅(長軸寸法)ｖｇは１９１〜２１６mm、高さ(短軸寸法)ｗｇは５６〜６６mmに形成されている。なお、図５(ａ)中の符号２Ｅｉおよび２Ｅｏ、図５(ｂ)中の符号２Ｆｉおよび２Ｆｏ、図３(ｃ)中の符号２Ｇｉおよび２Ｇｏは、それぞれ流入口および流出口を示している。   Specifically, the width (major axis dimension) ve of the outer tube 2E in FIG. 5A is 101 to 116 mm and the height (minor axis dimension) we is 56 to 66 mm. FIG. The outer tube 2F has a width (major axis dimension) vf of 146 to 166 mm and a height (minor axis dimension) wf of 56 to 66 mm. The width (major axis dimension) of the outer tube 2G in FIG. ) vg is 191-216 mm, height (short axis dimension) wg is 56-66 mm. Note that reference numerals 2Ei and 2Eo in FIG. 5A, reference numerals 2Fi and 2Fo in FIG. 5B, and reference numerals 2Gi and 2Go in FIG.

図６は、上述した流体加熱装置１において、複数(実施例では計８本)の内管３、３…を左右２列に分けて配置したもので、上記複数の内管３、３…は、共に上下方向に広がる２つの平面上において、各々の軸線が同一平面上において水平方向に延在し、かつ互いに平行するとともに、上下方向に並べるようにして配設されている。   FIG. 6 shows a plurality of (in the example, a total of eight) inner pipes 3, 3,... Arranged in two left and right rows in the fluid heating device 1 described above. On the two planes extending in the vertical direction, the respective axes extend in the horizontal direction on the same plane, are parallel to each other, and are arranged in the vertical direction.

一方、外管２Ｈは内管３の並列方向(上下方向)に沿って延在する縦横比の大きな断面形状を呈し、隣接する内管３、３同士の間隔、および外管２Ｈと内管３との間隔は、共に５〜１０mmに設定されており、もって外観形状の可及的なコンパクト化が達成されている。   On the other hand, the outer pipe 2H has a large cross-sectional shape extending along the parallel direction (vertical direction) of the inner pipe 3, and the interval between the adjacent inner pipes 3 and 3, and the outer pipe 2H and the inner pipe 3 Are both set to 5 to 10 mm, so that the appearance can be made as compact as possible.

具体的には、図６における外管２Ｈの高さ(長軸寸法)ｖｈは１９１〜２１６mm、外管２Ｈの幅(短軸寸法)ｗｈは１０１〜１１６mmに形成されている。なお、図６中の符号２Ｈｉおよび２Ｈｏは、それぞれ流入口および流出口を示している。   Specifically, the height (major axis dimension) vh of the outer tube 2H in FIG. 6 is 191 to 216 mm, and the width (minor axis dimension) wh of the outer tube 2H is 101 to 116 mm. In addition, the codes | symbols 2Hi and 2Ho in FIG. 6 have shown the inflow port and the outflow port, respectively.

ここで、上述した各実施例においては、フィラメントを封入した２本のヒータ管を並置して成る「シングルエンド型」のランプヒータを採用した流体加熱装置を例示しているが、フィラメントを封入した１本のヒータ管のみを有する「ダブルエンド型」のランプヒータを採用した流体加熱装置にも、本発明を極めて有効に適用し得ることは言うまでもない。   Here, in each of the above-described embodiments, a fluid heating apparatus employing a “single-end type” lamp heater formed by juxtaposing two heater tubes enclosing a filament is illustrated, but the filament is encapsulated. Needless to say, the present invention can be applied to a fluid heating apparatus employing a “double-end type” lamp heater having only one heater tube.

図７および図８に示す流体加熱装置１０は、第２の発明に関わる実施態様を示しており、この流体加熱装置１０に使用されるランプヒータ１４は、図８および図９に示す如く、それぞれにフィラメント１４ｆを封入した２本のヒータ管１４ａを並設し、一端側(図中の右端側)の端部ベース１４ｂにおいて、２本のヒータ管１４ａおよびフィラメント１４ｆを相互に接続すると共に、他端側(図中の左端側)の端部ベース１４ｂにおいて、２本のヒータ管１４ａおよびフィラメント１４ｆを支持し、この端部ベース１４ｂから各フィラメント１４ｆ、１４ｆに接続された２本のリード線が延びている。   The fluid heating device 10 shown in FIGS. 7 and 8 shows an embodiment related to the second invention, and the lamp heater 14 used in the fluid heating device 10 is respectively shown in FIGS. Two heater tubes 14a enclosing a filament 14f are arranged side by side, and the two heater tubes 14a and the filament 14f are connected to each other at an end base 14b on one end side (the right end side in the figure). The end base 14b on the end side (the left end side in the figure) supports two heater tubes 14a and filaments 14f, and two lead wires connected to the filaments 14f and 14f from the end base 14b. It extends.

さらに、上記ランプヒータ１４における端部ベース１４ｂは、図９および図１０(ａ)に示した如く、大径の円柱形状を呈する端部ベース(例えば、従来のランプヒータＦにおける端部ベースＦｂ)の左右側面を削ぎ落とした如き略長円柱形状(または略楕円柱形状)を呈している。すなわち、上記ランプヒータ１４は、図２８に示した従来のランプヒータＩと基本的に変わるところはない。   Further, the end base 14b in the lamp heater 14 is an end base having a large cylindrical shape as shown in FIGS. 9 and 10A (for example, the end base Fb in the conventional lamp heater F). It has a substantially long cylindrical shape (or a substantially elliptical column shape) as if the left and right side surfaces of the material are scraped off. That is, the lamp heater 14 is basically the same as the conventional lamp heater I shown in FIG.

一方、上記構成のランプヒータ１４が挿入設置される内管１３は、上述したランプヒータ１４の略長円柱形状(または略楕円柱形状)を呈した端部ベース１４ｂに対応した略長円筒形状(または略楕円筒形状)を成しており、さらに上記内管1３の内形寸法は、ランプヒータ１４における端部ベース１４ｂとの嵌合い(公差)を考慮して、上記端部ベース１４ｂの外形寸法よりも極く僅かに大きく設定されている。   On the other hand, the inner tube 13 into which the lamp heater 14 having the above configuration is inserted and installed has a substantially long cylindrical shape (corresponding to the end base 14b having the substantially long cylindrical shape (or substantially elliptical column shape) of the lamp heater 14 described above ( Or an inner shape of the inner tube 13 is determined by considering the fitting (tolerance) of the lamp heater 14 with the end base 14b. It is set to be slightly larger than the dimensions.

具体的には、図１０(ｂ)に示す如く、内管１３における長軸方向の外側寸法ｌｏは４０mm、内側寸法ｌｉは３４mmに形成され、短軸方向の外側寸法ｓｏは３０mm、内側寸法ｓｉは２４mmに形成されており、端部ベースが大径の円柱形状を呈するランプヒータＦを挿入設置する従来の内管Ｇに比較して、その短軸方向の寸法が大幅に削減されたものとなっている。   Specifically, as shown in FIG. 10B, the outer dimension lo in the major axis direction of the inner tube 13 is 40 mm, the inner dimension li is 34 mm, the outer dimension so in the minor axis direction is 30 mm, and the inner dimension si. Compared with the conventional inner tube G into which the lamp heater F having an end base having a large-diameter columnar shape is inserted and installed, the dimension in the short axis direction is greatly reduced. It has become.

なお、上述した流体加熱装置１０の構成は、内管１３およびランプヒータ１４以外、図１および図２に示した流体加熱装置１と基本的に同一なので、流体加熱装置１０の構成要素において、流体加熱装置１の構成要素と同一の作用を成すものには、図７および図８において、図１および図２と同一の符号に１０を加算した(１０番台の)符号を附すことで詳細な説明は省略する。   The configuration of the fluid heating device 10 described above is basically the same as that of the fluid heating device 1 shown in FIGS. 1 and 2 except for the inner tube 13 and the lamp heater 14. In FIG. 7 and FIG. 8, the same reference numerals as those in FIG. 1 and FIG. 2 are added to the same reference numerals as those in FIG. 7 and FIG. Description is omitted.

上記構成の流体加熱装置１０によれば、ランプヒータ１４の端部ベース１４ｂを略長円柱形状(または略楕円柱形状)とするとともに、内管１３をランプヒータ１４の端部ベース１４ｂが嵌合する略長円筒形状(または略楕円筒形状)としたことで、図１０(ｃ)に示す如く、互いに嵌合した状態における、ランプヒータ１４の端部ベース１４ｂと内管１３との隙間が極めて小さなものとなる。   According to the fluid heating device 10 having the above-described configuration, the end base 14b of the lamp heater 14 has a substantially long cylindrical shape (or a substantially elliptical column shape), and the inner tube 13 is fitted to the end base 14b of the lamp heater 14. As shown in FIG. 10C, the gap between the end base 14b of the lamp heater 14 and the inner tube 13 is extremely large. It will be small.

かくして、ランプヒータ１４の端部ベース１４ｂと内管１３との隙間から漏れる放射光(熱)を低減できるため、ランプヒータ１４および内管１３の端部に臨むケーシング１５の内面に、熱遮蔽板を設置する等の熱対策が不要となり、もってケーシング１５を含めた装置全体における外観形状のコンパクト化を達成することが可能となる。   Thus, since the radiated light (heat) leaking from the gap between the end base 14b of the lamp heater 14 and the inner tube 13 can be reduced, the heat shielding plate is provided on the inner surface of the casing 15 facing the end portions of the lamp heater 14 and the inner tube 13. Therefore, it is not necessary to take measures against heat, such as installing the housing, and it is possible to achieve a compact external shape of the entire apparatus including the casing 15.

併せて、ランプヒータ１４の端部ベース１４ｂが略長円柱形状(または略楕円柱形状)であることから、端部ベースが大径の円柱形状を呈しているランプヒータに比べ、フィラメント１４ｆからの放射光(熱)による端部ベース１４ｂの加熱が抑えられ、もって上記ランプヒータ１４の寿命が徒らに短くなることをも未然に防止できる。   In addition, since the end base 14b of the lamp heater 14 has a substantially long cylindrical shape (or a substantially elliptical column shape), the end base from the filament 14f is larger than a lamp heater having a large diameter cylindrical shape. It is possible to prevent the end base 14b from being heated by the radiated light (heat), thereby preventing the lamp heater 14 from being shortened.

また、上記流体加熱装置１０において、複数の内管１３、１３は、各々の軸線が同一平面上において並行する姿勢、具体的には、それぞれの軸線が水平方向に延在し、かつ互いに平行するとともに、上下方向に並べるようにして配設されており、個々の内管１３、１３は、縦断面の長軸を上下方向に向ける姿勢で配設されている。   Further, in the fluid heating device 10, the plurality of inner tubes 13, 13 are arranged such that the respective axes are parallel to each other on the same plane, specifically, the respective axes extend in the horizontal direction and are parallel to each other. At the same time, the inner pipes 13 and 13 are arranged so as to be arranged in the vertical direction. The inner pipes 13 and 13 are arranged in a posture in which the long axis of the longitudinal section is directed in the vertical direction.

一方、上記流体加熱装置１０における外管１２は、図７および図１１に示す如く、内管１３、１３の並列方向(上下方向)に沿って延在する、縦横比の大きな断面形状を呈しており、具体的には、左右の側部を内管１３、１３に近接した平面とし、かつ上部と下部とを内管１３、１３の周面に沿った曲面から構成している。なお、外管１２の下部には流入口１２ｉが設けられ、外管１２の上部には流出口１２ｏが設けられている。   On the other hand, as shown in FIGS. 7 and 11, the outer tube 12 in the fluid heating apparatus 10 has a cross-sectional shape with a large aspect ratio that extends along the parallel direction (vertical direction) of the inner tubes 13 and 13. Specifically, the left and right side portions are flat surfaces close to the inner tubes 13 and 13, and the upper and lower portions are formed of curved surfaces along the peripheral surfaces of the inner tubes 13 and 13. An inflow port 12 i is provided at the lower part of the outer tube 12, and an outflow port 12 o is provided at the upper part of the outer tube 12.

さらに、図１１(ａ)に示す如く、上下に隣接する内管１３、１３同士の間隔ｇ、および内管１３と外管１２との間隔ｇは、それぞれ５〜１０mm、すなわち、外管１２の内部を流れる薬液Ｌが、ランプヒータ１４からの近赤外線により加熱される、内管１３の表面からの有効範囲内の寸法に設定されている。   Further, as shown in FIG. 11 (a), the gap g between the inner pipes 13 adjacent to each other in the vertical direction and the gap g between the inner pipe 13 and the outer pipe 12 are 5 to 10 mm. The chemical solution L flowing inside is set to a size within the effective range from the surface of the inner tube 13 that is heated by near infrared rays from the lamp heater 14.

なお、上述した実施例の流体加熱装置１０においては、外管１２の高さ(長軸寸法)ｖは１０１〜１１６mm、外管２の幅(短軸寸法)ｗは４８〜５８mmに形成されている。   In the fluid heating apparatus 10 of the above-described embodiment, the height (major axis dimension) v of the outer tube 12 is 101 to 116 mm, and the width (minor axis dimension) w of the outer tube 2 is 48 to 58 mm. Yes.

上述した構成の流体加熱装置１０によれば、複数の内管１３、１３を、各々の軸線が同一平面上において並行する姿勢で設置するとともに、外管１２を複数の内管１３、１３における並列方向(並行する方向)に沿って延在する縦横比の大きな断面形状としたことで、共に円筒形状を呈する外管と内管とを組合わせた従来の流体加熱装置に比較して、外管の内部において内管の有効加熱域以外のスペースを可及的に排除でき、もって外観形状のコンパクト化を達成することが可能となる。   According to the fluid heating apparatus 10 having the above-described configuration, the plurality of inner tubes 13 and 13 are installed in a posture in which the respective axes are parallel to each other on the same plane, and the outer tube 12 is arranged in parallel with the plurality of inner tubes 13 and 13. Compared to a conventional fluid heating device that combines an outer tube and an inner tube that both have a cylindrical shape, the outer tube has a cross-sectional shape with a large aspect ratio that extends along the direction (parallel direction). The space other than the effective heating area of the inner tube can be eliminated as much as possible in the interior of the tube, so that the appearance can be made compact.

ここで、図１１(ａ)、(ｂ)、(ｃ)は、上述した流体加熱装置１０における、総ヒータ電熱量の相違に伴う、内管１３と外管１２とのレイアウトを示しており、上述した図１１(ａ)の態様では、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管１３を、外管１２の内部に２本設置することで、総ヒータ電熱量を６KWに設定している。   Here, FIGS. 11A, 11 </ b> B, and 11 </ b> C show the layout of the inner tube 13 and the outer tube 12 in accordance with the difference in the total heater electric heat amount in the fluid heating device 10 described above. In the embodiment of FIG. 11A described above, the total amount of electric heat generated by the heater is set to 6 KW by installing two inner tubes 13 into which the 3 KW lamp heater is inserted and installed inside the outer tube 12.

また、図１１(ｂ)に示す如く、外管１２Ａの内部に、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管１３を３本設置して、総ヒータ電熱量を９KWに設定し、さらに、図１１(ｃ)に示す如く、外管１２Ｂの内部に、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管１３を４本設置して、総ヒータ電熱量を１２KWに設定している。   Further, as shown in FIG. 11B, three inner pipes 13 into which a 3 KW lamp heater is inserted are installed inside the outer pipe 12A, the total heater electric heat amount is set to 9 KW, and further, FIG. As shown in (c), four inner tubes 13 into which a 3 KW lamp heater is inserted are installed in the outer tube 12B, and the total heater electric heat is set to 12 KW.

図１１(ａ)、(ｂ)、(ｃ)の何れにおいても、複数の内管１３は各々の軸線が同一平面上において並行する姿勢で設置され、外管１２、１２Ａ、１２Ｂは何れも内管１３の並列方向(上下方向)に沿って延在する縦横比の大きな断面形状を呈し、隣接する内管１３、１３同士の間隔、および外管１２、１２Ａ、１２Ｂと内管１３との間隔は、共に５〜１０mmに設定されており、もって外観形状の可及的なコンパクト化が達成されている。   In any of FIGS. 11A, 11B, and 11C, the plurality of inner tubes 13 are installed in a posture in which the respective axes are parallel to each other on the same plane, and the outer tubes 12, 12A, and 12B are all inner. It exhibits a cross-sectional shape with a large aspect ratio extending along the parallel direction (vertical direction) of the tubes 13, and the interval between the adjacent inner tubes 13, 13 and the interval between the outer tubes 12, 12A, 12B and the inner tube 13. Both are set to 5 to 10 mm, so that the external shape can be made as compact as possible.

具体的には、図１１(ｂ)における外管１２Ａの高さ(長軸寸法)ｖａは１４６〜１６６mm、幅(短軸寸法)ｗａは４８〜５８mmに形成されており、図１１(ｃ)における外管１２Ｂの高さ(長軸寸法)ｖｂは１９１〜２１６mm、幅(短軸寸法)ｗｂは４８〜５８mmに形成されている。なお、図１１(ｂ)中の符号１２Ａｉおよび１２Ａｏ、図１１(ｃ)中の符号１２Ｂｉおよび１２Ｂｏは、それぞれ流入口および流出口を示している。   Specifically, the height (major axis dimension) va of the outer tube 12A in FIG. 11B is 146 to 166 mm and the width (minor axis dimension) wa is 48 to 58 mm, and FIG. The outer tube 12B has a height (major axis dimension) vb of 191 to 216 mm and a width (minor axis dimension) wb of 48 to 58 mm. Note that reference numerals 12Ai and 12Ao in FIG. 11B and reference numerals 12Bi and 12Bo in FIG. 11C indicate an inlet and an outlet, respectively.

図１２(ａ)、(ｂ)、(ｃ)は、上述した流体加熱装置１０において、個々の内管１３、１３を、縦断面の長軸を左右方向に向けた姿勢で配設した構成における、総ヒータ電熱量の相違に伴う、内管と外管とのレイアウトを示している。   12 (a), 12 (b), and 12 (c) show a configuration in which the individual inner tubes 13 and 13 are arranged in a posture in which the long axis of the longitudinal section is directed in the left-right direction in the fluid heating device 10 described above. The layout of the inner pipe and the outer pipe in accordance with the difference in the total heater electric heat amount is shown.

図１２(ａ)に示す如く、外管１２Ｃの内部に、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管１３を２本設置して、総ヒータ電熱量を６KWに設定し、また、図１２(ｂ)に示す如く、外管１２Ｄの内部に、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管１３を３本設置して、総ヒータ電熱量を９KWに設定し、さらに、図１２(ｃ)に示す如く、外管１２Ｅの内部に、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管１３を４本設置して、総ヒータ電熱量を１２KWに設定している。   As shown in FIG. 12 (a), two inner tubes 13 into which a 3 KW lamp heater is inserted are installed in the outer tube 12C, the total heater electric heat amount is set to 6 KW, and FIG. As shown in FIG. 12C, three inner pipes 13 into which a 3 KW lamp heater is inserted are installed in the outer pipe 12D, the total heater electric heat is set to 9 KW, and as shown in FIG. In the outer tube 12E, four inner tubes 13 into which 3 KW lamp heaters are inserted are installed, and the total heater electric heat amount is set to 12 KW.

図１２(ａ)、(ｂ)、(ｃ)の何れにおいても、複数の内管１３は各々の軸線が同一平面上において並行する姿勢で設置され、外管１２Ｃ、１２Ｄ、１２Ｅは何れも内管１３の並列方向(上下方向)に沿って延在する縦横比の大きな断面形状を呈し、隣接する内管１３、１３同士の間隔、および外管１２Ｃ、１２Ｄ、１２Ｅと内管１３との間隔は、共に５〜１０mmに設定されており、もって外観形状の可及的なコンパクト化が達成されている。   12 (a), 12 (b), and 12 (c), the plurality of inner tubes 13 are installed such that their respective axes are parallel to each other on the same plane, and the outer tubes 12C, 12D, and 12E are all inner. It exhibits a cross-sectional shape with a large aspect ratio extending along the parallel direction (vertical direction) of the tubes 13, and the interval between the adjacent inner tubes 13, 13 and the interval between the outer tubes 12 </ b> C, 12 </ b> D, 12 </ b> E and the inner tube 13. Both are set to 5 to 10 mm, so that the external shape can be made as compact as possible.

具体的には、図１２(ａ)における外管１２Ｃの高さ(長軸寸法)ｖｃは８１〜９６mm、幅(短軸寸法)ｗｃは５８〜６８mmに形成されており、図１２(ｂ)における外管１２Ｄの高さ(長軸寸法)ｖｄは１１６〜１３６mm、幅(短軸寸法)ｗｄは５８〜６８mmに形成されており、図１２(ｃ)における外管１２Ｅの高さ(長軸寸法)ｖｅは１５１〜１７７mm、幅(短軸寸法)ｗｅは５８〜６８mmに形成されている。なお、図１２(ａ)中の符号１２Ｃｉおよび１２Ｃｏ、図１２(ｂ)中の符号１２Ｄｉおよび１２Ｄｏ、図１２(ｃ)中の符号１２Ｅｉおよび１２Ｅｏは、それぞれ流入口および流出口を示している。   Specifically, the height (major axis dimension) vc of the outer tube 12C in FIG. 12A is 81 to 96 mm, and the width (minor axis dimension) wc is 58 to 68 mm. The outer tube 12D has a height (major axis dimension) vd of 116 to 136 mm and a width (minor axis dimension) wd of 58 to 68 mm. The height (major axis) of the outer tube 12E in FIG. (Dimension) ve is 151 to 177 mm, and width (short axis dimension) we is 58 to 68 mm. Note that reference numerals 12Ci and 12Co in FIG. 12A, reference numerals 12Di and 12Do in FIG. 12B, and reference numerals 12Ei and 12Eo in FIG. 12C indicate an inlet and an outlet, respectively.

図１３(ａ)、(ｂ)、(ｃ)は、上述した流体加熱装置１０において、個々の内管１３、１３を、縦断面の長軸を斜めに約４５°傾けた姿勢で配設した構成における、総ヒータ電熱量の相違に伴う、内管と外管とのレイアウトを示している。   13 (a), (b), and (c), in the fluid heating device 10 described above, the individual inner tubes 13 and 13 are arranged in a posture in which the major axis of the longitudinal section is inclined approximately 45 °. The layout of the inner tube and the outer tube according to the difference in the total heater electric heat amount in the configuration is shown.

図１３(ａ)に示す如く、外管１２Ｆの内部に、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管１３を２本設置して、総ヒータ電熱量を６KWに設定し、また、図１３(ｂ)に示す如く、外管１２Ｇの内部に、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管１３を３本設置して、総ヒータ電熱量を９KWに設定し、さらに、図１３(ｃ)に示す如く、外管１２Ｈの内部に、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管１３を４本設置して、総ヒータ電熱量を１２KWに設定している。   As shown in FIG. 13 (a), two inner tubes 13 into which a 3 KW lamp heater is inserted are installed in the outer tube 12F, the total heater electric heat amount is set to 6 KW, and FIG. As shown in FIG. 13C, three inner pipes 13 with a 3 KW lamp heater inserted therein are installed in the outer pipe 12G, the total heater electric heat is set to 9 KW, and as shown in FIG. In the outer tube 12H, four inner tubes 13 into which 3 KW lamp heaters are inserted are installed to set the total heater electric heat amount to 12 KW.

図１３(ａ)、(ｂ)、(ｃ)の何れにおいても、複数の内管１３は各々の軸線が同一平面上において並行する姿勢で設置され、外管１２Ｆ、１２Ｇ、１２Ｈは何れも内管１３の並列方向(上下方向)に沿って延在する縦横比の大きな断面形状を呈し、隣接する内管１３、１３同士の間隔、および外管１２Ｆ、１２Ｇ、１２Ｈと内管１３との間隔は、共に５〜１０mmに設定されており、もって外観形状の可及的なコンパクト化が達成されている。   13 (a), (b), and (c), the plurality of inner tubes 13 are installed in a posture in which the respective axes are parallel to each other on the same plane, and the outer tubes 12F, 12G, and 12H are all inner. It exhibits a cross-sectional shape with a large aspect ratio extending along the parallel direction (vertical direction) of the tubes 13, and the interval between the adjacent inner tubes 13, 13 and the interval between the outer tubes 12F, 12G, 12H and the inner tube 13. Both are set to 5 to 10 mm, so that the external shape can be made as compact as possible.

具体的には、図１３(ａ)における外管１２Ｆの高さ(長軸寸法)ｖｆは９１〜１０６mm、幅(短軸寸法)ｗｆは５３〜６３mmに形成されており、図１３(ｂ)における外管１２Ｇの高さ(長軸寸法)ｖｇは１３１〜１５１mm、幅(短軸寸法)ｗｇは５３〜６３mmに形成されており、図１３(ｃ)における外管１２Ｈの高さ(長軸寸法)ｖｈは１７１〜１９７mm、幅(短軸寸法)ｗｈは５３〜６３mmに形成されている。なお、図１３(ａ)中の符号１２Ｆｉおよび１２Ｆｏ、図１３(ｂ)中の符号１２Ｇｉおよび１２Ｇｏ、図１３(ｃ)中の符号１２Ｈｉおよび１２Ｈｏは、それぞれ流入口および流出口を示している。   Specifically, the height (major axis dimension) vf of the outer tube 12F in FIG. 13A is 91 to 106 mm, and the width (minor axis dimension) wf is 53 to 63 mm, and FIG. The outer tube 12G has a height (major axis dimension) vg of 131 to 151 mm and a width (minor axis dimension) wg of 53 to 63 mm. The height (major axis) of the outer tube 12H in FIG. (Dimension) vh is 171 to 197 mm, and width (short axis dimension) wh is 53 to 63 mm. Reference numerals 12Fi and 12Fo in FIG. 13A, reference numerals 12Gi and 12Go in FIG. 13B, and reference numerals 12Hi and 12Ho in FIG. 13C indicate an inlet and an outlet, respectively.

ここで、図１１、図１２、図１３に示した各実施例においては、ランプヒータを挿入設置した複数の内管１３、１３…を、上下方向に併設することによって縦長の構成としているが、図１１、図１２、図１３に示した装置を、横長としても構成し得ることは言うまでもない。   Here, in each embodiment shown in FIG. 11, FIG. 12, FIG. 13, a plurality of inner tubes 13, 13. Needless to say, the apparatus shown in FIGS. 11, 12, and 13 can be configured to be horizontally long.

さらに、上述した流体加熱装置１０においても、図６に示した流体加熱装置１と同様に、外管の内部において複数の内管１３、１３…を、２列以上に分けて配置するよう構成し得ることは勿論である。   Further, in the fluid heating device 10 described above, as in the fluid heating device 1 shown in FIG. 6, a plurality of inner tubes 13, 13... Are arranged in two or more rows inside the outer tube. Of course you get.

図１４(ａ)、(ｂ)は、上述した流体加熱装置１０において、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管１３を、外管の内部に３本設置して総ヒータ電熱量を９KWに設定した構成を示している。   FIGS. 14 (a) and 14 (b) show that in the fluid heating apparatus 10 described above, three inner tubes 13 into which 3 KW lamp heaters are inserted are installed inside the outer tube to set the total heater electric heat amount to 9 KW. Shows the configuration.

図１４(ａ)に示す構成において、外管１２Ｉは円筒形状(円環断面)を呈しており、この外管１２Ｉの内部に、図中上方の１本の内管１３を、縦断面の長軸を左右方向に向けた姿勢で配設し、図中下方の２本の内管１３、１３を、縦断面の長軸を上下方向に向けた姿勢で配設している。   In the configuration shown in FIG. 14 (a), the outer tube 12I has a cylindrical shape (annular cross section), and the inner tube 13 at the upper side in the figure is placed inside the outer tube 12I in the length of the longitudinal section. The shafts are disposed in a posture in which the shaft is directed in the left-right direction, and the two inner pipes 13 and 13 in the lower part in the drawing are disposed in a posture in which the long axis of the longitudinal section is directed in the vertical direction.

また、隣接する内管１３、１３同士の間隔、および外管１２Ｉと内管１３との間隔ｇは、共に５〜１０mmに設定されており、上記外管１２Ｉにおける外径寸法ｖｉは１０５〜１１５mmに設定されている。なお、図１４(ａ)中の符号１２Ｉｉおよび１２Ｉｏは、それぞれ流入口および流出口を示している。   The interval between the adjacent inner tubes 13, 13 and the interval g between the outer tube 12I and the inner tube 13 are both set to 5 to 10 mm, and the outer diameter dimension vi of the outer tube 12I is 105 to 115 mm. Is set to Note that reference numerals 12Ii and 12Io in FIG. 14A indicate an inlet and an outlet, respectively.

一方、図１４(ｂ)に示す構成において、外管１２Ｊは円筒形状(円環断面)を呈しており、この外管１２Ｊの内部に、３本の内管１３、１３、１３を、それぞれ縦断面の長軸を外管１２Ｊの周方向に沿わせた姿勢で配設している。   On the other hand, in the configuration shown in FIG. 14B, the outer tube 12J has a cylindrical shape (annular cross section), and the three inner tubes 13, 13, 13 are longitudinally cut inside the outer tube 12J. The long axis of the surface is arranged in a posture along the circumferential direction of the outer tube 12J.

また、隣接する内管１３、１３同士の間隔、および外管１２Ｊと内管１３との間隔ｇは、共に５〜１０mmに設定されており、上記外管１２Ｊにおける外径寸法ｖｊは１００〜１１０mmに設定されている。なお、図１４(ｂ)中の符号１２Ｊｉおよび１２Ｊｏは、それぞれ流入口および流出口を示している。   The interval between the adjacent inner tubes 13, 13 and the interval g between the outer tube 12J and the inner tube 13 are both set to 5 to 10 mm, and the outer diameter dimension vj of the outer tube 12J is 100 to 110 mm. Is set to In addition, the codes | symbols 12Ji and 12Jo in FIG.14 (b) have shown the inflow port and the outflow port, respectively.

図１５は、上述した流体加熱装置１０において、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管１３を、外管の内部に４本設置して総ヒータ電熱量を１２KWに設定した構成を示している。   FIG. 15 shows a configuration in the above-described fluid heating apparatus 10 in which four inner tubes 13 into which 3 KW lamp heaters are inserted are installed in the outer tube, and the total heater electric heat amount is set to 12 KW.

上記構成において、外管１２Ｋは円筒形状(円環断面)を呈しており、この外管１２Ｋの内部に、４本の内管１３、１３…を、個々の内管１３における縦断面の長軸によって矩形を描く姿勢で配設している。   In the above configuration, the outer tube 12K has a cylindrical shape (annular cross section), and the four inner tubes 13, 13,... Is arranged in a posture for drawing a rectangle.

また、隣接する内管１３、１３同士の間隔、および外管１２Ｋと内管１３との間隔ｇは、共に５〜１０mmに設定されており、上記外管１２Ｋにおける外径寸法ｖｋは１１５〜１２５mmに設定されている。なお、図１５中の符号１２Ｋｉおよび１２Ｋｏは、それぞれ流入口および流出口を示している。   The interval between the adjacent inner tubes 13 and 13 and the interval g between the outer tube 12K and the inner tube 13 are both set to 5 to 10 mm, and the outer diameter dimension vk of the outer tube 12K is 115 to 125 mm. Is set to In addition, the codes | symbols 12Ki and 12Ko in FIG. 15 have shown the inflow port and the outflow port, respectively.

図１６(ａ)、(ｂ)は、上述した流体加熱装置１０において、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管１３を、外管の内部に４本設置して総ヒータ電熱量を１２KWに設定した構成の変形例を示している。   FIGS. 16 (a) and 16 (b) show that in the fluid heating apparatus 10 described above, four inner tubes 13 into which 3 KW lamp heaters are inserted are installed inside the outer tube to set the total heater electric heat amount to 12 KW. The modification of the structure which showed is shown.

図１６(ａ)に示す構成において、外管１２Ｌは楕円筒形状(楕円環断面)を呈しており、この外管１２Ｌの内部に、図中上下の２本の内管１３、１３を、縦断面の長軸を左右方向に向けた姿勢で配設し、図中左右の２本の内管１３、１３を、縦断面の長軸を上下方向に向けた姿勢で配設している。   In the configuration shown in FIG. 16 (a), the outer tube 12L has an oval cylindrical shape (elliptical ring cross section), and the upper and lower inner tubes 13, 13 in the figure are vertically cut into the outer tube 12L. The long axis of the surface is arranged in the posture in the left-right direction, and the two inner pipes 13 and 13 on the left and right in the drawing are arranged in a posture in which the long axis of the longitudinal section is directed in the vertical direction.

また、隣接する内管１３、１３同士の間隔、および外管１２Ｌと内管１３との間隔ｇは、共に５〜１０mmに設定されており、上記外管１２Ｌの高さ(長軸寸法)ｖｌは１２５〜１４２mm、幅(短軸寸法)ｗｌは８１〜９６mmに設定されている。なお、図１６(ａ)中の符号１２Ｌｉおよび１２Ｌｏは、それぞれ流入口および流出口を示している。   The interval between the adjacent inner tubes 13 and 13 and the interval g between the outer tube 12L and the inner tube 13 are both set to 5 to 10 mm, and the height (major axis dimension) vl of the outer tube 12L. Is set to 125 to 142 mm, and the width (short axis dimension) wl is set to 81 to 96 mm. In addition, the codes | symbols 12Li and 12Lo in Fig.16 (a) have each shown the inflow port and the outflow port.

一方、図１６(ｂ)に示す構成において、外管１２Ｍは四角筒形状(矩形断面)を呈しており、この外管１２Ｍの内部に、４本の内管１３、１３…を、それぞれ縦断面の長軸を上下方向に沿わせた姿勢で配設している。   On the other hand, in the configuration shown in FIG. 16 (b), the outer tube 12M has a rectangular tube shape (rectangular cross section), and four inner tubes 13, 13,. Are arranged in a posture along the vertical axis.

また、隣接する内管１３、１３同士の間隔、および外管１２Ｍと内管１３との間隔ｇは、共に５〜１０mmに設定されており、上記外管１２Ｍの高さ(長軸寸法)ｖｍは１０１〜１１６mm、幅(短軸寸法)ｗｍは８１〜９６mmに設定されている。なお、図１６(ｂ)中の符号１２Ｍｉおよび１２Ｍｏは、それぞれ流入口および流出口を示している。   The interval between the adjacent inner tubes 13 and 13 and the interval g between the outer tube 12M and the inner tube 13 are both set to 5 to 10 mm, and the height (major axis dimension) vm of the outer tube 12M. Is set to 101 to 116 mm, and the width (short axis dimension) wm is set to 81 to 96 mm. In addition, the codes | symbols 12Mi and 12Mo in FIG.16 (b) have shown the inflow port and the outflow port, respectively.

ここで、図１７(ａ)に示す如く、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した円筒形状の内管Ｃを、円筒形状を呈する外管Ｂの内部に２本設置して、総ヒータ電熱量を６KWに設定した従来の構成では、外管Ｂの外径ｒｂが１０６〜１２６mmであるのに対して、図１７(ｂ)に示す如く、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した長円筒形状の内管１３を、長円筒形状の外管１２の内部に２本設置して、総ヒータ電熱量を６ＫＷに設定した本発明の構成では、上記外管１２の高さ(長軸寸法)ｖは１０１〜１１６mm、幅(短軸寸法)ｗは８１〜９６mmに抑えられる。   Here, as shown in FIG. 17 (a), two cylindrical inner tubes C into which 3KW lamp heaters are inserted are installed inside the outer tube B having a cylindrical shape, and the total heater electric heat is 6KW. In the conventional configuration set to 1, the outer diameter rb of the outer tube B is 106 to 126 mm, whereas as shown in FIG. 17B, a long cylindrical inner tube 13 in which a 3 KW lamp heater is inserted and installed. In the configuration of the present invention in which two are installed inside the long cylindrical outer tube 12 and the total heater electric heat is set to 6 KW, the height (major axis dimension) v of the outer tube 12 is 101 to 116 mm. The width (short axis dimension) w is suppressed to 81 to 96 mm.

また、図１８(ａ)に示す如く、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した円筒形状の内管Ｃを、円筒形状を呈する外管Ｂ′の内部に３本設置して、総ヒータ電熱量を９ＫＷに設定した従来の構成では、外管Ｂの外径寸法ｒｂ′が１１４〜１３５mmであるのに対して、図１８(ｂ)に示す如く、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した長円筒形状の内管１３を、円筒形状の外管１２Ｉの内部に３本設置して、総ヒータ電熱量を９ＫＷに設定した本発明の構成では、上記外管１２Ｉの外径寸法ｖｉは１０５〜１１５mmに抑えられる。   Further, as shown in FIG. 18 (a), three cylindrical inner tubes C into which 3 KW lamp heaters are inserted are installed in the outer tube B ′ having a cylindrical shape, and the total heater electric heat is 9 KW. In the conventional configuration set to 1, the outer diameter rb ′ of the outer tube B is 114 to 135 mm, whereas as shown in FIG. 18B, the inner diameter of the long cylindrical shape in which a 3 KW lamp heater is inserted and installed. In the configuration of the present invention in which three tubes 13 are installed inside the cylindrical outer tube 12I and the total heater electric heat is set to 9 KW, the outer diameter dimension vi of the outer tube 12I is suppressed to 105 to 115 mm. .

さらに、図１９(ａ)に示す如く、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した円筒形状の内管Ｃを、円筒形状を呈する外管Ｂ″の内部に４本設置して、総ヒータ電熱量を１２ＫＷに設定した従来の構成では、外管Ｂの外径ｒｂ″が１２７〜１５１mmであるのに対して、図１９(ｂ)に示す如く、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した長円筒形状の内管１３を、四角筒形状の外管１２Ｍの内部に４本設置して、総ヒータ電熱量を１２ＫＷに設定した本発明の構成では、上記外管１２Ｍの高さ(長軸寸法)ｖｍは１０１〜１１６mm、幅(短軸寸法)ｗｍは８１〜９６mmに抑えられる。   Further, as shown in FIG. 19 (a), four cylindrical inner tubes C into which 3 KW lamp heaters are inserted are installed in the outer tube B ″ having a cylindrical shape, so that the total heater electric heat is 12 KW. In the conventional configuration set to 1, the outer diameter rb ″ of the outer tube B is 127 to 151 mm, whereas as shown in FIG. 19B, a long cylindrical inner tube into which a 3 KW lamp heater is inserted and installed. In the configuration of the present invention in which the four heaters 13 are installed inside the rectangular tube-shaped outer tube 12M and the total heater electric heat amount is set to 12 KW, the height (major axis dimension) vm of the outer tube 12M is 101 to 116 mm and the width (short axis dimension) wm are suppressed to 81 to 96 mm.

上述した如く、ランプヒータの挿入設置される内管１３を長円筒形状とした本発明の構成によれば、外管の形状を可及的に小型化することができ、先に説明した如く、上記内管１３に端部ベース１４ｂが略長円柱形状を成すランプヒータ１４を挿入設置することで、ランプヒータ１４および内管１３の端部に臨むケーシング１５の内面に、熱遮蔽板を設置する等の熱対策が不要となることと合わせ、ケーシング１５を含めた装置全体における体積を、従来構成の約７０％にまでコンパクト化することが可能となる。   As described above, according to the configuration of the present invention in which the inner tube 13 into which the lamp heater is inserted and installed has a long cylindrical shape, the shape of the outer tube can be reduced as much as possible. A heat shield plate is installed on the inner surface of the casing 15 facing the lamp heater 14 and the end of the inner tube 13 by inserting and installing the lamp heater 14 having the end base 14b having a substantially long cylindrical shape into the inner tube 13. This makes it possible to reduce the volume of the entire apparatus including the casing 15 to about 70% of the conventional configuration.

因みに、図２０(ａ)、(ｂ)に示す如く、上述した流体加熱装置１０において、３ＫＷのランプヒータを挿入設置した内管１３を、外管の内部に１本設置して総ヒータ電熱量を３KWに設定する構成も実現可能である。   Incidentally, as shown in FIGS. 20 (a) and 20 (b), in the fluid heating apparatus 10 described above, one inner tube 13 into which a 3 KW lamp heater is inserted is installed inside the outer tube, so that the total heater electric energy is obtained. It is also possible to realize a configuration in which is set to 3KW.

図２０(ａ)に示す構成において、外管１２Ｎは縦長の長円筒形状を呈しており、この外管１２Ｎの内部に、縦断面の長軸を上下方向に向けた姿勢で内管１３を配設しており、外管１２Ｎと内管１３との間隔ｇは５〜１０mmに設定されており、外管１２Ｎの高さ(長軸寸法)ｖｎは５６〜６６mm、幅(短軸寸法)ｗｎは４６〜５６mmに設定されている。なお、図２０(ａ)中の符号１２Ｎｉおよび１２Ｎｏは、それぞれ流入口および流出口を示している。   In the configuration shown in FIG. 20 (a), the outer tube 12N has a vertically long and long cylindrical shape, and the inner tube 13 is arranged inside the outer tube 12N in a posture in which the longitudinal axis of the longitudinal section is directed in the vertical direction. The interval g between the outer tube 12N and the inner tube 13 is set to 5 to 10 mm, the height (major axis dimension) vn of the outer tube 12N is 56 to 66 mm, and the width (minor axis dimension) wn. Is set to 46-56 mm. In addition, the codes | symbols 12Ni and 12No in Fig.20 (a) have each shown the inflow port and the outflow port.

また、図２０(ｂ)に示す構成において、外管１２Ｎは横長の長円筒形状を呈しており、この外管１２Ｏの内部に、縦断面の長軸を上下方向に向けた姿勢で内管１３を配設しており、外管１２Ｏと内管１３との間隔ｇは５〜１０mmに設定されており、外管１２Ｏの幅(長軸寸法)ｖｏは５６〜６６mm、高さ(短軸寸法)ｗｏは４６〜５６mmに設定されている。なお、図２０(ｂ)中の符号１２Ｏｉおよび１２Ｏｏは、それぞれ流入口および流出口を示している。   In the configuration shown in FIG. 20 (b), the outer tube 12N has a horizontally long and long cylindrical shape, and the inner tube 13 is placed inside the outer tube 12O in a posture in which the longitudinal axis of the longitudinal section is directed in the vertical direction. The interval g between the outer tube 12O and the inner tube 13 is set to 5 to 10 mm, the width (major axis dimension) vo of the outer tube 12O is 56 to 66 mm, and the height (minor axis dimension). ) wo is set to 46-56 mm. In addition, the codes | symbols 12Oi and 12Oo in FIG.20 (b) have shown the inflow port and the outflow port, respectively.

図２１に示す流体加熱装置２０は、第３の発明に関わる実施態様を示しており、この流体加熱装置２０に使用されるランプヒータ２４は、図２１および図２２に示す如く、それぞれにフィラメント２４ｆを封入した２本のヒータ管２４ａを並設し、一端側(図中の右端側)の端部ベース２４ｂにおいて、２本のヒータ管２４ａおよびフィラメント２４ｆを相互に接続すると共に、他端側(図中の左端側)の端部ベース２４ｂにおいて、２本のヒータ管２４ａおよびフィラメント２４ｆを支持し、この端部ベース２４ｂから各フィラメント２４ｆ、２４ｆに接続された２本のリード線が延びている。   A fluid heating device 20 shown in FIG. 21 shows an embodiment related to the third invention, and the lamp heater 24 used in the fluid heating device 20 includes a filament 24f as shown in FIG. 21 and FIG. The two heater tubes 24a enclosing the two heater tubes 24a are arranged side by side, and the two heater tubes 24a and the filament 24f are connected to each other at the end base 24b on one end side (the right end side in the figure) and the other end side ( On the end base 24b on the left end side in the figure, two heater tubes 24a and filaments 24f are supported, and two lead wires connected to the filaments 24f and 24f extend from the end base 24b. .

さらに、上記ランプヒータ２４における端部ベース２４ｂは、大径の円柱形状を呈する端部ベースの左右側面を削ぎ落とした如き略長円柱形状を呈している。   Further, the end base 24b of the lamp heater 24 has a substantially long cylindrical shape as if the left and right side surfaces of the end base having a large-diameter cylindrical shape are scraped off.

すなわち、上記ランプヒータ２４は、図９に示したランプヒータ１４、および図２８に示した従来のランプヒータＩと基本的に変わるところはない。   That is, the lamp heater 24 is basically the same as the lamp heater 14 shown in FIG. 9 and the conventional lamp heater I shown in FIG.

一方、上記構成のランプヒータ２４が挿入設置される内管２３は、上述したランプヒータ４に対応した円筒形状を呈しているものの、外管２２の端壁２２ｗ、２２ｗから突出した両端部には、それぞれ絞り成形によって、ランプヒータ２４の端部ベース２４ｂと嵌合する略長円筒形状の端部絞り部２３ｅ、２３ｅが形成されている。   On the other hand, the inner tube 23 into which the lamp heater 24 having the above-described configuration is inserted and installed has a cylindrical shape corresponding to the lamp heater 4 described above, but at both ends protruding from the end walls 22w and 22w of the outer tube 22. The substantially narrow cylindrical end restricting portions 23e and 23e that are fitted to the end base 24b of the lamp heater 24 are formed by drawing.

さらに、上記内管２３においては、端壁２２ｗよりも外管２２の内方側であって、図２３に示す如く、内管２３に挿入設置したランプヒータ２４(ヒータ管２４ａに封入されたフィラメント２４ｆ)の発光部２４ｌより外方側の部位に、上記ランプヒータ２４におけるヒータ管２４ａとの間隙を狭めるトラップ絞り部２３ｔ、２３ｔが、それぞれ絞り成形によって形成されている。   Further, the inner tube 23 is located on the inner side of the outer tube 22 with respect to the end wall 22w, and as shown in FIG. 23, the lamp heater 24 inserted and installed in the inner tube 23 (the filament sealed in the heater tube 24a). 24f), trap throttle portions 23t and 23t for narrowing the gap between the lamp heater 24 and the heater tube 24a are formed by drawing at the outer side of the light emitting portion 24l.

なお、上述した流体加熱装置２０の構成は、内管２３およびランプヒータ２４以外、図１および図２に示した流体加熱装置１と基本的に同一なので、流体加熱装置２０の構成要素において、流体加熱装置１の構成要素と同一の作用を成すものには、図２１において図１および図２と同一の符号に２０を加算した(２０番台の)符号を附すことで詳細な説明は省略する。   The configuration of the fluid heating device 20 described above is basically the same as that of the fluid heating device 1 shown in FIGS. 1 and 2 except for the inner tube 23 and the lamp heater 24. 21 that have the same functions as the components of the heating device 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIGS. 1 and 2 in FIG. .

上述した構成の流体加熱装置２０によれば、円筒形状を呈する内管２３における、ランプヒータ２４の発光部２４ｌより外方であって、外管２２の内部に位置する部位に、ヒータ管２４ａとの間隙を狭めるトラップ絞り部２３ｔを形成したことで、図２３中に矢印ｉで示す如く、ランプヒータ２４の発光部２４ｌから、ランプヒータ２４の端部に向かう放射光の大部分が、内管２３の内部に突出するトラップ絞り部２３によって遮られるため、上記発光部２４ｌからの放射光による端部ベース２４ｂの加熱が抑えられるため、モリブデン箔を封入したシール部の酸化に起因する、上記ランプヒータ２４の寿命の低下を未然に防止することが可能となる。   According to the fluid heating device 20 having the above-described configuration, the heater tube 24a and the inner tube 23 having a cylindrical shape are located outside the light emitting portion 24l of the lamp heater 24 and located inside the outer tube 22. 23t is formed so that most of the emitted light from the light emitting portion 24l of the lamp heater 24 toward the end portion of the lamp heater 24 is made into the inner tube as shown by the arrow i in FIG. Since the end base 24b is prevented from being heated by the radiated light from the light emitting part 24l because it is blocked by the trap restricting part 23 projecting into the inside of the lamp 23, the lamp is caused by oxidation of the seal part encapsulating molybdenum foil. It is possible to prevent a decrease in the life of the heater 24.

一方、上記発光部２４ｌからランプヒータ２４の端部に向かう放射光の大部分を受けて加熱されたトラップ絞り部２３からは、図２３中に矢印ｊで示す如く、外管２２の内部に満たされた薬液Ｌに熱が移動し、内管２３の冷却とともに薬液Ｌの有効な加熱が為されることとなる。   On the other hand, from the trap diaphragm 23 heated by receiving most of the radiated light from the light emitting part 24l toward the end of the lamp heater 24, the inside of the outer tube 22 is filled as indicated by an arrow j in FIG. Heat is transferred to the chemical liquid L, and the chemical liquid L is effectively heated as the inner tube 23 is cooled.

因みに、図２１に示した実施例においては、３ＫＷのランプヒータ２４を挿入設置した内管２３を、長円筒形状を呈する外管２２の内部に２本設置して、総ヒータ電熱量を６ＫＷに設定した構成を例示したが、長円筒形状を呈する外管２２の内部に、３ＫＷのランプヒータ２４を挿入設置した内管２３を３本設置し、総ヒータ電熱量を９ＫＷに設定する、さらには３ＫＷのランプヒータ２４を挿入設置した内管２３を４本設置し、総ヒータ電熱量を１２ＫＷに設定することも勿論可能である。   Incidentally, in the embodiment shown in FIG. 21, two inner tubes 23 into which a 3 KW lamp heater 24 is inserted and installed are installed inside an outer tube 22 having a long cylindrical shape, so that the total heater electric heat amount is 6 KW. Although the set configuration is exemplified, three inner tubes 23 into which a 3 KW lamp heater 24 is inserted are installed in the outer tube 22 having a long cylindrical shape, and the total heater electric heat amount is set to 9 KW. Of course, it is possible to set four inner tubes 23 into which the 3 KW lamp heater 24 is inserted and set the total heater electric heat amount to 12 KW.

また、図２１に示した各実施例においては、ランプヒータ２４を挿入設置した複数の内管１３、１３…を、上下方向に併設することによって縦長の構成としているが、上述した装置を横長としても構成し得ることは言うまでもない。   Further, in each of the embodiments shown in FIG. 21, a plurality of inner tubes 13, 13... In which the lamp heaters 24 are inserted and installed are provided in a vertically long configuration. It goes without saying that can also be configured.

なお、上述した各実施例においては、半導体製造に関わるウェットプロセス(ＲＣＡ洗浄)やウェットエッチング等に使用される薬液の温度調節に、本発明の流体加熱装置を適用した例を示したが、様々な製造プロセスにおける薬液の温度管理にも、本発明の流体加熱装置を有効に適用し得ることは勿論である。   In each of the above-described embodiments, an example in which the fluid heating device of the present invention is applied to temperature control of a chemical solution used for wet process (RCA cleaning), wet etching, etc. related to semiconductor manufacturing has been shown. Of course, the fluid heating device of the present invention can be effectively applied to temperature control of a chemical solution in a simple manufacturing process.

さらに、上述した実施例においては、半導体装置の製造分野に本発明を適用した例を示したが、精密な温度調節を必要とする様々な産業分野における諸設備に対しても、本発明の流体加熱装置を有効に適用し得ることは言うまでもない。   Furthermore, in the above-described embodiments, the example in which the present invention is applied to the field of manufacturing semiconductor devices has been shown. However, the fluid of the present invention is also applicable to various industrial fields that require precise temperature control. Needless to say, the heating device can be effectively applied.

本発明に関わる流体加熱装置の実施例を示す外観透視斜視図。1 is an external perspective view showing an embodiment of a fluid heating apparatus according to the present invention. 図１の流体加熱装置を示す概念的な断面側面図。The conceptual cross section side view which shows the fluid heating apparatus of FIG. (ａ)、(ｂ)および(ｃ)は、図１の流体加熱装置における外管と内管およびランプヒータとのレイアウトを、総ヒータ電力量の相違毎に示した概念的な断面図。(a), (b) and (c) are conceptual sectional views showing the layout of the outer tube, the inner tube and the lamp heater in the fluid heating apparatus of FIG. (ａ)および(ｂ)は、図１の流体加熱装置における外管と内管およびランプヒータとの他のレイアウトを示した概念的な断面図。(a) And (b) is a conceptual sectional view showing other layouts of an outer tube, an inner tube, and a lamp heater in the fluid heating device of FIG. (ａ)、(ｂ)および(ｃ)は、本発明に関わる流体加熱装置における外管と内管およびランプヒータの横長のレイアウトを、総ヒータ電力量の相違毎に示した概念的な断面図。(a), (b) and (c) are conceptual cross-sectional views showing the horizontal layout of the outer and inner tubes and the lamp heater in the fluid heating apparatus according to the present invention for each difference in the total heater power amount. . 図１の流体加熱装置における外管と内管およびランプヒータとの他のレイアウトを示した概念的な断面図。The conceptual sectional drawing which showed the other layout of the outer tube | pipe, the inner tube | pipe, and the lamp heater in the fluid heating apparatus of FIG. 本発明に関わる流体加熱装置の実施例を示す外観透視斜視図。1 is an external perspective view showing an embodiment of a fluid heating apparatus according to the present invention. 図７の流体加熱装置を示す概念的な断面側面図。The conceptual cross-sectional side view which shows the fluid heating apparatus of FIG. (ａ)および(ｂ)は、図７の流体加熱装置におけるランプヒータおよび内管を示す外観斜視図。(a) And (b) is an external appearance perspective view which shows the lamp heater and inner tube in the fluid heating apparatus of FIG. (ａ)、(ｂ)および(ｃ)は、図７の流体加熱装置におけるランプヒータの端面図、内管の端面図および内管にランプヒータを挿入設置した状態の端面図。(a), (b) and (c) are the end view of the lamp heater in the fluid heating apparatus of FIG. 7, the end view of the inner tube, and the end view of the state where the lamp heater is inserted and installed in the inner tube. (ａ)、(ｂ)および(ｃ)は、図７の流体加熱装置における外管と内管およびランプヒータとのレイアウトを、総ヒータ電力量の相違毎に示した概念的な断面図。(a), (b) and (c) are conceptual sectional views showing the layout of the outer tube, the inner tube and the lamp heater in the fluid heating apparatus of FIG. (ａ)、(ｂ)および(ｃ)は、図７の流体加熱装置における外管と内管およびランプヒータとの他のレイアウトを、総ヒータ電力量の相違毎に示した概念的な断面図。(a), (b), and (c) are conceptual sectional views showing other layouts of the outer tube, the inner tube, and the lamp heater in the fluid heating apparatus of FIG. . (ａ)、(ｂ)および(ｃ)は、図７の流体加熱装置における外管と内管およびランプヒータとの更に他のレイアウトを、総ヒータ電力量の相違毎に示した概念的な断面図。(a), (b), and (c) are conceptual cross sections showing still another layout of the outer tube, the inner tube, and the lamp heater in the fluid heating apparatus of FIG. Figure. (ａ)および(ｂ)は、図７の流体加熱装置における外管と内管およびランプヒータとのレイアウトを、同一のヒータ電力量における変形例を示した概念的な断面図。(a) And (b) is a conceptual sectional view showing a modification of the layout of the outer tube, the inner tube and the lamp heater in the fluid heating device of FIG. 図７の流体加熱装置における外管と内管およびランプヒータとの他のレイアウトを示した概念的な断面図。FIG. 8 is a conceptual cross-sectional view showing another layout of the outer tube, the inner tube, and the lamp heater in the fluid heating apparatus of FIG. 7. (ａ)および(ｂ)は、図７の流体加熱装置における外管と内管およびランプヒータとの更に他のレイアウトを、同一のヒータ電力量における変形例を示した概念的な断面図。FIGS. 8A and 8B are conceptual cross-sectional views showing still another layout of the outer tube, the inner tube, and the lamp heater in the fluid heating apparatus of FIG. (ａ)および(ｂ)は、従来の流体加熱装置と本発明に関わる流体加熱装置との外管および内管のレイアウトを比較して示す断面図。(a) And (b) is sectional drawing which compares and shows the layout of the outer tube | pipe and the inner tube | pipe of the conventional fluid heating apparatus and the fluid heating apparatus concerning this invention. (ａ)および(ｂ)は、従来の流体加熱装置と本発明に関わる流体加熱装置との外管および内管のレイアウトを比較して示す断面図。(a) And (b) is sectional drawing which compares and shows the layout of the outer tube | pipe and the inner tube | pipe of the conventional fluid heating apparatus and the fluid heating apparatus concerning this invention. (ａ)および(ｂ)は、従来の流体加熱装置と本発明に関わる流体加熱装置との外管および内管のレイアウトを比較して示す断面図。(a) And (b) is sectional drawing which compares and shows the layout of the outer tube | pipe and the inner tube | pipe of the conventional fluid heating apparatus and the fluid heating apparatus concerning this invention. (ａ)および(ｂ)は、本発明に関わる流体加熱装置の外管および内管のレイアウトを、同一のヒータ電力量における変形例を示した概念的な断面図。(a) And (b) is notional sectional drawing which showed the modification in the same heater electric energy about the layout of the outer tube | pipe and the inner tube | pipe of the fluid heating apparatus concerning this invention. (ａ)および(ｂ)は、本発明に関わる流体加熱装置の実施例を示す概念的な断面平面図および概念的な断面側面図。(a) And (b) is a notional cross-sectional top view and notional cross-sectional side view which show the Example of the fluid heating apparatus concerning this invention. (ａ)および(ｂ)は、図２１の流体加熱装置におけるランプヒータおよび内管を示す外観斜視図。(a) And (b) is an external appearance perspective view which shows the lamp heater and inner tube | pipe in the fluid heating apparatus of FIG. 図２１の流体加熱装置における外管と内管およびランプヒータとを示す要部断面平面図。The principal part cross-sectional top view which shows the outer tube | pipe, inner tube | pipe, and lamp heater in the fluid heating apparatus of FIG. 従来の流体加熱装置を示す概念的な断面側面図。The conceptual cross-sectional side view which shows the conventional fluid heating apparatus. (ａ)および(ｂ)は、図２４の流体加熱装置におけるランプヒータおよび内管を示す外観斜視図。(a) And (b) is an external appearance perspective view which shows the lamp heater and inner tube | pipe in the fluid heating apparatus of FIG. (ａ)、(ｂ)および(ｃ)は、図２４の流体加熱装置における外管と内管およびランプヒータとのレイアウトを、総ヒータ電力量の相違毎に示した概念的な断面図。(a), (b) and (c) are conceptual sectional views showing the layout of the outer tube, the inner tube and the lamp heater in the fluid heating device of FIG. (ａ)および(ｂ)は、従来の流体加熱装置における他のランプヒータおよび内管を示す外観斜視図。(a) And (b) is an external appearance perspective view which shows the other lamp heater and inner tube | pipe in the conventional fluid heating apparatus. (ａ)および(ｂ)は、更に他のランプヒータおよび内管を示す外観斜視図。(a) And (b) is an external appearance perspective view which shows another lamp heater and an inner tube | pipe. 図２８のランプヒータおよび内管を採用した流体加熱装置を示す概念的な断面側面図。The conceptual cross-sectional side view which shows the fluid heating apparatus which employ | adopted the lamp heater and inner tube | pipe of FIG. 図２９の流体加熱装置における外管と内管およびランプヒータとのレイアウトを示す概念的な断面図。The conceptual sectional drawing which shows the layout of the outer tube | pipe, inner tube | pipe, and lamp heater in the fluid heating apparatus of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１…流体加熱装置、
２…外管、
２ｗ…端壁、
２ｓ…流通空間、
２ｉ…流入口、
２ｏ…流出口、
３…内管、
４…ランプヒータ、
４ａ…ヒータ管、
４ｂ…端部ベース、
５…ケーシング、
１０…流体加熱装置、
１２…外管、
１２ｗ…端壁、
１２ｓ…流通空間、
１２ｉ…流入口、
１２ｏ…流出口、
１３…内管、
１４…ランプヒータ、
１４ａ…ヒータ管、
１４ｂ…端部ベース、
１５…ケーシング、
２０…流体加熱装置、
２２…外管、
２２ｗ…端壁、
２２ｓ…流通空間、
２２ｉ…流入口、
２２ｏ…流出口、
２３…内管、
２３ｅ…端部絞り部、
２３ｔ…トラップ絞り部、
２４…ランプヒータ、
２４ａ…ヒータ管、
２４ｂ…端部ベース、
２４ｆ…フィラメント、
２４ｌ…発光部、
２５…ケーシング、
Ｌ…薬液(被温調流体)。 1 ... Fluid heating device,
2 ... Outer pipe,
2w ... end wall,
2s ... distribution space,
2i ... Inlet,
2o ... Outlet,
3 ... Inner pipe,
4 ... Lamp heater,
4a ... heater tube,
4b ... end base,
5 ... casing,
10 ... Fluid heating device,
12 ... Outer pipe,
12w ... end wall,
12s ... distribution space,
12i ... Inlet,
12o ... Outlet,
13 ... Inner pipe,
14 ... Lamp heater,
14a ... heater tube,
14b ... end base,
15 ... casing,
20 ... Fluid heating device,
22 ... Outer pipe,
22w ... end wall,
22s ... distribution space,
22i ... Inlet,
22o ... Outlet,
23 ... Inner pipe,
23e ... the end throttle part,
23t ... Trap restrictor,
24 ... lamp heater,
24a ... heater tube,
24b ... end base,
24f ... Filament,
24l ... light emitting part,
25 ... casing,
L: Chemical solution (temperature-controlled fluid).

Claims (4)

被加熱流体の流入口および流出口を有し両端部が閉止された外管と、前記外管の軸方向に設置され前記外管の内部に被加熱流体の流通空間を画成する内管と、ヒータ管および該ヒータ管の両端部に設けた端部ベースを有し前記内管に挿入設置されるランプヒータとを備えて成る流体加熱装置であって、
円筒形状を呈する複数の前記内管を、所定の方向に広がる少なくとも１つの平面上に、前記複数の内管のうち少なくとも２つの軸線が並行する姿勢で設置するとともに、前記外管を、前記複数の内管における前記平面上での前記並行する方向に沿って延在する縦横比の大きな断面形状としたことを特徴とする流体加熱装置。 An outer pipe having an inlet and an outlet for the heated fluid and closed at both ends; an inner pipe installed in the axial direction of the outer pipe and defining a flow space for the heated fluid inside the outer pipe; A fluid heater comprising a heater tube and a lamp heater having end bases provided at both ends of the heater tube and inserted and installed in the inner tube,
The plurality of inner pipes having a cylindrical shape are installed on at least one plane extending in a predetermined direction in a posture in which at least two axes of the plurality of inner pipes are parallel, and the outer pipes are A fluid heating apparatus having a cross-sectional shape with a large aspect ratio extending along the parallel direction on the plane of the inner pipe. 被加熱流体の流入口および流出口を有し両端部が閉止された外管と、前記外管の軸方向に設置され前記外管の内部に被加熱流体の流通空間を画成する内管と、ヒータ管および該ヒータ管の両端部に設けた端部ベースを有し前記内管に挿入設置されるランプヒータとを備えて成る流体加熱装置であって、
前記ランプヒータの端部ベースを略長円柱形状または楕円柱形状とするとともに、
前記内管を前記ランプヒータの端部ベースが嵌合する略長円筒形状または楕円筒形状としたことを特徴とする流体加熱装置。 An outer pipe having an inlet and an outlet for the heated fluid and closed at both ends; an inner pipe installed in the axial direction of the outer pipe and defining a flow space for the heated fluid inside the outer pipe; A fluid heater comprising a heater tube and a lamp heater having end bases provided at both ends of the heater tube and inserted and installed in the inner tube,
While making the end base of the lamp heater into a substantially long cylindrical shape or an elliptical cylindrical shape,
The fluid heating apparatus according to claim 1, wherein the inner tube has a substantially long cylindrical shape or an elliptical cylindrical shape into which an end base of the lamp heater is fitted. 前記ランプヒータの端部ベースを略長円柱形状または楕円柱形状とするとともに、前記内管を前記ランプヒータの端部ベースが嵌合する略長円筒形状または楕円筒形状とし、複数の前記内管を所定の方向に広がる少なくとも１つの平面上に、前記複数の内管のうち少なくとも２つの軸線が並行する姿勢で設置するとともに、前記外管を、前記複数の内管における前記平面上での前記並行する方向に沿って延在する縦横比の大きな断面形状としたことを特徴とする請求項２記載の流体加熱装置。 The end base of the lamp heater has a substantially long cylindrical shape or an elliptic cylinder shape, and the inner tube has a substantially long cylindrical shape or an elliptic cylinder shape into which the end base of the lamp heater is fitted. On at least one plane extending in a predetermined direction with at least two axes of the plurality of inner pipes in parallel postures, and the outer pipe on the plane of the plurality of inner pipes 3. The fluid heating device according to claim 2, wherein the fluid heating device has a cross-sectional shape having a large aspect ratio extending along the parallel direction. 被加熱流体の流入口および流出口を有し両端部が閉止された外管と、前記外管の軸方向に設置され前記外管の内部に被加熱流体の流通空間を画成する内管と、ヒータ管および該ヒータ管の両端部に設けた端部ベースを有し前記内管に挿入設置されるランプヒータとを備えて成る流体加熱装置であって、
円筒形状を呈する前記内管における前記ランプヒータのヒータ管の発光部より外方であって前記外管の内部に位置する部位に絞り部を形成したことを特徴とする流体加熱装置。 An outer pipe having an inlet and an outlet for the heated fluid and closed at both ends; an inner pipe installed in the axial direction of the outer pipe and defining a flow space for the heated fluid inside the outer pipe; A fluid heater comprising a heater tube and a lamp heater having end bases provided at both ends of the heater tube and inserted and installed in the inner tube,
A fluid heating apparatus, wherein a throttle portion is formed in a portion of the inner tube having a cylindrical shape that is located outside the light emitting portion of the heater tube of the lamp heater and located inside the outer tube.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN111457669A (en) * 2020-06-02 2020-07-28 吉林华微电子股份有限公司 Refrigeration temperature control method and device and wet etching system

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